DE3125034A1 - Valve, in particular for vacuum systems - Google Patents
Valve, in particular for vacuum systemsInfo
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Abstract
Description
DipUiig. KJ. Hübftöf a96 0 Kempten/AllgäuDipUiig. KJ. Hübftöf a96 0 Kempten / Allgäu
Patentinhaber: Schertier Siegfried, Ing.Patent holder: Schertier Siegfried, Ing.
CH-94-69 Haag (Schweiz)CH-94-69 Haag (Switzerland)
Gegenstand: Ventil, insbesondere für Vakuum-Subject: valve, especially for vacuum
anlagenInvestments
angemeldet am;registered on;
Erfinder: Schertier Siegfried, Ing.Inventor: Schertier Siegfried, Ing.
CH-9469 Haag (Schweiz)CH-9469 Haag (Switzerland)
/2153 9/hh/34/ 2153 9 / hh / 34
Die Erfindung bezieht sich auf ein Ventil, insbesondere für Vakuumanlagen mit einem Gehäuse und einer darin ■verschiebbaren Ventilspindel mit einem Verschlußorgan und einem Sitz als Anschlag für das Verschlußorgan im Schließzustand des Ventiles.The invention relates to a valve, in particular for vacuum systems with a housing and one that can be moved ■ Valve spindle with a closure member and a seat as a stop for the closure member in the closed state of the valve.
Solche Ventile sind in vielfältigen Formen und Ausführungen bekannt geworden. Der gegenständlichen Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Ventilkonstruktion zu schaffen, die hinsichtlich ihres dichtenden Verschlußorganes außerordentlich einfach aufgebaut ist und bei welcher sich das eigentliche Dichtorgan ohne besondersnAufwand austauschen läßt, so daß ein solches Ventil preisgünstig herzustellen und einfach zu warten ist. Erfindungsgemäß gelingt dies dadurch, daß das Verschlußorgan mindestens zwei in Achsrichtung der Ventilspindel gegeneinander verschiebbare Scheiben aufweist, von welchen mindestens eine an der der anderen Scheibe zugewandten Seite randseitig kegelförmig zur Bildung einer V-förmigen Hut abgefast ist und in dieser Nut ein radial dehnbarer Ring aus dauerelastischem, gummiartigem Material liegt und beim Schließen des Ventils die eine Scheibe sich an dem als Widerlager dienenden Anschlag anlegt, so daß beim weiteren axialen Verschieben der Ventilspindel die beiden Scheiben zusammengeschoben werden und den Ring radial dehnen, der sich dadurch dichtend an die Innenseite des Gehäuses (1) anschmiegt. Konstruktiv läßt sich das Verschlußorgan dieses Ventiles sehr einfach dadurch gestalten, daß die eine Scheibe mit der Ventilspindel verbunden ist und auf der der Ventilspindel abgewandten Seite einen Achsfortsatz trägt, auf welchem die zweite Scheibe verschiebbar gelagert ist. Zur radialen Dehnung des Ringes aus gummielastischem Material ist es zweckmäßig, daß beide Scheiben randseitigSuch valves have become known in a wide variety of forms and designs. The subject invention lies now the task underlying to create a valve construction with regard to its sealing closure member is extremely simple in structure and in which the actual sealing element can be positioned without any particular effort can be exchanged, so that such a valve is inexpensive to manufacture and easy to maintain. According to the invention this is achieved in that the closure member is at least two displaceable relative to one another in the axial direction of the valve spindle Has disks, of which at least one on the side facing the other disk edge side is conically chamfered to form a V-shaped hat and in this groove there is a radially expandable ring made of permanently elastic, rubber-like material and when it is closed of the valve the one disc rests against the stop serving as an abutment, so that the further axial Moving the valve spindle pushes the two disks together and radially expands the ring, which thereby extends fits tightly against the inside of the housing (1). Constructively, the closure member can be this Make the valve very simple in that one disc is connected to the valve spindle and the one on the Valve spindle facing away from the side carries an axial extension on which the second disc is slidably mounted. For the radial expansion of the ring made of rubber-elastic material, it is expedient that both disks are on the edge
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und an einander zugewandten Seiten kegelförmig zur Bildung einer den Ring aufnehmenden Nut a"bgef ast sind. Der öffnungswinkel dieser V-förmigen Nut ist dateL so auf den radial dehnbaren Ring abgestellt, daß bei der Verringerung der Nutbreite beim Schließen des Ventiles der Ring zwischen den Flanken der V-förmigen Nut nicht gequetscht, sondern nach außen verdrängt wird und sich dadurch dichtend an die Innenwand des Gehäuses anlegt. Als Sitz für die Anlage oder den Anschlag des Verschlußorganes kann ein Federring verwendet werden, wie er im Handel erhältlich ist, da dieser ja nur die Aufgabe hat, innerhalb des Ventiles die axiale Verschiebung der einen Scheibe beim Schließen des Ventils zu behindern, selbst aber keine wie immer geartete unmittelbare Dichtaufgabe zu übernehmen hat. Die beiden offenen Seiten des Ventils, die an den entsprechenden Rohrleitungen anschließbar sind, können schweißbare oder aber Schraubenflansche tragen.and are conically beveled on mutually facing sides to form a groove a ″ b receiving the ring. The opening angle of this V-shaped groove is dateL like this placed on the radially expandable ring that when reducing the groove width when closing the valve the ring between the flanks of the V-shaped groove is not squeezed, but displaced outwards and itself thereby sealingly applied to the inner wall of the housing. As a seat for the system or the stop of the closure member a spring washer can be used, as it is commercially available, since this only has the task of to hinder the axial displacement of one disc when the valve is closed within the valve itself but does not have to take on any kind of immediate poetic task. The two open sides of the valve that can be connected to the corresponding pipelines, can have weldable or screw flanges.
Die erfindungsgemäße Konstruktion bringt aber noch erheblich weitere Vorteile: Ventilen der eingangs genannten Art ist im wesentlichen gemeinsam, daß das vorzugsweise aus Aluminium bestehende Ventilgehäuse durch spanabhebende Bearbeitung aus einem massiven, gepreßten Aluminiumstück gefertigt wird. Diese Fertigung ist sehr aufwendig, und zwar sowohl materialmäßig, wie auch zeitmäßig. Es wäre erheblich billiger, material- und zeitsparender, das Gehäuse in einem Aluminium-Druckgußverfahren herzustellen. Für Ventile, an welche hinsichtlich ihrer Dichtheit keine extremen Anforderungen gestellt sind, ist das auch möglich. Für Ventile jedoch, die in Vakuumanlagen, insbesondere in Hochvakuumanlagen verwendet werden, ist dies kein gangbarer Weg, da diese gegossenen Gehäuse keine ausreichende Dichtheit aufweisen, die den extremen Anforderungen genügt, wie sie bei solchen Vakuumanlagen, insbesondere Hochvakuum-However, the construction according to the invention has considerably more advantages: Valves of the type mentioned at the beginning Type is essentially in common that the valve housing, which is preferably made of aluminum, by machining Machining is made from a solid, pressed piece of aluminum. This production is very complex, and both in terms of material and time. The housing would be considerably cheaper, material and time-saving produced in an aluminum die-casting process. For Valves that are not subject to extreme requirements with regard to their tightness are also possible. However, this is not feasible for valves that are used in vacuum systems, especially in high vacuum systems Way, since these cast housings do not have sufficient tightness to meet the extreme requirements, as they are in such vacuum systems, especially high vacuum
anlagen, zu beachten sind. Für diesen Zweck können nur Materialien verwendet werden, die aufgrund der zu Halbzeugen führenden Fertigungsverfahren eine außerordentlich hohe Materialdichte aufweisen, wie zum Beispiel stranggepreßte Rohre, Dank des erfindungsgemäßen Vorschlages ist es nun möglich, preisgünstige Halbzeuge in Form von nahtlos gepreßten oder gezogenen Rohren für das Ventilgehäuse zu verwenden, wobei das Ventil im Hinblick auf seine Verwendung in Vakuumanlagen, insbesondere in Hochvakuumanlagen, extrem hohen Anforderungen hinsichtlich der Dichtigkeit seines Gehäuses genügt. Dadurch können Kosten sowohl für die Materialien und auch die Kosten für die Fertigung erheblich reduziert werden. Dies ist dadurch möglich geworden, daß für den Anschlag des Verschlußorganes in dem die Ventilspindel tragenden Gehäuse inn-,seitig eine Nut vorgesehen ist, in welche mit seinem äußeren Hand ein Federring als Anschlag für das Verschlußorgan eingefügt ist. Dank des erfindungsgemäßen Vorschlages ist es daher nicht mehr notwendig, in Ventilgehäuse einen Ventilsitz im herkömmlichen und eigentlichen Sinne von vorneherein vorzusehen.systems, must be observed. For this purpose, only materials can be used that are due to the semi-finished products leading manufacturing processes have an extremely high material density, such as extruded Pipes, thanks to the proposal according to the invention, it is now possible to produce inexpensive semi-finished products in the form of To use seamlessly pressed or drawn tubes for the valve housing, the valve in terms of its Use in vacuum systems, especially in high vacuum systems, extremely high requirements in terms of The tightness of its housing is sufficient. This can cost both the materials and the cost of the Manufacturing can be significantly reduced. This has been made possible by the fact that for the stop of the closure member in the housing carrying the valve spindle on the inside a groove is provided into which a spring ring is inserted as a stop for the closure member with his outer hand is. Thanks to the proposal according to the invention, it is therefore no longer necessary to have a valve seat in the valve housing to be provided from the outset in the conventional and actual sense.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigenίAn embodiment of the invention is explained in more detail with reference to the drawing. Show itί
Fig. 1 einen Längsschnitt durch das geöffnete Ventil; Fig. 2 einen Längsschnitt durch das geschlossene Ventil.1 shows a longitudinal section through the opened valve; 2 shows a longitudinal section through the closed valve.
Das Ventil besitzt als Gehäuse ein erstes Rohrstück 1, das nahtlos gepreßt oder gezogen ist, wie es als Halbzeug im Handel erhältlich ist. Dieses Sohrstück 1 ist an seinem unteren Ende seitlich angebohrt und der Rand 2 dieser Bohrung ist aufgebördelt. Hier ist ein weiteres fiohrstück 5 angeschweißt mit einem BefestigungsflanschThe valve has a first pipe section 1 as a housing, that is seamlessly pressed or drawn, as is commercially available as a semi-finished product. This earpiece 1 is on its lower end is drilled into the side and the edge 2 of this hole is flared. Here is another one Fiohrstück 5 welded on with a mounting flange
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4. Auch das erste Rohrstück 1 trägt einen Befestigungsflansch 5· Mit.diesen Planschen wird dasVEntil in eine Rohrleitung eingefügt. Das obere Ende des Rohrstückes 1 trägt eine angeschweißte Durchführung 6 mit einem inneren Fortsatz 61. Diese Durchführung 6 "besitzt eine axiale Gewindebohrung, in welche eine Gewindehülse 7 mit einem Außengewinde 71 eingeschraubt ist. Diese Hülse 7 ist von der Gewindespindel 8 durchsetzt. An ihrem oberen, gegenüber der Gewindehülse 7 vorstehenden Ende ist ein kleiner !Federring 9 angeordnet. An ihrem anderen Ende trägt die Gewindespindel 8 eine kreisförmige Scheibe 10,deren Durchmesser geringer ist als der Innendurchmesser des Rohrstückes 1 und die Teil des Verschlußorganes bildet, welches hinsichtlich seines Aufbaues und seiner Wirkungsweise nachstehend im einzelnen noch erörtert werden wird.4. The first pipe section 1 also has a fastening flange 5 · With these splatters, the valve is inserted into a pipeline. The upper end of the pipe section 1 carries a welded passage 6 with an inner extension 6 1 . This passage 6 ″ has an axial threaded bore into which a threaded sleeve 7 with an external thread 7 1 is screwed. This sleeve 7 is penetrated by the threaded spindle 8. At its upper end protruding from the threaded sleeve 7, a small spring ring 9 is arranged. At its other end, the threaded spindle 8 carries a circular disc 10, the diameter of which is smaller than the inner diameter of the pipe section 1 and which forms part of the closure member, which will be discussed in detail below with regard to its structure and mode of operation.
Zwischen der erwähnten Kreisscheibe 10 und der axial verstellbaren Gewindehülse 7 ist eine ü'ülirungshülse 11 angeordnet, wobei zwischen dem oberen Stirnen.de dieser Hülse 11 und dem unteren Stirnende der Gewindehülse 7 ein axiales Rollenlager 12 eingefügt ist. Ein metallischer Ifederbalg 13 überdeckt die letzterwähnten Teile und dieser ist einerseits an der Scheibe 10, andererseits am inneren Fortsatz 61 der Durchführung 6 befestigt.Between the above-mentioned circular disk 10 and the axially adjustable threaded sleeve 7 there is a ü'ülirungshülse 11, wherein between the upper face of this sleeve 11 and the lower end of the threaded sleeve 7 an axial roller bearing 12 is inserted. A metallic Ifederbalg 13 covers the last-mentioned parts and this is attached on the one hand to the disk 10, on the other hand to the inner extension 6 1 of the bushing 6.
Das obere Ende der Gewindehülse 7 bzw. der Spindel 8 ragt in eine zentrale Bohrung 14 eines manuell bedienbaren Griffknaufes 15- Mit der Gewindespindel 7 wird eine kraftschlüssige Verbindung durch die in eine Gewindebohrung 16 des Knaufes 15 eingedrehte und auf die Gewindehülse 7 unmittelbar einwirkende Madenschraube 17 erzielt.The upper end of the threaded sleeve 7 or the spindle 8 protrudes into a central bore 14 of a manually operated Handle knob 15- With the threaded spindle 7 is a non-positive connection through the screwed into a threaded hole 16 of the knob 15 and on the Threaded sleeve 7 directly acting grub screw 17 achieved.
Das Ver-schlußorgan des Ventils besteht aus der bereits erwähnten Scheibe 10, die am unteren Ende der Spindel 8 befestigt ist und einer zweiten Scheibe 18, die auf einem in Fig. 1 nach unten gerichteten zylindrischen Fortsatz 19 der Scheibe 10 axial verschiebbar gelagert ist. Die axiale Verschiebbarkeit dieser zweiten Scheibe 18 auf dem zylindrischen Fortsatz 19 der Scheibe 10 ist durch einen Federring 20 begrenzt. An den einander zugewandten Seiten und am Rand sind diese beiden Scheiben 10 und 18 zur Bildung einer V-förmigen Nut 21 kegelförmig abgeschrägt oder abgefast. In dieser V-förmigen Nut liegt ein gummiartiger, dauerelastischer Dichtring 22. Der öffnungswinkel dieser V-förmigen Nut 21 ist so bemessen, daß bei der Verringerung des Abstandes der Nutflanken beim Schließen des Ventils der Ring 22 durch diese Flanken nicht gequetscht, sondern nach außen gedrückt wird.The closing element of the valve consists of the already mentioned disk 10, which is attached to the lower end of the spindle 8 and a second disk 18, which is on a in Fig. 1 downwardly directed cylindrical extension 19 of the disc 10 is mounted so as to be axially displaceable. the axial displaceability of this second disk 18 on the cylindrical extension 19 of the disk 10 is through a spring ring 20 is limited. These two disks 10 and 18 are on the mutually facing sides and on the edge bevelled conically to form a V-shaped groove 21 or beveled. A rubber-like, permanently elastic sealing ring 22 is located in this V-shaped groove The opening angle of this V-shaped groove 21 is dimensioned so that when reducing the distance between the groove flanks when closing the valve, the ring 22 through this Flanks is not squeezed, but pressed outwards.
Etwas unterhalb des seitlich angeschweißten Rohrstückes 3 ist an der Innenseite des Rohrstückes 1 eine Nut 23 eingestochen, in welche ein offener Federring 24- eingesetzt ist, der als Anschlag für das Verschlußorgan dient.Somewhat below the laterally welded pipe section 3, there is a groove 23 on the inside of the pipe section 1 pricked, in which an open spring washer 24- inserted is, which serves as a stop for the closure member.
Soweit zum konstruktiven Aufbau des Ventils. Wird beim geöffneten Ventil nach Fig. 1 der Griffknauf 15 gedreht, so wandert über die Gewindehülse 7 und die Spindel 8 das Verschlußorgan so lange nach unten, bis die Scheibe 18 randseitig am Ring 24 anliegt. Damit kann sich die Scheibe 18 in axialer Richtung im Rohrstück 1 nicht weiter bewegen. Beim Weiterdrehen des Griffknaufes 15 wird nun die zweite Scheibe 10 gegen die bereits feststehende Scheibe "18 des Verschlußorganes gedrückt, wodurch sich die Breite der von den Sandern dieser Scheiben 10 und 18 be^ grenzten V-förmigen Nut 21 verringert, was zur Folge hat,So much for the structural design of the valve. If the handle knob 15 is rotated when the valve according to FIG. 1 is open, so the closure member migrates downward via the threaded sleeve 7 and the spindle 8 until the disk 18 rests on the edge of the ring 24. This means that the disk 18 cannot move further in the axial direction in the pipe section 1. If you continue to turn the handle knob 15 will now the second disc 10 pressed against the already fixed disc "18 of the closure member, whereby the Width of the sanders of these disks 10 and 18 be ^ Bounded V-shaped groove 21 is reduced, which has the consequence
daß der dauerelastische Dichtring 22 radial nach außen gedrückt wird und sich so allmählich dichtend an die Innenwand des Rohrstückes 1 anlegt, wie dies Fig. 2 zeigt. Damit ist das Ventil geschlossen. Der Verschiebeweg s der Scheite 18, der öffnungswinkel der V-förmigen Mut 21 und der Durchmesser des Dichtringes 22 sind so aufeinander abgestimmt, daß dieser Dichtring 22 in der Schließstellung des Ventiles (Fig. 2) stets nur im elastischen Bereich beansprucht wird, so daß dadurch unnötige Quetschungen vermieden werden, welche in der Hegel bei handbetätigten Ventilen oft nicht mit Sicherheit ausgeschlossen werden können. Dadurch wird der Dichtring 22 stets nur schonend beansprucht, was sich günstig auf seine Lebensdauer auswirkt . that the permanently elastic sealing ring 22 is pressed radially outward and so gradually sealing against the inner wall of the pipe section 1 applies, as shown in FIG. This closes the valve. The displacement s of the logs 18, the opening angle of the V-shaped gutter 21 and the diameter of the sealing ring 22 are coordinated so that this sealing ring 22 is in the closed position of the valve (Fig. 2) is always stressed only in the elastic range, so that unnecessary bruises are avoided which in the Hegel often cannot be excluded with certainty in the case of manually operated valves can. As a result, the sealing ring 22 is always stressed only gently, which has a favorable effect on its service life.
Beim öffnen des Ventils verbreitet sich nun wiederum die V-förmige Nut 21, der im elastischen Bereich beanspruchte .Ring 22 zieht sich wieder zusammen und hebt sich dadurch von der Dichtfläche des Rohrstückes 1 ab und gibt damit den Ventilquerschnitt frei, wenn das Verschlußorgan in seine Offenstellung (Fig. 1) zurückgeführt wird. Zur Schonung der Dichtflächen ist es zweckmäßig, daß der Außendur chmesser der mit der Ventilspindel unmittelbar verbundenen Scheibe 10 etwas größer ist, als der Durchmesser derjenigen Scheibe 18, die sich beim Schließen des Ventils am Anschlag anlegt. Dadurch kann diese Scheibe 10 im Bereich oberhalb der eigentlichen Dichtfläche eine Art Führungsfunktion ausüben.When the valve is opened, the V-shaped groove 21 which is stressed in the elastic range .Ring 22 contracts again and is thereby lifted from the sealing surface of the pipe section 1 and is thus the valve cross-section free when the closure member is returned to its open position (Fig. 1). To the To protect the sealing surfaces, it is useful that the outer diameter of the directly connected to the valve spindle Disk 10 is slightly larger than the diameter of that disk 18, which is when the valve is closed at the stop. As a result, this disk 10 can have a kind of Exercise leadership.
Dank der vorstehend beschriebenen Verschlußkonstruktion ist os möglich, für das Ventilgehäuse handelsübliche und damit billige nahtlos gezogene oder gepreßte Rohre zu verwenden, die nur mehr in geringem Umfang bearbeitet werden müssen,Thanks to the closure construction described above, it is possible to use commercially available and thus to use cheap seamless drawn or pressed tubes that only need to be processed to a small extent,
was gegenüber den. bisher bekannten Maßnahmen eine ganz außerordentliche Verbilligung darstellt. Die zweckmäßige Ausgestaltung des Verschlußorganes gewährleistet darüberhinaus eine berechenbare Beanspruchung des Ringes 22 in seinem dauerelastischem Bereich, so daß auch mit einer langen Lebensdauer dieses Dichtelementes gerechnet werden kann. Es versteht sich auch, daß das erfindungsgemäße ■Verschlußorgan auch in solchen Gehäusen verwendet werden kann, die in herkömmlicher Weise spanabhebend geformt worden sind, denn der durch die Neugestaltung des Verschlußorganes erzielbare Vorteil (leichtes Auswechseln des Dichtringes von unten her, ohne Demontage des Antriebsteiles) ist auch in einem solchen Falle möglich, also unabhängig von der Ausgestaltung des Gehäuses. Anstelle des Handantriebes, wie er im Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 2 gezeigt ist, kann auch ein anderer mechanischer oder motorischer Ventilantrieb verwendet werden.what about the. previously known measures quite a represents extraordinary discount. The appropriate design of the closure member also ensures a predictable stress on the ring 22 in its permanently elastic area, so that even with a long service life of this sealing element can be expected can. It goes without saying that the closure member according to the invention can also be used in such housings which have been shaped in a conventional manner by cutting, because the one by the redesign of the closure member achievable advantage (easy replacement of the sealing ring from below, without dismantling the drive part) is also possible in such a case, that is, regardless of the design of the housing. Instead of the manual drive, as shown in the embodiment of FIGS. 1 and 2, another mechanical or motorized valve drive can be used.
Die Fig. 1 und 2 zeigen ein Eckventil. Durch die Verwendung gebogener oder gekrümmter Rohransätze (3-26) können auch Durchgangsventile in dieser Weise gebaut werden. Die nahtlos gepreßten oder gezogenen Rohre können aus Aluminium oder aus Stahl sein.Figs. 1 and 2 show an angle valve. By using bent or curved pipe sockets (3-26) can also have straight-way valves built in this way will. The seamlessly pressed or drawn tubes can be made of aluminum or steel.
Beim gezeigten Ausführungsbeispiel dient als Anschlag für die Scheibe 18 des Ventiltellers ein Federring 24, der in einer inneren Nut 25 des Gehäuses eingesetzt ist. Es liegt im Rahmen der Erfindung, einen Ring als Widerlager in der Gehäuseinnenwand zu verspannen, so daß das Gehäuse selbst nicht bearbeitet werden muss, wobei der erwähnte verspannte Ring durch radial wirkende Kräfte gegen axialen Versatz gehalten wird. Eine andere Möglichkeit zur Bildung eines Anschlages sieht vor, daß von unten her ξ2) ein Rohrabschnitt eingeschoben wird, dessen Außendurchmesser dem Innendurchmesser des Gehäuse inetwa entspricht und dessenIn the embodiment shown, a spring ring 24, which is inserted in an inner groove 25 of the housing, serves as a stop for the disk 18 of the valve disk. It is within the scope of the invention to brace a ring as an abutment in the inner wall of the housing, so that the housing itself does not have to be machined, the mentioned braced ring being held against axial misalignment by radially acting forces. Another possibility for forming a stop provides that a pipe section is inserted from below ξ2) , the outer diameter of which corresponds approximately to the inner diameter of the housing and its
Stirnfläche dann als #nschlag wirkt. Dieses Rohrstück kann dann am Befestigungsflansch 5 in. geeigneter Weise in axialer Richtung abgestützt sein. Anstelle eines Ringes oder eines Rohrstückes können als Anschlag auch einzelne Widerlagerelemente im Gehäuse angeordnet sein, die beim Schließen des Ventiles bewiken, daß die Scheibe entlang ihres Umfanges nur stellenweise abgestützt wird.The face then acts as a stop. This piece of pipe can then be applied to the fastening flange 5 in a suitable manner be supported in the axial direction. Instead of a ring or a piece of pipe can also be used as a stop individual abutment elements be arranged in the housing, which bewiken when closing the valve that the disc is only supported in places along its circumference.
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Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19813125034 DE3125034A1 (en) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | Valve, in particular for vacuum systems |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19813125034 DE3125034A1 (en) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | Valve, in particular for vacuum systems |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3125034A1 true DE3125034A1 (en) | 1983-01-27 |
Family
ID=6135375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813125034 Ceased DE3125034A1 (en) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | Valve, in particular for vacuum systems |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3125034A1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9695948B2 (en) | 2014-04-02 | 2017-07-04 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
US9851012B2 (en) | 2014-04-02 | 2017-12-26 | Vat Holding Ag | Vacuum valve seal |
-
1981
- 1981-06-26 DE DE19813125034 patent/DE3125034A1/en not_active Ceased
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9695948B2 (en) | 2014-04-02 | 2017-07-04 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
US9851012B2 (en) | 2014-04-02 | 2017-12-26 | Vat Holding Ag | Vacuum valve seal |
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