DE2918016A1

DE2918016A1 - Vorrichtung zum messen elektrostatischer potentiale

Info

Publication number: DE2918016A1
Application number: DE19792918016
Authority: DE
Inventors: Robert Russell Hay; Ronald Alan Juve
Original assignee: Hewlett Packard Co
Current assignee: HP Inc
Priority date: 1978-05-11
Filing date: 1979-05-04
Publication date: 1979-11-15
Also published as: GB2022850A; CA1125373A; GB2022850B; FR2425645B1; SG48985G; US4197493A; JPS54147880A; FR2425645A1; HK20086A; JPS5921509B2

Description

Int. Az.: Case 1271 fy. 20. März 1979

Hewlett-Packard Company VORRICHTUNG ZUM MESSEN ELEKTROSTATISCHER POTENTIALE

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Kontaktlose elektrostatische Geräte zum Messen von Oberflächenpotentialen sind z.B. bekannt aus der US-PS 3 525 936 und der US-PS 3 611 127. Solche elektrostatischen Voltmeter besitzen mechanische Vorrichtungen zum Verändern der Kapazität zwischen einer Detektorelektrode und der zu messenden Oberfläche. Diese sich ändernde Kapazität erzeugt ein Wechselstrom-Fehlersignal auf der Detektorelektrode, welches proportional zur Differenz zwischen der Gleichspannung der Detektorelektrode und dem Potential der Oberfläche ist. Mit der Detektorelektrode ist eine Rückkopplungsschaltung verbunden, die bewirkt, daß die Gleichspannung der Detektorelektrode entsprechend dem Fehlersignal auf einen Wert geregelt wird, der gleich dem Potential der Oberfläche ist. Durch Messung der Gleichspannung auf der Detektorelektrode läßt sich dann das Potential der Oberfläche bestimmen. Nachteilig bei solchen Vorrichtungen ist, daß die mechanischen Einrichtungen zum Variieren der Detektor/Oberfläche-Kapazität sehr komplex sind. Außerdem ist zur Einstellung der Detektor-Gleichspannung eine teuere einstellbare Hochspannungsversorgung erforderli ch.

Andere typische kontaktlose elektrostatische Voltmeter haben Detektoren,- die kapazitiv mit der zu messenden Oberfläche und mit Masse verbunden sind. Das Oberflächenpotential kann dann aus der Gleichspannung des Detektors und den Werten der Kapazitäten zwischen Detektor und Oberfläche bzw. Detektor und Masse ermittelt werden. Allerdings ist es in diesem Fall recht schwierig, die Kapazität zwischen Detektor und Oberfläche genau

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zu bestimmen. Ohne eine solche genaue Bestimmung kann jedoch das Oberflächenpotential mit dieser Art Voltmeter nicht genau bestimmt werden.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei einfachem Aufbau sehr genau arbeitet. Die Lösung dieser Aufgabe ist im Anspruch 1 gekennzeichnet.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein elektrostatisches Voltmeter vorgesehen, welches einen kapazitiv mit einer lichtempfindlichen Trommel gekoppelten Detektor sowie eine Referenzpotential quelle aufweist, welche entsprechend dem elektrostatischen Potential der Trommel eine Detektorspannung erzeugt. Außerdem ist eine Wechsel Spannungsquelle vorgesehen, die ein Referenz-Wechselspannungssignal an die Reihenschaltung aus der Kapazität zwischen Oberfläche und Detektor und der Kapazität zwischen Detektor und Quelle legt. Speziell kann diese Wechselspannungsquelle auch zwischen die Referenzpotentialquelle und Masse geschaltet sein. Eine an den Detektor angeschlossene Schaltung ermittelt das Verhältnis zwischen dem Referenz-Wechsel Spannungssignal und der Wechsel Spannungskomponente der Detektorspannung. Daraus läßt sich das elektrostatische Oberflächenpo.tential bestimmen, indem die Gleichspannungskomponente der Detektorspannung mit dem genannten Verhältnis multipliziert wird. Gemäß einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel ist mit dem Detektor ein Verstärker mit variablem Verstärkungsfaktor verbunden. Dieser Verstärkungsfaktor wird so eingestellt,, daß sich ein vorbestimmtes Verhältnis zwischen dem Referenz-Wechsel Spannungssignal und der verstärkten Wechsel Spannungskomponente des Ausgangssignals des Detektors ergibt. Das elektrostatische Potential der Oberfläche ist dann das Produkt aus der verstärkten

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Gleichspannungskomponente des Detektor-Ausgangssignals und dem genannten vorbestimmten Verhältnis.

Weitere vorteilhafte Ausführungsformen bzw. Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der zugehörigen Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen:

Figur 1 ein Blockschaltbild eines elektrostatischen Voltmeters gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 2 ein Blockschaltbild eines elektrostatischen Voltmeters, gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 3 ein detailliertes Schaltbild des in Figur 2 enthaltenen synchronen Detektors;

Figur 4 ein detailliertes Schaltbild des in Figur 2 enthaltenen Verstärkers mit variablem Verstärkungsfaktor; und

Figur 5 das Schaltbild des in Figur 2 enthaltenen Vorverstärkers,

In Figur 1 ist mit 11 ein Detektor bezeichnet, der eine Elektrode 13 aufweist, die kapazitiv mit einem Prüfling 15 verbunden ist, dessen elektrostatisches Potential V<- gemessen werden soll. Der Prüfling 15 ist wechselstrommäßig mit Masse verbunden. Zur Veranschaulichung sind das elektrostatische Potential V~ und die wechselstrommäßige Verbindung mit Masse als eine Batterie 17 dargestellt, die zwischen den Prüfling 15 und Masse geschaltet ist. Typische Werte des elektrostatischen Potentials V^ liegen zwischen -50 und 600 V. Speziell kann der Prüfling 15 eine rotierende lichtempfindliche Trommel

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eines elektrophotographischen Druckers sein, der eine Mylar-Isolierschicht aufweist, die auf einen Kadmiumsulfid-Photoleiter aufgebracht ist. Der Photoleiter ist wiederum auf einen Aluminiumkern aufgebracht, welcher mit Masse verbunden ist. Die Kapazitäten der Isolierschicht und des Photoleiters betragen ungefähr 107 pF/cm² bzw. 89 pF/cm². Diese Kapazitäten können als vernachlässigbar niedrige Widerstände für das Wechsel Spannungssignal unter den erfindungsgemäßen Arbeitsbedingungen betrachtet werden, so daß der Prüfling 15 wechselstrommäßig mit Masse verbunden ist.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel hat die Elektrode 13 eine Fläche von 0,3 cm² und einen Abstand von 4 mm vom Prüfling Die Kapazität C, zwischen Elektrode 13 und Prüfling 15 beträgt 0,03 pF. .

Ein Kondensator 19 mit einer Kapazität C^= 180 pF ist zwischen die Elektrode 13 und eine Sammelleitung CC geschaltet. Die Kapazität C2 muß nicht unbedingt durch ein diskretes Bauelement gegeben sein, sondern kann auch durch die Streukapazität zwischen Elektrode 13 und Sammelleitung CC gebildet werden.

Eine Wechselspannungsquelle 21 ist zwischen Sammelleitung CC und Masse geschaltet und liefert ein Wechsel Spannungssignal V.p'an die.Reihenschaltung aus den Kapazitäten C. und C₂- Im -. vorliegenden Ausführungsbeispiel ist V„_c eine Rechteckspannung von 20 V Spitze/Spitze bei einer Frequenz von 5 kHz. Mit der Elektrode 13 ist ein Verstärker 23 verbunden, der die Spannung V_Q der Elektrode 13 aufnimmt. Der Verstärker 23 erhält seine Referenzspannung aus der Sammelleitung CC, d.h. seine Ausgangsspannung V_Qut = V- A (wobei A der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 23 ist) sowie V_Q sind beide auf die Spannung

30- der Sammelleitung CC bezogen. Die symbolische Darstellung

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der Kopplung des Verstärkers 23 mit der Sammelleitung CC wird auch in den weiteren Figuren benutzt.

Ein Wechselspannungsfilter 25 ist mit dem Verstärker 23 und der Sammelleitung CC verbunden. Dieses Filter läßt die Wechsel-Spannungskomponente V , (AC) des Ausgangssignals V . durch. Ein mit dem Verstärker 23 und der Sammelleitung CC verbundenes Gleichspannungsfilter 27 läßt die Gleichspannungskomponente

V . (DC) des Ausgangssignals V . durch-. Die Wechselspannungskomponente V . (AC) und ein von einem Verstärker 28 geliefertes Signal KV»- werden einem Teiler 29 zugeführt. Der Teiler 29 erzeugt ein Quotientensignal Vq, das dem Quotienten aus KV^ und V . (AC) entspricht. Mit dem Teiler 29 und dem Gleichspannungsfilter 27 ist ein Multiplizierer 31 verbunden, der den vom Teiler 29 gebildeten Quotienten mit dem Wert der erfaßten Gleichspannungskomponente V , (DC) multipliziert. Das vom Multiplizierer 31 gebildete Produkt ist gleich KV , einem Bruchteil des elektrostatischen Potentials V . Da der Wert von K bekannt ist, kann das elektrostatische Potential

V des Prüflings 15 ermittelt werden.

Im Ausführungsbeispiel gemäß Figur 1 werden das elektrostatische Potential V_g und das Wechsel Spannungssignal V_ftC im Detektor 11 gleich verstärkt. Dies läßt sich durch überlagerung zeigen:

weiterhin gilt:
^Vout = ^AVo

AC

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und

^VM ° ^Vout^{(DC) X V}Q = ^KV0

Da K bekannt ist, kann das elektrostatische Potential V- dadurch bestimmt werden, daß der Verstärkungsfaktor des Detektors 11 entsprechend dem Wechsel Spannungssignal V«_c und durch Division, des Gleichspannungsausgangssignals V ..(DC) des Detektors 11 durch diesen Verstärkungsfaktor ermittelt werden.

Bei dem in Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Prüfling 15 in gleicher Weise wie oben beschrieben mit dem Detektor 11 kapazitiv gekoppelt. In ähnlicher Weise ist auch eine Wechselspannungsquelle 21 zwischen die Sammelleitung CC und Masse geschaltet, so daß die Sammelleitung CC an einer Spannung V„q gegenüber Masse liegt. Der Verstärker 23 des .Detektors 1.1 ist ein Vorverstärker mit hoher Impedanz und einem Verstärkungsfaktor 1. Dieser Verstärker ist mit einem . Verstärker 35 mit einem zwischen 1 und 24 verstellbaren Verstärkungsfaktor verbunden. Der Verstärker 35 ist an den invertierenden Eingang eines Differenzverstärkers 37 angeschlossen und führt diesem ein Ausgangssignal V- zu, das eine Gleichspannungskomponente aufweist, die dem elektrostatischen Potential entspricht, sowie eine Wechsel Spannungskomponente aufweist, die dem Wechselspannungssignal V„_c entspricht . Der Verstärkungsfaktor des Differenzverstärkers 37 beträgt vorzugsweise 5. Ein Spannungsteiler 39. liegt zwischen der Sammelleitung 39 und Masse und liefert ein Wechsel Spannungssignal Vg an den nicht invertierenden Eingang des Differenzverstärkers 37. Das Wechsel Spannungssignal V₂ ist ein bekannter Bruchteil des Wechsel Spannungssignals VnQ. Vorzugsweise ist V₂ = 0,0014 V_AC (bezogen auf die Sammelleitung CC). Das Aus-

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gangssignal des Dif.ferenzverstärk^rs 37 ist über einen Kondensator 41 wechselstrommäßig mit einem Synchrondetektor 43 verbunden.

Der Synchrondetektor 43, der weiter unten näher beschrieben ist, ist weiterhin mit der Sammelleitung CC und dem Verstärker 35 verbunden, so daß dessen Verstärkungsfaktor entsprechend der Wechsel Spannungskomponente des Ausgangssignals V. des Verstärkers 35 derart verstellt werden kann, daß die Wechsel Spannungskomponente des Ausgangssignals Ί, gleich dem Wechsel Spannungssignal V₂ ist. Der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 35 wird also derart eingestellt, daß das Verhältnis der Wechsel Spannungskomponente des Ausgangssignals V, zum Wechselspannungssignal V«~ gleich 0,0014 ist. Demnach ist dann die Gleichspannungskomponente des Ausgangssignals V. (gemessen in Bezug auf die Sammelleitung CC) das 0,0014-fache des elektrostatischen Potentials V .

Der Differenzverstärker 37 und die Sammelleitung CC sind mit einem Differenzverstärker 45 verbunden. Dieser gibt ein Wechselspannungs-Äusgangssignal V . . ab, welches auf Masse bezogen' ist. Da der Verstärkungsfaktor der dargestellten Schaltung auf einen bekannten Wert eingestellt ist, ist das Ausgangssignal des Differenzverstärkers 45 ein bekannter Bruchteil des elektrostatischen Potentials V .

Wie in Figur 3 dargestellt ist, ist der Kondensator 41 mit dem nicht-invertierenden Eingang eines Verstärkers 47 im Synchrondetektor 43 verbunden. Der Verstärker 47 verstärkt das ihm zugeführte Eingangssignal um einen bestimmten Faktor, vorzugsweise 6,1. Der Verstärker 47 ist mit einem Synchronisierer 49 verbunden.. Der Synchronisierer 49 hat einen wählbaren Verstärkungsfaktor von entweder +1 oder -1. Der Verstärkungsfaktor wird entsprechend dem Pegel des Wechsel Spannungssignals V„_c auf der Sammelleitung CC gewählt. Ein Schalter 51 wird geschlossen, wenn das Wechsel Spannungssignal Vn- sich auf seinem hohen Pegel befindet, wodurch bewirkt wird, daß der

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Verstärkungsfaktor des Synchronisierers 49 zu -1 wird. Der Schalter 51 wird geöffnet, wenn sich das Wechsel Spannungssignal Vk- auf seinem niedrigen Spannungspegel befindet, wodurch bewirkt wird, daß der Verstärkungsfaktor des Synchronisierers zu +1 wird. Wenn also die Spannung des Ausgangssignals V. des Verstärkers 35 größer als die Spannung des Signals V~ des Spannungsteilers 39 ist, ist das Eingangssignal Vj., des Synchrondetektors 43 nicht in Phase mit dem Wechselspannungssignal V»,.. : Wenn das Signal V™ mit dem Signal V,,- nicht in Phase ist, ist ■ das Ausgangssignal V_Sy_NC des Synchronisierers 49 immer positiv, ■ was anzeigt, daß der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 35 zu

hoch ist. Wenn die Spannung V₁ kleiner als die Spannung V^ ist, . ist das Ausgangssignal V^w^ des Synchronisierers 49 negativ, was anzeigt, daß der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 35 zu niedrig ist Ist aber schließlich die Spannung V₁ gleich der Spannung Vg-, dann ist das Ausgangssignal Vcwmq des Synchronisierers 49 Null, was anzeigt, daß der Verstärkungsfaktor des . Verstärkers 35 richtig ist. Wenn das Ausgangssignal ^qvmq des Synchronisierers 49 sich bei der Spannung Null stabilisiert, ist die Wechsel Spannungskomponente des Ausgangssignals V₁ gleich 0,0014 V_A(r

Das Äusgangssignal V™.,- des Synchronisierers 49 wird einem Tiefpaßfilter 53 zugeführt, welches seinerseits mit einem Integrator 55 verbunden ist, der das ihm zugeführte gefilterte Signal integriert und ein integriertes Steuersignal CS dem Verstärker 35 zur Einstellung von dessen Verstärkungsfaktor zuführt..

Wie in Figur 4.dargestellt ist, ist der GATE-Anschluß eines Feldeffekttransistors 57 im Verstärker 35. mit dem Synchrondetektor 43 verbunden und empfängt von diesem das Steuersignal CS. Der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 35 hängt vom Widerstand des Feldeffekttransistors 57 ab. Das Steuersignal CS vom Synchrondetektor 43 steuert also den Verstärkungsfaktor des

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Verstärkers 35.

Wenn im Betrieb der Synchrondetektor 43 feststellt, daß die Wechsel Spannungskomponente des Ausgangssignals V, vom Verstärker 35 größer als das vom Spannungsteiler 39 gelieferte Signal V₂ ist, wird das Steuersignal CS mehr negativ. Ein stärker negatives Steuersignal CS bewirkt aber, daß der Widerstand des Feldeffekttransistors 57 ansteigt. Wenn der Widerstand des Feldeffekttransistors 57 ansteigt, wird der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 35 verringert, bis die Wechsel Spannungskomponente des Signals V. gleich dem Signal V₂ ist.

In ähnlicher Weise wird der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 35 bis zur Gleichheit von V. und V₂ nachgestellt, wenn die Wechselspannungskomponente des Signals V₁ anfänglich kleiner als das Signal V₂ ist.

Wenn der Verstärkungsfaktor des Verstärkers 35 wie oben dargestellt stabilisiert worden ist, ist die Gesamtverstärküng des Detektors 11 und der Verstärker 35, 37 und 45 gleich einem vorbestimmten Wert. Dementsprechend ist das elektrostatische Potential des Prüflings einfach ein bekanntes Vielfaches des Wertes des Gleichspannungsausgangssignals V . , des in Figur 2 dargestellten Differenz-Verstärkers 45.

Wie in Figur 5 dargestellt ist, ist die Elektrode 13 mit dem GATE-Anschluß eines Feldeffekttransistors 59 verbunden. Dieser ist wiederum mit dem Verstärker 35 verbunden, der über einen Wählschalter 61 wahlweise an eine negative Rückkopplungsschleife anschließbar ist, die einen Kondensator 63 und einen Verstärker 65 enthält. Die Rückkopplungsschleife ist so mit dem Feldeffekttransistor 59 verbunden,daß sie in ihm einen Vorstrom erzeugt, der bewirkt, daß die Ausgangsspannung des Verstärkers 35 gleich der Spannung der Sammelleitung CC wird.

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Im Betrieb arbeitet der Verstärker 23 zusammen mit einer Abdeckscheibe 67, einem Schalter 61 und einem Schalter 69 zur automatischer Kompensation von Versatzspannungen. Anfänglich werden die Schalter 61 und 69 geschlossen, und die Abdeckscheibe 67, ■ die elektrisch mit der Sammelleitung CC verbunden ist wird zwischen Prüfling 15 und Elektrode 13 geschoben und sorgt für deren kapazitive Entkopplung. In diesem Anfängszustand sind Elektrode 13 und Kondensator 19 entladen. Danach wird der Schalter 69 geöffnet. Da der Schalter 61 noch geschlossen ist, hält die Rückkopplungsschleife die Ausgangsspannung vom Verstärker 35 auf einem Wert, der der Spannung der Sammelleitung entspricht, d.h. auf Vnp. Dabei wird der Kondensator 63 auf eine stationärende Kompensationsspannung aufgeladen. Schließlich wird der Schalter 61 geöffnet, und die Abdeckscheibe 67 wird weggeklappt, so daß der Prüfling 15 und die Elektrode 13 kapazitiv miteinander gekoppelt werden. Der Kondensator 63 hält die stationäre Kompensationsspannung auf und korrigiert dadurch das Ausgangssignal des Verstärkers 35 im Falle von Driftspannungen. Das Ausgangssignal V> des Verstärkers 35 ist dadurch für alle Driftfehler . korrigiert und ist dem elektrostatischen Potential V des Prüflings 15 proportional.

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Claims

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PATENTANSPRÜCHE

ι ι. !Vorrichtung zürn Messen von elektrostatischen Potentialen, "~ g e k e η η ζ e i c h η e t durch eine Referenzspannungsquelle (CC), eine Wechselspannungsquelle (21), die eine Referenzspannung zwischen dem zu prüfenden Gegenstand (15) und der Referenzspannungsquelle erzeugt, eine vom zu prüfenden Gegenstand beanstandete Elektrode (13), die mit diesem kapazitiv gekoppelt ist und auf. der ein Signal entsteht, welches eine Gleichspannungskomponente aufweist, die dem elektrostatischen Potential des zu prüfenden Gegenstandes entspricht, sowie eine Wechsel Spannungskomponente aufweist, die der Spannung der Wechselspannungsquelle entspricht, sowie eine mit der Elektrode und der Referenzspannungsquelle verbundene Detektoreinrichtung (11), die ein Signal mit Wechsel- und Gleichspannungskomponenten erzeugt, die den Wechsel- und Gleichspannungskomponenten des Elektrodensignals entsprechen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Kondensator (19) zwischen Elektrode (13) und Referenzspannungsquelle (CC).
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Ausgangsschaltung (25, 27, 29, 31) die mit der Detektoreinrichtung (11) und der Referenzspannungsquelle (CC) verbunden ist und entsprechend den Werten des Signals der Detektoreinrichtung und der Wechselspannung ein Ausgangssignal abgibt, welches dem elektrostatischen Potential des zu prüfenden Gegenstandes (15) entspricht.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsschaltung einen mit dem Detektor (11) und der Referenzspannungsquelle (CC) verbundenen

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Verstärker (23) mit variabler Verstärkung aufweist, wobei die Verstärkung in Abhängigkeit von der Wechsel Spannungskomponente des Detektorsignals veränderbar ist, so daß ein vorgegebenes Verhältnis zwischen den Größen der Wechsel Spannungskomponente des Ausgangssignals und der Wechselspannung erreicht wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechsel Spannungsquelle (21) zwischen die Referenzspannungsquelle (CC) und Masse geschaltet ist und daß der zu prüfende Gegenstand wechselspannungsmäßig mit Masse ver-

10 bunden ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsschaltung einen ersten Differenzverstärker (37) aufweist, dessen erster Eingang mit dem Verstärker (35) mit variabler Verstärkung und dessen zweiter Eingang mit der Referenzspannungsquelle verbunden ist und dessen Ausgang wechselspannungsmäßig mit dem Verstärker mit variabler Verstärkung verbunden ist, derart, daß dessen Verstärkung veränderbar ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsschaltung eine Synchronisiereinrichtung (43) aufweist, deren erster Eingang mit der Referenzspannungsquelle, deren zweiter Eingang wechselspannungsmäßig mit dem Ausgang des ersten Differenzverstärkers (37) und deren Ausgang mit dem Verstärker (35) mit variabler Verstärkung verbunden ist, derart, daß diesem entsprechend der Größe der Wechselspannungskomponente des Detektorsignals ein Signal zugeführt wird.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch einen zweiten Differenzverstärker (45), dessen erster Eingang mit dem Ausgang des ersten Differenzverstärkers (30), dessen zweiter Eingang mit der Referenzspannungsquelle (CC) verbunden ist und der an seinem Ausgang ein Gleichspannungs-

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signal abgibt, das zum elektrostatischen Potential des zu prüfenden Gegenstandes proportional ist,
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennze ic h η e t durch einen Spannungsteiler (39), der zwischen einer ■ Referenzspannungsquelle (CC) und Masse geschaltet ist und dessen Abgriff mit dem zweiten Eingang des ersten Differenzverstärkers (37) verbunden i'st und an diesen ein Signal abgibt, das in einem vorbestimmten Verhältnis zur Referenzspannung, steht.
10. Verfahren zum Messen von elektrostatischen Potentialen, dadurch .gekennzeichnet, daß an die aus dem zu prüfenden Gegenstand und einer Elektrode bestehende Schaltung eine Wechselspannung angelegt wird, daß die Elektrode und der zu prüfende Gegenstand kapazitiv gekoppelt werden, so daß an der Elektrode ein Signal mit einer Gleichspannungskomponente entsteht, welche ein Maß für das elektrostatische Potential ist, sowie mit einer Wechsel Spannungskomponente, die der Wechselspannung entspricht, daß ein Verstärkungsfaktor entsprechend der Wechsel Spannungskomponente des Elektrodensignals bestimmt wird und daß das elektrostatische Potential auf dem zu prüfenden Gegenstand entsprechend dem Verstärkungsfaktor und der Gleichspannungskomponente des ETektrodensignals bestimmt wird.

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