DE3005773A1 - Oberflaechenwellen-bauelement - Google Patents

Oberflaechenwellen-bauelement

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DE3005773A1 DE19803005773 DE3005773A DE3005773A1 DE 3005773 A1 DE3005773 A1 DE 3005773A1 DE 19803005773 DE19803005773 DE 19803005773 DE 3005773 A DE3005773 A DE 3005773A DE 3005773 A1 DE3005773 A1 DE 3005773A1
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Description

'Viurata - FP-0995 TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER
— O —
BESCHREIBUNG
Die Erfindung bezieht sich auf ein akustisches Oberflächenwellen-Bauelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
Akustische Oberflächenwellen-Bauelemente sind hinsichtlich verschiedener elektrischer Eigenschaften insbesondere im Frequenzgangverhalten anderen vergleichbaren Bauelementen wesentlich überlegen; sie werden daher in jüngster Zeit auf vielen Gebieten eingesetzt. Bauelemente dieser Art müssen aber - wie die meisten Bauelemente für elektrotechnische Anwendungen - in irgendeiner Weise gekapselt sein; zu diesem Zweck werden sie meist in einer Kunststoff-Kapsel hermetisch abgedichtet. Bisher bereitet das Einkapseln von Oberflächenwellen-Bauelementen gewisse Fabrikationsschwierigkeiten, die einer Massenproduktion solcher Bauelemente im Wege stehen und erhöhte Kosten verursachen.
Beispielsweise wird bei einem hermetisch abgedichteten Element das sogenannte Wire-Bond-Verfahren zum Anbringen der Anschlußfahnen zur Verbindung mit externen Schaltungen angewendet. An sich könnte das Wire-Bond-Verfahren auch für dieses Anwendungsgebiet weitgehend automatisiert werden. Bei akustischen Oberflächenwellen-Bauelementen jedoch bestehen die bei diesem Verfahren betroffenen Abschnitte aus dem gleichen Elektrodenmaterial wie die als Interdigitalelektroden ausgebildeten Wandlerbereiche. Dieses Elektrodenmaterial eignet sich schlecht für das Wire-Bonden; es muß besonders ausgesucht werden. Da das Wire-Bonden am ungeschützten Element oder Substrat erfolgt, kann insbesondere der Interdigitalwandler geschädigt werden. Ein der Feuchtigkeit ausgesetzter oder beim Wire-Bonden beschädigter Interdigitalwandler kann Kurzschlüsse zwischen benachbarten Elektrodenfingern erhalten, die seine Eigenschaften mindern oder ihn unbrauchbar machen.
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Wird ein solches Bauelement durch Eintauchen in Kunstharz gekapselt, dann müssen die Anschlußfahnen vor dem Tauchprozeß an den herausgeführten Elektroden des Elementes oder Substrats angelötet werden. Bei diesem Lötprozeß kann der Interdigitalwandler ebenfalls beschädigt werden. Ferner kann das Tauchharz in einen Ausbreitungsbereich einer akustischen Oberflächenwelle des Interdigitalwandlers geraten und dessen Eigenschaften ungünstig beeinflussen. Zur Vermeidung solcher Einflüsse war es bisher üblich, das Substrat zuvor mit eLner Kappe zu versehen, die einen notwendigen Spalt freiläßt und dann in Harz zu tauchen. In diesem Falle aber kann der Interdigitalwandler durch die Schutzkappe beschädigt und durch Spaltwirkung immer noch benetzt werden. Auch bereitet es Schwierigkeiten, den zuvor beschriebenen Lötprozeß für die Anschlußfahnen zu automatisieren, wenn eine Beschädigung einzelner Interdigitalwandler ausgeschlossen werden soll.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein gegenüber dem Stand der Technik verbessertes und für eine verlustfreie Massenfertigung geeignetes Oberflächenwellen-Bauelement sowie ein Verfahren für dessen Herstellung aufzuzeigen.
Die erfindungsgemäße Lösung der gestellten Aufgabe ist in bezug auf das Bauelement im Patentanspruch 1 und verfahrensseitig im Patentanspruch 17 angegeben. Vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgedankens können den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung entnommen werden.
Zur Vermeidung der eingangs erwähnten Fertigungsprobleme enthält das erfindungsgemäße Oberflächenwellen-Bauelement ein Schichtelement aus einem Material, welches in Richtung seiner Dicke eine Leitfähigkeitseigenschaft und in Richtung seiner Hauptfläche eine Isoliereigenschaft aufweist. Über dieses Schichtelement sind die äußeren Anschlußfahnen mit
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den herausgeführten Elektroden eines Interdigitalwandlers verbunden. Ein derartiges S^hichtmaterial ist über ein Zuiischenelement, welches einen Abstand zwischen Substrat und Schichtelernent bildet, auf eine mit einem Interdigitalwandler sowie herausgeführten Elektroden belegte Hauptfläche des Substrats aufgelegt. Die elektrische Verbindung zwischen den Anschlußfahnen und den herausgeführten Elektroden erfolgt über dieses Schichtelement.
Dieses wesentliche Merkmal der Erfindung ermöglicht in vorteilhafter Weise das Anbringen der äußeren Anschlußfahnen und die Bildung eines paketförmigen zusammengesetzten Bauelementes aus einem Substrat mit aufgetragenem Interdigitalwandler und einem diesen überdeckenden Schichtelement. Das Eindringen von Feuchtigkeit in den Wandler oder dessen Beschädigung werden wirksam verhindert. Der Ausschußanteil bei der Fertigung wird drastisch gesenkt. Das erfindungsgemäße Bauelemenb hat einen einfachen Aufbau und läßt sich einfach und in großen Mengen billig herstellen.
Als Zwischenelement kann ein akustisch absorbierendes Material 2G verwendet werden, vorzugsweise in einem Bereich, wo sich unerwünschte akustische Oberflächenuellen ausbreiten. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel dient das Zwischenelement als akustisch absorbierendes Material und erfüllt so einen doppelten Zweck.
Ferner kann es vorteilhaft sein, die nach außen führenden Anschlußfahnen so auszubilden, daß sie das beschichtete Substrat und das Schichtelement zusammenklemmen. Dadurch entfällt der sonst übliche Lötprozeß bei der Anbringung von Anschlußfahnen. Auch dieser Punkt erleichtert die Automatisierung der Fertigung.
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Murata FP-3995
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Nachstehend werden einige die Merkmale der Erfindung aufweisende Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf eine Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine auseinandergezogene Perspektivdarstellung eines ersten Ausführungsbeispiels,
Fig. 2A bis 2D schematische Darstellungen zur Herstellung des Ausführungsbeispiels von Fig. 1,
Fig. 3 einen Querschnitt durch eine Ebene IH-III von Fig. 2D,
1G Fig. h eine Perspektivdarstellung eines weiteren
Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 5A eine auseinandergezogene Perspektivdarstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels,
Fig. 5B einen Schnitt durch das zusammengefügte Ausführungsbeispiel von Fig. 5A, und
Fig. 6A und GB Darstellungen eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung.
Das in Fig. 1 teilweise zerlegt dargestellte Ausführungsbeispiel trägt auf einem Substrat 1 zwei Interdigitalwandler 2 und 3, die in ansich bekannter LJeise in einer Fortpflanzungsrichtung einer akustischen Oberflächenwelle um eine geeignete Distanz voneinander getrennt sind. Da die ElektrDdenverteilung und Arbeitsweise dieser Interdigitalwandler 2 und 3, zwischen denen sich eine MasseelektrQde h befindet, dem Fachmann hinreichend bekannt sind, erübrigt sich eine Beschreibung dieser Einzelheiten. An einem Rand des Substrates 1 befinden sich herausführende Elektroden 5 und 6 des Interdigitalwandlers 2, und daneben sind auf das Substrat ähnliche herausführende Elektroden 7 für die Masseelektrode h sowie Β und 9 für den Interdigitalwandler 2 angeordnet. Sämtliche Elektroden 5 bis 9 enden an der gleichen Substrat-Endkante und dienen als Entnahmeabschnitt, der mit weiter unten beschriebenen AnschluBfahnen 12 bis 16 elektrisch verbunden wird..
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Auf das Substrat 1 ist beispielsweise mittels Bedrucken ein als Zwischenlage dienendes Klebemittel 10 aufgetragen, uielches die Ausbreitungsbahn einer akustischen Oberflächenwelle zwischen den Interdigitalwandlern 2 und 3 eingrenzt und dabei den Bereich der herausführenden Elektroden 5 bis 9 am Rand des Substrates frei läßt. Dieses Klebemittel kann viskoses Klebemittel wie Silicongummi ausgebildet und zum Befestigen eines nachstehend beschriebenen Schichtelementes 11 an dem Substrat 1 dienen. Dabei verbleibt ein notwendiger Spalt zwischen Substrat 1 und Schichtelement im Bereich der Interriigitalwandler 2 und 3. lüenn dieses Klebemittel 10 akustisch absorbierend wirkt, dann dient es auch zur Absorption unerwünschter Oberflächenwellen. Hat das Klebemittel 1G aber keine absorbierenden Eigenschäften, dann kann ein Absorptionsmaterial wie Silicongummi dort angebracht sein, wo unerwünschte Oberflächenwellen zu absorbieren sind. Wenn mindestens Abschnitte 10a und 10b des Klebemittels 10 aus einem akustisch absorbierenden Material bestehen, dann wurden dort durch die Interdigitalwandler 2 und 3 angeregte unerwünschte Oberflächenwellen wirksam absorbiert werden, auch wenn die restlichen Bereiche nicht aus einem akustisch absorbierenden Material bestehen.
Das in Richtung seiner Dicke auf Druckeinwirkung empfindliehe Schichtelement 11 ist über das Klebemittel 10 auf das Substrat 1 auflaminiert. Als in Richtung der Dicke empfindliches Schichtelement können bekanntlich Schichten verwendet werden, welche entweder eine in Silicongummi eingebettete Metallpulvermischung, Grafitfasern, dünne Metalldrähte o.dgl. enthalten, die in Silicongummi in Richtung der Dicke eingebettet sind, oder so ähnlich. Derartige Schichtelemente haben an gegebenen Positionen bestimmte elektrische Leitfähigkeitseigenschaften in
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Dickenrichtung und fErner bestimmte isolierende Eigenschaftsn in ihrer Längsrichtung bzw. Erstreckungsrichtung. Lüenn ein solches druckempfindliches Schichtelement 11 mit einer elektrischen Leitfähigkeit in Richtung der Dicke einem Druck in Richtung der Dicke ausgesetzt uird, dann hat es in seiner Erstreckungsrichtung eine bestimmte isolierende Eigenschaft. Go hat beispielsweise ein derzeit verfügbares Gummischichtelement mit einer Richtungsleitfähigkeit in Dickenrichtung bei einer Dicke van ü,2 mm einen Widerstand van 0,6 bis 1, 9ic/mm bei Einwirkung
2
eines Druckes vom 7'trj/inm ' in Dickenrichtung und einen Isalatianswiderstand von mehr als 2 χ 1G _>t- zwischen benachbarten Elektroden. Ein derzeit verfügbares druckempfindliches elektrisch leitfähiges Gummischichtelement entwickelt eine sprungartige Lüiderstandsverminderung von 1D i/i. cm auf 1D iic cm in einem Bereich, wo es einem Druck von ^Og/cm in Dickenrichtung ausgesetzt wird. Ein derartiges Schichtelement 11 ist über das Klebemittel 1D auf dem Substrat 1 festgeklebt oder versuchsweise festgeklebt.
Für die Entnahmeabschnitt-Elektroden 5 bis 9 gibt es vorbereitete Anschlußfahnen 12 bis 16, die an einem Ende zu Klauenabschnitten 12a bis 16a gabelförmig gebogen sind. Jede dieser AnschluBfahnen 12 bis 16 wird mit ihren Klauenabschnitt 12a bis 16a elektrisch mit einer der Elektroden 5 bis 9 verbunden, jedoch liegt jeweils das in der Dickenrichtung leitfähige Schichtelement 11 dazwischen (s.Fig.2D). Auf diese LJeise sind die Interdigitalwandler 2 und 3 sowie die Masseelektrode k über ihre zugeordneten Entnahmeabschnitt-Elektroden 5,6,6,9 und 7 sowie durch das Schichtelement 11 hindurch mit ihren entsprechenden Anschlußfahnen 12 bis 16 verbunden. Vorzugsweise 6ind die Klauenabschnitte 12a bis 16a der Anschlußfahnen 12 bis so vorgespannt, daß das Schichtelement 11 mit einer gewissen Klemmkraft in Dickenrichtung eingespannt wird.
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Die aus dem Substrat 1, Klebemittel 1Π, Schichtelement 11 und Anschlußfahnen 12 bis 16 gebildete Baugruppe wird dann so in Kunstharz getaucht oder eingeformt, daß die anderen Endabschnitte der Anschlußfahnen 12 bis 16 aus der auf diese Weise gebildeten äußeren Kunstharzkapsel 17 frei herausragen. Das die Bereiche der Interdigitaliuandler 2 und 3 eingrenzende Klebemittel 10 verhindert das Eindringen von Harz in die üJandlerbereiche und Ausbreitungsbahnen einer akustischen Dberflächenwelle.
Nachstehend uird in Verbindung mit den Fig. 2A bis 2Ü und ein bevorzugtes Herstellverfahren für die Ausführung von Fig. 1 beschrieben. Zunächst uiird ein in Scheibchen unterteiltes Substrat 2D vorbereitet, welches Muster 21 mit elktrischen Leiterbahnen einschließlich Elektroden und Entnahmeabschnitten für die Interdigitalwandler in vorgegebener Anordnung enthält. Dazu gehört auch ein Leiterbahnmuster für die Masseelektrode und die herausführenden Elektroden. Wird als Material für das Substrat 2D ein Material wie Keramik verwendet, das polarisiert werden muß, dann erfolgt dieser Polarisationsprozeß entweder vor □der nach Bildung des Leiterbahnmusters 21. Dann wird gemäß Fig.2D z.B. durch Aufdrucken eines Klebemittels die Klebemittel-Zwischenlage 1G entsprechend Fig. 1 gebildet. Anschließend wird gemäß Fig.2C ein dem Schichtelement 11 von Fig. 1 entsprechendes und aus dem gleichen Material bestehendes Schichtelement 22 mit den gleichen Abmessungen uie Substrat 20 auf dem Substrat durch das Klebemittel 10 befestigt. Anschließend wird im V/erlauf der in Fig. 2A und 2B unterbrochen dargestellten Linien dieses Zwischenprodukt in Einzelelemente unterteilt, die jeweils ein Leiterbahnmuster 21 enthalten und aus einem laminierten Substrat 1, Klebemittel-Zwischenlage 10 und Schichtelement 11 gemäß Fig. 1 bestehen.
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Dann werden die AnschluBfahnen 12 bis 16 so montiert, daß ihre Klauenabschnitte das Substrat 1 und das Schichtelement 11 im Bereich der Entnahmeelektroden 5 bis 9 (Fig.1) einklemmen. Dann iuird nach einem bekannten V/erfahren wie Tauchen oder Farmen eine äußere Kunstharzkapsel 17 gebildet, und damit ist das in Fig. 3 geschnitten dargestellte Qberflächenwellen-Bauelement fertig.
Ein in Fig. 4 dargestelltes anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist dem zuvor beschriebenen (Fig.2D) weit-
1f] gehend ähnlich, ausgenommen die nachstehend erläuterten Einzelheiten. In Fig. 4 sind im Bereich der Entnahmeelektroden 5 bis 9 (s.Fig.1) Einlagen 30 bis 34 aus einem elektrisch leitfähigen Kleber aufgetragen, und darüber sowie über das Klebemittel 10 ist das Schichtelement 11 auf das Substrat 1 gelegt. Im Bereich der Elektroden 5 bis 9 ist das Schichtelement 11 mit elektrisch leitfähigen Filmabschnitten 35 bis 39 belegt, an denen Anschlußfahnen 4D bis 44 festgelötet werden. Somit sind die Interdigitaluandler 2 und 3 und die Masseelektrode 4 von Fig. 1 über die Entnahmeelektrode 5,5, 0,9,7, die elektrisch leitfähigen Klebereinlagen 30,31,33,34, 32, das Schichtelement 11 und die leitfähigen Filmabschnitte 35,36,38,39,37 an die Anschlußfahnen 40,41,43,44 und 42 angeschlossen. Anschließend wird nach dem gleichen V/erfahren wie in Fig. 2D eine äußere Kunstharzkapsel 45 gebildet.
Das Herstellverfahren der Ausführung von Fig. 4 unterscheidet sich von der in Fig. 2A bis 2D dargestellten Ausführung in folgenden Punk hen: zuerst i.ierrien dir; lcitfähigen Filmabschnitte 35 bis 39 auf das Schichtelement 11 aufgetragen, und dann werden vor oder nach dem Auftragen der Klebemittelschicht 10 die Einlagen aus dem leitfähigen Kleber 30 bis gebildet. Schließlich werden die Anschlußfahnen 40 bis 44 an den Filmabschnitten 35 bis 39 festgelötet.
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BAD ORIGINAL
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Ein weiteres, in Fig. L)A und 50 dargestelltes Ausführungsbeispiel der Erfindung unterscheidet sich van dem in Fig. 1 und 2 dargestellten durch folgende Einzelheiten: statt einer Kleberni'ttelschicht 1D ujird in Fig. 5 an den Stellen, die den Positionen 1Da und 1Gb in Fig.1 entsprechen, je eine Einlage kB bzw. kl aus Silicongummi aufgebracht. Dieses Material absorbiert bekanntlich Scholl. Bei diesem Ausführungsbeispiel kann das Schichtelement 11 über diese Silicongummieinlagen 46 und kl auf dem Guhntrnt 1 hefnntigh sein, wns won dem Herstellverfahren abhängt, normalerweise wird jedoch das Schichtelement 11 auf dem Substrat 1 durch die Klemmkraft der Klauenabschnitte 12a bis 16a der Anschlußfahnen 12 bis 16 befestigt.
Das so beschaffene Zwischenprodukt iuird gemäß Fig. 5B so in ein einseitig offenes Gehäuse kB eingesetzt, daß die Anschlußfahnen 12 bis 16 aus dem offenen Gehäuseende herausragen. Dann ujird ein Isolierharz k3 in das Gehäuse kB gegossen.
Das in Fig. 6A und 6B dargestellte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den zuvor beschriebenen in der Weise, daß seine Anschlußfahnen 12 bis 16 bzw. kü bis kk in der sog. Dual-in-Line-Anordnung befestigt sind. Zu diesem Zweck sind die Entnahmeabschnitt-Elektroden 5 bis g gemäß Fig. 6A an beiden Rändern des Substrates 1 angeordnet, und zu der Masseelektrode k gehört eine zusätzliche Elektrode 7" mit zusätzlichem leitendem Filmabschnitt 37'.
Für alle zuvor beschriebenen Ausführungen kann anstelle der Kapselung in Tauchharz, Formharz oder Gießharz innerhalb eines Gehäuses das fertige Oberflächenwellen-Bauelement auch in beliebiger anderer üJeise verwendet
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ujerden, beispielsweise einFnch in einem Gehäuse untergebracht oder ohne jede Umhüllung direkt auf einer Leiterplatte o.dgl. befestigt 3ein.
Das bei den beschriebenen Ausführungen benutzte Schichtelement 11 kann auch andBrs ausgebildet sein, beispielsweise kann es elektrisch leitfähige Streifen mit abwechselnd dazwischen liegenden isolierenden Streifen
aufweisen, so daß in einer gegebenen hauptähnlichen
Richtung ein Streifenmuster gebildet wird. Nach einer
1G anderen Möglichkeit kann dieses Schichtelement die oben
beschriebene Eigenschaft nur in einem Bereich haben, die dem Entnahmeabschnitt entspricht.
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Claims (1)

  1. TER MEER - MÜLLER - STEINMEISTER
    Beim Europaischen Patentamt zugelassene Vertreter
    Prof. Representatives before the European Patent Office - Mandatalres agrees pres !'Office europeen des brevets
    Dipi.-Chem. Dr. N. ter Meer Dipl.-lng. H. Steinmeister
    Dipl.-lng. F E. Müller Siekerwal! 7,
    Triftstrasse 4,
    D-8000 MÜNCHEN 22 D-4800 BIELEFELD 1
    Case: FP-0995
    Mü/Gdt/Th 15. Februar 1980
    MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
    26-10, Tenj in 2-chome
    Nagaokakyo-shi, Kyoto-fu, Japan
    Oberflächenwellen-Bauelement
    Priorität: 22. Februar 1979 - Japan - No. 20455/1979
    PATENTANSPRÜCHE
    1. Oberflächenwellen-Bauelement mit einem Substrat und einem auf einer Hauptfläche des Substrats aufgebrachten Wandlerbereich und einem Signal-Eingabe- bzw. -Entnahmeabschnitt zum Verbinden des Wandlers mit einer externen Schaltung, gekennzeichnet durch
    - ein auf die Hauptfläche des Substrats (1;20) aufgebrachtes Schichtelement (11), das an einer gegebenen Stelle in Richtung seiner Dicke eine elektrische
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    TER MEER - MÜLLER - STEINMEISTER
    Murata
    Leitfähigkeitseigenschaft und in seiner Hauptflächenrichtung eine Isoliereigenschaft aufweist,
    - ein zwischen dem Substrat und dem Schichtelement angeordnetes Zwischenelement (10;46,ί*7) welches den Entnahmeabschnitt ausspart und einen vorgegebenen Spalt gegenüber dem Uandlerbereich bildet, und
    - ein elektrisch mit dem Schichtelement verbundenes und über dieses Schichtelement mittels dessen Dicken-Leitfähigkeitseigenschaft elektrisch an den Entnahmeabschnitt (5...9) angeschlossenes Anschlußelement (12...J^O...).
    2. Bauelement nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtelement (11) ein druckempfindliches Element ist, welches eine elektrische Leitfähigkeitseigenschaft in Richtung seiner Dicke an der gegebenen Stelle entwickelt, wenn es dort in Richtung seiner Dicke einem Druck ausgesetzt wird.
    3. Bauelement nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtelement (11) diese Eigenschaft in seinem gesamten Flächenbereich aufweist.
    k. Bauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtelement (11) diese Eigenschaft nur in einem dem Entnahmeabschnitt (5...9) zugeordneten Bereich aufweist.
    5. Bauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Zwischenelement (10) ein Klebemittel umfaßt, mit dem das Schichtelement (11) an dem Substrat (1) befestigt ist.
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    G. Bauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuischenelement (Ί6 ein akustisch absorbierendes Material umfaßt, welches seine akustisch absorbierende Wirkung mindestens in einem Bereich entwickelt, ujo sich unerwünschte akustische Oberflächenuellen ausbreiten.
    7. Bauelement nach Anspruch 5,
    dadurch gekennzeichnet, daß der Uandlerbereich (2,3) dem Zuiischenelement (1D) eingeschlossen ist.
    8. Bauelement nach Anspruch 5,
    dadurch gekennzeichnet, daß ein akustisch absorbierendes Material mindestens in einem Bereich angebracht ist, wo sich unerwünschte akustische Oberflächenwellen ausbreiten .
    9. Bauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußelement (12...) einen Klauenabschnitt (12a...) aufweist, durch den das Substrat (1) und das darüber gelegte Schichtelement (11) zusammengeklemmt sind.
    1D. Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
    dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Schichtelement (11) an einer dem Entnahmeabschnitt (5...) entsprechenden Stelle ein elektrisch leitfähiger Filmabschnitt (35...) ausgebildet ist, mit dem das Anachlußelement (ΊΟ...) mechanisch und elektrisch verbunden ist (Fig.GB).
    11. Bauelement nach Anspruch 9 oder 1D,
    dadurch gekennzeichnet, daß sich der Entnahmeabschnitt (5...) an einer Seitenkante des Substrates (1) befindet und das Anschlußelement (12...) an dieser Seitenkante des Substrates befestigt ist.
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    12. Bauelement nach Anspruch 9 oder 1G,
    dadurch gekennzeichnet, daß der Entnahmeabschnitt (3D...) sich über beide Seitenkanten des Substrates (1) erstreckt und das Anschlußelement (kü. . .kk) in Dual-in-Line-Anordnung verteilt ist.
    13. Bauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (1) und das Schichtelement (11) in einer äußeren Kapsel (17;^5;kB,kS) eingeschlossen sind.
    1^. Bauelement nach Anspruch 13,
    dadurch gekennzeichnet, daß die äußere Kapsel ein Kunstharzmaterial umfaßt.
    15. Bauelement nach Anspruch 1^,
    dadurch gekennzeichnet, daß die äußere Kapsel (17;i*5) durch Tauchen ader Formen des Kunstharzmaterials hergestellt ist.
    16. Bauelement nach Anspruch 1k,
    dadurch gekennzeichnet, daß die äußere Kapsel aus einem Gehäuse ikß) und einem in dieses Gehäuse eingeführten Kunstharzmaterial (^9) besteht.
    17. Verfahren zur Herstellung eines akustischen Ober-
    flächenujellen-Bauelementes nach einem der Ansprüche 1 bis 16,
    dadurch gekennzeichnet, daß ein aus dem Substrat, dem Zuischenelement und dem Schichtelement zusammengesetztes Zujischenprodukt hergestellt und das Anschlußelement elektrisch und mechanisch mit der Oberfläche des Schichtelementes in einem Bereich verbunden ujird, welcher dem Entnahmeabschnitt entspricht.
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    18. Verfahren nach Anspruch 17,
    dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung eines solchen zusammengesetzten Zwischenproduktes
    - ein in mehrere Felder mit je einem LJandlerbereich und einem Entnahmeabschnitt auf einer Substrat-Hauptfläche unterteiltes Substrat vorbereitet,
    - das ZiijischGnelement für jeden einzelnen Ldandlerbereich geformt,
    - das Schichtelement so auf die mit dem Zidischenelement belegte Hauptfläche des Substrats aufgebracht wird, daß im wesentlichen diese gesamte Fläche bedeckt ist und ein integrales zusammengesetztes Vorprodukt entsteht, und
    - das integrale Vorprodukt in Einheiten mit je einem Wandlerbereich unterteilt uird.
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DE3005773A 1979-02-22 1980-02-15 Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement Expired DE3005773C2 (de)

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GB (1) GB2044030B (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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