DE29520820U1 - Laserröhre für halogenhaltige Gasentladungslaser - Google Patents
Laserröhre für halogenhaltige GasentladungslaserInfo
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- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 title claims description 11
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 title claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 25
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 9
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 9
- 244000309464 bull Species 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920002449 FKM Polymers 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- CLKZWXHKFXZIMA-UHFFFAOYSA-N pyrinuron Chemical compound C1=CC([N+](=O)[O-])=CC=C1NC(=O)NCC1=CC=CN=C1 CLKZWXHKFXZIMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/20—Seals between parts of vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
- H01S3/225—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms comprising an excimer or exciplex
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Description
LAMBDA PHYSIK GESELLSCHAFT
ZUR HERSTELLUNG VON LASERN MBH
GM-Abzweig. aus 195 02 245.9-33
Unsere Akte: 1G-75 579
23. Januar 1996
ZUR HERSTELLUNG VON LASERN MBH
GM-Abzweig. aus 195 02 245.9-33
Unsere Akte: 1G-75 579
23. Januar 1996
Laserröhre für halogenhaltige Gasentladungslaser
Die Erfindung betrifft eine Laserröhre für halogenhaltige Gasentladungslaser,
insbesondere Excimerlaser.
Solche Laserröhren werden mit einem Gas gefüllt und zwischen
Elektroden, die in der Laserröhre angeordnet sind, wird eine Gasentladung gezündet, um ein laseraktives Medium zu erzeugen.
Solche Laserröhren werden auch als "Entladungskammer", "Laserkammer" oder ähnlich bezeichnet.
Laserröhren dieser Art weisen eine Vielzahl von Öffnungen auf, die beim Betrieb des Lasers gasdicht verschlossen sind. Da die
Laserröhre in aller Regel aus einem Material besteht, das für die Laserstrahlung nicht durchlässig ist, muß die Röhre zunächst
Öffnungen aufweisen, die durch Fenster verschlossen sind, so daß der Laserstrahl aus der Röhre austreten kann. Weitere Öffnungen
in der Wand der Laserröhre sind üblicherweise vorgesehen, um Gas in die Röhre einzuführen bzw. aus ihr zu entnehmen. Auch
weisen Laserröhren in aller Regel Durchlässe auf, um elektrische Spannungen und Ströme in das Innere der Röhre bzw. aus ihr heraus
zu führen. Auch weisen Laserröhren etliche weitere Flanschöffnungen
auf, die zum Beispiel den Einbau von Kühlern und Lüftern ermöglichen. Weiterhin kann auch eine Laserröhre selbst schon
aus einer Mehrzahl von Einzelteilen zusammengefügt sein, die gegeneinander abgedichtet werden müssen.
• ** •—•&Ogr;·— · ·
All diese Öffnungen müssen für den Laserbetrieb gasdicht abgeschlossen
werden, wozu Dichtungen eingesetzt werden.
Laserröhren von Gasentladungslasern, insbesondere von Excimerlasern,
werden mit chemisch agressiven Gasen gefüllt, insbesondere Halogenen, wie Fluor oder Chlor. Auch Chlorwasserstoff ist
eine bei Excimerlasern häufig verwendete Gaskomponente. Das bei der Gasentladung erzeugte hochangeregte Plasma enthält eine
Vielzahl von chemischen Radikalen, die mit denjenigen Oberflächen in Kontakt kommen können, welche den Innenraum der Laserröhre
abgrenzen.
Im Stand der Technik werden Laserröhren, insbesondere für Excimerlaser,
überwiegend aus Metall hergestellt. Dabei werden die Metallegierungen so ausgewählt, daß sie mit den halogenhaltigen
Gasen im Inneren der Röhre keine den Laserbetrieb störenden Reaktionsprodukte bilden. Solche chemischen Reaktionen beeinträchtigen
die Lebensdauer des Lasers. Auch können bei chemischen Reaktionen entstehende Produkte sich auf optischen Komponenten
des Lasers (z.B. den Fenstern der Laserröhre) ablagern und so den Laserbetrieb beeinträchtigen.
Die in der Laserröhre angeordneten Elektroden und andere elektrische
Spannung führende Bauteile müssen gegen die metallische Wand der Laserröhre elektrisch isoliert werden. Hierzu hat sich
Keramik bewährt. Verwendet wird üblicherweise eine Oxidkeramik, meist A1_O_ in hochreiner Form.
Um die oben erläuterten, an der Laserröhre zu befestigenden Bauteile, wie Flansche, Fenster, Durchführungen etc., gasdicht
montieren zu können, werden im Stand der Technik Dichtungen aus elastomerem Material verwendet (z.B. Viton - Warenzeichen).
Es hat sich gezeigt, daß diese Kunststoffdichtungen gemäß dem
Stand der Technik den Nachteil haben, daß Sauerstoff oder andere
• _·
•&Tgr;
•&Tgr;
Luftbestandteile durch das Dichtungsmaterial diffundieren und das Lasergas verunreinigen können.
Weiterhin haben Elastomer-Dichtungen, die mit den halogenhaltigen Gasen im Inneren der Laserröhre in Kontakt kommen, den Nachteil,
daß das Lasergas verunreinigende Reaktionsprodukte entstehen können, insbesondere organische Verunreinigungen. Die Desorption
von Substanzen aus den Elastomer-Dichtungen, die dem halogenhaltigen Gas im Inneren der Laserröhre ausgesetzt sind, hat sich
ebenfalls als eine durchaus in Betracht zu ziehende Quelle für Verunreinigungen des Lasergases herausgestellt. Eine solche
Desorption führt insbesondere zu einem Halogenverlust im Lasergas durch chemische Reaktionen. So hat sich herausgestellt, daß
eine Verunreinigung des Lasergases von nur lOppm (z.B. durch CF.) sich nachteilig auf den Laserbetrieb auswirkt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Laserröhre für halogenhaltige Gasentladungslaser so auszugestalten, daß die
Lebensdauer des Lasers und insbesondere die Lebensdauer des Lasergases verlängert ist.
Erfindungsgemäß ist hierfür vorgesehen, daß die beim Stand der Technik zur Abdichtung der Laserröhre vorgesehenen Elastomer-Dichtungen
weitgehend, möglichst vollständig, durch Metalldichtungen ersetzt werden.
Metalldichtungen sind als solche in der Vakuumtechnik gut bekannt.
Dort werden sie aber anstelle der preisgünstigeren Elastomer-Dichtungen eingesetzt, um erstens Vakuumkammern auf höhere Temperaturen
aufheizen zu können (zum Entgasen) und um zweitens eine bessere Dichtwirkung zu erzielen (insbesondere zur Erzeugung
von Ultrahochvakuum).
Die oben angesprochenen Probleme hinsichtlich der Verunreinigung von Lasergasen sind aber grundsätzlich verschieden von den vor-
stehend angesprochenen Problemen der Ultrahochvakuumtechnik. Deshalb wurden bei Lasern im Stand der Technik regelmäßig Elastomer-Dichtungen
verwendet. Es hat sich jedoch überraschend herausgestellt, daß diese Elastomer-Dichtungen eine nicht unbeachtliche
Verunreinigungsquelle für das Lasergas darstellen, insbesondere bei Langzeitbetrieb des Lasers mit hohen Repititionsraten. Diesem
Problem kann durch Verwendung von Metalldichtungen abgeholfen werden.
Bevorzugt wird als Dichtungsmaterial für die Metalldichtungen Indium, Kupfer, Aluminium oder Gold verwendet. Auch Legierungen,
die eines oder mehrere dieser Metalle enthalten, können eingesetzt werden. Auch können zur Abdichtung Metall-Keramik-Verbindungen
eingesetzt werden, z.B. Vacor (Warenzeichen).
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
Laserröhre anhand einer schematischen Zeichnung näher erläutert.
Die einzige Figur zeigt schematisch einen Abschnitt einer Laserröhre,
an der verschiedene Bauteile abgedichtet befestigt sind.
Die Laserröhre 10 weist eine Wand 12 auf, die gemäß dem Stand der Technik aus einer Metallegierung besteht, die verträglich
ist mit den im Inneren der Laserröhre 10 verwendeten Halogengasen, zum Beispiel Fluor, Chlor, Chlorwasserstoff etc.
Die Laserröhre 10 weist zum Beispiel eine erste Öffnung 14 auf, die durch einen Flansch 16 mit einem Fenster 18 gasdicht verschließbar
ist. Die Befestigungsmittel (z.B. Schrauben oder dergleichen), mit denen der Flansch 16 an der Laserröhre 10
befestigt ist, sind in der Figur nicht dargestellt. Zwischen dem Flansch 16 und der Wandung 12 der Laserröhre 12 ist eine
Metalldichtung 20 eingequetscht. In als solches bekannter Weise können z.B. Schneidkanten am Flansch 16 und/oder an der gegenüberliegenden
Wandung der Laserröhre vorgesehen sein, die beim Abdichten in das relativ weichere Metall der Dichtung 2 0 eindringen.
Weiterhin ist in der Figur schematisch eine Leitung 22, z.B. zum Zuführen von Lasergas in die Laserröhre 10, dargestellt.
Die Leitung 22 ist in Bezug auf die Wand 12 der Laserröhre 10 mittels einer Dichtung 24 abgedichtet, die ebenfalls aus Metall
besteht, z.B. Kupfer.
Analog ist eine Durchführung 26 zum Zuleiten elektrischer Spannungen
zu Elektroden im Inneren der Laserröhre (nicht gezeigt) mittels einer metallischen Dichtung 28 abnehmbar an der Wand 12
der Laserröhre 10 befestigt. Auch hier sind die Mittel, mit denen die Befestigung erfolgt {z.B. Schrauben oder dergleichen)
nicht dargestellt.
Im Inneren der Laserröhre 10 ist ein Gebläse 30 zur Gasumwälzung angeordnet, wobei der Antrieb des Flügelrades des Gebläses 30
über eine als solche bekannte Magnetkupplung erfolgt. Für das im Inneren der Laserröhre 10 angeordnete Kugellager des Gebläses
30 wird auf jegliche Fettschmierung verzichtet und stattdessen wird ein dauerlaufgeeignetes Kugellager der oben beschriebenen
Art, z.B. aus Metall und/oder Keramik verwendet.
Beide oben beschriebenen Maßnahmen, nämlich die Verwendung von Metalldichtungen statt Elastomer-Dichtungen und die Verwendung
von dauerlaufgeeigneten Kugellagern ohne Fettschmierung sind
jeweils für sich geeignet, die Lebensdauer des Lasers, insbesondere die Lebensdauer des verwendeten Lasergases, beträchtlich
zu verlängern. Die beiden Maßnahmen können deshalb jeweils unabhängig voneinander eingesetzt werden, jedoch werden beste Ergebnisse
bei konsequenter Vermeidung jeglicher Fettschmierung für alle in der Laserröhre angeordnete Lager und gleichzeitige Eliminierung
jeglicher Elastomer-Dichtungen erreicht.
Claims (2)
1. Laserröhre für halogenhaltige Gasentladungslaser mit Dichtungen
(20, 24, 28) zum gasdichten Befestigen von Bauteilen, wie Flanschen (16), Durchführungen (22, 26) oder Fenstern (18),
an der Laserröhre (10), dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungen (20, 24, 28) aus einem Metall bestehen.
2. Laserröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Dichtungen (20, 24, 28) aus Indium, Kupfer, Aluminium oder Gold oder einer Legierung bestehen, die zumindest eines dieser
Metalle enthält.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19502245 | 1995-01-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE29520820U1 true DE29520820U1 (de) | 1996-04-18 |
Family
ID=7752294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE29520820U Expired - Lifetime DE29520820U1 (de) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | Laserröhre für halogenhaltige Gasentladungslaser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE29520820U1 (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005024931B3 (de) * | 2005-05-23 | 2007-01-11 | Ltb-Lasertechnik Gmbh | Transversal elektrisch angeregter Gasentladungslaser zur Erzeugung von Lichtpulsen mit hoher Pulsfolgefrequenz und Verfahren zur Herstellung |
| WO2014017952A1 (ru) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | Khristoforov Oleg Borisovich | Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения |
-
1995
- 1995-01-25 DE DE29520820U patent/DE29520820U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005024931B3 (de) * | 2005-05-23 | 2007-01-11 | Ltb-Lasertechnik Gmbh | Transversal elektrisch angeregter Gasentladungslaser zur Erzeugung von Lichtpulsen mit hoher Pulsfolgefrequenz und Verfahren zur Herstellung |
| US7672354B2 (en) | 2005-05-23 | 2010-03-02 | Ltb-Lasertechnik Berlin Gmbh | Electrically excited gas discharge laser for generating high-repetition frequency light pulses and method for the production thereof |
| WO2014017952A1 (ru) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | Khristoforov Oleg Borisovich | Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения |
| RU2514159C2 (ru) * | 2012-07-23 | 2014-04-27 | Олег Борисович Христофоров | Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения |
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|---|---|---|---|
| R207 | Utility model specification |
Effective date: 19960530 |
|
| R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 19980304 |
|
| R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: LAMBDA PHYSIK AG, DE Free format text: FORMER OWNER: LAMBDA PHYSIK GESELLSCHAFT ZUR HERSTELLUNG VON LASERN MBH, 37079 GOETTINGEN, DE Effective date: 20010219 |
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| R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20010221 |
|
| R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20030224 |
|
| R071 | Expiry of right |