DE2950919C2

DE2950919C2 - Optisch-mechanische Abtastvorrichtung

Info

Publication number: DE2950919C2
Application number: DE2950919A
Authority: DE
Inventors: Jean-Claude Orsay Tichtinsky
Original assignee: Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
Current assignee: Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
Priority date: 1978-12-14
Filing date: 1979-12-14
Publication date: 1982-12-09
Also published as: FR2444283B1; CA1113291A; CH632851A5; FR2444283A1; GB2038025B; GB2038025A; US4302709A; DE2950919A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erfassung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Laserlicht, mit einem Schwinger, der einen an seinen Enden mit einem festen Gehäuse verbundenen Torsionsstab und ein auf dem Torsionsstab befestigtes optisches Element für die Strahlung aufweist, wobei in der Nabe der Enden Antriebselemente zur Erzeugung von Schwingungen der aus Torsionsstab und Element bestehenden Resonators angeordnet sind.

Unter »optischem Element« versteht man hier ein Element, das dazu bestimmt ist, einem Bündel elektromagnetischer Strahlung eine optische Behandlung, wie Reflexion, Refraktion, Beugung (Lichtbrechung), Phasenmodulation oder Amplitudenmodulation usw. zu vermitteln. Als Beispiele für optische Elemente, die eventuell einer Drehschwingungsbewegung oder Parallelverschiebung in Beziehung auf einen Rahmen eines optischen Gerätes oder eines Elementes einer optischen Werkbank unterworfen sind, kann man die beweglichen Gilter oder die Umkehrspiegel von Infrarotgitterspektrometern.die in den halographischen Techniken benutzten Gitter, die Modelle der Phasenelastizitätsmessung, usw nennen.

Die Schwingungsbewegung wird entweder mittels einer positiven, mechanischen Steuerung (die z. B. einen elektrischen Antriebsmotor und eine Plcuelstangen- oder Nockenverbindung enthält) erreicht oder mittels eines mechanischen Oszillators, der das optische Element trägt und mit seiner Grundresonanzfrequenz angeregt wird. Diese zweite Lösung ist in den meisten Fällen vorzuziehen, insbesondere aus Gründen des Raumbedarfs und der Leistung.

so Eine an einen Rahmen gebundene, schwingende Resonatorvorrichtung bewirkt jedoch im Rahmen Schwingungen. Dieser Nachteil wird sehr lästig, wenn das Gerät oder die Werkbank für Versuche oder Messungen bestimmt ist, die einen hohen Grad an Auflösung und/oder eine große Empfindlichkeit fordern. Die Lösung, zu der man notgedrungen kommt, ist die Überdimensionierung des Rahmens, um seine Steifheit und seine Masse zu erhöhen. Diese Lösung ist angebracht für Geräte oder Werkbänke, die ortgebunden sind, aber keinesfalls für Geräte, die in Luftfahrzeugen oder Satelliten montiert sind, in welchen die Größe des verladenen Materials sehr beschränkt ist.

Man hat bereits eine Lösung vorgeschlagen, die in einigen Fällen die Verminderung der Erregung im Rahmen gestattet. Sie besteht aus einer Vorrichtung mit einem Torsionsstabresonator, der dazu bestimmt ist, einen Drehspiegel zum Schwingen zu bringen, die Enden des Drehstabs mit dem Rahmen durch elastische

Zapfen zu verbinden, d. h. durch biegsame Elemente, deren Torsionssteifheit sehr viel kleiner ist als die Steifheit des Stabes. Es handelt sich hier nur um eine Sonderlösung, die nicht sehr zufriedenstellend ist (insbesondere für ein in einem Flugkörper verladenes Gerät), da der Rahmenteil, der direkt mit dem Resonator verbunden ist einem Torsionsmoment unterliegt, das nicht zu vernachlässigen ist und das von der Reaktion des Erregersystems bewirkt wird. Die dem Rahmen und den anderen Elementen, die es trägt, übermittelten Schwingungen verursachen eine Energiestreuung, die nur dem Erregungselemen» des Resonators zugeschrieben werden kann. Der Resonanzfaktor Q des Schwingungssystems wird verfälscht und hängt ab von der inneren Dämpfung des durch das Gerät und eventuell seinem Träger gebildeten Aufbaus. Diese Dämpfung wechselt jedoch je nach den Umgebungsbedingungen (Temperatur, Druck, mechanische Beanspruchungsfaktoren, die insbesondere der Trägheit im Fall von Beschleunigung zuzuschreiben ist, -leränderliche Schwere, usw.). Die die Schwingungsbewegungen charakterisierenden Parameter (insbesondere die Frequenz und die Amplitude) sind keine Konstanten mehr.

Man hat ebenfalls vorgeschlagen, die Störschwingungen zu verringern, die durch den Träger einer Vorrichtung erzeugt werden, die durch eine schwingende Bewegung erzeugt wird, indem man einen dynamischen reibungslosen Dämpfer auf dem Träger anbringt, der aus einem schwingenden System besteht, das eine durch richtig dimensionierte und am Träger befestigte, elastische Mittel getragene Masse enthält. Die Störschwingungen regen den dynamischen Dämpfet an, wobei er pendelt und eine Gegenkraft erzeugt, die jederzeit gleich der Störungskraft und ihr entgegengesetzt ist. Die bis jetzt entwickelten, dynamischen Dämpfer sind für industrielle Zwecke vorgesehen, bei welchen man eine größere Restschwingung aufgrund der Größe der Anlagen oder der bestehenden Umgebungsbedingungen zulassen kann. Solche Dämpfer sind jedoch nicht leistungsfähig genug, um bei Verwendung mit den oben beschriebenen, optischen Geräten noch wirksam zu sein.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die genannten Nachteile zu beseitigen und eine Übertragung von Schwingungen auf das Gehäuse möglichst weitgehend auszuschließen, indem Kompensationsmittel geschaffen werden, die dem Gehäuse an der Befestigungsstelle eine Reaktion übertragen, die den durch den Resonator aufgeprägten Einfluß annulliert.

/,(Λΐ,/dr²)

-a₂)=0

t²) + AT₁ (a₂ - fli) + AT₃ (fl₂ - a₃) = 0
/₃ (d²a₃ld t²) + Ki (a₃ - O₃) = 0

Dazu sieht die Erfindung bei der eingangs genannten Vorrichtung vor, daß die Antriebselemente auf der dem Resonator abgewandten Seite mit je einem Hilfsresonator gekoppelt sind, der auf die Frequenz des Resonators

■ abgestimmt ist und aus einseitig eingespannten, zuni Resonator gegenphasig schwingungsfähigen Plättchen besteht und daß der aus Resonator und Hilfsresonator gebildete Schwinger im Bereich der Antriebselemente mit dem Gehäuse verbunden ist

• In einer Ausführungsform weist jedes Antriebselement einen seitlich der Torsionsstabachse angeordneten, piezoelektrischen Erreger auf, der dem optischen Element Schwingungen überträgt

In einer anderen Ausführungsform mit verbesserter

■ mechanischer Leistung ist der Resonator mit einem Mittelstück des Armes befestigt, auf den die piezoelektrischen Erreger einwirken.

Bei Dauerschwingungsbetrieb zwingt die Kopplung der beiden Resonatoren über den Teil des Rahmens letztere gegenphasig zu schwingen und zwar mit einem derartigen Amplitudenverhältnis, daß die jeweils periodisch auf den Teil des Rahmens durch die beiden Resonatoren aufgetragenen, mechanischen Beanspruchungen jederzeit die gleichen Amplituden, eine gleiche , Richtung und entgegengesetzte Richtungen haben, und zwar ist:

/1 die Trägheit (oder dynamische Masse) des Hauptresonators, Ki seine Steifheit bei dem oder den Freiheitsgraden, die ihm zugeteilt sind, a\ der Momentwert der Verschiebung (Winkel- und/oder Linear-) des Schwerpunktes des genannten Resonators und A\ die Amplitude dieser Verschiebung;

I₂ die Trägheit des durch den Teil des Rahmens und durch die Mittel, die die zwei Resonatoren an diesen Teil des Rahmens verbinden, gebildeten Systems, K₂ seine Steifheit bei dem oder den gleichen Freiheitsgraden, a₂ der Momentwert der Verschiebung seines Schwerpunktes und A₂ die Amplitude dieser Verschiebung; schließlich

/3 die Trägheit des Hilfsresonators, K₃ seine Steifheit in dem oder den gleichen Freiheitsgraden, a₃ der Momentwert der Verschiebung in seinem Schwerpunkt und A₃ die Amplitude dieser Verschiebung.

In einem nicht gedämpften System ist infolge der Kopplung zwischen den beiden Resonatoren über den Teil des Rahmens das System der Bewegungsgleichungen wie folgt:

(D

Für irgendeine Schwingungsfrequenz F ist das System der Verschiebungsgleichungen wie folgt (wobei / die Zeit ist):

αϊ = A₁ sin 2 π Ft

O₂= A₂ sin 2 π Ft (2)

a₃ = A₃ sin 2 π Ft

Wenn man Fp als gemeinsame Eigenfrequenz der beiden Resonatoren annimmt, d. h.

(3)

so erhält man aus den vorhergehenden Gleichungen folgendes Gleichungssystem:

- A₁F² + Fp² (A_x - A₂) = 0

- A₃F² + Fp² (A₂ - A₂) = 0
I₁Ai + I₂A₂+I₃A₃ =0

Dieses Gleichungssystem enthält unter anderem drei eigentümliche Lösungen:

- für F = 0, Ai=A₂= A₃

- für F = Fp, A₂=O und A₁I₁ + A₃I₃ = 0

-TUtF = Fp A₁ = A₃

A₂ = -A_x [(/,

{\+[{h+I₃)II₂V¹²)

Die Beziehung (5) ist ohne Interesse, da sie der Unbeweglichkeit der beiden Resonatoren entspricht. Die Beziehungen (6) und (7) entsprechen jeweils den beiden Eigenfrequenzen des mechanischen Systems.

F = Fp, nach (6) entspricht dem Fall, wo die Eigenfrequenz der gesamten Einheit gleich der Eigenfrequenz der beiden gegenphasig schwingenden Resonatoren (einzeln betrachtet) ist. Man sieht, daß die Amplitude des Hilfsresonators sich so verhält, daß die Beanspruchung, die er auf den Teil des Rahmens ausübt, jederzeit die durch den Hauptresonator ausgeübte Beanspruchung annulliert. Der Teil des Rahmens unterliegt dauernd Kräften und/oder genau entgegengesetzten Kraftmomenten und bleibt bewegungslos. Der Schwingungsbetrieb des Systems ist beständig.

F= Fp 11 +[C/, + /₃)//₂]"2}, nach (7), entspricht dem Fall, wo die beiden Resonatoren gleichphasig sind; die durch die Resonatoren ausgeübten Beanspruchungen addieren sich jederzeit und werden durch die Reaktionen des Teiles des Rahmens ausgeglichen, der wichtigen energiestreuenden Verschiebungen unterliegt Der Dämpfungskoeffizient und der Resonanzfaktor des mechanischen Systems sind entsprechend viel größer und viel schwächer als im vorhergehenden Fall. Es handelt sich also um einen unbeständigen Betrieb. Wenn das System in eine elektromagnetische Schwingungsschleife eingebaut wird, so erlangt es die Frequenz F= Fp schnell und bewahrt sie, die dem beständigen Betrieb und der quasi absoluten Unbeweglichkeit des Teils des Rahmens entspricht.

Die vorhergehenden Berechnungen wurden ohne jegliche nachfolgende Hypothesen aufgestellt:

— über der oder die der Bewegung des optischen Elementes — und demzufolge den Resonatoren (Drehung und/oder Parallel verschiebung) — zugeteilten Freiheitsgraden;

— über die Verformungsart der elastischen Mittel der Resonatoren (Durchbiegung, Verdrehung usw.);

— über die Art der Mittel, die das:u bestimmt sind, dem optischen Element die Schv/ingungsbewegungen zu übertragen (piezoelektrische, elektromagnetische Mittel usw.);

— über denjenigen Resonator, auf welchen die genannten Mittel wirken und über den Bereich des betreffenden Resonators, auf welchen die Erregung ausgeübt wird;

— über die relative Lage der beiden Resonatoren zueinander und gegenüber dem Teil des Rahmens.

Die Erfindung wird nun anhand nachfolgend aufgeführter Zeichnungen beschrieben.

Fig. IA ?eigt, teils als Übersichtszeichnung, teils als Blockdiagramm, eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Übertragung einer drehenden Schwingungsbewegung auf einen Spiegel.

Fig. IB zeigt eine Übersichtszeichnung einer Variante der erfindungsgemäßen Ausführungsform.

Fig.2 ist ein einfaches Schema des mechanischen Teils einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Hauptresonator, dem Parallelverschiebung übertragen wird, und einem Hilfsresonator nach F i g. 1A. Und

Fig.3 zeigt schematisch eine Anwendung der Erfindung auf ein optisches Ausrichtungssystem eines Laserstrahles.

Wie auch der Resonator, auf den die Erregungsmittel direkt wirken, ausgelegt sein mag, man wird denjenigen »Hauptresonator« nennen, der das zur Schwingung zu bringende optische Element trägt.

Betrachten wir zunächst die F i g. 1A. Der Spiegel 1 ist auf zwei gegenüberliegenden Seiten an zwei Torsionsstäben 2 befestigt, die jeweils mit zwei als Armen ausgebildeten Stabträgern 21 abschließen. Praktisch wird die Befestigung mittels einer nicht gezeigten, mit den Torsionsstäben verbundenen Armatur hergestellt, auf welche der Spiegel geklebt ist. Der Spiegel 1, die Drehstäbe 2 und die Stabträger 21 bilden den Hauptresonator. Jeder Stabträgern 21 ist an einen Teil 6 des Geräterahmens mittels eines Schwingungserregers befestigt, der aus zwei Stapel 3 von piezoelektrischen Scheiben und Stützplatten 4 besteht, die am Teil 6 des Rahmens angebracht sind. Die Achsen der beiden Stapel 3, die zwischen jedem Träger 21 und der entsprechenden Stützplatte 4 liegen, sind selbstverständlich parallel und zu beiden Seiten der geometrisehen Achse des entsprechenden Drehstabes 2 in einer zur genannten Achse senkrechten Ebene angeordnet. Die beiden piezoelektrischen Stapel 3 eines gleichen Erregers werden durch Wechselströme mit der Eigenfrequenz des Hauptresonators und gegenphasig über einen elektronischen Steuerkreis gespeist Die beiden Erreger sind selbstverständlich phasengleich. Um das System gegen Temperaturschwankungen unempfindlich zu machen, besteht dieser Kreis haupt-

sächlich aus einem Verschiebungsgeber für den Spiegel (hier ein Beschleunigungsmesser 7), der am Spiegel angebracht ist, und aus einem Verstärker 81, dessen Eingang mit dem Ausgang des Gebers 7, über dessen Ausgang die Erreger 3 gespeist werden, verbunden ist. Das so gebildete, mechanisch-elektrische System ist selbstschwingend und stimmt sich stets auf die Frequenz des Hauptresonators ein. Eine Verstärkungsregelungsschleife wird durch einen Verstärker 82 dargestellt, dessen Eingang ebenfalls mit dem Geber 7 und dessen Ausgang mit einem Eingang der Verstärkungsregelung des Verstärkers 81 verbunden ist. Diese Schleife wirkt auf die Verstärkung des Verstärkers 81, damit die Amplitude des Signals des Gebers 7 konstant bleibt und somit auch die Amplitude der Schwingungsbewegung des Spiegelt 1 konstant bleibt.

Es ist ein »mechanischer Hilfsresonator« mit dem Teil 6 des Rahmens verbunden. Er besteht aus zwei Elementen 5 mit elastischen Schwingungsplättchen, die mit ihrer Stützfläche 51 festgemacht sind, auf die die Vorderseiten jeder Stützplatte 4, die der Fläche, die einen Erreger 3 trägt, entgegengesetzt ist, vorgesehen sind. Jedes Element 5 enthält zwei biegsame Plättchen 52, die sich symmetrisch auf beiden Seiten der gemeinsamen Axialebene des Hauptresonators und der Erreger 3 erstrecken. Die vier Plättchen 52, die in einer zur genannten Axialebene senkrechten Ebene angebracht sind, sind so dimensioniert, daß ihre Resonanzfrequenz gleich der des Hauptresonators ist. Die gesamte Einheit entspricht einem Torsionspendel mit großen Resonanzfaktoren und sehr schwachem Dämpfungskoeffizienten. Die Oszillation dieses Pendels wird durch eine minimale Verschiebung des Teiles des Rahmens 6 unterstützt.

Die Fig. IB zeigt eine Variante der erfindungsgemäßen Ausführungsform, die von der in F i g. IA in der Art verschieden ist, daß der Schwingungserreger, der aus zwei Stapel 3 piezoelektrischer Scheiben besteht, zwischen dem Hilfsresonator 5 und dem Teil des Rahmens 6 untergebracht ist und nicht zwischen dem Hauptresonator und dem genannten Teil. Der Erreger 3 erregt also indirekt den Hauptresonator und direkt den Hilfsresonator.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung, so wie sie gemäß Fig. IA beschrieben wurde, wurde bei einem Spektrometer mit festem Gitter und mit schwingendem Spiegel, das für einen Satelliten bestimmt war, angewendet Der Spiegel 1, der auf eine Fassung aus Invar (Stahl mit Nickel) geklebt ist, mißt 100-100-30 mm. Die beiden Torsionsstäbe 2, deren Durchmesser 9,3 mm und die Längen 10 mm betragen, bestehen aus Stahl Z 30 C 13. Jeder der beiden Stapel 3 von jedem Erreger besteht aus fünf Scheiben aus piezoelektrischer Keramik (Stärke 2 mm und Durchmesser 14 mm) und wird mit einer Effektivspannung von 1,16 V gespeist. Die beiden biegsamen Plättchen 52 von jedem der beiden Elemente des Hilfsresonators 5 bestehen aus Stahl Z 30 C 13, haben eine Länge von 63 mm und einen Querschnitt von 2,3 · 15 mm. Die Resonanzfrequenz des Systems beträgt 504 Hz, die Winkelamplitude der Spiegeloszillationen 6,25 Bogensekunden und der Resonanzfaktor Q = 560. Letzterer bleibt beständig, welcher Art der verbundene Rahmen auch sein mag. Wenn der Hilfsresonator 5 entfernt wird, stellt man fest, daß je nach mechanischen und geometrischen Eigenschaften des verbundenen Rahmens (Elastizitätsmodul des Materials, Form und Masse) die Resonanzfrequenz sich zwischen 508 und 520 Hz und der Resonanzfaktor ζ) zwischen 7,5 und 150 verändert. Diese Ergebnisse bestätigen die Vorteile der Erfindung.

F i g. 2 zeigt, daß ein Hilfsresonator 5 mit schwingen den Plättchen, wie der von F i g. 1A (oder 1 B) mit einem Hauptresonator angewandt werden kann, der ein optisches Element in Parallelverschiebung anstatt in Drehung bewegt. Der Hauptresonator RS (Trägheit M 5, Steifheit R 5), der das Element O 5 trägt, wird durch den Erreger ES erregt. Der Hilfsresonator R'5, der mit seiner zentralen Stützplatte CS an der Seite des Rahmens B befestigt ist, die derjenigen, die den Resonator R 5 trägt, gegenüberliegt, enthält elastische Plättchen L 5, die sämtlich gegenphasig mit der Masse MS schwingen.

Die Fig. 3 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung für die optische Ausrichtung eines Laserstrahles auf ein Ziel. Die Vorrichtung enthält einen Planspiegel 100 und eine Steuervorrichtung für die Spiegelschwingungen, die aus zwei Stapelpaare 111-112 und 113-114 von piezoelektrischen Scheiben besteht, die auf dem Hilfsresonator 120, der mit dem Rahmen 130 verbunden ist, befestigt sind Die Paare 111-112 und 113-114 werden über zwei nicht gezeigte Wechselsignalgeneratoren gespeist und zwar mit Frequenzen, die der Resonanz! requenz gemäß den zwei Drehachsen Ox und Oy des Hauptresonators entsprechen. Letzterer besteht aus dem Spiegel 100, der direkt mit den Stapeln 111, 112, 113 und 114 verbunden ist; die elastische Rückstellung des Spiegels auf die beidt-n Achsen Ox und Oy erfolgt dank der Steifheit der Stapel piezoelektrischer Scheiben. Der Hilfsresonator enthält zwei orthogonale Paare, die auf die Achsen Ox und Oy der biegsamen Plättchen 52 und 53 ausgerichtet sind. Die Plättchen sind in eine kreuzförmige Stützplatte 121 eingelassen und so

5n dimensioniert, daß sie unter dem Einfluß der vom Hauptresonator erzeugten Schwingungen in Resonanz treten.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

1 Patentansprüche:

1. Vorrichtung ?.ur Erfassung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Laserlicht, mit einem Schwinger, der einen an seinen Enden mit einera festen Gehäuse verbundenen Torsionsstab und ein auf dem Torsionsstab befestigtes optisches Element für die Strahlung aufweist, wobei in der Nähe der Enden Antriebselemente zur Erzeugung von Schwingungen des aus Torsionsstab und Element bestehenden Resonators angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebselemente (3) auf der dem Resonator (1,2) abgewandten Seite mit je einem Hilfsresonator (5) gekoppelt sind, der auf die Frequenz des Resonators (1, 2) abgestimmt ist und aus einseitig eingespannten, zum Resonator gegenphasig schwingungsfähigen Plättchen (52,53) besteht, und daU der aus Resonator (I₁ 2) und Hiifsresonator (5) gebildete Schwinger im Bereich der Antriebselemente (3) mit dem Gehäuse (6) verbunden ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Antriebseelement einen seitlich der Torsionsstab-Achse angeordneten, piezoelektrischen Erreger aufweist, der zwischen einen mit dem Torsionsstabende verbundenen Arm (21) und dem eingespannten Ende des Plättchens (52) angeordnet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich jedes Antriebselement aus einem Paar von piezoelektrischen Erregern (3) zusammensetzt, die sich bezüglich der Torsionsstab-Achse gegenüberliegen.

4. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Hilfsresonator (5) aus zwei gegenüberliegenden Plättchen besteht, deren Enden in einem gemeinsamen Block (51) eingespannt sind.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (6) an einem Mittelstück des Armes (21; befestigt ist (Fig. IB).

6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (6) an dem Block (51) befestigt ist (F ig. IA).

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Hilfsresonator (120) aus einer mit dem Gehäuse (130) verbundenen Stützplatte (121) besteht und vier biegsame Plättchen (52,53) umfaßt, die paarweise auf die Richtungen der ebenen Orothogonalachsen (Ox, Oy) ausgerichtet sind, und daß die Antriebselemente aus vier Stapeln piezoelektrischer Scheiben (111, 112; 113, 114) bestehen, die an der Stützplatte (121) in der Nähe des eingespannten Endes der vier Plättchen (52, 53) befestigt sind, auf die Längsachsen der Plättchen zentriert sind und das optische Element (100) tragen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweils auf eine der Orlhogonal-•chsen (Ox. Oy) zentrierten Stapel (Hl, 112) gegenphasig über einen ersten elektrischen Generator mit Wechselsignalen mit der Resonanzfrequenz des Resonators (100) um die zugehörige Orthogonalachse (Ox, Oy) erregt werden und daß die beiden zur anderen Orthogonalachse ausgerichteten Stapel (113, 114) gegenphasig durch einen zweiten elektrischen Generator mit Wechselsignalen mit der Resonanzfrequenz des Resonators (100) um die

zugeordnete Orthogonalachse erregt werden, und daß die vier biegsamen Plättchen (52, 53) unter der Wirkung der vom Resonator (100) erzeugten Schwingungen in Resonanz treten.

9. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Resonator (1,2) mit einem Bewegungsgeber (Beschleunigungsmesser 7) gekoppelt ist, dessen Ausgangssignale einem Verstärker (Sl) zugeführt sind, dessen Ausgangssignale die Antriebselemente (3) steuern.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet daß der Verstärkungsgrad des Verstärkers (81) durch einen Regelkreis (82) geregelt ist