DE2851943A1 - Verbesserungen bei einer abtastvorrichtung - Google Patents
Verbesserungen bei einer abtastvorrichtungInfo
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Description
■ - 7 -
Die Erfindung bezieht sich, auf eine Abtastvorrichtung, boi
welcher ein Lichtfleck über eine Empfaiigsfläche hinweggeführt
oder abgetastet wird. Die Intensität des Lichtflecks kann
bei seiner Hinwegbewegung oder Abtastung über der Empfangsfläche moduliert werden, um ein zweidimensionales Bild auf der
Empfangsfläche aufzubauen, oder der Lichtfleck kann wahlweise benutzt werden, um die Empfangsfläche in irgendeiner Weise zu
analysieren, beispielsweise zum überwachen ihrer Reflexionskraft oder der Übertragungsfähigkeit.
Der Lichtfleck wird durch eine reelle oder anscheinende
Bewegung einer Lichtquelle oder der Empfangsfläche oder durch
eine Kombination dieser beiden Bewegungen über der Empfangs··
fläche abgetastet. Es ist allgemein üblich, eine reelle oder anscheinende Bewegung der Lichtquelle relativ zu der
Empfangsfläche in einer Richtung zu verursachen und dann
die Empfangsfläche in einer anderen Richtung quer zu dieser einen Richtung zu bewegen. Die anscheinende Bewegung zwischen
der Lichtquelle und der Empfangsfläche kann erzeugt werden
beispielsweise durch Verwendung einer beweglichen Reflexionsoberfläche . Wenn die bewegliche Reflexionsoberflache durch
eine Mehrfachfacettenspiegeltrommel gebildet ist, dann tritt
die .anscheinende Bewegung zwischen der Empfangsfläche und der Lichtquelle in einer einzigen Richtung auf, wenn aber die
sich bewegende Reflexionsoberfläche von einem oszillierenden Spiegel dargestellt ist, dann erfolgt die relative anscheinend«
Bewegung zwischen der Lichtquelle und der Empfangsoberfläche
rückwärts und vorwärts in dor einen Richtung. Es ist außerdem
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/8
üblich für die Empfangsoberfläche, eine zylindrische Gestalt
7XL haben und um ihre Achse gedreht zu werden, während die
Lichtquelle oder eine Reflexionsoberflache parallel zur
Achse des Zylinders bewegt wird, so daß der Lichtfleck einen allgemein spiralförmigen Weg über der Außenfläche der zylindrischen
Empfangsoberfläche abtastet.
Um eine genaue Abtastung zu erzielen, ist es wichtig, daß
die relative Lage zwischen der reellen oder anscheinenden Stellung der Lichtquelle und der Empfangsoberfläche aufrecht™
erhalten wird« Wenn eine Bewegung in zwei Querrichtungen
gegeben ist, dann ist im Idealfall jede Bewegung gleichmäßig und regelmäßig, und beide Bewegungen werden absolut
synchron zueinander gehalten. Bei einer derartigen Vorrichtung ist es möglich, eine sehr hohe Abtastgeschwindigkeit zu
erzielen, insbesondere wenn die Vorrichtung für eine anscheinende Bewegung zwischen der Lichtquelle und der Empfangsoborfläche
tuigeordnet ist. Venn jedoch die Vorrichtung für
eine Abtastung bei hoher Geschwindigkeit angeordnet ist,
dai.ii ist es sehr schwierig sicherzustellen, daß die genaue
relative Lage zwischen der reellen oder anscheinenden Stellung der Lichtquelle und derjenigen der Empfangsflache
aufrechterhalten bleibt. Frühere Versuche zu diesem Zweck haben in der Vergangenheit da^u geführt, daß die Abtastvorrichtung
sehr fein durchdacht und kompliziert gestaltet wurde und mit einem sehr hohen Maß an Genauigkeit gebaut
werden mußte. Die Vorrichtung mußte außerdem sehr solide
und {3ohr ni-urv gebaut werden, um sichorsustollen, daß die
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verschiedenen Bestandteile in ihren erforderlichen relativen
Lagen gehalten wurden. Diese Erfordernisse.haben dazu geführt,
daß die Abtastvorrichtung sehr kostspielig und schwierig zu
konstruieren war.
Die britische Patentbeschreibung 1 h6k 092 zeigt eine Abtastvorrichtung
mit einer Mehrfaehfacettenspiegeltrommel und diskutiert die Schwierigkeiten, die bei der Herstellung einer
derartigen Trommel mit einem ausreichend hohen Grad an
Genauigkeit tastehen.Um dies zu überwinden, schlug diese
Beschreibung vor, daß die Pyramidenfehler in einer Spiegeltrommel
gemessen werden und daß dann eine Abtastvorrichtung
eine optische Ablenkeinrichtung enthalten sollte. Die
optische Ablenkungseinrichtung wird synchron zu der Winkellage der Spiegeltrommel gesteuert und .1st so programmiert,
daß durch die optische Ablenkungsanordnung eine vorgegebene
Ablenkung eingeführt wird, um wiederum die Pyramidenfehler in jeder Facette der Spiegeltrommel bei deren Umdrehung auszugleichen.
Dieser Vorschlag verhindert deutlich die Kosten der Spiegeltrommel, trägt jedoch in keiner Weise etwaigen
Fehlern in der Lagerung der Spiegeltrommel noch igendwelchon
anderen Fehlern Rechnung, die an jedem anderen Punkt innerhalb der optischen Anlage auftreten können. Somit ist der
verbleibende Teil der Vorrichtung noch sehr kostspielig in der Konstruktion, da er mit einem sehr hohen Grad an
Genauigkeit und Toleranz hergestellt worden muß.
Gemäß der Erfindung umfaßt eine Abtastvorrichtung eino Llchl;-
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.../1O
quelle, eine Empfangsfläche, Einrichtungen zur Veranlassung
einer reellen oder anscheinenden Bewegung der Lichtquelle relativ zu der Empfangsfläche, so daß im Gebrauch Licht von
der Lichtquelle in einer Richtung über die Empfangsfläche bewegt wird, Fehlererkennungseinrichtungen zum Messen jeglichen
Fehlers in der reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder in der Lage der Empfangsfläche in einer anderen Richtung
quer zu der einen Richtung, eine akustooptische Zelle, die in dem Lichtweg zwischen der Lichtquelle und der Empfangsfläche
in Stellung gebracht und so angeordnet ist, daß sie im Gebrauch eine Ablenkung des Lichtstrahls von der Lichtquelle in die
andere Richtung verursacht, sowie Einrichtungen, die auf die Fehlererkennungseinrichtung ansprechen, um die Ablenkung des
Lichtstrahls in der akustooptischen Zelle zu beeinflussen, um eine Ablenkung zu erzeugen, welche einen Ausgleich für jeglichen
Fehler in der reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder derjenigen der Empfangsfläche in der anderen
Richtung schafft.
Eine derartige Anordnung berücksichtigt nicht nur jogiiche
regelmäßigen, sich wiederholenden Fehlerquellen in der Vorrichtung,
sondern berücksichtigt auch die konstanten oder Zufallsfehler und Unregelmäßigkeiten. Somit beinhaltet die
vorliegende Erfindung anstatt der Verwendung fein durchdachter
uiid kostspieliger Konstruktionsarbeiten von hoher Tolex-anzgenauigkeit
zur Sichers bellung der erfaderlichen Anfangslage
jedes Bestandteils und seines Verbleibs in dieser Lago Einrichtungen
zum Messen der Fehlergröße in der Lage der Licht»
9098 2 3/076 4 /m
quelle oder der Empfangsfläche und eine almstooptische Zelle
zum Verursachen einer anscheinenden relativen Bewegung zwischen ihnen zum Ausgleich für jegliche Fehler in der Lage, Die alcus tooptische
Zelle und die zugeordneten Steuereinrichtungen sind relativ wenig kostspielig, und eine Vorrichtung gemäß diesel·
Erfindung hat daher vom Kostenstandpunkt her erhebliche Vorteile und führt zu einem höheren Grad an Genauigkeit in der
Einstellung des Bildes der Lichtquelle auf der Empfangsfläche
und zu einer größeren Lebensdauer der Vorrichtung.
Die Erfindung ist insbesondere nützlich bei einer Vei-wendung
in Verbindung mit einer Abtasteinrichtung, die bereits eine alcus to op tische Zelle benutzt. Die alcus to op tische Zelle kann
auch zum Spalten der Lichtstrahlen in eine Anzahl verschiedener Teile benutzt werden, und zwar durch Anwendung einer
gleichen Anzahl verschiedener Ablenkungen auf den Lichtstrahl bei seinem Durchgang durch die Zelle, Dies spaltet den einzelnen
Lichtstrahl in eine Anzahl verschiedener Strahlen zur Bildung einer Anzahl verschiedener Lichtflecke, die wiederum
verschiedene ¥ege auf d<=sr Einpf angsfläche gleichzeitig
abtasten. Die akustooptische Zelle kann auch benutzt werden, um die Intensität des Lichtstrahls oder diejenige jedes der
Lichtstrahlen zu modulieren, so daß im Gebrauch die Intensität des sich über die Empfangsfläche hinwegbewegenden Lichtes
moduliert wird.
Eine akustooptische Zelle wird durch einen Block transparenten
Materials gebildet, an dem ein akustischer Wandler befestigt
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istc Die von dem Wandler erzeugten Ultraschallwellen gehen
durch das Transparentmaterial hindurch und verursachen einen
regelmäßigen periodischen Wechsel in seinem Brechungsindex.
Dies führt dazu, daß das transparente Material als ein Brechungsgatter wirkt, und der in einem durch eine solche
Zelle hindurchgehenden Lichtstrahl erzeugte Ablenkungsgrad ist abhängig von der Frequenz der Ultraschallwellen, die auf
die Zelle zur Anwendung gebracht werden, und die Menge des abgelenkten Lichtes ist abhängig von der Intensität der auf
die Zelle aufgebrachten Ultraschallwellen. Eine allgemein übliche Betriebsfrequenz für eine solche Zelle ist 100 MHz.
Wenn die akustooptische Zelle benutzt wird, um den Strahl in
eine Anzahl verschiedener Strahlen aufzuspalten, dann kommt eine Gruppe akustischer Wellen je mit einer unterschiedlichen
Differenz auf die Zelle zur Anwendung, und wenn die Zelle außerdem als ein Modulator wirkt, dann wird die Intensität
der einzelnen Wellen unabhängig voneinander gesteuert. Wenn die akustooptische Zelle den Lichtstrahl in eine Anzahl verschiedsier
Strahlen aufteilt, dann werden die Einrichtungen, die auf die Fehlererkennungsvorrichtung ansprechen, um die
Ablenkung des Lichtstrahls in der akustooptisehen Zelle zu
beeinflussen, so angeordnet, daß sie die gesamte Gruppe der Frequenzen der auf die akustooptische Zelle aufgebrachten
akustischen Wellen verschieben, um den Ablenkungsgrad jedes der Lichtstrahlen zu verändern und dadurch einen Ausgloich
für Fehlex- zu schaffen, während gleichzeitig ihre wechselseitige Winkelteilung mit Bezug zueinander aufrechterhalten
wird.
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Die Lichtquelle kann dargestellt sein durch irgendeine im
wesentlichen einfarbige Lichtquelle, es wird jedoch eijne von
einem Laser gebildete Lichtquelle bevorzugt» Die Empfangsoberfläche kann eine große Vielfalt verschiedener Formen
haben, je nach der Art dev Abtastvorrichtung, auf die sich
diese Erfindung bezieht» Somit kann die Empfangsfläche dargestellt
sein durch irgendein lichtempfindliches Material, wie beispielsweise lichtempfindliches fotografisches Filmmaterial, ein mit einem lichtempfindlichen Überzug überzogenes
Substrat, wie beispielsweise Fotowiderstands- oder xerographisch.es Material. Wenn somit der Lichtstrahl über
eine solche Empfangsfläche hinwegbewegt oder abgetastet und seine Intensität moduliert wix^d, dann wird auf der Empfangsfläche ein direktes oder latentes Bild erzeugt, und wenn es
ein latentes Bild ist, dann kann dieses anschließend beispielsweise durch Entwickeln eines fotografischen Films,
Entwickeln und Ätzen der Oberfläche des Substrats oder durch Herstellung eines Druckes von der verschieden aufgeladenen
Oberfläche des xerogi-aphischen Materials unter Verwendung der herkömmlichen xerograpfc.isch.en Techniken entwickelt werden.
Die Empfangsfläche kann nicht lichtempfindlich sein und dennoch bei einem Lichts nrahl von modulierter Intensität
verwendet werden, beispielsweise kann die Empfangsfläche
dax"gesteilt sein durch ein Druckkörpersubstrat, horgot,teilt
aus Kunststoffmaterial. In einem solchen Fall ist die Lichtquelle der Vorrichtung vorzugsweise durch einen kräftigen
Laserstrahl dargestellt,und dann trägt beim Abtasten dos
Strahls von einer solchen Quelle über der Oberfläche dos
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Druckkörpersubsträte und beim Modulieren seiner Intensität
der Laserstrahl die Obei-flache ab und graviert ein zweidimensionales
Bild direkt in die Oberfläche des Druckkörper-Substrats
ein, um einen gravierten Druckkörper zu schaffen.
Die Abtastvorrichtung kann auch so angeordnet werden, daß sie die Reflexionskraft oder Übertragungsfähigkeit der Empfangsfläche überwacht, und in diesem Fall ist die Empfangsfläche
beispielsweise durch ein Lichtbild dargestellt. Wenn der Lichtfleck oder die Lichtflecke abtastend über das Lichtbild
hinweggeführt werden, dann wird die von dem Lichtbild reflektierte
oder durch das Lichtbild übertragene Lichtmenge überwacht. In der Praxis wird beim Messen der Übertragungsfähigkeit
ein fotografisches Negativ oder ein Transparent als die Empfangsfläche benutzt, und diese Art der Abtastvorrichtung
1st besonders bedeutend, wenn ein Bild zur Schaffung einer Information hinsichtlich einer Abweichung der Bilddickte -Tier
seiner Obex-flache abgetastet wird.
Vorzugsweise enthält die Feilererkennungseinrichtung Vorrichtungen
zum Messen der reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder derjenigen der Empfangsfläche in der anderen
Richtung, Einrichtungen zum Messen der Lage der Empfangsfläche
oder der reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle in der einen Richtung, Einrichtungen zur Festlegung der gewünschten
reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder derjenigen der Empfangsfläche in der anderen Richtung von der Lage der
.../15
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Empfangsfläche bzw. der reoJ.len oder anscheinenden Lage der
Lichtquelle in der einen Richtung, Vergleichseinrichtungen
zum Vergleichen der reelbn oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder derjenigen der Empfangsflache in der anderen
Richtung mit der erwünschten reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder derjenigen der Empfangsfläche in der
anderen Richtung und zur Bildung eines Ausgangs zur Anzeige jeglichen Fehlers zwischen diesen beiden Stellungen.
zum Vergleichen der reelbn oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder derjenigen der Empfangsflache in der anderen
Richtung mit der erwünschten reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle oder derjenigen der Empfangsfläche in der
anderen Richtung und zur Bildung eines Ausgangs zur Anzeige jeglichen Fehlers zwischen diesen beiden Stellungen.
Durch das Messen der Lage der Empfangsfläche oder der reellen
oder anscheinenden Lage der Lichtquelle in der einen Richtung
und anschließendes Verwenden dieser Information zur Erlangung der erwünschten reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle
oder derjenigen der Empfangsfläche in der anderen
Richtung wird jegliche Unregelmäßigkeit in der Bewegung und Einstellung der Empfangsfläche oder der Lichtquelle in entweder der einen oder anderen Richtung ausgeglichen. Da die
Lage der Empfangsfläche oder die reelle oder anscheinende
Lage der Lichtquelle in der einen Richtung benutzt wird, um die erforderliche Stellung der Lichtquelle oder diejenige
der Empfangsfläche in der"anderen Richtung zu bestimmen,
kann in der Lage der Emffangsflache oder der Lichtquelle in der einen Richtung kein Fehler vorhanden sein. Die Fehlererkennungseinrichtung und die akustooptisehe Zolle schaffen einen Ausgleich für Fehler in der anderen Richtung, und die anscheinende Lage der Lichtquelle und die Lage der Empfangsfläche ist daher in beiden Richtungen richtig. Die relative
Richtung wird jegliche Unregelmäßigkeit in der Bewegung und Einstellung der Empfangsfläche oder der Lichtquelle in entweder der einen oder anderen Richtung ausgeglichen. Da die
Lage der Empfangsfläche oder die reelle oder anscheinende
Lage der Lichtquelle in der einen Richtung benutzt wird, um die erforderliche Stellung der Lichtquelle oder diejenige
der Empfangsfläche in der"anderen Richtung zu bestimmen,
kann in der Lage der Emffangsflache oder der Lichtquelle in der einen Richtung kein Fehler vorhanden sein. Die Fehlererkennungseinrichtung und die akustooptisehe Zolle schaffen einen Ausgleich für Fehler in der anderen Richtung, und die anscheinende Lage der Lichtquelle und die Lage der Empfangsfläche ist daher in beiden Richtungen richtig. Die relative
• •./1-6
909823/0764
Bewegung zwischen der Lichtquelle und der Empfangsfläche in
der einen Richtung kann erzeugt werden durch eine Freilaufanordnung. Im allgemeinen hat die Einrichtung zum Verursachen
dex- reellen oder anscheinenden Bewegung der Lichtquelle relativ zu der Bildempfangsfläche in der einen Richtung ein
beträchtliches Beharrungsvermögen, und ihre Bewegung ist daher im wesentlichen gleichmäßig»
Vorzugsweise mißt die Pehlererkennungseinrichtung die reelle oder anscheinende Lage der Lichtquelle in der anderen Richtung
relativ ^u der Lage der Empfangsfläche in der anderen Richtung,
so daß die akustooptische Zelle einen Ausgleich schafft für jegliche Fehler in den relativen reellen oder anscheinenden
Lagen der Lichtquelle und der Empfangsfläche. Dies ist die
ideale Situation, da die reeLle oder anscheinende Lage der
Lichtquelle dann immer zu derjenigen der Empfangsfläche in Beziehung gesetzt wird und so jegliche Bewegungen der Lichtquelle
und der Empfangsfläche sämtlich in Betracht gezogen werden und die Empfangsfläche und die Lichtquelle immer
richtig relativ zueinander angeordnet werden, ungeachtet der absoluten "Lagen der einen oder anderen von ihnen im Raum.
In der Praxis gibt es häufig einige Teile der Vorrichtung, die genau angeordnet werden können, beispielsweise kann die
Empfangsfläche genau mit Bezug auf den Hauptrahmen der Vorrichtung angeordnet werden, und in diesem Falle ist es
lediglich erforderlich, die relativen Lagen zum Beispiel d©r Lichtquelle und des Hauptrahmens der Maschine zu messen,
um die erforderliche Genauigkeit in der Einstellung der
909823/0764 ·
Lichtquelle und der Empfangsfläche zu erzielen. Ebenso ist es auch möglich, itenn beispielsweise die Empfangsfläche mit Bezug
auf den Hauptrahmen beweglich ist, die relativen Lagen beispielsweise
der Lichtquelle und der Empfangsflächo durch
Vergleich der Lagen jeder von ihnen mit Bezug auf den Hauptrahmen
festzulegen.
Als Beispiel der Herabsetzung der Genauigkeit in der Konstruktion der Abtasteinrichtung in Anwendung der vorliegenden
Erfindung sei angenommen, daß die Einstellung des Lichtflecks
oder der Lichtflecke auf der Empfangsfläehe innerhalb einer Toleranz von -
<j liegen muß, dann darf bei Anwendung einer herkömmlichen Abtastvorrichtung der gesamte kumulative Fehler
aller Bestandteile innerhalb der Vorrichtung diese Zahl von - O nicht überschreiten. Wenn jedoch die Vorrichtung gemäß
dieser Erfindung ausgelegt ist, dann muß die Meßeinrichtung in der Lage sein, den kumulativen Fehler in der Vorrichtung
innerhalb dieses Genauigkeitsgrades zu messen, und die akustooptisehe
Zelle muß dann in der Lage sein, diesen kumulativen Fehler auszugleichen. Es liegt auf der Hand, daß die akustooptische
Zelle keinen ausreichend großen Fehler in sich haben darf, so daß die Toleranz von ί (P überschritten wird. Allgemein
steht die Genauigkeit der Ablenkung, die durch eine akustooptische Zelle erzielt wird, in Beziehung zu ihrem
gesamten Ablenkungsbereich und beträgt annähernd einen Prozentsatz von diesem gesamten Ablenkungsbereich.« Im allgemeinen
beträgt der Fehler in der akustooptischen Zelle 1$, und in diesem Fall ist es möglich, Toleranzen und Fehler in der Vor-
-9098 23/0 76 A ..β/ιβ
richtung von 100 χ ^ auszugleichen. Bei sorgsamer elektronischer
Auslegung kann dies bis zu einem Paktor von 500 χ (y erhöht
werden. Es sei angenommen, daß die erforderliche endgültige Genauigkeit - Q in der Größenordnung von 1 Mikron liegt und
somit in einer vorhandenen Anlage eier gesamte kumulative Fehler auf keinen Fall größer sein darf als - 1 Mikron. Wenn jedoch
die Vorrichtung gemäß der Erfindung ausgelegt ist, dann kann ein kumulativer Fehler einer ähnlichen Vorrichtung die Größenordnung
von 0,1 mm und mehr haben, und die endgültige Genauigkeit in der Einstellung des Lichtflecks oder der Lichtflecke
liegt dennoch innerhalb der erforderlichen Toleranz, da dieser kumulative Fehler ausgeglichen wird durch die akustooptische
Zelle.
Es werden nunmehr zwei besondere Beispiele der Vorrichtung gemäß der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten
Zeichnungen beschrieben. Es zeigern
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht zur Darstellung des optischen Weges des ersten Beispiels,
Fig. 2 eine schematische Draufsicht zur Darstellung eines Teils des optischen ¥eges des ersten Beispiels,
Pig» 3 ein Blockschema des dem ersten und zweiten Beispiel
zugeordneten elektronischen Steuerkreises,
Fig. h eine schematische Draufsicht auf das zweite Beispiel,
309823/0764
,../19
Flg. 5 ein Schema des optischen ¥eges des zweiten Beispiels 3
und
Fig. 6 eine Abwandlung des optischen ¥eges des zweiten
Beispiels. ο
Das erste Beispiel der Abtastvorrichtung gemäß dieser Erfindung bildet die Ausgangsstufe eines Schnelldruckers zum Drucken
alphanumerischer Zeichen. Der Schnelldx-ucker wird allgemein
benutzt zur Bildung einer sichtbaren Anzeige eines Computers und des Schnelldruckers.
Der optische Weg des Schnelldruckers wird in den Figuren 1 und 2 gezeigt und enthält eine Lichtquelle, gebildet von
einem Laser, der in diesem Beispiel ein Laser der Type 138
von Spectra Physics ist, und dessen Ausgangsstrahl dann durch den Durchgang durch eine Linsenkombination, gebildet
durch die divergierenden und konvergierenden Linsen 2 und 3* expandiert wird. Der expandierte Laserstrahl geht dann durch
eine akustooptische Zelle h hindurch und von dort durch eine
weitere divergierende Linse 5· Eine konvergierende Linse 6
konzentriert den Lichtstrahl auf einen oszillierenden Spiegel 7. Der Spiegel 7 ist an einem oszillierenden Winkelwandler 8
befestigt, der durch ein oszillierendes elektrisches Signal von konstanter Frequenz angetrieben wird, und die Kombination
aus Spiegel und Winkelwandler kann durch ein oszillierendes Galvanometer der Type G 12Ί· dargestellt sein, das von der
Firma General Scanning Incorporated hergestellt wird. Der
«09823/0784
Lichtstrahl wird durch den Spiegel 7 auf einen gekrümmten
Feldverflachungsspiegel 9 und von dort über einen geneigten
Hilfsspiegel 10 auf die Oberfläche einer zylindrischen Bildtrommel
11 reflektiert, die aus xerographischem Material
hergestellt ist. Die Trommel 11 bildet einen Teil einer herkömmlichen
xerographischen Druckstation, die nicht in weiteren Einzelheiten beschrieben wird.
Im Betrieb dieses Beispiels wird eine Schar von sechs Ultraschallfrequenzen
über ein koaxiales Kabel 12 durch im Anschluß zu beschreibende Einrichtungen auf die akustooptische Ze1Ia Λ
aufgebracht. Dies verursacht eine Aufteilung des durch die akustooptische Zelle hindurchgehenden Lichtstrahls in sieben
verschiedene Komponenten, und zwar eine Komponente, die ohne Ablenkung durch die Zelle hindurchgeht, und sechs weitere
Komponenten, die jeweils einer der auf die akustooptische Zelle 4 aufgebrachten Frequenzen entsprechen, und die alle xxm.
verschiedene Winkelbeträge abgelenkt werden. Alle sieben Lichtstrahlen gehen durch die Linsen 5 und 6 hindurch und
werden von dem Spiegel 7 reflektiert. Im Betrieb oszilliert der Spiegel 7 mit einer oszillierenden Drehbewegung von θ Grad.
Dies führt dazu, daß sich die Grupße von Lichtsfcrahlen zwischen
dem Spiegel 7 und dem Spiegel 9 über einen ¥inkel von 2 θ
bewegt. Die Gruppe von Strahlen trifft auf den gekrümmten FeIdabflaohungsspiegel
9 auf und folgt dann einem linearen Wog und
oszilliert in Aufwärts- und Abwärt sr ich tuner, wie in Flß. 2
gezeigt. Somit werden beim Abtasten des Lichts braille durch den Spiegel 7 Liclitf lecken in Rückwärts- und VorwUrtor.lclitung
908823/0764 .../si
.';■■- 21 -
2851343
parallel zur Achse der zylindrischen xerographlachen Trommel
11 abgetastet. Figo 1 zeigt die sechs unabhängigen Lichtstrahlen nur über den letzten Teil ihres Weges zur Vermeidung
von Verwirrung. Der Bestandteil des Lichtstrahls, der sich ungebrochen in der akustooptischen Zelle k befindet, trifft
nicht auf den Hilfsspiegel 10 auf, sondern trifft statt
dessen auf ein Übertragungsstrichgitter 13 auf. Eine -weitere
Linse (nicht gezeigt) sammelt den nicht abgelenkten Lichtstrahl nach dem Durchgang durch das Gitter 13 und konzentriert
ihn auf exnein Fotodetektor i4r welcher nur in Fig. 3 gezeigt
ist.
Die ungebrochene Komponente des Lichtstrahls, die in der akus;;o op tischen Zelle 4 nicht abgelenkt wird, bildet einen
Bezugsstrahl und wird benutzt, um die augenblickliche Lage des Abtastlichtstrahls in einer Richtung parallel zu der
Achse der Trommel 11 festzulegeiio Bei der Bewegung des
Bezugsstrahls auf dem Übertragungsgitter 13 entlang wird eine Reihe Impulse von dem Ausgang des Fotodetektors 14
erzeugt. Der Fotodetektor ist an einen Auf-Ab-Zähler 15
angeschlossen, der in Fig. 3 gezeigt ist, und der Ausgang dieses Zählers 15 gibt 3ine Anzeige der augenblicklichen
Lage des Lichtstrahls in der Abtastrichtung. Jedesmal, wenn der Lichtstrahl seine Bewegungsrichtung umkehrt, gibt der
Zähler 15 einen Ausgangsimpuls ab, der einem Zähler \6 zugeführt
wird. Der Zähler 16 erzeugt ein Ausgangssignal, das
die erwünschte Lage des Lichtstrahls in der Richtung quer zur Abtastrichtung darstellt. Der Ausgang von oinoni mit dorn
Drucker verbundenen Computer führt die Information oinon;
909823/0764 /nn
... / rlti
- ZZ -
Zeichenspeicher 17 zu, um die Zeichen und ihre Druckordnung
zu bestimmen. Die Ausgänge von den beiden Zählern I5 und
werden ebenso dem Zeichenspeicher zugeführt, um eine Adresseninformation hinsichtlich der Schreibstellung der
Lichtflecke zu geben und den Zeichenspeicher in die Lage zu versetzen, einen Ausgang auf einen Zeichengenerator 18
zu übertragen, um die Intensität jedes der Lichtflecke zu bestimmen, die in der betreffenden Stellung zur Bildung
des gewünschten Zeichens erforderlich ist.
Der Ausgang von dem Zähler i6 wird auch einem Digitalvergleicher 19 als einer dessen Eingänge zugeführt. Die xerographische
Trommel 11 enthält einige Einrichtungen zum
genauen Messen ihrer Lage relativ zu dem Hilfsspiegel 10, beispielsweise eine Kodierscheibe 20 mit zugeordnetem
Detektor 21» Dieser Stellungsdetektor 21 bildet eine Information
hinsichtlich der augenblicklichen reellen Lage der-Oberflache
der xerographischen Trommel 11 in einer Richtung quer zur Abtastrichtung des Lichtflecks und damit quer zur
Achse der zylindrischen Trommel 11. Der Ausgang des Detektors
21 wird.als zweiter Eingang dem Vergleicher 19 zugeführt. Der
Vergleicher 19 vergleicht die beiden Eingänge und erzeugt einen Ausgang proportional zu dem Unterschied zwischen seinen
beiden Eingängen, welcher eine Anzeige darstellt für jeden etwaigon Fehler in der Stellung der Schar Lichtflecke in
Querrichtung auf der Oberfläche der Trommel 11. Dieser Fehler in der Stellung kann dadurch verursacht sein, daß die Bewegung
der Trommel nicht vollständig synchron mit dem Abtastspiegel
909823/0 764 .../23
erfolgt, oder er kann auf irgendeine zufällige Schwingung
zurückzuführen sein.
Der Ausgang von dem Vergleicher 19 wird durch einen spannungsgesteuerten
Oszillator 22 in ein Signal von variabler Frequenz umgewandelt. Der Ausgang von dem Zeichengenerator 18 wird
einer Multiplexereinheit 23 zugeführt, und ein Frequenzgenerator
(nicht gezeigt), welcher eine Schar Grundfrequenzen für jeden der sechs verschiedenen Flecke erzeugt, ist ebenso
ait die Multiplexereinheit 23 angeschlossen. Von dem Fotodetektor
1Λ und damit von der Lage des Lichtflecks in Abtastrichtung abgeleitete Gitterimpulse werden benutzt, um den
Betrieb der Multiplexereinheit 23 zu steuern. Der Ausgang von der Multiplexereinheit 23 und der Ausgang von dem
spannungsgesteuerten Oszillator 22 werden einer Multiplizierschaltung Zk zugeführt, an die sich ein Bandpaßfilter 25
anschließt, einem Energieverstärker Z6 und von dort über das koaxiale Kabel 12 der akustooptischen Zelle 4.
Die sechs Grundfrequenzen, die der Multiplexereiniieit 23
zugeführt werden, sind durch Abstände von 2 MHz voneinander getrennt und um 50 MHz herum zentriert. Der Ausgang aus dem
spannungsgesteuerten Oszillator 22 liegt allgemein im Bereich von 30 bis 70 MHz, und somit hat der Ausgang von der Multiplizierschaltung
Zk eine Niederfrequenzkomponente, die von dem Hochbandpaßfilter 25 ausgefiltert wird, und sechs Hochfrequenzkomponenten
irgendwo im Bereich von beispielsweise 75 bis 125 MHZ. Die Schar von sechs Hochfrequenzkomponenton
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bewegt sich zusammen als eine Gruppe innerhalb dieses Frequenzbereiches,
um den Grad der Ablenkung des Lichtstrahls durch die akustooptische Zelle K zu variieren, um Fehler zwischen
der augenblicklichen Winkellage der Trommel 11 und der durch
den Zähler 16 bestimmten erforderlichen Lage auszugleichen.
Die Vorsehung der akustooptischen Zelle h und des zugeordneten
Steuerkreises ermöglicht es den Lichtfiecken bei Abtastung in beiden Richtungen, zur Erzeugung des Bildes auf
der Oberfläche der Trommel 11 verwendet zu werden, d.h., gleichgültig,
ob die Lichtstrahlen sich in der Darstellung der F:.g.2 nach oben oder nach unten bewegen. Ohne jegliche Korrektur
würden sich die Lichtflecke über einen allgemein zickzackförmigen
¥eg um die Außenfläche der Trommel 11 herum bewegen und die Benutzung beider Abtastrichtungen unmöglich machen,,
Mit der Vorsehung der akustooptischen Zelle 4 und ihres zugeordneten Steuerkreises werden jedoch beide Abtastrichtung5i-.·
benutzt, da die Lichtstrahlen in ihre erforderlichen Stellungen hinein abgelenkt werden und aufeinanderfolgende liege der Lichtflecke
auf der Oberfläche der Trommel unbedingt parallel zueinander verlaufen und einen unbedingt gleichmäßigen Abstand
zwischen einander haben. Somit gleicht die Vorrichtung gemäß der Erfindung jegliche Fehler in der Einstellung der Trommel
11 aus, seien sie eine Folge von Schwingungen oder Ungenauigkeiten
in der Vorwärtsbewegung der Trommel oder in dem normalen, unkorrigierten Abtastweg des Lichtstrahls über die Trommel.
Das zweite Beispiel einer Abtastvorrichtung fjomäß der Erfindung
909823/0764
ist eine Abtastvorrichtung zur Verwendung in der Herstellung
von Farbtreimfilmen, wie sie als Zwischenstufe in der Herstellung
von Druckplatten verwendet werden. Dies zweite Beispiel verwendet den Ausgang von einem Bildanalysenabtaster
oder ein solches Signal nach seiner Verarbeitung durch einen Computer, um die einzelnen Trennfilme herzustellen.
Die Empfangsfläche ist in diesem zweiten Beispiel ein lichtempfindlicher
Film, der an der Oberfläche einer zylindrischen Trommel befestigt ist. Nach dem Empfang des latenten Bildes
wird der Film entwickelt und in de:.^ Herstellung eines Druckkörpers
verwendet. Die Vorrichtung wird ziemlich schematisch in Fig. h gezeigt und enthält eine Trommel 27, die zum Umlauf
um ihre Achse angeordnet ist, und einen beweglichen Wagen 28, der den optischen Weg der Vorrichtung trägt und zur Bewegung
parallel zur Achse der Trommel 27 angeordnet ist.
Der optische Weg der Vorrichtung wird in Fig. 5 gezeigt und
enthält einen Laser 29, dessen Ausgang durch eine Strahlspalteinrichtung
30 geführt wird, die einen kleinen Bruchteil des Ausgangs des Lasers zu einem Fotodetektor 31 und zu einem
Paar Linsen 32 und 33 f.ihrt, welche den Strahl expandieren.
Der expandierte Strahl wird dann einer akustcoptischen Zollo
3^ zugeführt und anschließend einex1 konvergierenden Lxnso
Die Richtung des Strahls wird dann durch ein Umkehrprisma 36 umgekehrt. Der Lichtstrahl wird einem Brennpunkt in einer
Ebene 37 zugeführt, die eine Seite eines kleinen Priawus 38
enthält.
909823/0764
Im Durchgang durch die akustooptische Zelle 34 wird der Lichtstrahl
in eine abgelenkte Komponente, welche sechs einzelne Strahlen enthält, und eine nicht abgelenkte Komponente, ähnlich
dem ersten Beispiel gespalten. Das kleine Prisma 38 ist so angeordnet,
daß es die nicht abgelenkten Komponenten des Laserstrahls auf einen zweiten Fotodetektor 39 ablenkt. Die abgelenkte Komponente
des Lichtstrahls, d.h. alle Teile, die beim Durchgang durch die alcus to op tische Zelle Jk abgelenkt werden, gehen
durch eine Feldlinse 4o hindurch und treffen auf ein Prisma
41 auf. Das Prisma 41 dreht den Strahl, so daß er iine BiIdliise
42 erfaßt, durch welche die Strahlen auf die Oberfläche
der Trommel 27 fokussiert werden. Auch hier ist die Schar von sechs Lichtstrahlen nur über den letzten Teil ihrer Bewegung
gezeigt, um Verwirrung zu vermeiden. Die Brennweite der Linse
42 ist so gewählt, daß sie die erforderliche Bildgröße auf der Oberfläche der Trommel 27 ergibt.
Alle Komponenten 29 und 42 sind auf dem Querwagen 28 gelagert,
und die relative Lage dieser verschiedenen Komponenten i-.t daher allgemein feststehend* Es hat sich herausgestellt, daß
die Lage der Fokussierlinse 42 in der Richtung parallel zur Achse der Trommel 27 eine genaue Beziehung zur Lage der Lichtflecke
auf der Oberfläche der Trommel 27 in derselben Richtung hat, wenn angenommen wird, daß in der Zelle 34 keine Ablenkung
stattfandet. Demzufolge ist festgestellt worden, daß für die Zwecke dieses Beispiels unter der Voraussetzung, daß die Lage
der Linse 43 in der axialen Richtung genau bekannt ist, es
möglich ist, diese Lage zu benutzen, um die augenblickliche
909823/0 76 4
hi
Lage darzustellen, wo die Lichtstrahlen wären, wenn angenommen
wird, daß dieakustooptische Zelle 34 nicht arbeitet. Auf dem
Hauptrahmen der Vorrichtung ist ein Übertragungsgitter 43
gelagertj, und der bewegliche Schlitten 28 hat ein ähnliches
Gitter von identischem Abstand, das unter ihm und unmittelbar über dem Gritter 4ß gelagert ist. Es wird Licht durch die
beiden Gitter geführt und zu einem Brennpunkt auf dem Fotodetektor
(nicht gezeigt) gebrachte Wenn sich der bewegliche Schlitten 28 axial mit Bezug auf die Trommel 27 und das Strichgitter
43 bewegt, dann ändort sich das durch beide Gitter
hindurchgehende Licht in seiner Intensität«, Somit bildet der Ausgang des Fotodetektors in Verbindung mit den Gittern eine
Reihe von Impulsen, von denen .jeder einzelne der Bewegung des
beweglichen Schlittens um einen Betrag gleich dem Abstand des Gitters 43 entspricht. Das Gitter 43 und der Fotodetektor entsprechen
der· Kodierscheibe 20 und dem Detektor 21 in dsm ersten
Beispiel und liefern eine Anzeige hinsichtlich der augenblicklichen
Lage des beweglichen Schlittens 28 in der axialen Richtung der Trommel 27 und damit der augenblicklichen Lage,
wo die Lichtflecke in der «xialen Richtung der Trommel wären,
wenn die akustooptische Zelle 34 nicht arbeitete.
Die Trommel 27 enthält auch eine Kodierscheibe 44 mit zugeordnetem
Detektor 45. Die Kodierscheibe 44 und der Detektor 45 entsprechen dem Gitter 13 und dem Detektor 14 in dem
ersten Beispiel, und die Kodierscheibe 44 und der Detektox-45
geben die augenblickliche Winkellage der Trommel 27 und
damit die augenblickliche Lage der Lichtflocke in der Abtast-
909823/0764 :-,"'. .../28
richtung an. Die Schaltung-, die genau analog zu der für das
erste Beispiel beschriebenen ist, ist so angeordnet, daß sie die gewünschte Lage der Lichtflecke in der axialen Richtung
der Trommel 27 mit deren erwarteter tatsächlicher Lage vergleicht und über die akustooptische Zelle 3h eine Ausgleichsablenkung zur Anwendung bringt, um jeglichen Unterschied
zwischen diesen beiden Lagen auszugleichen.
Der Fotodetektor 31» welcher einen Ausgang zur Anzeige der
anfänglichen Intensität des Lasers 29 erzeugt, und der Fotodetektor 39» welcher eine Anzeige der Menge des Lichtes gibt,
welches im Durchgang durch die akus to optische Zelle 3^- unabgelenkt
ist, werden benutzt zvlv Bildung einer Anzeige der Lichtmenge aus dem anfänglichen Lichtstrahl, die unter die
Schar von sechs verschiedenen, in der akustooptischen Zelle 34 abgelenkten Lichtstrahlen verteilt ist. Es sind Steuereinrichtungen
vorgesehen, um die Intensität der auf die alcustooptische
Zelle aufgebrachten Ultraschallfrequenzen in Abhängigkeit von den Ausgängen der Fotodetektoren 26 und 3k zu variieren,
um sicherzustellen, daß die absolute Lichtintensität in jedem beliebigem der in jedem beliebigen Augenblick betätigten
sechs Lichtstrahlen ungeachtet der Gesamtzahl d^r in einem
beliebigen Augenblick betätigten Lichtstrahlen immer im wesentlichen konstant ist.
Ein Fehler, der beim Abtastgerät ähnlich diesem Beispiel vorhanden
sein kann, liegt in der Lagerung der Trommel 27., Die Trommel 27 kann einem Endschwimmen unterliegen, wio os durch
die striclipunlctierten Linien in Fig» k übertrieben gezeigt
909823/0764 /on
ist. Wenn, sich die Trommel in der Richtung ihrer Achse bewegt,
dann verändert sich deutlich die Lage der Lichtstrahlen mit Bezug auf die Trommel. Dieser Fehler kann auch ausgeglichen
werden durch Verwendung einer Vorrichtung ähnlich dem zweiten Beispiel, vorausgesetzt, daß die augenblickliche Lage der
Trommel 22 in der Richtung ihrer Achse bekannt ist. Ein Weg, um dies zu erreichen, wäre die Bestimmung der elektrischen
Kapazität der Kupplung zwischen der Stirnseite der Trommel 2J
und einem an dem Maschinenrahmen befestigten Bestandteil und Verwendung der Abweichung in der Kapazitanz zwischen diesen
beiden, um eine Anzeige der Stellung der Trommel 27 relativ
ZiJi dem Maschinenrahmen zu geben. Die von dem Stellungsdetektor
einschließlich des Gitters 4 3 gegebene Lage kann dann durch
ein Signal modifiziert werden, welches die axiale Lags der Trommel 27 anzeigt, um ein Fehlersignal zu geben, das darstellend
ist für die relative Lage zwischen der Trommel 27 und dem beweglichen Schlitten 28.
Ein bevorzugter Weg, dies zu erreichen, besteht jedoch darin, eine reflektive Komponente in enger Nachbarschaft der Stirnseite
der Trommel 27 zu halten, beispielsweise auf einem Luftkissen oder durch irgendwelche Servoeinrichtungen, und
dann, diese reflektive Komponente als Teil einer Interferometeranordnung
zu benutzen, wobei ein anderer Teil des Interferometers auf dem beweglichen Schlitten 28 gelagert ist.
Die Intorferometeranordnung wird dann so eingerichtet, daß
sie die augenblickliche Lage des Schlittens 28 direkt in Beziehung zur Lage der reflektierenden Komponenten mißt, die
909823/0764 -
wiederum abhängig ist von der Lage des Endes der Trommel 27.
Es würde somit bei Anordnung der Vorrichtung auf diese ¥eise die augenblickliche Lage des beweglichen Schlittens 28 immer
relativ zu der augenblicklichen Lage der Trommel 27 anstatt
zum Maschinenrahmen bestimmt werden, und daher würde der auf die akustooptische Zelle "}h übertragene Fehlerausgleich Fehler
in der rettiven Lage zwischen diesen beiden berichtigen.
Schließlich braucht nicht unbedingt der gesamte in Fig. 5
gezeigte optische ¥eg auf dem beweglichen Wagen 28 angeordnet zu werden. Fig. 6 zeigt eine Abwandlung der Vorrichtung, bei
der der größere Teil des optischen ¥eges bis zu und einschließlich der Feldlinse kO in einer Stellung relativ zu dem Hauptrahmen
der Maschine befestigt ist, jedoch das Prisma 41 und
die Linse kZ noch auf dem beweglichen Rahmen 28 gelagert
sind. Zusätzlich zu dem beweglichen Schlitten 28 ist ein zweiter beweglicher Schlitten vorgesehen, der so angeordnet
ist, daß er sich mit der Hälfte der Geschwindigkeit des beweglichen Schlittens 28 bewegt, und dieser zweite bewegliche
Schlitten enthält ein Umkehrprisma 46. Als weitere Alternative kann dem System abströraseitig von der Linse 40
eine zusätzliche Linse hinzugefügt werden, um einen parallelen Ausgangsstralil von der weiteren Linse zu erzielen, und es
würde dann bei Abwandlung der Vorrichtung auf diese Weise kein zweiter beweglicher Schlitten erforderlich sein.
909823/07S4
L e e r s e i t
Claims (11)
1. Abtastvorrichtung mit einer Lichtquelle, einer Empfangsfläche, Einrichtungen zur Erwirkung einer reellen oder
anscheinenden Bewegung der Lichtquelle relativ zu der Aufnahmefläche, so daß im Gebrauch Licht von der Lichtquelle
über die Empfangsfläclie in einer Richtung bevegt
wird, einer akustooptischen Zelle, dia in dem Lichtweg
zwischen der Lichtquelle und der Aufnahmefläche derart
angeordnet ist, daß sie im Gebrauch eine Ablenkung des Lichtstrahls von der Lichtquelle in ein© andere Richtung
quer ku der einen Richtung verursacht, dadurch gekennzeichnet,
daß sie außerdem eine FehlererkennungsGinr.ichtnng
909823/0764
« ft * / <—
ORIGINAL INSPECTED
(19, 20, 21, 43) enthält, um jeglichen Fehler in der
reellen oder eins ehe inenden Stellung der Lichtquelle (1, 29)
oder der Stellung der Empfangsflache (11, 27) in der
anderen Richtung zu messen, sowie Einrichtungen, die auf die Fehlererkennungseinrichtung (22, 23, 24, '25, 26)
ansprechen, um die Ablenkung des Lichtstrahls in der akustooptischen Zolle ( 4, 3^) zu beeinflussen und eine Ablenkung
zu erzeugen, welche einen Ausgleich für jeglichen Fehler in der reellen oder anscheinenden Stellung der Lichtquelle
(1, 29) oder derjenigen der Empfangsfläche (11, 27) ir der
anderen Richtung schafft.
2* Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die akustooptische Zelle(4, 34) auch zum Spalten des Lichtstrahls
in eine Anzähl verschiedener Teile durch Anwendung einor gleichen Anzahl verschiedener Ablenkungen auf den
Lichtstrahl benutzt wird»
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die akustooptische Zelle (34, 4) auch zum Modulieren der Intensität des Lichtstrahls oder derjenigen jedes der
Lichtstrahlen benutzt wird, so daß im Gebrauch die Intensität des sich über die Empfangsfläche (11, 27) hinwegbewegenden
Lichtes moduliert wird.
4e Vorrichtung nach den Ansprüchen 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle ein Laser (1, 29) ist.
909823/0764 *··/3
5· Vorrichtung nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Fehlerorkennungseinrichtung
Einrichtungen (20, 21, 43) zum Messen der reellen oder
anscheinenden Lage der Lichtquelle (1, 29) oder derjenigen
der Empfangsfläche (ti, 27) in der anderen Richtung enthält,
sowie Einrichtungen (13, 14, 44, 45) zum Messen der
Lage der Empfangsfläche (11, 27) oder der reellen oder
anscheinenden Lage der Lichtquelle (t, 29) in der einen Richtung, ferner Einrichtungen (15» 16) zur Festlegung
dex gewünschten reellen oder anscheinenden Lage der Irichtquelle
(1, 29) oder derjenigen der Empfangsfläche (11, 27)
in der anderen Richtung von der Lage der Empfangsfläche (11, 27) bzw. der reellen oder anscheinenden Lage der
Lichtquelle (1, 29) in der einen Richtung, sowie Vergleichsvorrichtungen (19) zum Vergleich der reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle (1, 29) oder derjenigen der
Empfangsfläche (27) in der anderen Richtung mit der erwünschten reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle
(1, 29) oder derjenigen der Empfangsfläche (11, 27) in
der anderen Richtung und zur Erzeugung eines Ausgangs, der jeglichen Fehler zwischen diesen beiden Lagen anzeigt·
6. Vorrichtung nach jedem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fehlererkennungseinrichtung
die reelle oder anscheinende Lage der Lichtquelle (i, 29)
in der anderen Richtung relativ zu der Lage der Empfangsfläche (11, 27) in der anderen Richtung mißt, so daß die
akus-fcöoptisehe Zelle (4, 34) jeglichen Fehler in den rela-
909.8237Ο7Θ4 /,.
tiven reellen oder anseheinenden Lagen der Lichtquelle
(if 29) und der Empfangsfläche ( 11, 27) ausgleicht.
7» Vorrichtung nach jedem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangsflache eine zylindrische
Xerographieehe Trommel (11) ist und die Einrichtungen
(7» 8) zur Veranlassung der reellen oder anscheinenden Bewegung der Lichtquelle relativ zu der Empfangsfläche Einrichtungen
zum Drehen der xerographisehen Trommel (11) um
ihre Achse und einen Spiegel (7) enthalten, der im Gebrauch mit e.-inom oszillierenden Galvanometer (8) verbunden und so
angeordnet ist, daß er eine anscheinende Bewegung der Lichtquelle (1) parallel zu der Achse der Trommel (11) verursacht,
und die akustooptische Zelle (h) so angeordnet ist, daß sie
eine anscheinende Bewegung der Lichtquelle (1) in einer Richtung allgemein lotrecht zur Achse der Trommel (11) verursach
t.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7 bei Abhängigkeit von Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zum Messen der
reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle in der einen Richtung eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Bezugsstrahls
enthält» der nicht von der akustooptischen Zelle (4) beeinflußt
wird, sowie zur Reflexion des Bezugsstrahls von dem Spiegel (7) fort und auf einen Stellungsdetektor (13 2^,
dessen Ausgang eine Anzeige der anscheinenden Stellung der Lichtquelle (1) in der einen Richtung gibt.
909823/076/,
9» Vorrichtung nach jedem dor Ansixrtiche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Empfangsflache die Form oinor
zylindrischen Trommel (27) hat, vobei die Einrichtung zur
Veranlassung der reellen oder anscheinenden Bewegung der
Lichtquelle (29) relativ zu der Empfangsflache (27) eine
Einrichtung zum Drehen der zylindrischen Trommel (27) um ihre Achse enthält, einen beweglichen Schlitten (28), der
die Lichtquelle (29) oder Einrichtung zum Ablenken des Lichtstrahls von der Lichtquelle (4ΐ) trägt, wobei der
bewegliche Schlitten (28) in einer Richtung parallel zur Achse der Trommel (27) beweglich ist, so daß im Gebrauch
die Lichtquelle (29) sich auf einem spiralförmigen Pfad um die Außenfläche der Trommel (27) herum zu bewegen
scheint, wobei die Drehung der Trommel (27) die Bewegung in die eine Richtung und die Bewegung des Schlittou3(28)
die Bewegung in die andere Richtung verursacht.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9 bei Abhängigkeit von Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Mosäen der
reellen oder anscheinenden Lage der Lichtquelle (29) einen Stellungsdetektor (43) zur Identifizierung der Lage doa
beweglichen Schlittens (28) in einer Richtung parallel zur Achse der Trommel (27) enthält.
11. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder Anspruch 10, dadurch
gekennzeichnet, daß der Stellungsdetektor ein Gattox· ( i;j,
43) und einen fotoempfIndlioliexi Detektor (i'l) onfciiliJt, die
so angeordnet sind, daß bei Bewegung dos HoautfaofcrtuUn
909823/076/1 .../6
oder· doe bo we glichen Schlittens (28) auf dem Gatter (i3
Licht durch das Gatter (13, 43) auf don fotoempfindlichen
Detektor (i4) übertragen oder von dem Gatter (13, h"}) auf
den fotoempfindlichen Detektor (i4) reflektiert wird, wobei
der Ausgang des fotoempfindlichen Detektox-s (i4) durch eine
Reihe von Impulsen gebildet wird, von denen jeder einer Bewegung gleich dem Abstand des Gatters(13» ^3) entspricht
und die Anzahl Impulse benutzt wird, um eine Anzeige der Stellung des Bezugsstrahls odor des beweglichen Schlittens
(28) zu geben»
909823/0764 .../7
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0540781A2 (de) * | 1991-11-08 | 1993-05-12 | Symbol Technologies, Inc. | Abtastanordnung mit hoher Geschwindigkeit |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4349732A (en) * | 1980-01-07 | 1982-09-14 | The Singer Company | Laser spatial stabilization transmission system |
JPS58150924A (ja) * | 1982-03-04 | 1983-09-07 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 二重共役維持光学系 |
DE3379916D1 (en) * | 1982-07-22 | 1989-06-29 | Minnesota Mining & Mfg | Laser diode printer |
US4477727A (en) * | 1982-09-27 | 1984-10-16 | The Singer Company | Beam position detection system for use in an optical scanning system |
SE456194B (sv) * | 1983-01-31 | 1988-09-12 | Semyre Electronics Ab | Avsokningsanordning |
US4661699A (en) * | 1983-03-28 | 1987-04-28 | T. R. Whitney Corporation | Scanning beam control system and method with bi-directional reference scale |
EP0148229A4 (de) * | 1983-06-30 | 1985-11-07 | Commw Of Australia | Verbesserte bildabtasteinheit. |
US4514739A (en) * | 1983-11-02 | 1985-04-30 | Xerox Corporation | Cross scan beam positioner for multiple channel laser ROS |
US4600837A (en) * | 1983-12-01 | 1986-07-15 | International Business Machines Corporation | Optical scanning apparatus with dynamic scan path control |
DE3406676A1 (de) * | 1984-02-24 | 1985-09-05 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Einrichtung zur lagekorrektur eines ueber eine gelenkoptik gefuehrten laserstrahls |
US4616132A (en) * | 1984-05-29 | 1986-10-07 | Eastman Kodak Company | Synchronization apparatus for scanner |
FR2601597A1 (fr) * | 1986-07-15 | 1988-01-22 | Scr Rech Dev | Appareil a laser a usage medical |
US4912321A (en) * | 1987-03-26 | 1990-03-27 | Texas Instruments Incorporated | Radiation scanning system with pupil control |
DE3854680T2 (de) * | 1987-04-24 | 1996-04-18 | Dainippon Screen Mfg | Optisches System für ein Lichtpunktabtastgerät. |
JPH02155589A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-14 | Hitachi Ltd | 光路調整システム |
US5002348A (en) * | 1989-05-24 | 1991-03-26 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Scanning beam optical signal processor |
NO167334C (no) * | 1989-06-22 | 1991-10-23 | Tomra Systems As | Fremgangsmaate og anordning for dimensjonsmaaling. |
DE3939551A1 (de) * | 1989-11-30 | 1991-06-06 | Linotype Ag | Optisches positionierungssystem fuer mindestens einen bildpunkt |
WO1993000696A1 (en) * | 1991-06-21 | 1993-01-07 | Zera, Gary, William | Optical scanned-beam position sensing system |
US5315111A (en) * | 1992-10-15 | 1994-05-24 | Lasa Industries, Inc. | Method and apparatus for laser beam drift compensation |
JP3703587B2 (ja) * | 1996-12-06 | 2005-10-05 | 富士写真フイルム株式会社 | 光ビーム走査装置およびその制御方法 |
US5892610A (en) * | 1997-07-10 | 1999-04-06 | Agfa Division--Bayer Corporation | Scanning system with error-correcting deflector |
WO2002101888A2 (en) | 2001-06-13 | 2002-12-19 | Orbotech Ltd. | Multi-beam micro-machining system and method |
US6919997B2 (en) * | 2002-07-24 | 2005-07-19 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Compact device for imaging a printing form |
JP2004200221A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Toray Eng Co Ltd | レーザマーキング方法及び装置 |
US6873453B2 (en) * | 2003-04-04 | 2005-03-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Laser refraction system |
US7521651B2 (en) * | 2003-09-12 | 2009-04-21 | Orbotech Ltd | Multiple beam micro-machining system and method |
KR100797717B1 (ko) | 2004-06-07 | 2008-01-23 | 삼성전기주식회사 | 빔주사 타이밍 및 빔량의 조절 방법 및 그를 이용한 주사장치 |
US7182263B2 (en) * | 2004-09-30 | 2007-02-27 | Symbol Technologies, Inc. | Monitoring light beam position in electro-optical readers and image projectors |
US7945087B2 (en) * | 2006-06-26 | 2011-05-17 | Orbotech Ltd. | Alignment of printed circuit board targets |
US8976423B2 (en) * | 2013-03-15 | 2015-03-10 | Lexmark International, Inc. | Optical scanning system and imaging apparatus for using same |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3809806A (en) * | 1972-10-18 | 1974-05-07 | Columbia Broadcasting Syst Inc | Banding correction system for film recording apparatus |
US4002830A (en) * | 1975-01-22 | 1977-01-11 | Laser Graphic Systems Corporation | Apparatus for compensating for optical error in a rotative mirror |
JPS5256944A (en) * | 1975-11-06 | 1977-05-10 | Canon Inc | Device for correcting position of beam |
US4206348A (en) * | 1978-06-05 | 1980-06-03 | Eastman Kodak Company | Optical scanner with electrooptical feedback for beam positioning |
-
1978
- 1978-11-30 US US05/965,223 patent/US4279472A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-12-01 DE DE19782851943 patent/DE2851943A1/de not_active Withdrawn
- 1978-12-05 JP JP14977778A patent/JPS5487014A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0540781A2 (de) * | 1991-11-08 | 1993-05-12 | Symbol Technologies, Inc. | Abtastanordnung mit hoher Geschwindigkeit |
EP0540781A3 (en) * | 1991-11-08 | 1993-07-21 | Symbol Technologies, Inc. | High-speed scanning arrangement |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4279472A (en) | 1981-07-21 |
JPS5487014A (en) | 1979-07-11 |
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