DE2908696C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Stromversor­ gungseinrichtung der im Oberbegriff des Patentan­ spruchs 1 genannten Art.

Eine Funkenerosionsmaschine ist gewöhnlich mit ei­ ner Stromversorgung ausgestattet, um Hochfrequenz- Bearbeitungsimpulse zu dem mit einem Dielektrikum gefüllten Bearbeitungsspalt zwischen der Werkzeug­ elektrode und dem Werkstück in einem das Dielektri­ kum enthaltenden oder sammelnden Arbeitsbehälter zu speisen. Bei herkömmlichen EDM-Stromversorgungs­ anordnungen und -verfahren werden die Bearbeitungs­ impulse in einer Einheit (Stromversorgungseinheit) er­ zeugt, die getrennt von den eigentlichen mechanischen Bearbeitungsbauteilen und dem Arbeitsbehälter vorge­ sehen ist, in dem der Bearbeitungsspalt zwischen der Werkzeugelektrode und dem Werkstück festgelegt ist. Die getrennte Stromversorgungseinheit kann in ihrem Gehäuse alle wesentlichen elektrischen Bauteile auf­ nehmen, die erforderlich sind, um an ihrem Ausgang eine Folge von Gleichstromimpulsen einer vorbestimm­ ten Polarität bezüglich der Werkzeugelektrode und des Werkstückes zu erzeugen, wobei der Ausgang der Ein­ heit mit dem Bearbeitungsspalt über ein erforderliches langes Kabel bzw. eine Leitung verbunden ist und damit die von der Einheit abgegebenen Stromimpulse zum Bearbeitungsspalt übertragen werden. Folglich behin­ dern der Streuwiderstand bzw. die Streuinduktivität, die im Kabel oder in der Leitung enthalten sind, die Über­ tragung der elektrischen Gleichleistung und bewirken einen beträchtlichen Leistungsverlust sowie eine Ver­ zerrung des zum Bearbeitungsspalt übertragenen Si­ gnalimpulses. Daher ist in den üblichen Funkenerosions­ maschinen bisher zwangsläufig die Materialabtragung in unerwünschter Weise begrenzt, der Bearbeitungswir­ kungsgrad unbefriedigend gering und die gesamte Lei­ stungseinheit sehr aufwendig und sperrig.

Eine entsprechende Stromversorgungseinrichtung der eingangs vorausgesetzten Art ist aus der US-PS 37 77 108 bekannt, in der über die räumliche Zuordnung von HF-Generator, Gleichrichter und Arbeitsspalt nichts angegeben ist.

Aus der US-PS 28 56 565 ist eine Funkenerosionsma­ schine bekannt, die eine einfache HF-Speisung mit Ein­ weggleichrichtung und nahe dem Arbeitsspalt angeord­ neten Kondensatoren aufweist, die die Leistung der ein­ zelnen Entladungen im Arbeitsspalt begrenzen und dank ihrer Anordnung sehr kurze Leitungen zur Werk­ zeugelektrode und zum Werkstück ermöglichen, wo­ durch die Streuinduktivität verringert und der Bearbei­ tungswirkungsgrad verbessert werden.

Die US-PS 33 44 255 offenbart eine EDM-Stromver­ sorgungseinrichtung mit HF-Strom, wobei in einer Gleichrichterschaltung der HF-Strom durch einen Übertrager mit Primär- und Sekundärwicklung trans­ formiert und mittels eines Gleichrichters gleichgerichtet wird, um eine Folge von Halbwellen gegebener Polari­ tät als Bearbeitungsimpulse zu erzeugen, die über ein Koaxialkabel dem Arbeitsspalt zugeführt werden, wo­ bei über die Länge des Koaxialkabels und die räumliche Zuordnung zwischen Gleichrichterschaltung und Ar­ beitsspalt keine Angaben gemacht sind.

Schließlich ist es aus der US-PS 39 43 321 bekannt, bei einem Funkenerosionsverfahren die Folge der Bearbei­ tungsimpulse periodisch oder intermittierend zu unter­ brechen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Stromversorgungseinrichtung der eingangs vorausge­ setzten Art zu entwickeln, die einen möglichst geringen Leistungsverlust aufgrund von Streuwiderstand und -in­ duktivität zwischen dem Gleichrichter und Werkzeug­ elektrode sowie Werkstück, eine von Verzerrung im wesentlichen freie lmpulswellenform durch den Ar­ beitsspalt und damit einen erhöhten Bearbeitungswir­ kungsgrad ermoglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 ge­ löst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Anhand der Zeichnung wird die Erfindung nachfol­ gend beispielsweise näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 ein Schaltbild eines Ausführungsbeispiels der Erfindung,

Fig. 2 ein Schaltbild eines weiteren Ausführungsbei­ spiels der Erfindung mit einer abgewandelten Form ei­ nes Generators,

Fig. 3a, 3b und 3c den Verlauf der elektrischen Span­ nung oder des Stroms an Teilen der Schaltung der Fig. 2 und

Fig. 4 ein Schaltbild eines weiteren Ausführungsbei­ spiels der Erfindung, jedoch ohne Resonanznetzwerke.

In Fig. 4 ist eine Werkzeugelektrode 1 neben einem Werkstück 2 vorgesehen, um einen Arbeitsspalt G in einem Arbeitsbehälter 3 zu bilden. Die Werkzeugelek­ trode 1 kann abhängig von der bestimmten auszufüh­ renden Bearbeitungsart verschiedene Formen aufwei­ sen, z. B. die Form eines Rohres oder eines dreidimen­ sionalen Festkörpers. Bei der elektrischen Laufdraht­ oder Drahtschnitt-Entladungs-Bearbeitung (TW-EDM bzw. WC-EDM) wird gewöhnlich ein Draht oder eine ähnliche kontinuierliche längliche Elektrode verwendet. Der Arbeitsbehälter 3 ist vorzugsweise auf einem Ar­ beitstisch oder einer Unterlage (nicht dargestellt) befe­ stigt und bildet einen Teil einer elektrischen Entladungs­ maschine, wobei er als ein dielektrisches Gefäß oder ein Sammeltank dient, in dem der Arbeitsspalt G festgelegt ist. Eine beliebige herkömmliche dielektrische Fluidver­ sorgung (nicht dargestellt) ist vorgesehen, um das Ar­ beitsfluid zum Arbeitsspalt G zu speisen, so daß dieser mit dem Arbeitsfluid gefüllt und gespült wird, um von dort Bearbeitungsspäne, Teer und Gase wegzuführen und gleichzeitig als EDM-Medium zu dienen. Während der Bearbeitung fährt die Werkzeugelektrode 1 bezüg­ lich des Werkstückes 2 vor, um den Abstand des Ar­ beitsspaltes G dazwischen durch eine (nicht dargestell­ te) Servoeinrichtung konstant zu halten.

Erfindungsgemäß ist nun ein Gleichrichter 4, der in der Fig. 4 aus zwei Dioden besteht, in der Nähe des Arbeitsspaltes G vorgesehen und jeweils mit der Werk­ zeugelektrode 1 und dem Werkstück 2 über den Mitten­ abgriff der Sekundärwicklung (52) eines Abwärtstrans­ formators 5 verbunden. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Dioden 4 so angeordnet, daß sie eine Zweiweg- Gleichrichtung des Ausgangssignales des Abwärts­ transformators 5 ausführen. Die Primärwicklung 51 des Abwärtstransformators 5 ist mit Ausgangsanschlüssen eines schematisch dargestellten Hochfrequenz-Wech­ selstromgenerators 6 über ein Speisekabel 7 verbunden, das aus einer Speiseleitung bzw. aus Speiseleitungen oder aus einem Kabel bzw. aus Kabeln, wie z. B. einem Koaxialkabel, bestehend dargestellt ist. Der HF-Gene­ rator 6 bildet eine Stromversorgungseinheit, von der alle Hauptbauteile in einem Gehäuse vorgesehen sind und die zur Installation getrennt von der eigentlichen Funkenerosionsmaschine aufgebaut ist.

Der HF-Generator 6 erzeugt eine Wechselstromlei­ stung einer Frequenz, die vorzugsweise zwischen 1 kHz und 5 MHz liegt, was im allgemeinen einer Frequenz oder Folgefrequenz der Bearbeitungsimpulse ent­ spricht, die zur Einspeisung in den Arbeitsspalt G durch das Speisekabel 7 übertragen und vom Gleichrichter 4 geformt werden. Der Abwärtstransformator 5 transfor­ miert die Spannungsgröße des Hochfrequenz-Aus­ gangssignales des HF-Generators 6 herab und stellt den Spitzenstrom auf einen gewünschten oder Soll-Wert ein.

Auf diese Weise wird die durch den HF-Generator 6 an einer vom Arbeitsspalt G oder vom Arbeitsbehälter 3 entfernten Stelle erzeugte Hochfrequenz-Wechsel­ stromleistung entlang des Speisekabels 7 übertragen, bis sie die Nähe des Arbeitsspaltes G erreicht, wo sie lediglich durch den Gleichrichter 4 mit einer gewünsch­ ten Polarität gleichgerichtet wird, um eine Folge polari­ sierter oder gleichgerichteter Bearbeitungsimpulse zu werden, die direkt zwischen die Werkzeugelektrode 1 und das Werkstück 2 zu legen sind. Die Polarität der Elektrode 1 und des Werkstückes 2 (vgl. die Fig. 1) ist so gewählt, daß die Elektrode 1 die Anode und das Werk­ stück 2 die Kathode bilden; dies kann entsprechend den bestimmten Kombinationen des Elektrodenmaterials und den Bearbeitungsbedingungen oder den zu wählen­ den Einstellungen umgekehrt werden.

Da die Bearbeitungsleistung vom HF-Generator 6 in der Form eines Hochfrequenz-Wechselstromes über­ tragen wird, bis sie die Nähe des Arbeitsspaltes G er­ reicht, liegt ein geringer Leistungsverlust und eine klei­ ne Verzerrung des Spannungs- oder Stromverlaufes entlang des Speisekabels 7 vor, was eine Bearbeitung bei einer hohen Abtragungsrate oder -geschwindigkeit mit einer großen elektrischen Leistung erlaubt, die ein­ fach selbst bei einer Frequenz im MHz-Bereich übertra­ gen werden kann. Zusätzlich kann infolge des geringen Leistungsverlustes entlang des Speisekabels 7 der HF- Generator 6 kompakt aufgebaut und mit kleineren Ab­ messungen und niederer Kapazität versehen werden.

Der Transformator 5 und der Gleichrichter 4 sind auf einem Teil der Wände des Arbeitsbehälters 3 oder di­ rekt auf dem Werkzeugkopf, dem Gestell oder dem La­ ger der die Werkzeugelektrode 1 tragenden Maschine oder dem Werkstück 2 befestigt. Der Abwärtstransfor­ mator 5 hat in vorteilhafter Weise kleine Abmessungen, da die dadurch übertragene Leistung hochfrequent ist. Die Gleichrichtung der transformierten Hochfrequenz durch den Gleichrichter 4 in der Nähe des Arbeitsspal­ tes G erzeugt die polarisierten oder einseitig gerichte­ ten bzw. gleichgerichteten Bearbeitungsleistungs-Im­ pulse, die am Arbeitsspalt G ohne wesentlichen Lei­ stungsverlust und Signalverlauf-Verzerrung liegen.

Die durch Gleichrichten der Hochfrequenz-Wechsel­ stromleistung erhaltenen Bearbeitungsleistungs-Impul­ se können eine extrem schmale Impulsdauer τ _ein von bis 100 µs und ein Impulsintervall τ _aus von 0,5 bis 50 µs aufweisen, wobei beide Werte am HF-Generator 6 ein­ stellbar sein können und die Impulse dem Arbeitsspalt G ohne Leistungsverlust zuführbar sind. Eine Folge von Bearbeitungsimpulsen mit derartigen kurzen Werten von τ _ein und τ _aus kann fein unterteilte elektrische Entla­ dungen erzeugen, die eine grobe Materialabtragung von der Werkstückoberfläche verhindern und so eine Präzisionsbearbeitung ermöglichen. Weiterhin ermög­ licht der Arbeitsspalt G mit einem wiederholt mit einem kurzen Intervall hervorgerufenen Entladungsimpuls, daß eine folgende Entladung eintritt, bevor die Entioni­ sierung von der vorhergehenden Entladung abgeschlos­ sen ist. Dies vermeidet wirksam eine Fehlzündung mit jedem einzelnen Impuls, so daß eine gesteigerte Entla­ dungs-Folgefrequenz erreicht wird, wobei jede einzelne Entladung zur Materialabtragung mit höchster Wirk­ samkeit beiträgt, was ein sehr schnelles und wirksames Bearbeiten gewährleistet.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel des HF-Gene­ rators 6 ist in Fig. 2 mit einem Hochfrequenz-Wechsel­ strom-Oszillator 61 gezeigt. Dieses Ausführungsbeispiel hat zusätzlich einen Impulsgeber 62, der eine Folge von lmpulsen einer relativ langen Ein-Zeit τ _ein und Aus-Zeit τ _aus (vgl. Fig. 3a) erzeugt und wiederholend damit das vom Oszillator 61 abgegebene Hochfrequenz-Wechsel­ strom-Ausgangssignal von 1 kHz bis 5 MHz unter­ bricht, so daß der Ausgang des HF-Generators 6 aufein­ anderfolgende Folgen von Hochfrequenz-Wechselim­ pulsen liefert, wie dies in Fig. 3b gezeigt ist. Die aufein­ anderfolgenden Folgen werden entlang des Speiseka­ bels 7 zum Gleichrichter 4 übertragen, wo sie in aufein­ anderfolgende Folgen von Gleichimpulsen (Vgl. Fig. 3c) umgewandelt werden, um an den Arbeitsspalt G gelegt zu werden, der in der Nähe vorgesehen ist. Einheitsim­ pulse, die jede Folge in diesem Ausführungsbeispiel bil­ den, können eine Impulsdauer τ _{ein = 1 bis 100 µs und ein} lmpulsintervall τ _aus = 0,5 bis 50 µs haben, und sie sind zusammen mit ihrer Frequenz f beim Hochfrequenz- Wechselstrom-Oszillator 61 festgelegt, wie dies oben erwähnt wurde. Wenn der Gleichrichter 4 ein Einweg- Gleichrichter ist, gilt für Impulsdauer und -intervall t _ein = τ _aus, und wenn er ein Zweiweg-Gleichrichter ist, so liegt die Beziehung τ _ein′′ τ _aus vor. Der Oszillator 61 kann auch einen asymmetrischen Wechselstrom erzeugen, in­ dem z. B. ein symmetrischer Wechselstrom einstellbarer Frequenz einem Vorgleichstrom überlagert wird; in die­ sem Fall können alle gewünschten Kombinationen der Impulsdauer und des Impulsintervalles mit einer Bezie­ hung τ _ein < τ _aus oder τ _ein < τ _aus entsprechend der Zusam­ mensetzung eines bestimmten Elektrodenmaterials und den Bearbeitungsbedingungen erzeugt werden.

Damit werden Folgen von Impulsen (vgl. Fig. 3c), von denen jede Folge eine Reihe von Einheitsimpulsen mit einer Impulsdauer τ _ein und einem Impulsintervall τ _aus aufweist und die mit einer Frequenz f wiederkehren, bei einer relativ langen Ein-Zeit t _ein und Aus-Zeit τ _aus und sich mit einer Frequenz F wiederholend am Arbeitsspalt G zwischen der Werkzeugelektrode 1 und dem Werk­ stück 2 erzeugt, um eine Bearbeitung mit erhöhter Wirksamkeit zu ermöglichen, wie dies oben erläutert wurde. Die Ein-Zeit τ _ein und die Aus-Zeit τ _aus können jeweils zwischen 10 µs und 100 ms liegen, während die Frequenz F der Folgen zwischen 100 Hz und 100 kHz betragen kann, wobei diese Impulsfolgen-Parameter entsprechend den bestimmten Bearbeitungsbedingun­ gen und -einstellungen gewählt sind.

Weiterhin kann vorgesehen sein ein Spaltfühler, um den Bearbeitungszustand oder die Bearbeitungsbedin­ gungen am Arbeitsspalt G zu überwachen, indem er auf eine oder auf mehrere Spalt-Veränderliche anspricht, wie z. B. auf die Spalt-Spannung, den Spalt-Strom und die Spalt-Impedanz aufgrund eines Mittelwertes oder eines momentanen Wertes innerhalb jeder Impulsfolge oder zwischen benachbarten Impulsfolgen, zusammen mit einem Impulsparameter-Stellglied, das auf den Spaltfühler anspricht, um einen oder mehrere der Werte τ _ein, τ _aus und F als steuerbare Impulsfolgen-Parameter einzustellen. Weiterhin können die Parameter τ _ein, τ _aus und/oder f der Einheitsimpulse innerhalb jeder Impuls­ folge gegebenenfalls gleichzeitig mit einem zusätzlichen Stellglied gesteuert oder eingestellt werden, das dem Oszillator 61 zugeordnet ist, wie dies weiter oben näher erläutert wurde.

Die Steuerung der Impulsfolge-Parameter erfolgt so, daß die Ein-Zeit τ _ein abnimmt und/oder die Aus-Zeit τ _aus zunimmt und daß mit anderen Worten die Anzahl der Einheitsimpulse innerhalb jeder Folge abnimmt und/ oder die Zeitdauer zunimmt, in der die Einheitsimpulse in jedem sich wiederholenden Zyklus der Einheitsim­ puls-Folgen unterbrochen werden, wenn der Spaltfühler eine Verschlechterung oder Herabsetzung des Bearbei­ tungszustandes anzeigt, die eine Korrektur oder Wie­ dergewinnung abhängig von den Spalt-Veränderlichen erfordert. Auf diese Weise werden während der Entla­ dung erzeugte Bearbeitungsspäne, Teer und Gase, die im Arbeitungsspalt angesammelt sind oder übermäßig zurückbleiben, wirksam während erhöhter Aus-Zeiten und verringerter Ein-Zeiten abgeführt, um den Arbeits­ spalt in einem optimalen Stadium zu halten, das die Erzeugung stabiler Bearbeitungs-Entladungen mit auf­ einanderfolgenden Einheitsimpuls-Folgen ermöglicht. Eine Steuerung des mittleren Bearbeitungsstromes ist auch vorteilhaft durch Andern der Folgen-Ein-Zeit und/ oder -Aus-Zeit, wodurch verschiedene Bearbeitungs­ operationen von einer sehr schnellen bis zu einer lang­ samen Bearbeitung möglich sind, oder abhängig von einer Anderung der Bearbeitungsfläche, an der die Werkzeugelektrode und das Werkstück nebeneinander liegen. Bei der Anordnung der Fig. 2 kann der Hochfre­ quenz-Oszillator 61 schwingen, sooft das Ein-Signal an seinem Eingang vom Impulsgeber 62 eingespeist wird. Diese Anordnung kann durch andere mögliche Formen geändert werden. Z. B. kann ein UND-Glied oder ein Koinzidenz-Glied mit einem ersten Eingang, der von einem kontinuierlich arbeitenden Oszillator entspre­ chend der Einheit 61 gespeist ist, und mit einem zweiten Eingang, der von einem Impulsgeber entsprechend der Einheit 62 gespeist ist, vorgesehen werden, so daß an dessen Ausgang die Hochfrequenz-Wechselstromlei­ stung mit dem in Fig. 3b gezeigten Verlauf durch den Generator 6 in gleicher Weise erzeugt wird.

Fig. 1 zeigt eine Abwandlung des Ausführungsbei­ spiels der Fig. 2. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ein Element 40, das dem Gleichrichter 4 des Ausfüh­ rungsbeispieles nach Fig. 4 entspricht, durch einen Ein­ weg-Gleichrichter gebildet. Zusätzlich ist die Primär­ wicklung 51 des Abwärtstransformators 5 mit mehreren Abgriffen versehen, die eine entsprechende Anzahl von Kondensatoren C ₁, C₂ und C₃ aufweisen, die jeweils in Reihe zu Schaltern 91, 92 und 93 vorgesehen sind, die wahlweise durch ein Schalt-Netzwerk 10 einschaltbar sind. Bei dieser Anordnung bilden die Kondensatoren C ₁, C₂ und C₃ jeweils zusammen mit den abgegriffenen Induktivitäten L ₁, L₂ und L₃ der Primärwicklung 51 des Transformators Resonanz-Netzwerke mit verschiede­ nen Resonanzfrequenzen, die parallel zueinander und in Reihe mit dem Speisekabel 7 angeordnet sind. Diese Resonanz-Netzwerke werden wahlweise durch das Schalt-Netzwerk 10 eingestellt, das auch die Betriebs­ frequenz des Oszillators 6 bzw. 61 in Gleichlauf mit den Schaltern 91, 92 und 93 einstellt. Indem so in die Schal­ tung ein bestimmtes Resonanz-Netzwerk C ₁-L₁, C₂ -L₂, C₃-L₃ einer Resonanzfrequenz eingestellt wird, die mit der eingestellten Betriebsfrequenz des Oszilla­ tors 6 bzw. 61 mit dem entsprechenden Schalter 91, 92, 93 abgestimmt ist, wird Resonanz hervorgerufen, so daß das Wechselstrom-Ausgangssignal des Oszillators 6 bzw. 61 mit verstärkter Amplitude an den Abwärts­ transformator 5 und damit den Arbeitsspalt G bei einem weiter verringerten Leistungsverlust abgegeben wer­ den kann.

Die Erfindung ermöglicht so eine verbesserte Hoch­ frequenz-Leistungs-Speiseschaltung sowie deren Ver­ sorgung für eine Funkenerosions-Bearbeitung, wobei bessere Bearbeitungsergebnisse gewährleistet sind, während die gesamte Stromversorgungseinrichtung in geeigneter Weise kompakt und vereinfacht ausgeführt werden kann.

Claims (9)

1. Stromversorgungseinrichtung für eine Funken­ erosionsmaschine mit einem HF-Generator, einem Speisekabel, das den HF-Generator mit einer Pri­ märwicklung eines Abwärtstransformators verbin­ det, und einem Gleichrichter, der eingangsseitig mit der Sekundärwicklung des Abwärtstransformators und ausgangsseitig mit Werkzeugelektrode und Werkstück verbunden ist, dadurch gekennzeich­ net, daß der Abwärtstransformator (5) und der Gleichrichter (4; 40) in der Nähe des Arbeitsspalts (G) auf einem Teil der Wände eines das Werkstück (2) enthaltenden Arbeitsbehälters (3) oder direkt auf einem die Werkzeugelektrode (1) tragenden Werkzeugkopf oder auf dem Werkstück (2) befe­ stigt sind und daß mehrere wahlweise betätigbare Resonanz-Netzwerke (C ₁, L₁; C₂, L₂; C₃, L₃) ver­ schiedener Resonanzfrequenzen in der Schaltung der Primärwicklung (51) des Abwärtstransforma­ tors (5) vorgesehen sind.

2. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Speisekabel aus einem Koaxialkabel besteht.

3. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der HF-Gene­ rator (6) die Wechselleistung bei einer Frequenz im Bereich zwischen 1 kHz und 5 MHz erzeugt.

4. Stromversorgungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch einen dem HF-Generator (6) zugeordneten Impulsgeber (10), um am Ausgang die elektrische HF-Wechsellei­ stung periodisch oder intermittierend unterbro­ chen zu erzeugen.

5. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein-Zeit, in der die Wechselleistung vorliegen kann, und die Aus- Zeit, in der die Wechselleistung unterbrochen ist, jeweils eine Zeitdauer im Bereich zwischen 10 µs und 100 ms haben.

6. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine dem Impulsgeber (10) zugeordnete Einrichtung zur Änderung der Aus- Zeit, in der die HF-Wechselleistung unterbrochen ist.

7. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 4 oder 6, gekennzeichnet durch eine dem Impulsge­ ber (10) zugeordnete Einrichtung zur Änderung der Ein-Zeit, in der die HF-Wechselleistung am Ausgang auftreten kann.

8. Stromversorgungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1-7, gekennzeichnet durch eine dem HF-Generator (6) zugeordnete Einrichtung zur Änderung der Frequenz der HF-Wechselleistung.

9. Stromversorgungseinrichtung nach einem der Ansprüche 6-8, gekennzeichnet durch eine auf den Zustand des Bearbeitungsspaltes (G) während eines gegebenen Ablaufes der Bearbeitungsopera­ tion ansprechende Einrichtung, um wenigstens ei­ nen Wert von der Frequenz der HF-Wechsellei­ stung und deren Ein-Zeit oder Aus-Zeit periodisch oder intermittierend unterbrochen zu steuern.