DE2902532C2 - Ladungskopplungsanordnung - Google Patents
LadungskopplungsanordnungInfo
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- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims description 50
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims description 50
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims description 49
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 7
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 12
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 210000003168 insulating cell Anatomy 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14825—Linear CCD imagers
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description
— und mit einer öffnungseinrichtung (35), welche
eine erste vorgegebene Zahl von Fotoplätzen der Umgebungslichtstrahlung aussetzt,
gekennzeichnet durch
— eine Abschirmung (36) zum Abdecken einer zweiten vorgegebenen Zahl von Fotopläuen
gegen&bir Umgebungslichtstrahlung, derart,
daß diese Fotopiäize Ladungen speichern, deren
Betrag einem Bezugs-Dunkelzustand entspricht;
— Isoliereinrichtungen (I, h, h) zur elektrischen
Isolierung der ersten Zahl von Fotoplätzen gegenüber der zweiten Zahl von Fotoplätzen, um
zu verhindern, daß in der ersten Zahl von Fotoplätzen gespeicherte Ladung zu den zweiten
Fotoplätzen fließt;
— einen ersten Speicher (38, 39) zur Speicherung einer er^.en vorgegebenen Ladung, welche einem
Bezugs-Hellzustand entspricht; und
— eine Übertragimgseinrichtung (F i g. 2a und 4a)
zur Weilergabe der in den resten und den zweiten
Fotoplätzen und in dem ersten Ladungsspeicher gespeicherten Ladung zu einer Signalverarbeitungseinrichtung,
welche den Betrag der Intensität der auf die ersten Fotoplätze auftreffenden Umgebungslichtstrahlung feststellt,
bezogen auf den Bezugs-Dunkel/ustand, welcher sich durch die in den zweiten Fotoplätzen
gespeicherte Ladung einstellt, und bezogen auf den Bezugs-Hellzustand, der durch die in dem
Ladungsspeicher (38) gespeicherte Ladung repräsentiert wird.
10
15
20
25 richtung eine Schiebeeinrichtung zum Schieben des Inhalts des zweiten Speichers (38,42) enthält, um das
Abtastende-Signal zur Signalverarbeitungseinrichtung in einer vorgegebenen Zeit zu liefern, nachdem
der Inhalt des ersten Registers (10, IJ) zur Signalverarbeitungseinrichtung
geschoben worden ist
5. Ladungskopplungsanordnung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Ladungsspeicher
(38, 42)r weicher das AbtastenHe-Signal
liefert, mit einem Ende des ersten Registers (10, 11) gekoppelt ist.
6. Ladungskopplungsanordnung nach einem der Ansprüche 3—5, dadurch gekennzeichnet, daß der
erste Ladungsspeicher £38,39}Jsn zweiten Ladungsspeicher (38,42) einschließt
7. Ladungskopplungsanordnung nach Anspruch 2 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Ladungsspeicher
(38,39) ein zweites Register (68) und eine mit dem zweiten Register (68) gekoppelte Diode
(38) enthält.
8. Ladungskopplungsanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Betrag der von
dem ersten Ladungsspeicher (38, 39) zu der Signalverarbeitungseinrichtung übertragenen Ladung
proportional der räumlichen Abmessung des zweiten Registers (68) ist
9. Ladungskop(p«ungsanordnung nach Anspruch 7
oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Ladungsspeicher eine MOS-Transistoranordnung (71,
72) enthält, welche mit der Diode (38) gekoppelt ist.
2. Ladungskopplungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungseinrichtung
ein erstes Register (10, 11) zur Aufnahme der in jedem der Fotoplätze gespeicherten Ladungen
und eine Schiebeeinrichtung (Fig. 2a und 4a) zum Schieben des Inhaltes des ersten Registers (10,
11) und des ersten Speichers (38,39) in die Signalverarbeitungseinrichtung
enthält.
3. Ladungskopplungsanordnung nach Anspruch gekennzeichnet durch einen zweiten Speicher (38,
42) zur Speicherung einer zweiten Ladung zur Erzeugung eines Abtasiende-Signals, wobei die Übertragungseinrichtung
mit dem zweiten Speicher (38, 42) derart gekoppelt ist. daß die darin gespeicherte
Ladung zu der Signalverarbeitungscinriehtung weitergegeben wird, und die Schiebeeinrichtung
(F i g. 2a und 4a) den Inhalt des ersten Registers (10,
11) und des ersten (38, 39) und zweiten (38,42) Speichers
zu der Signalverarbciiungseinrichlung weiterschieben
kann.
4. Ladungskopplungs.anordnung nach Anspruch dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragtingscin-Die
Erfindung bezieht sich auf eine Ladungskopplungsanordnung der im Oberbegriff des ersten Anspruchs
angegebenen Art.
Ladungskopplungs-Halbleiteranordnungen wurden von W. S. Boyle und G. E. Smith erfynden. Die entsprechenden
Veröffentlichungen sind »Charge-Coupled Semiconductor Devices«, Bell System» Technical Journal,
Bd. 49 (1970), Seite 587—600. von Boyle und Smith und US-PS 38 58 232 (Boyle und Smith). Seitdem ist die Entwicklung
von Ladungskopplungsanordnungen in zahlreichen Veröffentlichungen beschrieben worden, z. B. in
dem Aufsatz von Gilbert F. Amelio »Charge-Coupled Devices« in Scientific American. Februar 1974, Bd. 230,
Nr. 2, S. 23—31. Linien- und Flächenabbildungsanordnungen können jetzt aus Feldern von Ladungsspeicherelementen
hergestellt werden, und Einrichtungen dieser Art stehen im Handel zur Verfügung, beispielsweise die
Ladungskopplungsanordnungen CCDlOl, CCD 110. CCD 121 und CCD 201 der Fairchild Camera and Instrument
Corporation. Mit Hilfe geeigneter bekannter Anordnungen kann die in den Fotoplätzen gespeicherte
Ladung in Schieberegister überführt werden, und sie kann durch Anlegen geeigneter Signale aus den abzutastenden
Schieberegistern hinausgeführt und verstärkt oder in anderer Weise durch geeignete elektronische
bO Schaltungen weiterverarbeitet werden.
Die bekannten Ladungskopplungs-Abbildungsemrichtungen
haben den Nachteil, daß sie kein intern erzeugtes Bezugssignal liefern können, welches die Intensität
oder den Halbton des auf die Fotoplätze der Lab5
dungskopplungsanordnung auftreffenden Lichts angibt. sondern sie liefern nur eine Information über die relative
Intensität des auf einen gegebenen Fotoplat/. auftreffcndcn Lichts im Vergleich zu anderen Fotopliitzen. Es
wird nur eine relative Information erzeugt, da das Video-Ausgangssignal
von Ladungskopplungs-Abbildungseinrichtungen
im Regelfall einem Gleichstrompegel von mehreren Voit überlagert wird, beispielsweise
+ 7 bis +10 Volt. Für den Aufbau dieses Gleichstrompege'ts sorgen im allgemeinen eine Rückstellschaltung,
ein Gleitgatterpotential oder Verstärker-Vorspannungspunkte und Speisespannungen. Die exakten Spannungspegel
für Schwarz- und Weiß-Signale konnten bei Ladungskopplungsanordnungen, wie sie beispielsweise
aus GB-PS 15 26 801 bekannt sind, nur dadurch erhalten
werden, daß die Ladungskopplungsanordnung im Dunkelzustand betrieben wurde und unter Bedingungen,
welche eine Sättigung oder einen der Sättigung näherkommenden
Zustand durch entsprechende optische Verhältnisse verursachen. Selbst wenn man aber in die-
■ ser Weise vorging, unterlagen die bei Tests dieser Art angewandten Eichvorkehrungen Drifterscheinungen
aufgrund von Änderungen der Betriebsbedingungen,
- beispielsweise der Umgebungstemperatur, der Speise-
·.. spannung oder Drifterscheinungen der Schaltung.
f Hinzukommt daß Ladungskopplungsanordnuvigen
bekannter Art eine verhältnismäßig große Menge externer Schaltungen erfordern, weiche zum Rückstellen
der Ladungskopplungsanordnung dienen oder in sonstiger Weise bewirken, daß die Ladungskopplungsanordnung
einen neuen Satz von Signalen in die Schieberegister eingibt, nachdem alle vorhergehenden Datenfolgen
aus den Schieberegistern herausgeführt worden sind. Beispielsweise werden in bekannten Linienabbildungseinrichtungen
Reihen von Zählern verwendet, um die Zahl der Perioden von Übertragungssignalen festzustellen,
welche an die Elemente der Schieberegister anzulegen sind, bevor ein Übertragungsgatter aktiviert wird,
um zu erlauben, daß eine neue Folge von Signalen, welche durch elektrische Ladungspakete repräsentiert sind,
von den Fotoplätzen in die Schieberegister übertragen werden. Diese peripheren Schaltungen erhöhen die
Komplexität un(^ die Kosten eines jeden Systems, bei
dem Ladungskopplungsanordnungen verwendet werden.
Durch »Fernseh- und Kino-Technik« 31 (1977). Nr. 3, S. 82—86, sind fotoempfindliche P2CCD-Zeilensensoren
zum Lesen optischer Vorlagen bekanntgeworden, bei denen die Möglichkeit vorgesehen ist, Brzugspegel für
Schwarz und Weiß im Ausleseverstärker zu erzeugen. Es handelt sich um ein Video-System mit einem Video-Verstärker,
der mit dem Ausgang einer P2CCD-Leitung
zur Ausgabe, zur Filterung f.;nd zur Gammakorrektur verbunden ist. Zur Gammakorrektur dient ein Regelverstärker,
welcher den Schwarz-Bezugspegel auf 0 Volt festlegt. Um den Bezugspegel für Weiß einzustellen,
ist in einem Zwischenverstärker ein 500-Ohm-Potentiometer
vorhanden. Das Potentiometer in dem Zwischenverstärker ist nicht ein Teil der Ladungskopplungsanordnung,
sondern eine separate Analog-Einrichtung. Der Schwarzpegel-Verslärker und das Weißpegel-Potentiometer
befinden sich außerhalb der Ladungskopplungsanordnung.
In DE-OS 23 01 963 ist eine Fotödetektoranofdnung mit einer Reihe lichtempfindlicher Bauelemente beschrieben,
von denen jedes mit einem Schiebezähler und einer Videoleitung verbunden ist; bei Anlegen von Signalen
an dem Schiebezähler können Signale gemessen werden, die dem auf die lichtempfindlichen Bauelemente
auftreffenden Licht einsprechen. Durch DE-AS 25 53 686 ist ein eindimensionaler optoelektronischer
Sensor mit einer Reihe von in Abständen angeordneten MIS-Kondensatoren und einem Überlaufkanal zum
Schutz gegen Überbestrahlen bekanntgeworden.
Die beiden letztgenannten Schrifistellen beziehen sich nicht auf Maßnahmen zur Bereitstellung von Bezugs-Dunkelzuständen
und/oder Bezugs-Hellzuständen.
Bei der bereits erwähnten GB-PS 15 26 801 sollen unerwünschte Störsignale am Ausgang eines Festkörper-Bildabtastfeldes
kompensiert werden. Das Bildfeld
ίο wird zunächst einer Null-Beleuchtung ausgesetzt, und
der Ausgang wird gespeichert Dann erfolgt eine maximale Beleuchtung, und der entsprechende Ausgang
wird ebenfalls gespeichert Die beiden gespeicherten Ausgänge werden verwendet, um spätere Ausgänge des
Bildabtastfeldes bei normaler Beleuchtung zu korrigieren.
Es ist also eine Störungskompensationssohaltung am
Ausgang des Bildabtastfeldes mit den erforderlichen Schalt- und Speicheranordnungen außerhalb der BiIdabtasteinrichtung
beschrieben.
Der Erfindung liegt die A.ufgabe zugnine-;, eine neuartige
Ladungskopplungsanordnung zu schaffen, die ermöglicht, innerhalb der Anordnung Schwarz- und Weiß-Bezugssignale
darzustellen, welche für das schwächste bzw. das stärkste Licht repräsentativ sind, das die Ladungskopplungsanordnung
feststellen kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 und die
Merkmale der Unteransprüche gelöst Das Schwarz-Bezugssignal wird von einem oder meh
reren optisch abgedunkelten und elektrisch isolierten lichtempfindlichen Gebieten der Ladungskopplungsanordnung
erzeugt. Indem man verhindert daß Licht zu diesen Fotoplätzen gelangt, ist das bei diesen Fotoplätzen
auftretende Signal repräsentativ für die Abwesenheit von Licht und es ist daher ein Schwarz-Bezugssigna!.
Nachdem dieses Schwarz-Signal von einem oder mehreren Fotoplätzen in ein Schieberegister weitergegeben
wurde und dann aus der Ladungskopplungsan-Ordnung hinausgeführt worden ist, kann es als Bezugssignal
für den Vergleich mit anderen Signalen aus der Ladungskopplungsanordnung verwendet werden, so
daß man eine Indikation des optisch dunkelsten Zustands hat, den die Ladungskopplungsanordnung abfühlen
kann.
Auch kann ein Weiß-Signal von der Ladungskopplungsanordnung erzeugt werden, und zwar auf einem
gewählten Pegel, welcher für einen helleren, also nichtschwarzen Betriebzustand repräsentativ ist, den die La-
dungskopplungsanordnung abfühlen kann. Dies wird dadurch erreicht, daß ein vorgegebener Maximalbetrag
an Ladung in eines oder mehrere Elemente der Schieberegistjr
d-^r Ladungskopplungsanordnung injiziert wird.
Wenn diese Signale aus der Ladungskopplungsanord-
f>5 nung hinausgeführt we> den, liefern sie ein Bezugssignal,
welches für den gewählten helleren optischen Zustand repräsentativ ist, den die Ladungskopplungsanordnung
abfühlen kann. Zusätzlich kann durch Injizieren kleinerer oder größerer vorgegebener Ladungsmengen ein
Bezugssignal erzeugt werden, welches für gewünschte Zwischenschattierungen von Grau oder Weiß repräsentativ
ist.
Die Erzeugung von Schwarz- und Weiß-Bezugssignalen erzeugt einen festen Punkt an jedem Ende einer
b5 Grauskala, und es wird dadurch der optische Bereich
definiert, über dem die Ladungskopplungsanordnung anspricht. Wenn die Bezugssignale gegeben sind und die
Linearität der Ansprechcharakteristik der Ladungs-
kopplungsanordnung über dem optischen Bereich bekannt ist, kann ein Benutzer der l.adungskopplungsanordnung
eine genaue Bewertung der Grauschattierung oder sonstiger von der Ladungskopplungsanordnung
abgefühlter optischer Bedingungen vornehmen.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Ladungsbetrag, welcher zur Erzeugung des
Weiß-Signals eingeführt wird, nicht repräsentativ für den hellsten optischen Zustand, den die Ladungskopplungsanordnung
abfühlen kann (entsprechend der Sättigung der Fotoplät/.c), sondern vielmehr für das hellste
linear reproduzierbare Signal. Bei Verwendung dieses Weiß-Signals und eines Schwarz-Signals können alle
von der Ladungskopplungsanordnung erzeugten Zwischensignale linear zwischen Schwarz und Weiß bewertet
werden, so daß ihre entsprechenden Halbtöne genau abgetastet werden können und ihre korrekte Speicherung.
Weitergabe oder Wicdcigübe, beispielsweise
durch Bildübertragungsmaschinen, ermöglicht bzw. erleichtert wird.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann auch ein das Abtastende repräsentierendes
Signal (Abtastende-Signal) dadurch erzeugt werden, daß ein Ladungspaket, beispielsweise das gleiche
Signal wie das Weiß-Signal, in ein zusätzliches isoliertes Schieberegister eingeführt wird, dem keine Fotoplätze
zugeordnet sind und welches ebenso viele Elemente wie die anderen Ladungskopplungs-Schieberegister hat,
welche /um Empfang und zur Weitergabe von Signalen von den Fotoplätzen verwendet werden. Das Signal
wird eingeführt in das »entfernte« Ende eines Schieberegisters, und es ist das einzige Signal in diesem Schieberegister.
Durch Fortschaltcn dieses Signals aus dem im übrigen leeren Register mit der gleichen Geschwindigkeit,
in der die von den Fotoplälzen erzeugten Signale aus den entsprechenden Schieberegistern hinausgeschaltet
werden, kann das Signal zur Darstellung einer unmittelbaren positiven elektrischen Indikation benutzt
werden, um die Ladungskopplungsanordnung zurückzustellen und eine neue Abtastung des Schieberegisters
oder der Schieberegister einzuleiten.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform wird das Weiß-Signal durch eine Diode erzeugt, welche
ein Signal von einem Paar von MOS-Transistoren erhält. Die Quelle (source) des ersten MOS-Transistors ist
verbunden mit der Senke (drain) des zweiten MOS-Transistors, wobei Vorspannungen an der Senke und
dem Gatter (gate) des ersten anliegen und die Quelle und das Gatter des zweiten miteinander verbunden sind.
Durch geeignete Dimensionierung des ersten und des zweiten Transistors kann erreicht werden, daß eine im
wesentlichen konstante Spannung zu der Eingangsdiode geliefert wird. Die Ladung der Eingangsdiode kann
dann zu einem Element eines Schieberegisters weitergegeben werden, und zwar in Abhängigkeit von dem
gleichen Taktsignal, welches die gespeicherte Ladung von den Fotoplätzen in die Schieberegister überführt.
Durch geeignete Bemessung der MOS-Transistoren und durch Anlegen der entsprechenden Spannungen an
diese Transistoren kann erreicht werden, daß die eingeführte Ladung den gewünschten Wert hat.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend
anhand der Zeichnungen näher beschrieben.
F i g. 1 zeigt in vereinfachter Darstellung eine Draufsicht auf eine Anordnung gemäß einer bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung.
Fig.2a zeigt in vereinfachter Darstellung eine Schnittansicht eines Teils der in Fig. 1 dargestellten
Anordnung.
Fig. 2b bis 2d zeigen Darstellungen des Potcniialenergie-Verlaufs
bei der in F i g. 2a dargestellten Anordnung, und es ist erkennbar, wie ein Ladungspaket von
einem Fotoplatz zu einem Schieberegister weitergegeben wird.
F i g. S zeigt in vereinfachter Darstellung einen Querschnitt
einer Gruppe von Schwarz-Bezugszellen.
Fig.4a zeigt in vereinfachter Darstellung und schematisch
ein Verfahren, welches die Erzeugung eines Weiß-Bezugssignals ermöglicht.
F i g. 4b bis 4e zeigen Potentialenergieprofile für die in Fig.4a dargestellte Anordnung, und sie zeigen die
Weitergabe eines Ladungspakets (des Weiß-Bezugssignals) von einem Element eines Schieberegisters zu
dem nächsten, und zwar entweder in dem Schieberegister, welches das Abtastende-Signal weitergibt, udcr in
einem LacUmpskonnlungsschieberegister konventioneller
Bauart.
Fig. I zeigt in vereinfachter Darstellung eine Draufsicht
auf die Anordnung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, und zwar bei einem linearen
Abbildungsfeld mit 1728 Elementen. Die Fairchild-Ladungskopplungsanordnung
CCD 121 ist ein Beispiel für eine Anordnung dieser Art nach dem Stande der Technik
vor Anwendung der gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehenen Maßnahmen. In F i g. 1 sind schemalisch
die 1728 Fotoplätzc dargestellt, welche eine elektrische
Ladung erzeugen, wenn auf sie elektromagneti-
jo sehe Strahlung auftrifft. In bekannter Weise können die
sich in jedem Fotoplatz speichernden Ladungen gleichzeitig zu einem von zwei Schieberegistern 10 bzw. 11
weitergegeben werden. Wie beispielsweise in F i g. 1 dargestellt ist, werden die sich in den ungerade beziffer-
J5 ten Fotoplälzen sammelnden Ladungen nach Schieberegister
11 weitergegeben, während die sich in den gerade bezifferten Fotoplätzen sammelnden Ladungen zum
Schieberegister 10 weitergegeben werden. Die Schieberegister 10 und 11 können jeweils durch ein lsolationsgebiet
12 in zwei getrennte Schieberegister aufgeteilt sein.
Die Weitergabe von Ladung von den Fotoplätzen I ... 1728 zu den Schieberegistern 10 und 11 erfolgt im
Regelfall dadurch, daß ein Signal Φχ an eine Elektrode
14 angelegt wird. Diese Art des Vorgehens ist in der Technik der Ladungskopplungsanordnungen bekannt;
sie wird jedoch im Zusammenhang mit den F i g. 2a bis 2d noch näher beschrieben werden. Die gegenseitige
Beeinflussung von Signalen in benachbarten Elementen
so der Ladungskopplungs-Schieberegister wird "adurch
verhindert, daß die Ladung in ungerade bezifferten Fotoplätzen in einer Richtung, also zum Register 11, weitergegeben wird, während die Ladung in gerade bezifferten
Fotoplätzen in der anderen Richtung, also zum Register 10, weitergegeben wird. Auf diese Weise werden
Ladungspakete in jeweils das zweite Element der Schieberegister 10 und 11 weitergegeben. Beispielsweise
wird die in Fotoplatz 1 gespeicherte Ladung zu dem Gebiet unter Elektrode 21 weitergegeben, während
die Ladung, welche in Fotoplatz 3 gespeichert ist. zu dem Gebiet unter Elektrode 23 weitergegeben wird.
Da keine Ladung in das Gebiet unterhalb der Elektrode
22 eingeführt wird, kann diese auf einem von den Elektroden
21 und 23 verschiedenen Potential gehalten werden. Die in die Gebiete unterhalb der Elektroden 21 und
23 weitergegebenen Signale können sich daher nicht gegenseitig beeinflussen, und es findet auch dementsprechend
kein Verlust an Information statt. Wie in
F i g. 1 erkennbar ist, wird das Signal aus Fotoplatz 2 in das Gebiet unter Elektrode 32 weitergegeben.
Nachdem die Ladungen in den 1728 Fotoplätzen in die Schieberegister 10 und 11 überführt wurden sind,
kann das Potential des Signals Φχ geändert werden, um zu ermöglichen, daß eine neue Folge von Signalen mit
der Speicherung innerhalb der 1728 Fotoplätze beginnt.
Dann können durch Anlegen geeigneter Signale, beispielsweise Φτ und Vr, an die Schieberegisterelemente
die Signale unter den Elektroden aus dem Schieberegister 10 hera'isgeschaltet werden, und der untere Teil des
Schieberegisters 11 wird vorzugsweise zu einem Ausgangsgatter weitergegeben. Die Weitergabe dieser Signale
zu einem Ausgangsgatter ist dargestellt durch Pfeile 30 und 31 in F i g. 1. Ausgangsgatteranordnungen
sind an sich bekannt, beispielsweise aus US-PS 39 99 082 »Charge Coupled Amplifier« (James Early).
Bei einer Ausfuhrungsform der in F i g. 5 dargestellten
Frfindung werden die Signale aus den 1728 Fotoplätzen nicht in den unteren Teil des Schieberegisters 10
oder den oberen Teil des Schieberegisters 11 weitergegeben.
Eine Überführung von Ladungen in diese Teile der Schieberegister wird verhindert durch das Gebiet
12, vorzugsweise ein Oxidisolationsgebiet, welches jedes der Schieberegister 10 und 11 wirksam in zwei getrennte
Schieberegister unterteilt. Die Weitergabe von Ladung von einer Elektrode zur nächsten innerhalb jedes
der Schieberegister wird ermöglicht durch das Kanalgebiet 15, welches sich unterhalb der Elektroden und
zwischen Sperrimplantaten 58 erstreckt. Der obere Teil des Schieberegisters 11 und der untere Teil des Schieberegisters
10 verhindern, daß Streuladungen innerhalb des Substrats in die Schieberegisterelemente wandern
und zu Verzerrungen der in ihnen gespeicherten Informationen führen. Es werden also die Streuladungen von
diesen isolierten Schieberegistern gesammelt und unschädlich gemacht. Pfeile 33 und 40 zeigen die Weitergabe
dieser Streuladungen zu einem Senkengebiet bzw. einer Speisespannung. Wie jedoch noch näher erläutert
werden wird, können bei bestimmten bevorzugten Ausführungsformen die durch Pfeil 40 angedeuteten Signale
einer äußeren Schaltung zugeführt werden.
Durch die in F i g. 1 dargestellte Ladungskopplungsanordnung werden in nachfolgend noch zu beschreibender
Weise Schwarz- und Weiß-Bezugssignale erzeugt. Bei einer bevorzugten Ausführungsform werden die
Schwarz-Bezugssignale erzeugt durch zusätzliches Einfügen mehrerer optisch und elektrisch isolierter Fotoplätze
Bi, B2 und S3. Naturgemäß kann jede gewünschte
Zahl von Fotoplätzen dieser Art vorhanden sein. Fotoplatz B1 (und B 2 und B 3) sind von den aktiven
Fotoplätzen 1,2... 1728 getrennt durch ein Isoliergebiet /. In diesem Zusammenhang ist von Bedeutung,
daß diese Fotoplätze sich in jeder gewünschten Stelle innerhalb oder entlang der Fotoplätze 1, 2 ... 1728 befinden
können. Insbesondere können Fotoplätze dieser Art in geeigneter Weise in die Folge der planmäßigen
aktiven Fotoplätze 1... 1728 eingefügt sein, sie können
an einem Ende oder dem anderen Ende der Fotoplätze oder aber auch an beiden Enden vorhanden sein, oder es
können Kombinationen der genannten Möglichkeiten gewählt werden. In F i g. 1 ist gezeigt, daß sie sich am
rechten Ende des linearen Feldes befinden.
Die Schwarz-Fotopiäize Sl, S2 und S3 sind vorzugsweise
durch eine Isolierzelle /von den aktiven Fotoplätzen getrennt. Dies verhindert, daß elektrische Ladungen
in irgendwelchen aktiven Zellen durch Leckerscheinungen in eine der Schwarz-Bezugszellen Bi, B2
oder S3 gelangen. Auch erhall man dadurch eine Herstellungstolcranz
für die Abgrenzung von Fenster 35. Das Fenster 35 ermöglicht, daß elektromagnetische
Strahlung, insbesondere sichtbares Licht, auf die Fotoplatze auftrifft. Um das Fenster 35 herum angeordnet,
jedoch in F i g. 1 nicht dargestellt, ist ein Lichtschild, welches verhindert, daß Licht auf die Schwarz-Bczugszcllen
S I, B2 und S3 und die übrige Oberfläche der in
Fig. 1 dargestellten Anordnung auftrifft.
ίο Bei bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung
kann das Fenster 35 aus einem Material bestehen, welches gegenüber vorgegebenen Wellenlängen sichtbarer
elektromagnetischer Strahlung undurchlässig ist, beispielsweise wenn ein blaues Signal oder andere farbige
Signale abzufühlen sind. Da die Anordnung des Fensters 35 verhindert, daß Licht auf die Schwarz-Bezugsfotoplätze
S 1, S 2 oder S3 auf trifft, werden diese Fotoplätze keinerlei Ladung ansammeln., oder aber sie werden
eine Ladung sammeln, welche repräsentativ ist für alle Bedingungen in dem Substrat außer der Wirkung von
sichtbarem Licht. Auf diese Weise bewirken die Schwarz-Bezugsfotostellen S 1, S2 und S3 eine automatische
Korrektur für Dunkelstrom oder andere Störeinflüsse, welche durch Temperatur, chemische Zusanv
menselzung oder andere Umgebungseinflüsse bedingt sein können.
Eine Möglichkeit zur Erzeugung des Weiß-Bezugssignals ist am linken Ende des Schieberegisters 10 dargestellt.
Durch Anlegen von Signal Vr an Diode 38 wird eine Signalladung zur Diode geliefert, welche, wenn das
Potential von Φχ in geeigneter Weise erhöht wird, in Schieberegisterelemente 39 und 42 weitergegeben wird.
Wie im Zusammenhang mit den Fig.4a bis 4e noch
erläutert werden wird, kann diese Ladung in geeigneter Weise derart dimensioniert werden, daß sie den Pegel
der Helligkeit angibt, welcher die Sättigung bewirkt, oder aber einen anderen gewünschten Bezugsladungspegel,
beispielsweise einen Zustand weniger starker Helligkeit oder eine Grauschattierung. Diese Ladung
wird als Wciß-Bezugssignal bezeichnet. Der Teil der Ladung, welcher in Schieberegisterelement 42 eingeführt
wird, wird bei Anlegen von Signalen Vr und Φτ'\χη Anschluß an die Weitergabe der von den 1728 Fotoplätzen
erzeugten Signalladungen aus dem Schieberegister 10 hinausgeführt. Das Weiß-Bezugssignal kann bei geeigneter
Änderung der in F i g. 1 dargestellten Anordnung auch bei einer anderen gewünschten Stelle entlang
Schieberegister 10 eingeführt werden.
Derjenige Teil des Weiß-Bezugssignals, welcher unter
Elektrode 39 eingeführt wird, kann als Abtastendelndikator verwendet werden. Das bedeutet, daß durch
Anordnung des Weiß-Bezugssignal-Generators an dem »entfernten« Ende des Schieberegisters 10 entsprechend
der Darstellung in F i g. I das unter Elektrode 39 geführte Signal aus dem Schieberegister 10 nach demjenigen
Signal hinausgelangt, welches in dem Fotoplatz 1728 erzeugt wurde. Das Weiß-Bezugssignal stellt daher
ein elektrisches Signal dar. welches den Abschluß der Weitergabe der Signale aus dem Schieberegister 10 anzeigt.
Im Gegensatz hierzu erforderten nach dem Stande der Technik bekannte Anordnungen unabhängige
Zähleinrichtungen zur Darstellung der richtigen Zeit für das Anlegen des Signals Φχ. Das Weiß-Bezugssignal aus
Gebiet 38 kann nach Herausführen aus dem unteren Teil des Schieberegisters 10 an irgendwelche bekannten
äußeren logischen Schaltungen weitergegeben werden, welche dann das Signal Φχ aktivieren.
F i g. 2a ist eine Schnittdarstellung eines Teils der in
10
F i g. 1 gezeigten Anordnung, und zwar mit einem bei der Herstellung ausgebildeten vergrabenen Kanal. In
Substrat 50, welches vorzugsweise ρ Leitfähigkeit hat, befinden sich mehrere Isoliergebicte 51« und 51b, welche
vorzugsweise Siliziumdioxid enthalten, p+ leitende Gebiete 53a und 536 können unterhalb der Isoliergebiete
51 ausgebildt. sein, um zu verhindern, daß Streuionen
einen leitfähigen Pfad unterhalb der Isoliergebiete 51 bilden. Ein in Substrat 30 ausgebildetes η leitendes Gebiet
55 akkumuliert elektrische Ladung bei Auftreten von elektromagnetischer Strahlung in der Umgebung.
Vergrabene Kanalgcbietc 56« und 56b, welche vorzugsweise mit Phosphor, Arsen oder anderem η Material
dotiert sind, und Gebiete 58a. 586 und 58c. welche vorzugsweise
mit Bor oder anderem ρ Material dotiert sind, bilden Sperrgebiete, welche das Potentialprofil der Anordnung
in noch zu beschreibender Weise iindern. Auch sind in Fig ?n schematisch Elektroden dargestellt, welche
über dem Substrat 50 liegen. Elektrode 59a ist so Schaltungsieilen dirch Isolierzellen /1 und /2 getrennt.
Durch eine Deckschicht 36. welche aus beliebigem geeigneten Material, beispielsweise Aluminium, bestehen
kann, wird verhindert, daß sichtbares Licht auf die Dunkelzellen ΰ4 bis Ö7 auftrifft. Die Deckschicht 36 ist
vorzugsweise auf einer Isolierschicht 37 angeordnet, um zu verhindern, daß sie mit der Oberfläche des Substrats
50 oder darin ausgebildeten Gebieten Kontakt bildet. Die Dunkelzellen 5 4 bis Bl erzeugen ein Signal, welches
nur für irgendwelche Zustände innerhalb des Substrats 50 repräsentativ ist, beispielsweise die Temperatur.
Die Isolierzellen /1 und /2 sind umgekehrt vorgespannte n+ diffundierte Dioden, und sie bewirken, daß
irgendwelche Streu-Ladungsträger in diesem Gebiet entfernt werden. Die Isolierzellen können verhältnismäßig
leicht dadurch eine umgekehrte Vorspannung erhalten, daß man sie mit dem Aluminium-Lichtschild 36 entsprechend
der Darstellung in Γ i s. 3 verbinde! und dann
geschaltet, daß sie das Signal Φι empfängt, während 2» das gewünschte Potential an Schild 36 anlegt.
Elektrode 61a das Signal Φ\ empfängt. Elektrode 62
empfängt Signal Vn-..
Unterhalb der in Fig. 2a dargestellten Anordnung /eigen I' i g. 2b. 2c und 2cl Diagramme von Poteniialprofilcn,
und man erkennt, wie bei Anlegen des Signals <Λ\ eine in Gebiet 55 akkumulierte elektrische Ladung 73 zu
dem Gebiet unterhalb Elektrode 59a weitergegeben werden kann. Wenn die Ladung so weitergegeben ist,
kann sie aus der Ladungskopplungsanordnung durch Fig.4a ist eine Schnittdarstelliing durch einen Teil
der in F i g. I dargestellten Anordnung, und sie zeigt die Arbeitsweise des Weiß-Be/ugssignal-Gencrators und
auch die Arbeitsweise des Abtasiende-Indikaiors. In der
in I ig. 4a dargestellten Anordnung sind die gleichen Bezugs/eichen verwendet wie bei der in Fig. I dargestellten
Anordnung. Um das WeiU-Bezugssignal zu erzeugen,
dienen zwei MOS-Transistoren 71 und 72. welche ein Signal V« erzeugen, das an Gebiet 38 angelegt
Anlegen von Signalen (Pr und V/ herausgeführt werden, jo wird. Wie aus F i g. 4a hervorgeht, ist die Gatterelektro-
wie noch im Zusammenhang mit F i g. 4 beschrieben werden wird.
Das in Fig.2b dargestellte Potentialprofil zeigt den
Zustand der in F i g. 2a dargestellten Anordnung, wenn Signale Φχ und Φτ sich auf Nullpotcntial befinden. In
diesem Zustand wird elektrische Ladung in dem Potentialtopf akkumuliert, welcher durch Gebiet 55 gebildet
ist. Die gesammelte Ladung ist in F i g. 2b durch das schraffierte Gebiet 73 wiedergegeben.
Wie in F i g. 2c erkennbar isi. wird dann durch Erhöhung
des Potentials d"s Signals <P\ und dementsprechend
durch Absenken des Poieniialtopfcs unterhalb
der Elektrode 61a ein Teil 76 der Ladung aus Gebiet 55
wciterbefördert und vorübergehend unterhalb Elektrode 61 a gespeichert.
Anschließend wird entsprechend der Darstellung in F i g. 2d das Potential des Signals
>I'i erhöht, so daß inunmehr
die Ladung 76. welche unter der Elektrode 61a gespeichert ist, unter Elektrode 59a weitergegeben und
de des Transistors 71 so geschaltet, daß sic das Signa! Vr
empfängt, während die Senkenelektrode Signa! V/>/>
empfängt. Die Gatterelektrode des MOS-Transistors 72 ist mit der Quellenelektrode verbunden, welche geerdet
j-'i ist.
Transistor 72 stellt eine Konstantstromquelle für TratiMSior 7 S dar, so daß ein Signa! VH erzeugt wird,
welches im wesentlichen gleich W minus einer Sehwellwcrtspannung
ist. Durch geeignete Dimensionierung
■in der Transistoren 71 und 72 kann das Signal VK so gewählt
werden, daß jeder gewünschte ü. .lungsbeirag
eingeführt wird. Die maximale Größe des eingeführten Ladungspaketes, welches ein Schieberegister von dem
Foloplatz aufnehmen kann, also die Größe einer Sätti-
4i gungsladiing. ist abhängig von der Sperrhöhe Vn. welche
von den Sperren 58 abhängig ist. und auch von den räumlichen Abmessungen des Gebiets, in welches die
Weitergabe erfolgt, beispielsweise Gebiet 80. Gebiet 77 in Fig.4d zeigt diesen Ladungsbetrag in graphischer
in Gebiet 56<i gespeichert werden kann. Wenn Ladung 30 Darstellung. Der tatsächlich aus dem Gebiet 38 weiter-
78 nun unterhalb Elektrode 59a in Gebiet 56a gespeichert ist, kann das Potential des Signals Φ\ herabgesetzt
werden, um zu verhindern, daß irgendwelche weitere Ladung aus Gebiet 55 zum Gebiet 56a weitergegeben
wird, bis Signale Φτ und V, in entsprechender Höhe
angelegt werden, um die Ladung 78 unter Elektrode 59a in Gebiet 56a aus der Ladungskopplungsanordnung hinauszubefördern
und in weitere geeignete elektronische Schaltungen einzubringen.
gegebene Ladungsbetrag kann jedoch geringer sein, und zwar abhängig von der Potentialsperre Vg. welche
durch die Sperren 58 gebildet ist. und von den räumlichen Abmessungen des Gebietes 68. Dieser Ladungsbetrag
ist in Fig.4e graphisch als Gebiet 75 eingetragen.
Da die Höhe der Sperren in beiden Fällen die gleichen sind, können die räumlichen Abmessungen bei 68 in geeigneter
Weise so gewählt werden, daß die Weiß-Signalladung auf einen gewählten Teil der Sättigungsla-
F i g. 3 zeigt schematisch und vereinfacht einen Quer- eo dung beschränkt bleibt, beispielsweise entsprechend der
schnitt durch eine Folge von vier Dunkel-Bezugszellen, oberen Grenze des linearen Bereichs der Ansprechemp-
und zwar unter der Annahme, daß sie sich auf der den findlichkeit der Fotoplätze der Ladungskopplungsanaktiven
Elementen der in Fi g. 1 dargestellten Dunkel- Ordnung. Ein Vorteil der Art der Erzeugung des Weißzellen
gegenüberliegenden Seite befinden, alsu aim lin- Signals in der oben beschriebenen Weise ist, daß die
ken Ende der Folge der foioempfindlichen Elemente b5 Größe des Signais durch Änderung der Dimensionen
1725, 1726, 1727 und 1728 einer Ladungskopplurigsan- der Anordnung geändert werden kann, nicht jedoch der
Ordnung. Die Dunkel-Bezugszellen Ö4. J55, S 6 und S 7 Prozeßparameter. Da die Dimensionen im Regelfall gesind
von benachbarten aktiven Zellen oder anderen nauer gesteuert und überwacht werden können, als die
Prozeßparameter, ermöglicht dieses Merkmal eine genauere Steuerung und Überwachung des Weiß-Signals.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform beträgt die La- <k.ig des Weiß-Signals 80% der Sättigungsladung. Auf
diese Weise erhält man eine lineare Abhängigkeit, und
man kann erreichen, daß das von einem bestimmten Fotoplatz I ... 1728 erzeugte Signal in einer genauen
Abhängigkeit steht von einem linearen Bereich von Grautönen zwischen Schwarz und Weiß.
Die im Gebiet 38 aufgrund des Signals Vr aus den to Transistoren 71 und 72 aufgenommene und gespeicherte
Ladung kann entlang dem oberen Teil des Schieberegisters 10 (Fig. 1) weitergegeben und anderen Schaltungen
zugeführt werden, um das in den F i g. 4b bis 4e abgebildete Weiß-Signal darzustellen.
Wenn entsprechend der Darstellung in F i g. 4b das Signal Φχ niedrig ist, erzeugt es eine Potentialsperre,
welche die gesamte Ladung 74, die in Gebiet 38 aufgrund des Signals */« gespeichert ist, einfängt. Anschließend
wird entsprechend der Darstellung in Fig.4c durch Halten dca (an Elektrode 39 angelegten) Signals
Φτ auf einem niedrigen Potential und Erhöhen des Potentials des (an Elektrode 14 angelegten) Signals Φχ die
Ladung 74 in Gebiet 38 auch unter Elektrode 14 gespeichert. Signal Φτ, welches auf einem niedrigen Potential
gehalten wird, verhindert jedoch die Weitergabe von Ladung 74 von Elektrode 14 zu Elektrode 39.
Dann wird entsprechend der Darstellung in F i g. 4d das Potential des an Elektrode 39 angelegten Signals Φτ
erhöht, während das an Elektrode 65 anliegende Signal jo Vr auf dem bisherigen Pegel gehalten wird. Dies ermöglicht,
daß Ladung 74 aus dem Bereich unterhalb der Elektrode 14 in den Bereich unterhalb der Elektrode 39
weitergegeben werden kann. Wie Fig.4e zeigt, wird dann das Potential des an Elektrode 39 angelegten Signals
Φτ herabgesetzt. Dies bewirkt, daß ein Teil 75 der Ladung von dem größeren, unterhalb Elektrode 14 und
im Gebiet 38 verbleibende Betrag abgetrennt wird. Dieser Teil der Ladung 75, welcher aufgrund des Potentials
Φτ eine geringere Höhe erhält, wird in den Bereich unterhalb der Elektrode V>
weitergegeben. Anschließend kann durch kontinuierliches Pulsen des Signals Φτ das
Ladungspaket 75 schrittweise von einer Elektrode zu nächsten weitergegeben werden, und es kommt schließlich
am rechten Ende des oberen Teils des in F i g. 1 dargestellten Schieberegisters an: es kann nun entsprechend
der Darstellung des Pfeils 30 in gewünschter Weise in andere Schaltungen eingebracht werden.
In gleicher Weise, wie es oben im Zusammenhang mit dem oberen Teil des Schieberegisters 10 beschrieben
worden ist, wird das unter Elektrode 39 eingeführte Signal auch unter Elektrode 42 gebracht. Dieses Signal
wird den 1728 Signalen folgen, welche von den 1728 Fotoplätzen
erzeugt sind; es stellt ein Abtastende-Signal dar. Die dabei eingeführte Ladung kann in bekannter
Weise benutzt werden, um geeignete andere elektronische Schaltungen zu veranlassen, die Ladungskopplungsanordnung
zurückzuschalten, um die Weitergabe einer neuen Folge von Ladungen von den Fotoplätzen 1
... 1728 zu den Schieberegistern zu ermöglichen. ω
Die Anordnung gemäß der vorliegenden Erfindung bietet gegenüber Anordnungen bekannter Art viele wesentliche
Vorteile. Insbesondere ist erreicht, daß die Schwarz-Bezugszellen ein Schwarz-Bezugssignal zur
Verfügung stellen, welches kompensiert ist im Hinblick gs
auf Dunkelstromsignale, Temperatureffekte, Taktsignaländerungen, Ausgangsverstärkeränderungen und,
ganz allgemein, irgendwelche Fehler, welche in allen f'jtoempfindlichcn Gebieten auftreten können. Die
Weiß-Bezugszelle bietet ebenfalls erhebliche Vorteile durch die Erzeugung eines Signals, welches für weißes
Licht oder irgendwelche gewünschten Grauschattierungen repräsentativ ist. Außerdem kann dasselbe Weiß-Bezugssignal,
wenn es in ein getrenntes Schieberegister eingeführt wird, verwendet werden, um ais Abtastendeindikator
den Betrieb der Ladu ^kopplungsanordnung zurückzustellen; dadurch entfällt die Notwendigkeit des
Einsatzes von Zähl-Netzwerken, wie sie in bekannter Weise mit großen Ladungskopplungsanordnungen zusammenwirken.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
1. Ladungskopplungsanordnung zum Erzeugen
von Signalen, weiche für den Zustand von Umgebungslichtstrahlung repräsentativ sind, mit mehreren
Fotoplätzen, welche bei Auftreffen von Umgebungslichtstrahlung eine Ladung speichern, deren
Betrag von der Intensität der auftreffenden Umgebungslichtstrahlung
abhängt,
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US87571178A | 1978-02-06 | 1978-02-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2902532A1 DE2902532A1 (de) | 1979-08-09 |
DE2902532C2 true DE2902532C2 (de) | 1984-05-30 |
Family
ID=25366236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2902532A Expired DE2902532C2 (de) | 1978-02-06 | 1979-01-24 | Ladungskopplungsanordnung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JPS5846068B2 (de) |
DE (1) | DE2902532C2 (de) |
FR (1) | FR2416602B1 (de) |
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DE2936703A1 (de) * | 1979-09-11 | 1981-03-26 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Monolithisch integrierte schaltung mit einem zweidimensionalen bildsensor |
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CA1020656A (en) * | 1973-03-22 | 1977-11-08 | Choong-Ki Kim | Buried-channel charge-coupled linear imaging device |
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-
1979
- 1979-01-05 JP JP54000073A patent/JPS5846068B2/ja not_active Expired
- 1979-01-24 DE DE2902532A patent/DE2902532C2/de not_active Expired
- 1979-02-02 FR FR7902731A patent/FR2416602B1/fr not_active Expired
-
1984
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60202963A (ja) | 1985-10-14 |
FR2416602A1 (fr) | 1979-08-31 |
JPH0414510B2 (de) | 1992-03-13 |
FR2416602B1 (fr) | 1986-09-12 |
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JPS5846068B2 (ja) | 1983-10-14 |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: H04N 3/15 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
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