DE3107421C2 - Glocke aus Quarzgut für die Abscheidung von Poly-Silizium - Google Patents

Glocke aus Quarzgut für die Abscheidung von Poly-Silizium

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Abstract

Glocke aus Quarzgut mit einer Innenschicht aus Quarzglas für die Abscheidung von Poly-Silizium. Die Dicke der Quarzglasschicht nimmt zum offenen Ende der Glocke kontinuierlich zu unter Konstanthaltung der Gesamtwanddicke der Glocke. Die Dickenzunahme der Quarzglasschicht setzt vorzugsweise nach der Mitte der Gesamtlänge der Glocke ein. Die Dicke der Quarzglasschicht nimmt wenigstens um die Hälfte ihrer Dicke zu, die sie im Bodenbereich der Glocke besitzt.

Description

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Die Erfindung bezieht sich auf eine Glocke aus Quarzgut mit einer Innenschicht aus Quarzglas für die Abscheidung von Poly-Silizium.
Glocken der vorstehend charakterisierten Art sind seit langem in technischem Einsatz und beispielsweise in dem Prospekt der Anmelderin Q-B 3/113 »Quarzglas für die Halbleitertechnik«, September 1979 beschrieben. Diese Glocken haben sich generell bewährt. Allerdings wird beobachtet, daß infolge thermisch-induzierten Eigenspannungen die Glocken zu Bruch gehen können.
Aufgabe der Erfindung ist es, Glocken aus Quarzgut für die Abscheidung von Poly-Silizium zu schaffen, bei denen die vorgeschilderte Bruchgefahr vermindert ist, so daß die Glocken eine erheblich längere Lebensdauer aufweisen als die bekannten Glocken.
Gelöst wird diese Aufgabe für Glocken aus Quarzgut der eingangs charakterisierten Art erfindungsgemäß dadurch, daß zum offenen Ende der Glocke die Dicke der Quarzglasschicht kontinuierlich zunimmt unter Konstanthaltung der Gesamtwanddicke der Glocke. Bewährt haben sich Glocken, bei denen die Zunahme der Dicke der Quarzglasschicht nach der Mitte der Gesamtlänge der Glocke beginnt, vorzugsweise nach 2/3 der Gesamtlänge der Glocke vom Glockenboden ab gerechnet. Vorteilhafterweise steigt die Dicke der Quarzglasschicht um wenigstens die Hälfte der Dicke in demjenigen Glockenbereich an, in dem sie konstant bleibt. Besonders bewährt haben sich Glocken, bei denen am offenen Ende die Dicke der Quarzglasschicht auf den Wert der Gesamtdicke der Glocke angestiegen ist.
Die beobachtete Verminderung der Bruchgefahr erfindungsgemäßer Glocken und damit ihre erhöhte Lebensdauer gegenüber bekannten Giocken ist vermutlich darauf zurückzuführen, daß durch die zunehmende Dikke der Quarzglasschicht eine stärkere Absorption von Wärmestrahlung aus dem Reaktionsraum erfolgt, daß eine bessere Wärmeleitung in radialer Richtung durch die Wand sich einstellt, und daß im Bereich des bruchgefährdeten offenen Endes der Glocke ein erhöhter Materialanteil mit höherer Zugfestigkeit vorliegt.
In der Figur ist ein Längsschnitt durch eine erfindungsgemäße Glocke dargestellt. Die Glocke besteht aus einem Außenteil t aus Quarzgut, das mit einer Innenschicht 2 aus Quarzglas verschmolzen ist. Wie ersichtlich, ist die Quarzglasinnenschicht im Bereich des Glockenbodens 3 und dem dann sich anschließenden zylindrischen Teil konstant, und erst nach der Mitte 4 der Gesamtlänge der Glocke setzt eine kontinuierliche b5 Zunahme der Wanddicke der Quarzglasschicht ein, die am offenen Ende der Glocke um mehr als die Hälfte der ursprünglichen Wanddicke zugenommen hai.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Glocke aus Quarzgut mit einer Innenschicht aus Quarzglas für die Abscheidung von Poly-Silizium, dadurch gekennzeichnet, daß zum offenen Ende der Glocke die Dicke der Quarzglasschicht kontinuierlich zunimmt unter Konstanthaltung der Gesamtwanddicke der Glocke.
    Die Quarzglasinnenschicht kann durch Aufschmelzen von kristallinem Quarz erzeugt worden. Sie kann aber auch aus synthetischem Quarzglas bestehen.
DE3107421A 1981-02-27 1981-02-27 Glocke aus Quarzgut für die Abscheidung von Poly-Silizium Expired DE3107421C2 (de)

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