DE3016069A1 - Verfahren zur vakuumbeschichtung und fuer dieses verfahren geeignete vorrichtung - Google Patents
Verfahren zur vakuumbeschichtung und fuer dieses verfahren geeignete vorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Beschichtungsverfahren und
eine dafür geeignete Vorrichtung, insbesondere ein Vakuumbeschichtungsverfahren
für die Massenbeschichtung von großen Substraten in Unterdruckkammern.
Für Bauzwecke verwendete Glasscheiben, die transparent, aber mit einer reflektierenden Beschichtung versehen sind,
werden immer mehr in Gebäuden eingesetzt, um sowohl die Sonnenerhitzung zu verringern als auch um den ästhetischen
Eindruck der Gebäude zu verbessern. Wenn die Glasscheiben eingebaut sind, sind auch geringfügige Fehler in
der Beschichtung leicht zu bemerken, und dementsprechend müssen solche Gläser mit Beschichtungen versehen werden,
die zuverlässig fehlerfrei aufgebracht werden können und während des Gebrauchs fest an dem Glas haften bleiben.
Als wirksames Verfahren zur Erzeugung qualitativ hochstehender, relativ dauerhafter Beschichtungen hat sich
die Beschichtung von Substraten wie Glas durch Aufsprühen von atomar verteiltem Beschichtungsmaterxal ergeben. Um
optimale Wirksamkeit sicherzustellen, sollte der Aufsprühvorgeng
in einer Kammer durchgeführt werden, die unter Hochvakuum (d.h. unter Drücken von weniger als
6,662 - 10 Pa = 50 · ^o~^orr^ steht. Die Atmosphäre in
den Kammern sollte im wesentlichen inert oder sonst chemisch kontrolliert sein, die Kammer sollte frei von Verunreinigungen
und die Substrate selbst sollten möglichst frei von Oberflächenteilchen, Verunreinigungen und statischelektrischen Aufladungen sein, um Unregelmäßigkeiten
und/oder Diskontinuitäten in der aufgebrachten Schicht zu vermeiden.
Die Herstellung von durch Aufsprühen beschichteten Substraten wird relativ breit in der Halbleiterindustrie
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eingesetzt, wobei Geräte mit relativ kleinen Abmessungen benutzt werden können. Da für die Beschichtung von Bauglastafeln
extremes Hochvakuum gebraucht wird, müssen zum Beschichten von den relativ großen Substraten für diesen
Zweck sehr teure Druckgefäße eingesetzt werden; das erfordert einen großen Aufwand und ergibt relativ geringe Herstellungsausbeuten.
Ein Beispiel für eine relativ kleine Produktionsvorrichtung zum Beschichten von kleinen Substraten in kontinuierlicher
Weise ist in der US-PS 3 294 670 beschrieben. Derartige Produktionseinrichtungen sind unter Verwendung von
Vakuuminnenkammern mit minimalem Volumen aufgebaut, so daß das Auspumpen schnell und wirksam erfolgen kann. Wegen der
relativ geringen Abmessungen der Vorrichtungen sind die Wandgrößen der Unterdruckkammern ebenfalls gering und es
treten keine großen Kräfte durch den anliegenden Druckunterschied auf. Durch das kontinuierliche Herstellungsverfahren
werden die Möglichkeiten, daß die Substrate Oberflächenstaub,- Feuchtigkeit usw. in die Aufsprühkammer eintragen,
sehr verringert, da die Substrate einzeln gereinigt werden können, bevor sie in den Aufsprühbereich kommen.
Wenn Substrate mit großen Abmessungen durch Aufsprühen zu beschichten sind, entstehen Probleme durch die Verwendung
von geeigneten Vakuumpumpen, durch die großen Kajtunervolumen
und die auftretenden Druckunterschiedskräfte. Relativ große Kammervolumen werden wegen der Substratgrößen nötig und
diese Kammern sind nicht so schnell auf den Beschichtungsunterdruck von etwa 6,662 · 1O~ Pa (= 50^u,Torr) abzupumpen.
Es müssen stufenweise unterschiedliche Arten von Vakuumpumpen eingesetzt werden, um die Kammern auf die optimalen Beschichtungsdruckwerte
zu evakuieren.
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Mechanische Vakuumpumpen sind zum Evakuieren der Kammern wirksam, solang das abzupumpende Gas Fluid-Strörnungseigenschaften
zeigt. Bei Druckwerten, die etwa in der Gegend von 93,27*10
bis 66,62 · io Pa liegen (= 700 bis 500/*Torr), verschlechtert
sich die Wirksamkeit der mechanischen Pumpen dramatisch, da die Bewegung der Restatmosphäre in den Kammern Molekular-Strömungseigenschaften
anzunehmen beginnt. Dadurch ergibt sich eine sehr bedeutende Verringerung der Pumpengeschwindigkeiten,
während die Kammern weiter auf Drücke von etwa 26,65 * 10 pa
(= 200^TOr1T-) abgepumpt werden. Dann können Diffusionspumpen
eingesetzt werden, um die Kammern auf die erforderlichen geringeren Druckwerte weiter zu evakuieren.
Diffusionspumpen, insbesondere Öldiffusionspumpen,sind ziemlich
unwirksam, wenn sie bei Druckwerten betrieben werden, die über 26,65 · 10~ Pa (= 200/fTorx) liegen, und deswegen
müssen die Kammern mit mechanischen Pumpen auf den effektiven Betriebsbereich der Diffusionspumpen abgesenkt werden. Der
Zeitaufwand, der zum Absenken des Kammerdrucks von 66,62 »io Pa
auf 26,65 · 10 Pa (= von 500 auf 200ykTorr) gebraucht wird,
erweist sich als sehr bedeutsam und verringert die Produktionsgeschwindigkeit bei solchen Beschichtungen erheblich.
Es sind beispielsweise aus den US-PS 3 907 660, 3 891 536 und 3 738 928 Produktionsanlagen zum Aufsprüh-Beschichten relativ
großer Glasfenster bekannt, bei denen das Glas auf Gestellen in großvoluraigen Druckgefäßen abgestützt wird, die mit beweglichen
Aufsprühelektroden versehen sind. Die Gefäße werden beladen, abgeschlossen und auf Betriebsvakuum abgepumpt, wonach
das Glas beschichtet, die Gefäße belüftet, wieder geöffnet und das beschichtete Glas entfernt wird.
Die Gefäße sind in zylindrischer oder halbzylindrischer Form ausgeführt, wodurch sich geringere Baukosten ergeben,
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und es wird auf diese Weise versucht, die Innenräume gut auszunützen, um die langen Pumpzeiten bis zur Absenkung
des Gefäßinnendruckes auf brauchbare Werte abzukürzen oder anderweitig gering zu halten, um die schädliche Beeinflussung
auf die Produktionsgeschwindigkeit zu vermindern. Trotzdem verbleiben einige praktische Nachteile dieser Verfahren. Zusätzlich
zu der relativ langen Zeit, die gebraucht wird, um diese Gefäße einfach auf den notwendigen Betriebsdruck
abzupumpen, werden die Gefäße jeweils wieder zwischen den Beschichtungsvorgängen zur Umgebungsluft hin geöffnet und
es wird eine große Anzahl von Glastafeln und die zugehörigen Stützaufbauten eingebracht. Dadurch wird die Abpumpzeit weiter
verlängert, da außer anderen Verunreinigungsstoffen insbesondere eine wesentliche Anzahl von Wasser— und SauerstoffmoIekülen
in die Gefäße eingebracht wird und durch die Gefäßwände, das zu beschichtende Glas selbst und die Stutζaufbauten gefangen
werden. Derartige Verunreinigungen werden nur allmählich beim Absenken des Vakuumkammerdrucks freigesetzt und
abgepumpt. Je höher der Kammerdruck während des Beschichtungsvorganges
bleibt, umso wahrscheinlicher ist die Anwesenheit einer erheblichen Anzahl von Verunreinigungsmolekülen während des
Beschichtungsvorgangs. Durch das Wiederöffnen der Gefäße.zur
Umgebung hin zwischen den Beschichtungsvorgängen und durch das Neueinbringen der Gestelle usw. wird der Vorrat an Verunreinigungsstoffen
wieder erhöht.
Auf diese Weise bleiben die Kammern auch bei außerordentlich geringen Drücken "verschmutzt". Die Anwesenheit der Verunreinigung
smolekü Ie kann die Qualität der fertiggestellten Beschichtung
schädlich beeinflussen. Es ist wünschenswert oder sogar erforderlich, die Gefäße dadurch zu "reinigen", daß
der Unterdruckwert, bei dem die Beschichtung stattfindet, bereits für eine ausreichende Zeitlänge vor dem Beschichten
gehalten wird. Dadurch wird jedoch die Durchlaufe oder Bearbeitungszeit
weiter erhöht.
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^ORIGINAL
Es ist dazu manchmal sehr schwierig, sicherzustellen, daß die Substrate vor und während ihres Einbringens in die Unterdruckgefäße
oder auf die Stützgestelle sauber bleiben. Es kann sozusagen nicht jedes Substrat unmittelbar vor dem
Einbringen in das Gefäß und vor dem Beschichten gereinigt werden. Je langer die Substrate der Umgebungsluft ausgesetzt
sind und je mehr Behandlungsvorgänge vor dem Beschichten ausgeführt werden müssen, umso wahrscheinlicher tritt eine Verunreinigung
auf.
Es ergaben sich damit Versuche, die Herstellgeschwindigkeit von beschichten Glastafeln zu erhöhen, indem mehr oder weniger
kontinuierlich arbeitende Beschichtungsanlagen geschaffen wurden. Eine derartige Anlage wird in der US-PS 3 925 182
beschrieben, wobei eine Reihe hintereinander ausgerichteter Kammern durch Druck-"Tore" getrennt ist, durch die das
Glas auf geeigneten Stützeinrichtungen befördert wird. Das beschriebene System benutzt eine Beschichtungskammer und
Einführ- bzw.Ausleitkammern an entgegengesetzten Enden.
Die Kammern besitzen jeweils die gleiche Länge und die Anlage ist so ausgelegt, daß die Eingangs- und die Beschichtungskammer
bei Beginn der Beschichtungsvorgangs miteinander in Verbindung stehen, während die Ausleit- und die Beschichtungskammer
zum Ende des Beschichtungsvorgangs miteinander verbunden sind.
Die Kammern werden mechanisch evakuiert, wobei der Druck der Eingangs- bzw. der . Ausleitkammer jeweils zu unterschiedlicher
Zeit mit dem in der Beschichtungskammer gleich gehalten wird, um ein Durchlaufen desGlases durch die Anlage
zu ermöglichen» Die zum Betrieb der Anlage während eines Behandlungsdurchlaufes erforderliche Pumpzeit wird dadurch
verringert, daß Kammern mit rechteckigem Querschnitt, der Form der Glastafeln mit Stützen angepaßt und damit mit mini-
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malern Volumen,verwendet werden und daß ein ziemlich hoher
Beschichtungsdruck von mehr als 13,33 · 10 Pa (= lOO/^Torr)
verwendet wird. Dabei müssen jedoch die Eingangs- und die Aus^Leitkammer von Umgebungsdruck während jedes Durchlaufes
auf den Beschichtungsdruck abgepumpt werden. Dieser Vorgang ist, auch unter Berücksichtigung der relativ geringvolumigen
Kammern,wegen der geringen Pumpenwirksamkeit relativ zeitraubend.
Der Betrieb dieser Anlage erfordert ein Rückfüllen der Eingangs-und
der Ausleitkammern mit inertem Gas, um dadurch eine saubere Atmosphäre in der Beschichtungskammer zu gewährleisten,
wenn diese mit einer der beiden anderen Kammern in Verbindung steht. Trotzdem bereiten Verunreinigungen weiterhin
Probleme, und zwar sowohl wegen des relativ hohen Beschxchtungsdrucks als auch deswegen, weil die Eingangsund
die Ausleitkammern sowohl zur Umgebungsluft als auch
zur Beschichtungskammer hin geöffnet werden während jedes Durchlaufes, so daß Verunreinigungen in diese Kammern bei
jedem Einführen und Ausleiten eines Bearbeitungsloses von Substraten und Stützeinrichtungen in die Kammern gelangen.
Dadurch, daß zusätzliche Kammern vorgesehen und/oder die
Kammern im Vergleich zur maximalen Substratlänt,3 verlängert
werden, werden die Kosten und die Kompliziertheit der Anlage so weit vermehrt, daß die Anlagen unwirtschaftlich werden.
Insbesondere werden , weil die Kammervolumen immer noch so klein wie möglich gehalten werden,
um die Pumpgeschwindigkeit zu erhöhen, die durch den Druckunterschied entstehenden Kräfte extrem groß und erfordern
teure Wandkonstruktionen für die Druckwände.
Durch die vorliegende Erfindung wird ein neues und verbessertes Verfahren und eine dafür geeignete Vorrichtung zum
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Beschichten großer Substrate, beispielsweise Bauglastafeln,
geschaffen, bei dem die Substrate in eine Hochvakuum-Beschichtungskammer
eingeführt und aus dieser entfernt werden, während außerordentlich gutes Hochvakuum in der Beschichtungskammer
aufrechterhalten wird, wodurch die Verunreinigung der Substratflächen und der Atmosphäre in der
Beschichtungskammer minimal gehalten wird, wodurch die Pumpwirksamkeit relativ gut bleibt und der zum Aufbau der
Anlage erforderliche Kapitalbedarf nicht unangemessen wächst,
Bei einer bevorzugten Ausbildung der Erfindung werden eine Zutritts— und eine Arbeitskammer vorgesehen, um die Substrate
und ihre Stützen aufzunehmen. Die Zutrittskammer ist so ausgebildet, daß sie so eng wie praktisch möglich der Substratform
angepaßt ist und so ein relativ kleines Volumen besitzt, während die Arbeitskammer so aufgebaut ist, daß
sie ein wesentlich größeres Volumen gegenüber der Zutrittskammer ergibt, und Wände besitzt, die extremen Druckunterschiedskräften
mit maximaler Wirksamkeit widerstehen.
Die Substrate werden in die Zutrittskammer von Umgebungsluftdruck
aus einbewegt und die Zutrittskamraer wird gegenüber der Umgebungsatmosphäre und der Arbeitskammer abgedichtet.
Die Zutrittskammer wird mechanisch abgepumpt, um den darin herrschenden Druck wesentlich unter Atmosphärendruck zu
einem "Grob-"Vakuum zu bringen, der größer als der Arbeitskammerdruck
ist, jedoch noch im wirksamen Bereich von mechanischen Vakuumpumpen liegt.
Die Kammern werden danach miteinander verbunden, wodurch der Druck in den Kammern sich auf einen wesentlich unter
dem Grobvakuumdruck liegenden Wert ausgleicht,auf einen Wert, der im wirksamen Arbeitsbereich der mit der Arbeitskammer
verbundenen Diffusions-Vakuumpumpen liegt. Die
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Substrate werden dann in die Arbeitskammer vorgeschoben,
die Kammern werden wieder voneinander abgetrennt und die Diffusionspumpen senken den Arbeitskammerdruck ab. Nach
dem Beschichten werden die Substrate aus der Arbeitskammer herausgezogen. Der Druck in der Arbeitskammer bleibt wegen
des relativ großen Volumens dieser Kammer bei einem sehr geringen Wert während der ganzen Betriebszeit des Systems.
Das große Arbeitskammervolumen hilft auf diese Weise, die
Wirksamkeit und die Pumpgeschwindigkeit der Vakuumpumpen zu erhöhen und beseitigt die Notwendigkeit, mechanische Pumpen
zum Absenken des Druckes in der Arbeitskammer während jedes ^schichtungsdurchlaufs vorzusehen. Darüberhinaus erlaubt
das große Volumen die Anbringung von Vielfachelektroden in
der Arbeitskammer. Diese zusätzlichen Elektroden können in Abfolge benutzt werden, um ein Reaktionssprühen zu erreichen,
und es werden dadurch mehrere Beschichtungen an dem gleichen Substrat aufgebracht, oder es können Ersatzelektroden eingesetzt
werden, um den Zeitabstand zwischen dem Elektrodentausch zu verlängern.
Erfindungsgemäß enthält die Arbeitskammer einen Beschichtungskammerabschnitt,
in dem die Substrate bei extrem tiefem Druck in überwachter Atmosphäre beschichtet werden, sowie
einen Trennkammerabschnitt, der zwischen dem Beschichtungskammerabschnitt
und einer Zutrittskammer sitzt. Die beiden Kammerabschnitte sind jeweils mit eigenen Molekularpumpsystemen
ausgerüstet. Der Isolations- oder Trennkammerabschnitt, der ein wesentlich größeres Volumen als die Zutrittskammer
besitzt, wird normalerweise auf geringerem Druck als die Beschichtungskammer oder der Beschichtungskaramerabschnitt
gehalten, so daß der Trennkammerabschnitt nicht nur mit der benachbarten Zutrittskammer in der erwähnten
Weise so zusammenwirkt, daß sich eine Erhöhung der Pumpwirk-
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saitikeit ergibt, sondern es wird auch noch die Reinheit der
Substrate und ihrer Stützen durch das außerordentlich gute Entgasen erhöht, das im Trennkammerabschnitt beim Absenken
des Druckes unter den Druckwert in der Beschichtungskammer auftritt, so daß beim Eintreten der Substrate in die Beschichtungskammer
diese weit sauberer sind. Es ergibt sich auch ein vielleicht noch' wichtigeres Spülen der Atmosphäre
des Beschichtungskammerabschnitts jedesmal»wenn ein Substrat
zwischen den Beschichtungs- und den Trennkammerabschnitten bewegt wird, da der im Trennkammerabschnitt herrschende
geringere Druck die Restatmosphäre in der Beschichtungskammer weiter abzieht«,
Die Arbeitskammer ist vorzugsweise in Form eines zylindrischen Druckgefäßes aufgebaut» Die zylindrische Druckwandausbildung
ergibt von vornherein eine größere Festigkeit gegenüber den durch den Druckunterschied auftretenden Kräften
als rechtwinklige Wände, die zur Erzielung der gleichen Festigkeit erheblich verstärkt werden müssen. Wegen der
Ausbildung der Arbeitskammer wird der Herstellungsaufwand des neuen Systems beträchtlich verringert.
Der bevorzugte Zugangskammeraufbau wird durch eine Druckwand gebildet, durch die eine relativ schmale längliche Kammer
mit rechtwinkligem Querschnitt bestimmt wird» Diese Kammerauslegung
entspricht allgemein der Sut,stratform und setzt
auf diese Weise das Pumpvolumen so herab, daß es schnell durch eine zugeordnete Grobvakuumpumpe evakuiert werden
kannο Die Länge der Zutrittskammer übertrifft leicht die
maximale Substratlänge, für die das System ausgelegt ist^
und ist erheblich geringer als die Arbeitskammerlänge, so
daß die Größen der durch die Druckunterschiede entstehenden Kräfte auf die Zutrittskammerwände gering gehalten werden.
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Ein Zwischenwandabschnitt erstreckt sich zwischen der Arbeits- und der Zutrittskammer. Die Zwischenwand wird durch
Tafeln gebildet, die hermetisch mit einer kreisförmigen
Arbeitskarnjner-Endwand verbunden sind, und die mit zunehmendem
Abstand von einer rechtwinkligen Öffnung in der Endwand zusammenlaufen. Die Übergangswand bestimmt eine rechtwinklige
innere Querschnittsform, die in Höhe und Breite zu den Zutrittskammerwänden hin abnimmt, mit denen die Platten gleichfalls
hermetisch verbunden sind. Eine Drucktüre liegt um die Arbeitskammeröffnung herum an und schwingt in das vergrößerte
Ende des Übergangswandabschnitts hinein auf, um einen
Druckausgleich der Kammer und gleichzeitig einen ungehinderten Durchtritt der Substrate an der Tür vorbei zu ermöglichen.
Bei einer dargestellten bevorzugten Ausführung der Erfindung wird ein System zum Sprühbeschichten großer Substrate
in kontinuierlicher Weise geschaffen mit einem Arbeitskamraersystem und mit Zutritts= sowie AusIeitungskammersystemen.
Das Arbeitskammersystera wird durch einen zentralen. Beschichtungskammerabschnitt
und Trennkammerabschnitte gebildet, durch .welche die Substrate in den Arbeitskammerabschnitt hinein und aus ihm herausgeleitet werdeno Die Trennkammerabschnitte
sind unabhängig voneinander, über Drucktüren mit de£" Beschichtung skammer verbindbar, die sich zwischen
den einzelnen Kammern befinden und durch die hindurch die Substrate bewegt werden« Die Trennkammer abschnitte wirken
jeweils mit den benachbarten Zutritts-= bzwo Ausleitkammern
so zusammen, daß die Substrate zwischen der entsprechenden Zutritts- bzw ο Ausleit-und der jeweiligen Trennkammer
bewegt v/erden können, während gleichseitig andere
Substrate beschichtet werden,, Die Trennkammerabschnitte
werden jeioreils bei einem Druck betrieben, der unterhalb
dem im Beschichtungskamraerabschnitt herrschenden liegt,
mit Ausnahme der Zeitpunkte, zu denen eine Verbindung
rait den jeweiligen Zutritts- hzvi„ Ausleitkammern besteht,
um den Druck in der jeweiligen Kammer in den Diffusionspumpbereich zu bringen=
Die Zutritts- bzwo Ausleitkammern sind miteinander verbindbar
und können auch dazu benutzt werden, jeweils teilweise Druck abzusenken, um die Gesamtpumpzeit zu reduzieren. Wenn
der Druck in einer der beiden Kammern auf einem sehr geringen Wert ist und eine Belüftung zur Atmosphäre hin erfolgen
soll, während gleichzeitig die andere der beiden Kammern sich bei Atmosphärendruck befindet und ein Abpumpen folgen
soll, werden die Kammern miteinander so verbunden, daß die Luft in der Kammer mit höherem Druck in die evakuierte Kammer
eingeführt wirdo Die Kammern werden dann voneinander
wieder getrennt und einzeln belüftet bzw» abgepumpt„
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung beispielsweise
näher erläutert; in der Zeichnung zeigt:
Figur 1 eine perspektivische Darstellung einer erfindungsgemäßen
Beschichtungsanlage,
Figur 2 einen Schnitt etwa nach der durch die Linie 2-2 in Figo 1 dargestellten Ebene,
Figur 3 eine Draufsicht auf einen Teil der Anlage nach Fig„ 1,
Figur 4 eine Seitenansicht des in Fig„ 3 dargestellten
Teils der Anlage nach Fig, I,
Figur 5 eine Draufsicht auf einen anderen Teil der Anlage nach Figo 1 und
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Figur 6 eine Seitenansicht des in Fig. 5 dargestellten Teils der Anlage nach Fig. 1.
Die erfindungsgemäß aufgebaute Großtafelbeschichtungsanlage
ist zum größten Teil in Fig. 1 dargestellt. Substrate in Form von Glasfenstertafeln 12 werden an Stützgestellen oder
Rahmen 14 angebracht und durch ein evakuiertes ' beitskammersystem
16 bewegt,in dem die Substrate9vorzugsweise
durch Kathodensprühen,beschichtet werden. Die Substratgestelle
14 werden durch ein Fördersystem 18 durch die Arbeitskammer 16 bewegt,und zwar geschieht das zunächst über
ein Zutrittskammersystera 2Osdem ein Ausleitkammersystem
auf der anderen Seite entspricht, wodurch eine im wesentlichen kontinuierliche und rasche Herstellung von beschichteten
Substraten ermöglicht ist.
Die Betriebsvorgänge des Arbeitskammersystems, der beiden
Zutritts— bzw. Ausleitkammersysteme 20, des Fördersystems
18 und der zugehörigen Anlagenbestandteile werden von einem Steuerpult 22 aus überwacht und geleitet, an das elektrische
Meldesignale abgegeben werden von verschiedenen Druck- und Lageanzeigeelementen. Diese Eingabe der Signale geschieht
über Eingangsleitungen, die schematisch durch die Linien angedeutet sind. Steuersignale von dem Steuerpult werden
zu den Anlagebestandteilen über eine
Ausgangsleitung 26 abgegeben. Das Steuerpult 22 enthält
eine Steuerschaltung für die Arbeitsvorgänge (nicht dargestellt) , die die Eingangssignale von den verschiedenen
Systemen der Anlage aufnimmt und die entsprechenden Ausgangssignale zum Betrieb der einzelnen Bestandteile der
Anlage erzeugt. Das Steuerpult 22 ist vorzugsweise auch mit von Hand zu betätigenden Vorrang-Eingabetasten und
-einrichtungen versehen, womit erforderlichenfalls Bestand—
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teile der Anlage unabhängig von der Verfahrenssteuerschaltung betrieben werden können<
>
Die elektrische Leistung für die verschiedenen Bestandteile der Anlage 10, beispielsweise für das Fördersystem 18, für
die Vakuumpumpen usw. wird von einer Stromversorgung 27 über eine Überkopfzuleitung gelieferte
Die beiden Zutritts- bzw» Ausleitkammersysteme 20 ermöglichen
das Einführen der Substrate in bzw» das Ausleiten der Substrate
aus der Anlage 10, ohne daß ein Belüften des Arbeitskammersystems auf Atmosphärendruck nötig ist„ Nach den Figo
und 3 bis 6 umfaßt dieses System 20 jeweils Zutritts- bzw» Ausleitkammern 30 bzwo 32, eine mit diesen Kammern verbundene
Grobvakuum-Pumpeinheit 34, sowie Eingangs- und Ausleit-Drucktore 36 bzwo 38, die zum Abdichten der Innenräume dieser
Kammersysteme gegen die Umgebungsluft dienen,,
Die Kammern 30 und 32 sind jeweils so ausgelegt, daß gerade zwei Substratgestelle 14 Seite an Seite ohne übermäßige
Freiräume zwischen den Kammerwänden und den Gestellen auf-
die
genommen werden können, wobei/an den Gestellen 14 befindlichen
gläsernen Fenstertafeln 12 einander gegenüberliegen» Das Kammerinnenvolumen wird auf diese Weise so klein wie
möglich gehaltene Die Kammern 30 und 32 sind identisch aufgebaut und zur Vereinfachung sind jeweils einander entsprechende
Teile mit den entsprechenden Bezugszeichen versehen» Die Kammern sind jeweils aus rechtwinkligen Druckwandplatten
40a, 40b, 40c und 40d ausgebildet, welche hermetisch an den Verbindungskanten miteinander verbunden sind,
so daß eine schmale, vertikal ausgerichtete Kammer mit einem rechtwinkligen Querschnitt bestimmt ist«Die Kammer ist nur geringfügig
langer als die Gestelle 14 und-bestimmt die Maximal-=
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länge der in der Anlage 10 zu verarbeitenden Glasfenster (bei dem dargestellten Aufbau sind dies annähernd 3,66 m
= 12 ft.).
Die Kammerwände werden durch I-Trägeranordnungen 41 verstärkt, wobei die einzelnen I-Träger in Längsrichtung der
Kammer Abstände voneinander aufweisen und die gesamte Kammerwand_von
außen umgeben. Die I-Träger jeder Anordnung sind mit der benachbarten Wandplatte verschweißt und die aneinanderstoßenden Enden der I-Träger sind auf Gehrung gesägt und
wieder aneinander verschweißt» Durch diesen Aufbau wird ein Brechen der Kammerwände unter Einfluß des Luftdruckunterschiedes
bei evakuierter Kammer vermiedene
Die dem Arbextskammersystem benachbarten Enden der Wandplatten 40a-4Od bilden einen Übergangsabschnitt 42 zwischen
der Zutritts- bzw. Ausleitkammer und dem Arbeitskammersystenu
Die Wandplatten laufen unter kleinen Winkeln zum Arbextskammersystem
hin auseinander und bilden so etwa einen Stumpf einer rechtwinkligen Pyramide,- der an seiner Grundfläche
hermetisch mit dem Arbextskammersystem verschweißt ist. Die auseinanderlaufenden Wandplatten sind mit ¥erstärkungsleisten versehen, während der Innnnraura dieses Übergangs=
abschnittes einen, rechtwinkligen Durchgang mit aur Arbeitskammer
hin zunehmender Querschnittsfläche bildete
Die Tore 36 und 38 sind wiederum identisch aufgebaut -und
jeweils sind itfieder entsprechende Bestandteile durch gleiche
Bezugszeichen gekennzeichnete Jedes Tor wird durch eine Drucktüre 44 gebildetg die mit der Eingangs= (bswo Aiasleit=)
kammerwand gelenkig verbunden istP und durch eine Türbetäti=
gung 46 (Fig. 3 und 4)o Die Türe 44 ist durch eine undurchdringliche rechtwinklige.Stahlplatte gebildet, die längs
einer Seite mit"der benachbarten vertikalen Kammerwand
durch ein Gelenk 48 verbunden ist» Die Türe bestimmt einen
Umfangs-Dichtabschnitt, der gegen das Ende der Kammer bei
geschlossener Türe anliegt. Der Dichtabschnitt wird vorzugsweise
durch eine elastische Dichtung von der Art eines O-Ringes gebildet, die in eine Urnfangsnut an der Tür so eingesetzt
ist, daß sie bei geschlossener Tür an dem Kammerende anliegt und den Umfang der Substrat-Aufnahmeöffnung abdichtet»
Zum ^ürgelenk 48 gehört eine über eine Ge-
lenkklammer 52 an der Kammerwand befestigte Drehwelle oder Gelenkwelle 50, die einen Gelenkhebel um die Wellenachse drehbar
hält ο Der Gelenkhebel ist durch einen Scharnierkörper 55 gebildet, der von der Gelenkwelle getragen wird und vertikal
voneinander einen Abstand aufweisende Arme 56 besitzt, die davon abstehen und schwenkbar mit der Tür längs seiner
vertikalen Mittellinie verbunden ist» Die Schwenkverbindung zwischen den Gelenkarmen 56 und der Türe ermöglicht es, daß
diese im geschlossenen Zustand satt an der Kammerendwand an-= liegto Der Gelenkkörper 55 besitzt einen Gelenkarm 58, der
von der Tür absteht und mit der Betätigung 46 verbunden isto
Die Betätigung 46 ist vorzugsweise ein pneumatisch betätigter Zylinder, dessen Zylinderteil an der Eingangskammerwand und
dessen Kolbenstange an dem Gelenkarm 58 befestigt isto Jeder Zylinder wird durch ein (nicht dargestelltes) pneumatisches
Ventil gesteuert, das wiederum elektromagnetisch durch die Ausgangssignale vom Steuerpult 22 zum Öffnen und Schließen
der jeweiligen Zutritts- bzw» Ausleitkammertore 36 bzw» 38
betätigt wirdo Der Betriebsdruck für die Betätigung 46
wird von einer (ebenfalls nicht dargestellten) Druckluftquelle erhalten»
Jedes Drucktor 36 bzw» 38 ist mit eine« (nicht dargestellten)
Lagemeldeschalter . versehen, um anzuzeigen, ob die
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Türe offen oder geschlossen ist. Diese Schalter sind mit dem Steuerpult 22 so über Leitungen verbunden, daß das Steuerpult
Türstellungssignale erhält, um Betriebsentscheidungen freizugeben oder zu sperren,, Die Schalter sind von handelsüblichem
Aufbau und an geeigneten Stellen angebracht.
Die Grobvakuum-Pumpeinheit 34 dient z^. Evakuierung der Zutritts- bzw. Ausleitkammem3O bzw« 32 und UHif&^c ainen Purapverteiler
60 zur Verbindung beider Kammern mit den Einlassen von Grobvakuum-Pumpen 62, 64 und 66 (Fig. 3). Der Verteiler
60 besteht vorzugsweise aus einem Rohrs das ein Pumpabsperrventil
67, Kammerabsperrventile 68 zur Abtrennung der jeweiligen Kammern vom Rest des Verteilers 60 und Belüftungsventile 69 zum Belüften der jeweiligen Kammer mit Atmosphärendruck
enthält.
Das Verteilerrohr erstreckt sich zwischen der Zutritts- und der Ausleitkammer längs des Arbeitskammersystems und besitzt
verzweigte Endens die mit den jeweiligen Kammern 30 bzw. 32
in Verbindung stehen. Die Pumpeneinlässe sind mit dem Verteiler
60 über eine T-Verbindung und das Purapenabsperrventil 67 verbunden. Das Ventil 67 kann geschlossen werden, um
eine Verbindung der beiden Kammern miteinander ohne gleichzeitige Verbindung mit den Grobvakuum-Pumpen zu ermöglichen*
Jedes Kammerabsperrventil 68 ist zwischen den jeweiligen verzweigten Rohrenden und dem Rest des Verteilerrohrs 60
angeordnet, während jedes Belüftungsventil 69 zwischen dem zugehörigen Absperrventil und der Kammer sitzt. Die Verwendung
von Rohrverzweigungsenden vergrößert den Strömungsbereich für die von der jeweiligen Kammer abgepumpte und in
die jeweilige Kammer eingeleitete Luft. Während der Belüftung ergibt, der relativ große Strömungsbereich der verzweigben
Rohrenden eine Begrenzung der Geschwindigkeit, mit der die Atmosphärenluft in die Kammern einströmt.Extrane
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Strömungsgeschwindigkeiten der in die begrenzten Kammern einfließenden Luft könnten sonst so große Turbulenz erzeugen,
daß die Substrate beschädigt werden,,
Die Absperr- und Belüftungsventile werden elektromagnetisch durch jeweilige Ausgangssignale vom Steuerpult 22 gesteuert
und es können geeignete handelsübliche Ventile verwendet werden. Die Ventile werden vorzugsweise durch Druckluft servobetatigt,
die von der gleichen Quelle wie die Zylinderbetätigungsluft stammte
Die Pumpen 62, 64 und 66 sind elektromotorisch angetriebene
Verdrängerkolben-Pumpen, die in dem Bereich besonders wirksam sind, in dem sie Gas abpumpen, das noch genügend dicht
ist, um die normalen Fluidfließeigenschaften zu zeigen^ das
trifft normalerweise für Gas mit Absolutdrücken über 66,62o10 Pa
(500 jUtTors.) zu= Auch der Betrieb der Pumpen wird durch Ausgangssignale
vom Steuerpult 22 eingeleitet und beendet, die über die Leitungen 26 zugeführt werden= Jeder Pumpeneinlaß ist
direkt mit dena Verteiler 60 verbunden.
Die bevorzugten Pumpen besitzen jeweils eine Pumpkapazität von etwa 24,07 m /min (=850 cft/min)s bei Atmosphärendrucic
an dem Einlaß gemessene Die tatsächliche Pumpflußrate nimmt
ab, wenn die Pumpen eine der Kammern 30 oder 32 evakuieren und die Gasdichte zu einem Wert hin abnimmt, an dem ein
Übergang zwischen Fluid strömung und Molekularströmung ein=
tritt, was allgemein bei einem Druckwert von 66,62 ° 10 Pa (= 500ßfij Tors^- eintritt; dann erfolgt eine bemerkenswerte
Verringerung der Pumpgeschwindigkeit o Diese Abnahme tritt
auf, weil die Pumpeinlässe relativ kleine Flächen aufweisen und die statistische Wahrscheinlichkeit, daß Gasmoleküle
die Pumpeinlässe erreichen,, sehr gering wird, wenn die Anzahl der verfügbaren Moleküle stark abnimmto
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Die Verwendung von Grobvakuumpumpens die beim Abpumpen von
Gas rait Fluidfließcharakteristik äußerst wirksam sind, stellen einen wichtigen Überlegungsteil dar, da diese Pumpen
relativ billig in der Beschaffung sind und eine Evakuierung der relativ kleinvolumigen Kammern 30 und 32 von
Atmosphärendruck in den Bereich von 93,27 ° 10~ bis 66,62
10~ Pa (= 700 bis 500/AiTojrr) in relativ kurzer Zeit ermöglichen»
Es wird dabei darauf hingewiesen daß Verdrängerkolben-VakuuEipumpen
erhältlich sind, die infolge ihrer Auslegung relativ wirksam bis in den Bereich von 40 ° io Pa C= 300A,Torx) arbeiten.
Andere Pumpen, beispielsweise Axialstrom-Turbinenpumpen,können auch statt der beschriebenen Pumpen 62, 64
und 66 eingesetzt werden, jedoch sind solche Pumpenarten außerordentlich kostspielig, insbesondere in den Größen, die
zur Verdoppelung des Kapazitäts- und Effektivdruckbereiches der dargestellten Pumpen in Zusammenhang mit der Anlage 10
erforderlich sind« Die Verwendung dieser Art vonPumpen in
einer erfindungsgemäß aufgebauten Anlage ist jedoch nicht besonders vorteilhaft, da ihre hohe Wirksamkeit im Bereich unter
66,62 · io Pa C= 500 A»Tor?) normalerweise nicht erforderlich
ist.
Das Zutritts- bzw» Ausleitkammersystem 20 ist mit geeigneten
Druckgebern bst-J= «Heßeinrichtungen (nicht dargestellt) versehen,
die den Druckwert in den jeweiligen Kammern in elektri=
sehe Signale wandeln und sum Steuerpult 22 hin meldesio Die
Druckgeber sind vorteilhafterweise so ausgelegt, daß Ausgangs= signale abgegeben werden, wenn die jei^eils zugehörige Kammer
sich bei Atraosphärendruclc und .bei einest erforderlichen Grobvalcuumdruck,
beispielsweise bei 93,27 ° 1O= Pa C= 700,
befindet ο Diese Aus gangs sigma Ie i-jerden über die Leitung 24
dem Steuerpult 22 zugeleitet und bei der Steuerung öler Grob-
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Vakuumpumpen, der verschiedenen Sperrventile, des Fördersystems und der Drucktore benutzt, die mit der jeweiligen Kammer verbunden
sind.
Das Arbeitskammersystem umfaßt einen zentralen Beschichtungskammerabschnitt
70 und Trennkammerabschnxtte 72 sowie 749 die
jeweils zwischen einem Ende des Beschichtungskammerabschnitts und der Zuführ- bzw= Auslextkammer sitzen» Die Substrate werden
nacheinander durch die Trennkammer 72, die Besrhichtungskaramer
70 und die Trennkaituner 74 während eines Beschichtungsdurchlaufes
hindurchgeleitet ο Die Beschichtungs- und die Sperrkammern werden durch aufeinanderfolgende, mit Flanschen versehene Druckwandabschnitte
gebildet, die an den Endflanschen luftdicht verschweißt sind« Die jeweiligen Enden der gesamten Arbeitskammer
sind durch kreisförmige Endplatten 76 gebildet, die luftdicht am Umfang mit dein benachbarten Druckwandabschnitt verschweißt
sind ο Die Substratgestelle bewegen sich zwischen dem Zutritts-=
bzw« Auslextkammersystem und den benachbarten Trennkammern über
rechtwinklige Öffnungen, die in den Endplatten.76 ausgebildet sind, und den mit ihnen ausgerichteten benachbarten Zutritts-
bzw» Ausleitkammern entsprechen „ Die Enden der jeweiligen
Übergangsabschnitte 42 sind mit den Endplatten 76 um die Öffnung herum verschweißt und die Verstärkungsstege der Übergangswände sind gleichfalls mit den Endplatten verschweißt»
Übergangsabschnitte 42 sind mit den Endplatten 76 um die Öffnung herum verschweißt und die Verstärkungsstege der Übergangswände sind gleichfalls mit den Endplatten verschweißt»
Drucktore öffnen und schließen die Verbindung zwischen der
jeweiligen Trennkammer und der zugeordneten Zutritts·= hzi-jo
Auslextkammerο Die Drucktore sind identisch aufgebaut und es
sind auch hier gleiche Bestandteile mit entsprechenden Bezugsaeichen versehen. Jedes Tor besitzt eine Drucktüre 04, die
gelenkig mit der Endplatte 76 so verbunden ist9 daß sie, wie
in den Figo 3 und 5 gestrichelt eingezeichnet,, sich in den
Übergangsabschnitt 42 hinein öffnen, sowie eine Türbetätigung 86 ο Auch der Betrieb der Türbetätigung 86 zum Öffnen und
jeweiligen Trennkammer und der zugeordneten Zutritts·= hzi-jo
Auslextkammerο Die Drucktore sind identisch aufgebaut und es
sind auch hier gleiche Bestandteile mit entsprechenden Bezugsaeichen versehen. Jedes Tor besitzt eine Drucktüre 04, die
gelenkig mit der Endplatte 76 so verbunden ist9 daß sie, wie
in den Figo 3 und 5 gestrichelt eingezeichnet,, sich in den
Übergangsabschnitt 42 hinein öffnen, sowie eine Türbetätigung 86 ο Auch der Betrieb der Türbetätigung 86 zum Öffnen und
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Schließen der Drucktüre wird durch Ausgangssignale vom Steuerpult 22 über die Leitungen 26 beeinflußt.
Die Drucktüre 84 und ihr Gelenk sind allgemein entsprechend der Drucktüre 44 und dem Gelenk 48 aufgebaut und sind in
den Einzelheiten deswegen nicht beschrieben, bis auf die bestehenden kleinen Unterschiede des Aufbaus. Die Betätigung
86 ist über der Trennkammer-Druckwand angebracht und wird durch einen Pneumatikzylinder gebildet, wie die Betätigung
46. Der Zylinder bewegt die Türe 84 über eine Welle 8β, die sich an der Türgelenkachse von der Betätigung nach unten erstreckt
und die Wand des Übergangsabschnittes mit einer umgebenden Dichtungsanordnung durchdringt. Die Welle 88 bildet
die Gelenksachse und ist mit der Drucktür so verbunden, daß sie diese bewegt. Die Aufnahme der offenen Drucktüre 84 im
Übergangsabschnitt 42 gibt genügend Freiraum, so daß die ;estelle an der Türe vorbeikommensund es wird gleichzeitig das
Volumen der Zutritts- bzw. Ausleitkammer und des Übergangs— abschnitts möglichst klein gehalten, um ein schnelles Auspumpen
des Zutritts- bzw, des Ausleitkammersystems zu ermöglichen.
Die Türen zwischen Zutritts- (bzitf. Ausleit-) und Trennkamraer
sind ebenfalls mit Lagemeldeschaltern ausgerüstet, um den
Zustand des vollen Öffnens und den Schließzustand der Tore
anzuzeigen. Diese (nicht gezeigten) Schalter sind mit dem Schaltpult über die Leitungen 26 verbunden, um Signale zu
übermitteln, die eine Bewegung der Substrate in der Anlage, den Pumpbetrieb usw. freigeben bzw..sperren. Die Schalter
können handelsüblich aufgebaut und beispielsweise.in der Nähe der beweglichen Teile der Türbetätigung 86 angeordnet
sein.
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DieSubstratgestelle 14 werden in die Anlage 10 hinein und aus ihr heraus durch das Fördersystem 18 bewegt, das nur
schematisch dargestellt ist= In der bevorzugten Ausführung der Erfindung ist das Fördersystem durch unabhängig voneinander
arbeitende, miteinander ausgerichtete^Förderabschnitte
18a bis 18e gebildet, wobei in jeweils einem Kammerabschnitt ein Förderabschnitt angeordnet ist» Jeder Förderabschnitt
wird durch eine Reihe von Gestell-Stützrollen gebildet, die in einem Rahmen an der Bodenseite der jeweiligen Kammer drehbar
angebracht sindo Ein (nicht dargestellter) Elektromotor
mit steuerbarer Geschwindigkeit und Drehrichtung treibt die Rollen jedes Förderabschnittes über eine Antriebswelle
an, die über eine Dreh-Dichtungsdurchführung in der zugehörigen Kammerwand in das Kammerinnere eingeführt ist und beispielsweise
über Antriebsketten, die zwischen der Welle und den angetriebenen Förderwalzen sitzeruDie Elektromotore sind
wiederum einzeln über Ausgangssignale gesteuert, die von dem Steuerpult 22 über die Leitungen 26 abgegeben werden,
wobei die Antriebsleistung von der Stromversorgung 27 züge·=
leitet wirdο
der Förderabschnitte Einander benachbarte Enden/besitzen einen genügend großen
Abstand voneinander, daß sich ein Freiraum zum Öffnen der
Drucktüren zwischen den Kammern ergibt» Die Gestelle 14 sind ausreichend lang und starr, um ein Überbrücken der
Zwischenräume zwischen den Förderabschnitten zu ermöglichen,
wenn sich die Gestelle von einer Kammer in die andere bewe=
gen»
Jeder Förderabschnitt ist mit Stellungstransduktoren, vorzugsweise (nicht dargestellten) elektrischen Sehalteranordnungen
versehen, die die Anwesenheit bzwo Abwesenheit von
Substratgestellen an vorbestimmten Plätzen längs des jeweiligen
Förderbandabschnittes erfassen» Auch diese Schal=
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teranordnungen sind über die Leitungen 24 mit dem Steuerpult
22 elektrisch verbunden und ermöglichen eine Steuerung der zugeordneten Steuerabschnitt-Antriebsmotore, Pumpen usw.
unter Beeinflussung durch die durch die Lageerfassungsschalter gelieferten Signale.
Die Trennkammern besitzen folgende Funktionen: Sie ermöglichen, daß die Substratgestelle zu dem Arbeitskammersystem
gelangen und von diesem entfernt werden können, während an anderen Gestellen befindliche Substrate gerade beschichtet
werden; sie erhöhen die effektive Pumpgeschwindigkeit und die Wirksamkeit der Anlage 10 bei Verwendung von relativ
preiswerten Pumpen und sie erhöhen die Qualität der beschichteten Substrate durch effektives Entfernen möglicher
Verunreinigungen aus der Beschichtungskammer. Zusätzlich bewirkt die vordere Trennkammer, von der die Substrate in
die Beschichtungskammer eingeführt werden,eine Verringerung
der möglichen Menge von Verunreinigungen, die sonst in die Beschichtungskammer mit den Substraten und Gestellen eingeführt
werden könnten. Die Trennkammern sind wiederum identisch aufgebaut und deswegen wird nur die Trennkammer 72
zwischen der Zutrittskammer und der Beschichtungskammer im einzelnen beschrieben.
Die Trennkammer 42 wird durch zwei miteinander verbundene zylindrische Druckwandabschnitte gebildet, die an einem Ende
durch die Endplatte 76 und am anderen Ende durch eine Zwischenwand 90 abgeschlossen sind. Dazu gehört ein zugeordnetes
Vakuumpumpsystem. Ein Drucktor 92 (Fig. I)9 das ztar Trennwand
90 gehört, ermöglicht eine Bewegung der Substratgestelle
14 durch die Trennwand 90 zwischen der Trennkammer 72 und der Beschichtungskammer und verbindet damit auch die
Atmosphäre der beiden Räume miteinander. Die Substratgestelle werden durch die Trennkammer 92 an-dem Förderäh-
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schnitt T8b bewegt, der mit dem Förderabschnitt 18a in der
Zutrittskammer ausgerichtet ist.
Die Trenn- und die Zütrittskammer sind so aufgebaut und angeordnet,
daß dann, wenn Gestelle von der Zutrittskammer zur Trennkammer überführt werden müssen, die mit den Kammern
verbundenen Vakuumpumpen nicht im Übergangs-Druckbereich zwischen Fluid- und Molekularströmung betrieben werden müssen.
Das Trennkammervolumen ist groß im Vergleich zum Zutrittskammervolumen, wobei die zylindrische Druckwand einen
Durchmesser von ca. 3,05 in (= 10 ft) und eine Länge von
etwa 4,88 m (= 16 ft) besitzt» Das Volumenverhältnis Zütrittskammer zu Trennkammer liegt in der bevorzugten Ausführung
der Erfindung etwa bei 1 s 4. Wenn der Trennkammerdruck bei einem niedrigeren Wert ist als der Druck in der
Zutrittskammer und die Drucktüre 84 geöffnet wird, dehnt sich die in der Zutrittskammer befindliche Atmosphäre in die
Trennkammer hinein aus und Druckgleichheit stellt sich ein, wobei der Enddruck näher am ursprünglichen Druck in der
Isolationskammer als am ursprünglichen Druck in der Zutrittskammer liegt.
Ein Molekular-Strömungs-Vakuumpumpsystem 100 (Fig. 1 und 3)
ist mit der Trennkammer zur schnellen Evakuierung auf extrem niedrige Druckwerte von beispielsweise Absolutdrücken zwischen
1,332 · 10"6 und 133,2 - 10~ pa (= o,Ol bis O,OOl^y Toee)
verbundene Bei der bevorzugten und dargestellten Ausführung
besteht das Pumpsystem 100 aus einer handelsüblichen Öldiffusionspumpe
102 und den.üblichen zugehörigen mechanischen Pumpen 104 zum.Abpumpen des Auslaßgases von der Diffusionspumpe
c. Die Kapazität der bevorzugten Öldiffusionspumpe 102
wird durch die Angabe "889 mm- bzw« 914 mm"Pumpe gegeben,
da der Pumpeneinlaß einen Durchmesser von 889 bzw. 914 mm (= 35 bzisfo 36 inch) besitzt«, Die Fähigkeit einer Molekular-
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strompumpe, Gas aus einem evakuierten Raum zu entfernen, steht in direkter Beziehung zur Fläche .des Pumpeneinlasses
und dementsprechend ermöglicht die große Einlaßöffnung
der Pumpe 102 ein relativ schnelles und effektives Abpumpen der Gasmoleküle aus der Trennkammer.Die Trennkaminerwand besitzt
einen Pumpeneinlaß-Leitaufbau 106, der integral mit der Wand aufgebaut ist und das Pumpsystem 100 ist über einen
Montageflansch mit dem Einlaßleitaufbau 106 verbunden.
Der Betrieb des Pumpabschnitts 100 wird gleichfalls durch Steuersignale eingeleitet und beendet, die das Steuerpult
22 über die Leitungen 26 abgibt, während die zum Betrieb des Pumpsystems erforderliche Leistung von der Stromversorgung
27 stammt.
Das Drucktor 92 wird durch eine Drucktüre 110 gebildet f die
über ein Gelenk mit der Trennwand 90 verbunden ist und sie wird durch eine Betätigung 114 (Fig. 3) geöffnet und geschlossen,
die außen an der Arbeitskammer befestigt ist. Die Betätigung 114 wird wiederum durch Steuersignale gesteuert, die vom
Steuerpult 22 über die Leitungen 26 zugeleitet werden. Drucktüre, Gelenk und Betätigung sind im wesentlichen in
der gleichen Weise aufgebaut, wie es bei den vorher beschriebenen Drucktoren zwischen den Zutritts- und Trennkammern dargestellt wurde.
Die Trennkammer 74 ist im wesentlichen ein Spiegelbild der Trennkammer 72 und es sind alle Kanunerbestandteile identisch
mit den entsprechenden der Kammer 72 ausgeführt, falls nicht anders angegeben. Entsprechend ist der Aufbau der Bestandteile
74 nicht im einzelnen beschrieben und die Bezugszeichen sind wiederum die gleichen wie bei den identischen Bestandteilen
der Kammer 72.
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Beide Trennkanunern sind mit entsprechenden (nicht dargestellten)
Druckgebern versehen, die elektrische Ausgangssignale entsprechend den in den Kammern herrschenden Drücken
abgeben» Diese Ausgangssignale werden dem Steuerpult 22 zugeführt und dort überwacht und verarbeitet, so daß eine Bewegung
der Substrate in die Trennkanunern und aus diesen heraus, der Betrieb der Pumpsysteme usw. in Abhängigkeit von
den erfaßten Kammerdrücken freigegeben oder gesperrt wird. Ebenfalls sind die Drucktore 92 mit Türstellungs-Erfassungsschalteranordnungen
ausgerüstet, die mit dem Steuerpult 22 verbunden sind, um anzuzeigen, ob die Türen geöffnet oder
geschlossen sind, so daß auch hier wieder der Betrieb der Substratbewegung und der Betrieb der Pumpen entsprechend ■
gesteuert werden kann»
Die Trennkammer 72 unterscheidet sich von der Trennkammer nur darin, daß in der Kammer 72 zwischen den Laufwegen der
Substrate ein Heizer 118 angeordnet ist, um eine weitere Vorbereitung der Substrate zur Beschichtung zu ermöglichen.
Durch den Heizer 118 werden die Substrate und die Gestelle aufgeheizt, um dadurch daran befindliche Feuchtigkeit durch
Verdampfen in die Atmosphäre der Trennkammer gelangen zu lassen ο Es ist auch wieder darauf hinzuweisen, daß eine beträchtliche
Feuchtigkeitsmenge an den Substraten und den Gestellen während des Evakuierens der Zutrittskammer verbleiben
kann und ein Aufheizen der Substrate und der Gestelle in der Trennkammer 72 ergibt einen wichtigen zusätzlichen Vorbereitungseffekt
ο Der Heizer 118 ist vorzugsweise ein Strahlungsheizer, der eine Strahlung mit einer Frequenz abstrahlt,
die zur Absorption durch die Substrate und Gestelle abgestimmt ist» Zs kann alternativ auch ein Glimmentladungs·=
heizer benutzt werden, falls erforderliche Der Heizer 118 ist in der Kammer 72 von einer Decken-Zugangsoffnung a«s
abgehängt und elektrisch mit der Stromversorgung 27 bunden»
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Die Beschichtungskammer 70 wird in den zylindrischen Druckwänden zwischen den Trennwänden 90 bestimmt und ist in
der dargestellten Ausführung der Erfindung zum Beschichten von sich hindurchbewegenden Substraten unter Benutzung von
Gleichspannungs-Aufsprühverfahren bei Hoch- bzw. Höchstvakuum
in einer inerten oder mindestens chemisch überwachten Atmosphäre ausgerüstet. Die bevorzugte Beschichtungskammer
ist zumindest etwas größer, als es der doppelten Länge der Substratgestelle 14 entspricht, um zu ermöglichen, daß
die Gestelle und die Substrate in ihrer Gesamtheit sich in der Beschichtungskammer befinden, wobei die beiden Tore 92
vor und nach dem Beschichten geschlossen sind. In anderen Worten, die Beschichtungskammer ist ausreichend lang, um
ein Beschichten der Substrate bei geschlossenem Zustand beider Tore 92 zu ermöglichen.
Die Beschichtungskammer wird durch ein Molekularstrom—Vakuumsystem
evakuiert, das aus zwei Molekularstrom-Vakuumpumpen 120 gebildet wird, die gleichzeitig betrieben werden, so daß
der Absolutdruck in der Beschichtungskammer während des Beschichtungsvorgangs
im Bereich von 266,5 · 10*" bis 6,662· 10 Pa (= 2 bis 50^ Ton?) gehalten wird. Jede dargestellte
Pumpe 120 ist eine 508mm- (20 inch) Öldiffusionspumpe, die an einer Einlaßleitung 120-angebracht und mit einer mechanischen
Vorpumpeneinheit 124 versehen ist. Die Pumpeneinlaßleitungen sind den beiden Enden der Beschichtungskammer
benachbart angeordnet, so daß die Gasmoleküle allgemein von dem mittleren Teil der Beschichtungskammer weg wandern, in
dem der Beschichtungsvorgang stattfindet· Auch der Betrieb der Pumpe 120 wird durch Signale gesteuert, die das Steuerpult
22 über die Leitungen 26 abgibt.
Bei der bevorzugten Anlage 10 ist der Zentralabschnitt der Beschichtungskammer mit einer Reihe von mit Abstand ange-
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ordneten Zugangsoffnurigen 126 versehen, die an der Oberseite
der Kammer angeordnet und mit der Mittelachsenebene der Kammer ausgerichtet sind. Jede Zugangsöffnung 126 ist mit
einem Montageflansch umgeben, an dem eine Sprühelektrodenanordnung
126 befestigt und an Ort und Stelle abgedichtet werden kann (Figo 2)o Die Öffnungen 126 sind so angebracht,
daß eine Sprühelektrode jeder Elektrodenanordnung sich nach unten in die Beschichtungskammer zwischen die Substrat-Stütz
gestelle erstreckt» Bei der dargestellten Ausführung sind zwei Elektrodenanordnungen in getrennte Zugangsöffnungen
eingesetzt und abgedichtet9 während die verbleibenden Öffnungen
mit Deckeln dicht abgeschlossen sind, die entfernbar auf die jeweiligen Montageflansche aufgesetzt sind. Jede
Elektrodenanordnung enthält eine einzige herabhängende Kathodenelektrode 130 (Fig„ 2), die gleichzeitig Material auf
beide Substrate aufsprühen kann, während sie an gegenüberliegenden Seiten der Elektrode vorbeibewegt werden»
Jede Elektrode 130 ist elektrisch mit einer Gleichspannungs-Leistungsversorgung
verbunden, die handelsüblich aufgebaut sein kann und als im Gehäuse 132 (Fig. 1) enthalten dargestellt
istο Ein Kühlmittel, vorzugsweise Wasser, wird über
aus Isolierstoff bestehende Rohre der Anordnung zugeführt„
Leistung und Kühlmittel werden der Elektrode 130 durch eine Elektroden-Stützplatte 134 zugeführt, die auf den entsprechenden
Flansch der Zugangsöffnung aufgesetzt und mit ihm
abgedichtet i
Die genannten Elektrodenanordnungen sind vorzugsweise identisch ausgeführt, so daß die Substrate mittels einer Elektrode
beschichtet und dann, wenn das Sprühmaterial dieser Elektrodenanordnung ^verbraucht ist, von der anderen Elektrode
beschichtet werden k,öWen'„Wenn mehrere identische Elektroden
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vorgesehen sind, kann die Zeit zwischen dem Elektrodentausch
verlängert werden. Beim Elektrodentausch muß die Anlage auf Atmosphärendruck gebracht werden, wodurch sich
ein Verlust an Produktionszeit und gleichzeitig eine Verunreinigung der gesamten Kammer ergibt. Die dargestellte
Beschichtungskammer besitzt vier Zugangsöffnungen, in die jeweils eine Elektrodenanordnung eingesetzt werden kann.
Wie bereits· erwähnt, wird das Aufsprühen in einer beeinflußten
oder^Überwachten Atmosphäre durchgeführt.In Fig. 1 ist gezeigt,
daß eine Argongasquelle 140 in Form eines Tanks odermehrerer solcher Tanks, die mit komprimiertem Argon befüllt
sind, mit der Arbeitskammer über eine Versorgungsleitung und ein Steuerventil 144 verbunden ist«. Das Gas gelangt in
die Beschichtungskammer über mit Vertikalabstand angeordnete Düsen, die im Zentralabschnitt der Beschichtungskammer, mit
Elektroden ausgerichtet, angeordnet sind. Durch die Düsen wird das Argon zu den Elektroden zwischen den Substratgestellen
geleitet, so daß ein Vorrat von Ionisiergas in der Nähe der Elektroden vorhanden ist. Die Strömungsgeschwindigkeit
des Argons in die Beschichtungskammer wird durch das Steuerventil 144 und die Düsen begrenzt und wird so eingestellt,
daß der Druck in der Beschichtungskammer im genannten Bereich zwischen 266,5 · 10 bis 6,662 · 10 Pa (= zwischen 2 und
/*Torr)gehalten werden kann, wobei die Pumpen 120 während des
Beschichtungsvorgangs weiterarbeiten.
Die bevorzugte Aufsprühelektrodenanordnung und die zugehörige Ausrüstung ist im einzelnen in der US-Patentanmeldung
Seriennummer 971 196 vom 20.12.1978 beschrieben. Der Betrieb dieser Ausrüstung wird durch Steuersignale beeinflußt, die
ebenfalls von dem Steuerpult 22 über die Leitungen 26 abgegeben werden.
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Die Beschichtungskammer ist gleichfalls rait einem (nicht
gezeigten) Druckgeber oder -meider ausgerüstet, der Druckanzeigesignale an das Steuerpult 22 abgibt. Das Steuerpult
22 überwacht den Druck in der Druckkammer, um ein Stabilisieren beim erwünschten oder erforderlichen Beschichtungsdruckwert
zu ermöglichen.
Die Anlage 10 wird zum Betrieb vorbereitet, indem die zugehörigen Elektrodenanordnungen in die Beschichtungskammer eingesetzt
und mit der Strom- und Kühlmittelversorgung verbunden werden, indem die Argonquelle mit der Kammer verbunden wird
und die Arbeitskammer sowie die Trennkammern auf ihre Betriebsdrücke evakuiert werden. Da die Diffusionspumpen erst
mit derEvakuierung einer Kammer beginnen, wenn deren Innendruck kleiner als etwa 26,6 · 10 Pa (= 200/l^Torc) ist, muß
die Anlage in diesen Druckbereich durch das Grobvakuum-Pumpsystem abgepumpt werden. Das heißt, es werden zunächst die
Tore 36 und 38 geschlossen und die übrigen Innendrucktore geöffnet, die Sperrventile 67 und 68 geöffnet und die Grobvakuumpumpen
in Betrieb gesetzt. Die Kammern werden zunächst ziemlich schnell auf einen Druck von 66,62·ιο pa (= SOOyt^Tor
abgepumpt; unterhalb dieses Bereichs verlieren die Grobvakuurapumpen
sehr schnell an Wirksamkeit, da das abgesaugte Gas seine Fluidstromeigenschaften verliert und Molekularstromeigenschaften
zu zeigen beginnt. Dieser Übergang fängt, wie
_3 bereits erwähnt, im Bereich um 66,62 · 10 Pa (= 500
an. Jedoch ist ein Betrieb der Grobvakuumpumpen noch in reduzierter
Wirksamkeit möglich, bis der Kammerdruck auf 20 bis 26,6 χ 10 Pa (= 150 bis 200 .^, Torr-) abgesunken ist. Das erfordert
eine-beträchtliche Zeit, da9 wie bereits angeführt,
die Einlaßöffnungen der Grobvakuumpumpen relativ klein sind.
Wenn der Systemdruck in den Kammern genügend weit abgesunken ist, so daß der Betrieb der Diffusionspumpen ermöglicht wird,
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werden die Türen 84 geschlossen, um die Zutritts-bzw. dieAbleitkamraer von dem Arbeitskammersystem zu trennen
und alle Diffusionspumpen werden eingeschaltet. Gleichzeitig werden die Absperrventile 67 und 68 geschlossen,
um die Zutritts- und die Ausleitkammer voneinander und
vom Grobvakuum-Pumpsystem abzutrennen. Die Diffusionspumpen senken den Systemdruck relativ schnell in einen Bereich von
einigen 100 · lo~ Pa (einigen^Torr) ab.
Die Pumpgeschwindigkeit der Diffusionspumpen wird in einem
gewissen Ausmaß durch die "Unsauberkeit11 der Arbeitskammersysteme
in ihrem Inneren beeinflußt. Jedesmal, wenn das Arbeitskammersystem geöffnet und der Umgebungsluft ausgesetzt
wird, werden Verunreinigungen in die Kammern eingeleitet. Es ist beispielsweise unvermeidbar, daß Wasserdampf und
Gasmoleküle von Luftbestandteilen an den Kammerwänden eingefangen werden. Ebenfalls können organische Substanzen auf
eine Vielzahl von Arten eingeführt werden. Wenn das Arbeitskammersystem eine relativ große "Verunreinigung" aufweist,
wird die zur Druckabsenkung erforderliche Zeit verlängert, da erst eine Anzahl von Verunreinigungsmolekülen aus der
Kammer "abgegast11 werden muß. Nach dem Abgasen der wesentlichen Menge der im Arbeitskammersystem enthaltenen Verunreinigungen
fällt der Druck in dieser Kammer vorzugsweise unter Beeinflussung
durch die Diffusionspumpen 102 in den Druckbereich zwischen 1,332 · 10" und 133,2 · lo" Pa (= 0,01 bis Ο
ab. -
Die zum Evakuieren der Anlage erforderliche Zeitlänge ist unterschiedlich, wie bereits besprochen, jedoch dauert die
Druckabsenkung im Grobvakuumbereich auf etwa 26,65·1Ο~ Pa (etwa 200 ytvporc) normalerweise um 45 Minuten. Wenn die
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Kammern "rein" sind, wenn beispielsweise nur ein Elektrodenwechsel
mit der zugehörigen Belüftung vorgenommen wurde, kann die gesamte Absenkung auf den erforderlichen Enddruck
in etwa einer Stunde beendet sein. Wenn die Anlage vollständig an Atmosphärenluft geöffnet wurde, wobei Betätigungen
in den Kammern ausgeführt wurden, kann eine wesentliche Verlängerung der Pumpzeit eintreten.
Nachdem das anfängliche Abpumpen beendet ist, werfen die
Atmosphäre in der Beschichtungskammer und die Betriebsdrücke eingestellt. Um dies zu erreichen, werden die Tore 92 geschlossen,
damit die Beschichtungskammer abgesperrt ist und das Steuerventil 144 für die Argonquelle wird geöffnet, um
Argon in -dia Beschichtungskaminer einzuleiten. Es wird ein
aureichender Argonstrom in die Beschichtungskammer vorgesehen, um eine Atmosphäre mit einem Druck zwischen 3,33 · 1O~
und 6,66 · 10 Pa (= 25 bis 50/"Torr) aufrechtzuerhalten,
wobei beide Diffusionspumpen 120 in Betrieb sind. Dieser Druck wird aufrechterhalten, wobei die Diffusionspumpen kontinuierlich
arbeiten und Argon stets nachgeliefert wird.
Eine wichtige Eigenschaft der Erfindung besteht darin, daß die Anlage 10 so aufgebaut und angeordnet ist, daß nach dem
anfänglichen Abpumpen das System betrieben wird, ohne daß die Grobvakuumpumpen oder die Diffusionspumpen des Systems
in dem Strömungsübergangsbereich zwischen 66,62 · 10~ und 26,65 · 10~3 Pa (= zwischen 500 und 200^/-TcCr) betrieben
werden müssen. Das bevorzugte System ist so aufgebaut und wird so betrieben, daß die Grobvakuumpumpen bis hinunter
-3 -3
zum Bereich zwischen 93,27 · io und 66,62 · 10 Pa
(zwischen 700 und 500^Torr) arbeiten, während die Diffusionspumpen
in erster Linie im Bereich unterhalb von 20,0 · 10~ Pa (= 150/UZOrr) arbeiten. Dadurch werden die Purapwirkungsgrade
optimiert und die Zeit, die zum Bewegen der
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Substrate durch die Anlage erforderlich ist, wird minimal
gehalten, so daß die Notwendigkeit zusätzlicher, sehr kostenaufwendiger Vakuumpumpen, die in dem Strömungs-Übergangsbereich
arbeiten können, umgangen wird.
Zu beschichtende Substrate werden dadurch eingeführt,
daß das Belüftungsventil 69 für die Zutrittskammer geöffnet und, wenn die Zutrittskammer 30 auf Atmosphärendruck belüftet
ist, die Drucktüre 44 zur Aufnahme der Substrat-Abstützgestelle 14 geöffnet wird. Zwei Substratabstutzgestelle
14 werden auf den Förderabschnitt 18a der Zutrittskammer geleitet, bis die Gestelle die Schalter betätigen,
die anzeigen, daß die Gestelle vollständig in der Zutrittskammer sind. Die Betätigung der Schalter ergibt ein "Anhalten
des Fördererabschnittes 18a und die Drucktüre 44 wird geschlossen«
Dann wird die Zutrittskamraer wieder evakuiert. Nach dem Schließen der Tür .44 wird das ·■ Grobpumpen-Absperrventil
geschlossen und die Trennventile 68 geöffnet, so daß die Zutritts— und die Ausleitkammern miteinander verbunden sind.
Da die Ausleitkammer 32 bei einem Druck von etwa 66,62 · lo Pa
(= 200 iU/Tonr) verb lieben ist, erfolgt ein Druckausgleich bei
etwa dem halben Atmosphärendruck. Das Sperrventil 67 wird geöffnet, das Sperrventil 68 für die Ausleitkamraer wird
geschlossen und das Grobvakuum-Pumpsystem angelassen, um eine Evakuierung der Zutrittskammer zu ermöglichen. Die
Zutrittskammer wird auf einen Druck zwischen 93,27*10"
und 66,62 - 10~ Pa (zwischen 700 und 500^Tor.c) Absolutdruck
abgepumpt und nach Erreichen dieses Druckbereiches gibt der Druckmelder in der Zutrittskammer ein Ausgangssignal ab,
das zum Schließen des Sperrventils 68 für die Zutrittskammer führt. Das Abpumpen der Zutrittskammer auf den genannten
Bereich tritt relativ schnell ein, sowohl weil die Kolbenverdränger-Grobvakuumpumpen in dem Fluidstromungsberexch
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sehr wirksam sind als auch, weil die Auslegung der Zutrittskammer
das Pumpvolumen kleingehalten hat. Bei dem bevorzugten System wird die Zutrittskammer von etwa dem
halben Atmosphärendruck in etwa 80s auf Grobvakuumbereich abgepumpt.
Wenn dies erreicht ist,-wird das Sperrventil 68 für die
Zutrittskammer wieder geschlossen und das Sperrventil 68 für die Ausleitkammer geöffnet. Die GrobVakuumpumpen bleiben
in Betrieb,bis auch die Ausleitkammer auf den Grobvakuumwert
abgepumpt ist.
Nachdem das Sperrventil 68 für die Zutrittskammer geschlossen ist, wird die Drucktüre 84 zwischen der Zutritts- und
der vorderen Trennkartuner geöffnet. Da die Trennkammer 72 wesentlich größer als die Zutrittskammer ist, wird das in der
Zutrittskammer enthaltene Restgas in die Trennkammer 72 hineingezogen und der resultierende Druck in den beiden Kammern ist
wesentlich geringer als der Grobvakuumwert in der Zutrittskammer und liegt im effektiven Pumpdruckbereich der Diffusionspumpe
für die Isolationskammer, d.h. annähernd bei 20,0 · 10~ Pa (= 150^Torjr). Wie bereits erwähnt, ist die bevorzugte
Trennkammer so ausgelegt, daß ihr Volumen mindestens 3,5 bis 4mal so groß ist wie das Volumen der Zutrittskaauner, um optimale
Ausdehnung (d.h. Absenkung) der Atmosphäre der Zutrittskammer zu gewährleisten.
Beim Öffnen der Drucktüre 84 werden die Förderabschnitte 18a
und 18b in der Zutritts- und der vorderen Trennkammer betätigt und die Substrat-Stützgestelle werden in die Trennkammer
72 vorgeschoben. Dieser Vorschub der Gestelle wird beendet, sobald die Gestelle die Grenzschalter in der Trennkammer 72
betätigen. Mit der Betätigung dieser Schalter wird das Ausschalten der Förderabschnitte 18a und 18b und das Schließen
der Drucktüre 84 eingeleitet.
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Die Diffusionspumpe 102 senkt den Druck in der Trennkammer
72 schnell auf 1,332 ? io"6 pa (O.Ol/vTbr*) oder darunter
ab, so daß die Gestelle und die Substrate die Verunreinigungen während ihrer Verweilzeit in der Trennkammer abgasen.
Die Pumpe/kann normalerweise den Druck in der Trennkammer auf den genannten Wert oder darunter in etwa 10s absenken,
wenn auch eine abnormale "Verunreinigung" zu einer Erhöhung dieser Zeit führen kann. Es muß keine spezifische chemische
Atmosphäre in der Trennkammer errichtet oder aufrechterhalten werden, um die Substrate weiter aufzubereiten. Bei der bevorzugten
Anlage arbeiten die Diffusionspumpe 102 und der Heizer 118 kontinuierlich.
Wenn der Druck in der Trennkammer entsprechend abgesenkt wurde, wird ein Signal des Drucksignalgebers an das Steuerpult
22 abgegeben, so daß der Betätiger für die Drucktüre zur Beschichtungskammer in Tätigkeit gesetzt wird. Wenn die
Beschichtungskammer zur Aufnahme der Substrate bereit ist, öffnet sich die Drucktüre 110 und die Substratgestelle bewegen
sich in die Druckkammer.
In der Zwischenzeit wurde die Zutrittskammer 30 belüftet, zwei weitere Substratgestelle in sie vorgeschoben, und die
Kammer wurde in der beschriebenen Weise wieder evakuiert.
Die Trennkammer 22 hat die Aufgabe, die Beschichtungskammer beim Vorschieben der Substratgestelle zum Beschichten zu
"purgieren". Wie bereits erwähnt, ist in der Beschichtungskammer eine Argonatmosphäre aufrechterhalten mit einem Absolutdruck
zwischen 3,33 · ΙΟ*"3 und 6,662 - 1O-3Pa (25 bis
50/^Torr). Wenn die Türe 110 geöffnet wird, besteht eine
ausreichend große Verbindung durch die Öffnung dieser Türe mit der Trennkammer 72, deren Druck unterhalb von 1,332 ·
10~ Pa (OjOl^VTorr) liegt. Dadurch wird die Atmosphäre in
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der Beschichtungskamraer wirksam gereinigt oder "purgiert",
da die Atmosphäre in der Beschichtungskammer in die-Isolationskarnmer
hinein expandiert, sobald die Drucktüre zwischen diesen Kammern geöffnet wird. Dadurch wird
bewirkt, daß die Atmosphäre der Beschichtungskammer einschließlich
irgendwelcher Verunreinigungen teilweise aus der Beschichtungskammer herausgezogen ,wird tiiai'"-die Möglichkeit
daß Verunreinigungsmoleküle in die Beschichtungskammer aus der Trennkammer eintreten, minimal ist.
Dann werden die Förderabschnitte 18b und 18c freigegeben und schieben die Substratgestelle aus der Trennkammer 72 in die
Beschichtungskammer 70, sobald das Öffnen der Türe 110 gemeldet ist . Sobald die Substratgestelle 14 vollständig in
der Beschichtungskammer angelangt sind, werden wiederum Stellungs-Sensorschalter
betätigt, die die Förderabschnitte abschalten und das Schließen der Drucktüre 110 einleiten. Dabei
muß bedacht werden, daß wegen der "Purgierung" der Atmosphäre der Beschichtungskammer beim Einführen der Substrate und
Gestelle die einzig möglichen Quellen für Verunreinigingen in der Beschichtungskammer die Substrate und die Gestelle
selbst sind. Da diese jedoch durch Entgasung in der Trennkammer 72 bei geringerem als dem Beschichtungskammerdruck
vorbereitet wurden, besteht so gut wie keine Tendenz der Gestelle und Substrate, weiter in der Beschichtungskammer zu
entgasen. Damit bleibt die Beschichtungskammeratmosphäre frei von irgendwelchen Verunreinigungen.
Nach dem Schließen der Drucktüre der Beschichtungskammer wird durch die Argoneinströmung zu dieser Kammer der Druck
bis auf Werte zwischen 3,31 und 6,62 · 10 Pa (25 bis 50/* Torr)
angehoben. Dann werden die Sprühelektroden beaufschlagt und der Förderabschnitt 18c wieder eingeschaltet, so daß die
Substratgestelle sich an der Elektrode mit gesteuerter Ge-
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schwindigkeit vorbeibewegen. Elektrodenmaterial wird auf die
Substrate beim Vorbeiziehen aufgesprüht. Nachdem die Gestelle an der Elektrode vorbeigewandert sind, werden wieder Lageerfassungsschalter
betätigt, die den Förderabschnitt 18c in der Beschichtungskammer abschalten und die Beaufschlagung
der Elektrode beenden, so daß die Gestelle und Substrate
hinter der AufspEühelektrode angehalten werden und bereit zum Ausziehen aus der Beschichtungskammer sind.
Der Förderabschnitt 18c der Beschichtungskammer kann wahlweise in umgekehrter Richtung betrieben werden, so daß die
Substrate nochmal an der Aufsprühelektrode vorbeigeführt
werden, wenn eine zusätzliche Schicht aufgesprüht werden soll.
Beim Ausfahren der Substrate und Gestelle aus der Beschichtungskammer
in die hintere Trennkammer 74 wird die Atmosphäre der Beschichtungskammer ein.weiteres mal in diese Trennkammer
74 hinein"purgiert", da diese, wie die Trennkammer.72}normalerweise
auf einem Druckwert unter 1,332 · 10 Pa( O,O1jU To«:)
gehalten wird. Die Drucktüre 110 zwischen der Trennkammer 4 und der Beschichtungskammer wird geöffnet, so daß die in
der Beschichtungskammer befindliche Atmosphäre in die Trennkammer 74 hineinexpandiert, wobei wieder der größte Teil Verunreinigungen
mitgerissen wird. Die beschichteten Substrate werden dann in die Trennkammer 74 bewegt, die Drucktüre 110
wird wiederum geschlossen und damit ist die Verbindung zwischen der Beschichtungs-und der Trennkammer unterbrochen.
Dann wird eine Verbindung zwischen der Trennkammer 74 und der Ausleitkammer 32 durch Öffnen der dazwischen befindlichen
Drucktüre 84 hergestellt, wobei sich die Ausleitkammeratmosphäre,
die auf Grobvakuumdruck gehalten wird, in die Trennkammer 74 hinein ausdehnt. Der Druck in diesen beiden Kammern wird
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auf einen Wert innerhalb des optimalen Betriebsbereiches der Diffusionspumpe 102 ausgeglichen. Dann werden die Substratgestelle
14 in die Ausleitkammer bewegt, die Drucktüre 84 wird wieder geschlossen und die Trennkammer 74 kann wieder
auf den genannten Druckbereich zwischen 1,332 · io und
133,2 · 1O~ Pa (zwischen 0,01 und 0,001 £~Torr) abgepumpt
werden. Dadurch werden effektiv alle Verunreinigungen entfernt, die von der Ausleitkammer in die Trennkammer 74 eingedrungen
sind.
Unter der Annahme, daß die Zutrittskammer 30 zusätzliche Gestelle mit unbeschichtetem Glas bei Atmosphärendruck enthält,
werden nun die Trennventile 68 wieder geöffnet, so daß die Atmosphäre der Zutrittskammer sich in die Ausleitkammer
hinein ausdehnt. Daraufhin wird das Ausleitkammer-Sperrventil
wieder geschlossen, das Belüftungsventil 69 für die Ausleitkammer geöffnet und die Ausleitkammer auf Atmosphärendruck
angehoben. Die Gestelle und die beschichteten Substrate werden dann aus der Ausleitkammer herausgeschoben und
das Belüftungsventil 69 wieder geschlossen. Das Ausleitkammer-Sperrventil 68 wird wieder geöffnet und die Ausleitkammer
ist wiederum bereit, zum Grobvakuum-Druckwert hin abgepumpt zu werden.
Wenn erforderlich, kann auch die Ausleitkammer 32 teilweise evakuiert werden, indem sie mit der Zutrittskammer 30 verbunden
wird, nachdem die zusätzlichen Gestelle in der Zutrittskammer in die vordere Trennkammer 72 eingeschoben wurde.
Das wird in der bereits beschriebenen Weise durch die Verbindung, der Zutritts- und Ausleitkammern über die Sperrventile
68 erreicht.
Der Beschichtungsvorgang findet im wesentlichen kontinuierlich statt, da, sobald zwei Gestelle mit den Substraten in der
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Trennkairimer 72 zur Vorbereitung der Beschichtung aufgenommen
sind, die Zutrittskammer 30 wieder auf Atmosphärendruck belüftet, geöffnet und mit zwei weiteren Substratgestellen
beschickt wird. Daraufhin wird das Sperrventil 68 der Zutrittskammer wieder geöffnet und das Grobvakuum-Pumpsystem
20 reduziert den Druck der Zutrittskammer auf einen Wert in der Gegend von 93,27 · 10 Pa (= 700/*Torr). . Die
Bewegung der zwei weiteren Substratgestelle in die Sperrkammer 72 kann dann vorgenommen werden, sobald die vorhergehenden
Substratgestelle in die Beschichtungskammer eingeführt wurden.
Allgemein gesprochen ist die Zeit, die zur Beschichtung von Substraten an zwei Substratgestellen in der Beschichtungskammer
70 gebraucht wird, kürzer als die Zeit, die zur Evakuierung der Zutritts- bzw. Ausleitkammern erforderlich ist. Die
beschichteten Substrate werden so in der Beschichtungskammer gehalten, bis die nächstfolgenden zwei Substratgestelle in
der Trennkammer 72 angeordnet und zum Zutritt zur Beschichtungskammer vorbereitet sind. Dadurch können nötigenfalls
beide Trennkammern 72 und 74 mit der Beschichtungskammer 70 gleichzeitig verbunden werden, so daß- die Atmosphäre der
Beschichtungskammer von beiden Enden aus "purgiert" wird, während die jeweils zwei Substratgestelle in die beschichtungskammer
hinein und aus dieser heraus geschoben werden.
Wie bereits angeführt, kann die Betriebsabfolge der Kammern so gesteuert werden, daß die Ausleit- bnd die Zutrittskammer
zur teilweisen Evakuierung miteinander verbunden werden. Falls dieser Vorgang aus irgendeinem Grund nicht stattfinden
kann, wird die zum Auspumpen der beiden Kammern vom Atmosphärendruck auf Grobvakuumdruck notwendige Zeit um annähernd
lOs verlängert.
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Die Anlage 10 wird nun kontinuierlich betrieben, bis das Aufsprühmaterial aus allen Elektroden, die in die Beschichtungskammer
eingesetzt sind, verbraucht ist. Der Betrieb hält dabei an, ohne daß die Diffusionspumpen außerhalb
ihres optimalen Arbeitsbereiches betrieben werden müssen und, ohne daß die Grobvakuumpumpen den Druck in der Zutritts-
und der Ausleitkammer auf weniger als etwa 93,27 · 10 (= 70OyU,Torr) absenken müssen, natürlich mit der Ausnahme
beim ersten Abpumpen.
Damit ergibt sich eine für die Beschichtung großer Substrate in Massenfertigung geeignete Vakuumabscheideanlage, bei der
die Substrate, beispielsweise Bauglasfenster auf Haltegestellen durch ein evakuiertes Arbeitskammersystem bewegt werden,
in dem die Substrate durch Kathodensprühen beschichtet werden«
Die Substratgestelle werden mittels eines Fördersystems durch das Arbeitskammersystem über eine Zutrittskammer und
eine Ausleitkammer bewegt, so daß eine im wesentlichen kontinuierliche Herstellung von beschichteten Substraten möglich
ist, ohne daß eine Öffnung des Arbeitskammersystems zur Atmosphäre hin erforderlich ist. Der Betrieb des Arbeitskammersystems,
der Zutritts- und der Ausleitkammer sowie des Fördersystems und zugehöriger Bestandteile der
Anlage wird von einem Steuerpult aus überwacht und gesteuert.
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• ro*
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Claims (1)
- Patentansprüche :1. Vorrichtung zum Aufsprühen von Material auf Substrate bei extrem niedrigen Absolutdrücken, dadurch gekennzeichnet,(a) daß eine Arbeitskammer (16) vorgesehen ist, die einen Beschichtungskammerabschnitt (70) und einen Trennkammerabschnitt (72; 74) umfaßt,(b) daß eine dem Trennkammerabschnitt (72; 74) benachbarte Zutritts- bzw. Ausleitkammer (30; 32) vorgesehen ist,(c) daß ein je ein Drucktor bestimmender Aufbau (92; 84; 36, 38) zwischen den Kammerabschnitten (70+72, 74), dem Trennkammerabschnitt und der Zutritts- bzw. Ausleitkammer (72 und 30, 32) und zwischen Zutrittsbzw. Ausleitkammer (30, 32) und Umgebungsluft vorge-· sehen ist,(d) daß eine Grobvakuum-Pumpeinrichtung (34) zum Evakuieren der Zutritts- bzw. Ausleitkammer (30; 32) vorgesehen ist,030046/0737(e) daß eine erste Molekular-Pumpeinrichtung (100) zum Evakuieren des Trennkammerabschnitts (72; 74) und eine zweite Molekular -Pumpeinrichtung (120+124) zum Evakuieren des Beschichtungskammerabschnitts (70) vorgesehen ist,(f) daß eine mit dem Beschichtungskammerabschnitt in Verbindung stehende Gasquelle (40) zur Schaffung einer gesteuerten Atmosphäre in dem Beschichtungskammerabschnitt vorgesehen ist und(g) daß ein Fördersystem (18) zum Abstützen und Bewegen von Substraten (12) durch die Kammern (30, 32; 72, 74; 70) mittels der Drucktore (36, 38; 84; 92) vorgesehen ist.2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die Arbeitskammer (16) zumindest teilweise durch eine zylindrische Druckwand bestimmt und daß die Zutritts- bzw. Ausleitkammer (30, 32) durch einen sich dicht um die hindurchgeförderten Substrate (12) erstreckenden Druckwandaufbau (40) bestimmt sind, wobei der Trennkammerabschnitt (72, 74) ein Innenvolumen bestimmt, das wesentlich größer als das Volumen der Zutritts- bzw. Ausleitkammer (30, 32) ist.3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e η η -. zeichnet, daß die Grobvakuum-Pumpeinrichtung (34) aus mindestens einer Verdrängerkolben-Vakuumpumpe besteht und daß die erste (100) und die zweite (120, 124) Molekularstrom-Pumpeinrichtung Diffusionspumpen (102, 120) enthalten, wobei die erste Diffusionspumpe (102) den Druck in der Trennkammer (72; 74) unter dem Druck in dem Beschichtungskammerabschnitt (70) hält.030046/07374. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekenn zeichnet, daß die Substrate (12) durch Substrat-Stützgestelle (14) abgestützt sind, die durch das Fördersystem (18) durch die Kammer hindurch bewegbar sind, und daß der Beschichtungskammerabschnitt (70) mehr als die doppelte Länge der Substrat-Stützgestelle (14) aufweist, um ein Beschichten der Substrate bei geschlossenen Zwischen-Drucktoren (92) zwischen Trenn- und Beschichtungskammerabschnitten erlaubt.5. Verfahren zum Abscheiden von Material auf Substraten, dadurch gekennzeichnet,(a) daß ein Substrat in eine erste Kammer mit einem relativ kleinen Volumen bewegt und die erste Kammer auf einen, ersten vorbestimmten Vakuum-Druckwert evakuiert wird,(b) daß die erste Kammer mit einer zweiten Kammer in Verbindung gebracht wird, die sich auf einem zweiten Vakuum-Druckwert befindet, der wesentlich geringer als der erste Vakuum-Druckwert ist, wobei die zweite Kammer ein Volumen besitzt, das mindestens dreimal der Volumengröße der ersten Kammer entspricht, um dadurch einen Zwischen-Vakuumdruckwert in den ersten und zweiten Kammern zu erzeugen, der wesentlich geringer als der erste vorbestimmte Vakuumdruckwert ist,(c) daß die Substrate in die zweite Kammer vorgeschoben werden,(d) daß die erste und die zweite Kammer voneinander getrennt und abgedichtet werden,(e) daß die zweite Kammer wieder auf den zweiten Vakuum-Druckwert evakuiert wird, um das Substrat zur Beschichtung vorzubereiten,0300A6/0737(f) daß an die zweite Kammer anschließend eine Beschichtung skammer vorgesehen und der Druck in der Beschichtungskammer gleich oder etwas höher als der zweite Vakuum-Druckwert gehalten wird,(g) daß die zweite Kammer mit der BeschichtungskaKimer verbunden wird, und(h) daß das Substrat in die Beschichtungskamraer vorgeschoben und Material auf das Substrat beschichtet wird.6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Evakuieren der ersten Kammer auf einen vorbestimmten Vakuum-Druckwert Atmosphärenluft von der ersten Kammer abgepumpt wird, bis die Dichte der Restatmosphäre so gering ist, daß die Strömung der abgepumpten Atmosphäre zum Vakuumpumpeneinlaß die Charakteristik der Fluidströmung verliert.7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem Verbinden der ersten und zweiten Kammern die Dichte der Atmosphäre in diesen Kammern auf einen Wert abgesenkt wird, bei dem die darin enthaltene Atmosphäre MolekularStrömungscharakteristik zeigt.8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer bei einem Vakuumdruck gehalten wird, der größer als der zweite Vakuumdruckwert ist, solange Beschichtungs- und zweite Kammer nicht in Verbindung stehen und daß bei dem Verbinden der zweiten Kammer mit der Beschichtungskammer eine Purgierung der Atmosphäre der Beschichtungskammer erfolgt.030046/07379. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer von der zweiten Kammer nach dem Vorbewegen des Substrates in die Beschichtungskammer und vor dem Abscheiden von Material auf das Substrat getrennt und abgedichtet wird..10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Trennen und Abdichten der Beschichtungskammer von der zweiten Kammer in der Beschichtungskammer eine chemisch gesteuerte Atmosphäre mit einem Vakuum-Druckwert größer als dem zweiten Vakuum-Druckwert erzeugt wird.11. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurchgekennzeichnet, daß der erste Vakuum-Druck-wert zwischen etwa 93,27 * 10 und 66,62 * 6 ' Pa(= 700 und 500 yWorr)und der Zwischenvakuum-Druckwert zwischen 20,0 * 10~3 und 26,65 ' lO~3Pa (= 150 und 2ΟΟ,ι*2Όγγ) liegt.12. Vorrichtung zur Vakuumbeschichtung für Massenfertigung von großflächigen Substraten, dadurch gekennzeichnet,(a) daß ein großvolumiges Arbeitskammersystem (16) vorgesehen ist, in dem Material auf die Substrate beschichtet wird, bestehend aus folgenden Teilen:(ai) einer im wesentlichen zylindrischen Druckwand, (a2) mindestens einem Endwandaufbau (76) mit einerlänglichen Substratöffnung,(a3) einerDrucktoreinrichtung mit einem gegenüber der Öffnung zwischen einer offenen Stellung, bei der die Substrate hindurchtreten können und einer geschlossenen Stellung, in der die Öffnung dicht abgeschlossen ist, beweglichen Türteil (84)030046/0737(b) daß ein sich von. dem Arbeitskanunersystem (16) weg erstreckendes Zutritt- bzw. Ausleitkammersystem (20) mit relativ kleinem Volumen vorgesehen ist, das folgende Teile umfaßt:(bl) einen Druckwandaufbau (4Oa, 40b, 40c, 4Od), der eine Zutritts- bzw. Ausleitkammer (30, 32) mit allgemein länglich-rechtwinkligem Querschnitt bestimmt, die mit der Öffnung ausgerichtet ist, wobei die Druckwände (40a bis 4Od) von der End— ■ wand (76) des Arbeitskammersystems abstehen,(b2) eine durch die Zutritt- bzw, Ausleitkammer bestimmte^von der Endwand (76) des Arbeitskammer systems abgelegene Öffnung, durch die Substrate (12) sich zwischen dem Außenraum und der Zutrittsbzw, Ausleitkammer bewegen können, und(b3) eine zweite Drucktoreinrichtung (36; 38) zum Isolieren des Zutritts- bzw. Ausleitkammervolumens gegenüber der Umgebung mit einer' zwischen einer offenen Stellung, bei der die Substrate sich durch die Zutritt- bzw. Ausleitkammeröffnung bewegen können, und einer geschlossenen Stellung, in der diese Öffnung dicht abgeschlossen ist, bewegbare^, zweiten Drucktüre (44),(c) daß eine mit der Zutritt- bzw. Ausleitkammer (30·, 32) in Verbindung stehende Grobvakuum-Pumpeinheit (34) vorgeseh en ist, um den Druck in dem Zutritt- bzw. Ausleitkammervolumen unter Umgebungsdruck abzusenken, wobei die Grobvakuum-Pumpeinheit wirksam durch einen Druckbereich arbeitet, der von dem Umgebungsdruck bis zu einem ersten Unterdruck reicht, und(d) daß eine mit dem Arbeitskammervolumen in Verbindung stehende Arbeits-Vakuumpumpeinrichtung (100; 120+124) vorgesehen ist, um das Arbeitskammervolumen zu evaku-030046/0737ieren, wobei die Arbeitsvakuum-Pumpeinrichtung zum wirksamen Evakuieren der Arbeitskammer von einem zweiten vorbestimmten Unterdruckwert, der geringer als der erste vorbestimmte Unterdruckwert ist, mindestens bis zu einem optimalen Arbeitsdruck betreibbar ist,Ce) wobei das Volumen der Arbeitskammer so ausreichend größer als das Volumen der Zutritts- bzw. Ausleitkammer ist, daß dann, wenn die Kammersysteme durch die erste Drucktoreinrichtung mit der- Zutritts- bzw. Ausleitkammer verbunden werden, wobei sich die Zutritts- bzw. Ausleitkammer beim ersten vorbestimmten Unterdruck und die Arbeitskammer annähernd an dem Arbeitsdruck befindet, der resultierende Druck in den Kammern bei oder unter halb dem zweiten vorbestimmten Unterdruckwert und inner halb des wirksamen Arbeitsbereichs der Arbeits-Vakuumpumpeinrichtung liegt.13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich net, daß das Arbeitskammersystem (16) einen Beschichtungskammerabschnitt (70) und einen zwischen dem Beschichtungskammerabschnitt und der Zutritts- bzw. Ausleitkammer (30} 32) gelegenen Trennkammerabschnitt (72j 74) umfaßt, daß der Trennkammerabschnitt ein wesentlich größeres Volumen bestimmt als die Zutritts- bzw. Ausleitkammer (30, 32), so daß dann, wenn die Zutritts- bzw. Ausleitkammer mit dem Trennkammerabschnitt verbunden wird, wobei sich die Zutrittskammer beim ersten Unterdruck und der Trennkammerabschnitt bei oder unterhalb dem Arbeitsdruck ist, der Druckausgleich bei oder unterhalb dem zweiten Unterdruckwert erfolgt.14. Verfahren zur Abscheidung von Material auf großflächigen Substraten im Vakuum, dadurch gekennzeichnet,030046/07373018069(a) daß eine Beschichtungskammer, eine Trennkammer und eine Zutritts- bzw. Ausleitkammer vorgesehen werden, die jeweils voneinander durch Drucktore isolierbar sind, wobei die Trennkammer ein wesentlich größeres Innenvolumen als die Zutritts- bzw. Ausleitkammer besitzt,(b) daß die Beschichtungskammer bei einem vorbestimmten extrem niedrigen Abscheidedruck gehalten wird,(c) daß die Trennkammer bei einem ersten Druckwert gleich oder geringer als der Abscheidedruck gehalten wird,(d) daß ein Substrat in die Zutritts- bzw. Ausleitkammer gefördert und die Zutrittskammer von der Trennkammer und der Umgebungsluft abgetrennt und abgedichtet wird,(e) daß auf mechanischem Wege die Zutrittskammer auf einen zweiten Druckwert evakuiert wird, der wesentlich größer als der Abscheidedruckwert ist und bei dem die Strömung der Atmosphäre von der Zutrittskammer ihre Fluidströmungscharakteristik zu verlieren beginnt,(f) daß eine Verbindung zwischen der Zutritts- bzw. Ausleitkammer und der Trennkammer hergestellt wird, umdie Atmosphäre in der Zutritts- bzw. Ausleitkammer in die Trennkammer hinein zu expandieren und in den verbundenen Kammern eine Atmosphäre zu schaffen, die nach den Prinzipien der Molekularströmung fließt,(g) daß das Substrat in die Trennkammer gefördert wird und .diese von der Beschichtungs- wie der Zutritts—kammer isoliert und gegen diese abgedichtet wird, (h) daß die Trennkammer auf mindestens den Ablagerungsdruckwert durch einen Molekularpumpvorgang evakuiert wird,.(i) daß eine Verbindung zwischen Trenn- und Abscheidekammer hergestellt, das Substrat in die Abscheidekanuner befördert und die Abscheidekammer gepn die Trennkammer isoliert wird, und030046/0737" 9 " 3016089(j) daß Material an dem Substrat in der Beschichtungskammer abgeschieden wird.15„ Vorrichtung zur Vakuumabscheidung, dadurch gekennzeichnet,(a) daß eine zentrale Abscheidekammer (70) vorgesehen ist,(b) daß Trennkammern (70; 74) an gegenüberliegenden Enden der Abscheidekammern (70) mit dieser Verbindbar vorgesehen sind,(c) daß ein Zutrittkammersystem (20) vorgesehen ist, das eine mit einer ersten Trennkammer (72) verbindbare Zutrittkammer (30) und eine mit der zweiten Trennkammer (74) verbindbare Ausleitkammer (32) umfaßt,(d) daß eine Fördereinrichtung (18) für Gfgenstände vorgesehen ist, die eine Vielzahl von Förderabschnitten (18a bis 18e) umfaßt, wobei jeweils ein Förderabschnitt in jeder der genannten Kammern zum Bewegen von Gegenständen durch die Kammern vorgesehen ist,(e) daß eine Sprühelektrodeneinrichtung (128) in der Abscheidekammer (70) zum Sprühen von Material auf darin enthaltene Gegenstände vorgesehen ist,(f) daß eine Quelle (140) für eine Atmosphäre mit der Abscheidekammer (70) verbunden ist, um eine gesteuerte Atmosphäre in dieser aufrechtzuerhalten,(g) daß eine mit dem Zutritts- bzw. Ausleitkammersystem (20) verbundene Grobvakuum-Pumpeinrichtung (34) mit mechanischen Vakuumpumpen (62, 64, 66) und mit einem Verteiler (60) zur Verbindung der Pumpeinlässe mit der Zutritts- und der Ausleitkammer (30; 32) vorgesehen ist, wobei der Verteiler Ventileinrichtungen (67, 68) enthält, die zum individuellen Isolieren der Zutritts- und der Ausleitkammer von dem Verteiler betreibbar sind, und030046/0737(h) daß für die Abscheidekammer (70) und die Trennkammern (72j 74) jeweils Diffusions-Pumpeinrichtungen (102; 120) vorgesehen sind, um vorbestimmte Vakuum-Druckwerte in diesen Kammern aufrechtzuerhalten.16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Zutritts- und die Ausleihkaiümer (30; 32) allgemein rechteckigen Querschnitt und die Trennkammern sowie die Abscheidekammer (70; 72, 74) zylindrischen Querschnitt aufweisen.17. Vorrichtung nach Anspruch 15 und 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Volumenverhältnis des Trennkammervolumens zum Volumen der Zutritts- bzw. Ausleitkammern größer als 3,5:1 ist.18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15, 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Zutritts- und die Ausleitkammer (30j 32) jeweils mit %einem Belüftungsventil (69) versehen ist, das eine Belüftung der jeweiligen Kammer mit Atmosphärenluft gestattet.19. Vorrichtung, nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pumpen-Sperrventil (67) zum Sperren der Verbindung zwischen dem Grobvakuum-Pumpsystem (34) und dem Verteiler (60) vorgesehen ist.030046/0737
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