DE2851130C2 - - Google Patents
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- DE2851130C2 DE2851130C2 DE19782851130 DE2851130A DE2851130C2 DE 2851130 C2 DE2851130 C2 DE 2851130C2 DE 19782851130 DE19782851130 DE 19782851130 DE 2851130 A DE2851130 A DE 2851130A DE 2851130 C2 DE2851130 C2 DE 2851130C2
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
- H01L23/15—Ceramic or glass substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach der Gattung des Hauptan
spruchs.
Aus der DE-OS 22 05 509 ist bereits ein Verfahren dieser Art be
kannt, bei dem ein elektrisch leitender, metallhaltiger Belag im
pastenartigen Zustand in Dickschichttechnik auf das Keramikplättchen
aufgebracht und anschließed durch Erwärmung in das Plättchen ein
gebrannt wird. Das fertige Bauelement bildet dann einen elektrischen
Widerstand, der mehrere Teilwiderstände enthält.
Darüber hinaus ist es auch bekannt, den elektrisch leitenden Belag
als Metallbelag, beispielsweise in Dünnschichttechnik, auf das
Keramikplättchen aufzubringen. Hierbei kann der Einbrennvorgang
unter Umständen entfallen.
Es hat sich nun gezeigt, daß auf solche Weise hergestellte Wider
stände als Heizleiter verwendet werden können, z. B. anstelle eines
Hitzdrahtes in einem Blinkgeber oder zur Aufheizung eines tempera
turabhängigen Widerstandes, der beim Erreichen einer voreinge
stellten Temperatur einen Schaltvorgang auslöst und auf diese Weise
beispielsweise in einer elektrisch gesteuerten Einspritzanlage die
Kraftstoff-Mehrmenge beim Start zeit- und/oder außentemperaturab
hängig steuert.
Für derartige Anwendungszwecke ist es oft erwünscht, eine
Strahlungskonzentration zur Fremdbeheizung zu erzielen, die durch
eine Wölbung der strahlenden Fläche des Trägerkörpers erreicht
werden kann, wenn der als Heizwiderstand dienende elektrisch lei
tende Belag auf der konkaven Seite des Trägers angebracht ist.
Andererseits soll die Möglichkeit geschaffen werden, eine Dispersion
der Wärmestrahlung dadurch zu erreichen, daß die Heizfläche auf der
konvexen Seite des Trägers angebracht wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Verfahren nach
der Gattung des Hauptanspruchs eine Wölbung des im Ausgangszustand
ebenen Keramikplättchens zu erreichen, damit der elektrisch leitende
Belag des durch das Verfahren hergestellten elektrischen Bauelements
im Betrieb die gewünschte Strahlungskonzentration oder -dispersion
bewirkt.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merk
male des Hauptanspruchs gelöst. Weiterbildungen des erfindungs
gemäßen Verfahrens ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 12. Die
gewünschte Wölbung läßt sich bei Sintertemperaturen um etwa 1500°C
dann erreichen, wenn der Trägerkörper aus vollstabilisiertem oder
teilstabilisiertem Zirkonium-Oxid (ZrO2) und die Überzugsschicht
aus Aluminium-Oxid (Al2O3) hergestellt wird. Im Anspruch 13
wid eine besonders vorteilhafte Verwendung des nach dem Verfahren
nach einem der Ansprüche 1 bis 12 hergestellten elektrischen Bau
elements angegeben.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 ein rechteckiges Keramikplättchen, auf dessen eine Haupt
oberfläche zur Erzielung einer Wölbung eine aus vier Streifen be
stehende Überzugsschicht aufgebracht ist,
Fig. 2 die andere Hauptoberfläche des Keramikplättchens nach Fig.
1 mit einem darauf aufgebrachten mäanderförmigen elektrisch lei
tenden Belag,
Fig. 3 das Keramikplättchen nach den Fig. 1 und 2 in dem durch
das Sintern erreichten gewölbten Zustand,
Fig. 4 ein kreisscheibenförmiges Keramikplättchen, auf dessen eine
Hauptoberfläche zur Erzielung einer Wölbung eine aus vier Sektoren
bestehende Überzugsschicht aufgebracht ist,
Fig. 5 die andere Hauptoberfläche des Keramikplättchens nach Fig.
4 mit einem darauf aufgebrachten spiralförmigen elektrisch leitenden
Belag,
Fig. 6 das Keramikplättchen nach den Fig. 4 und 5 in dem durch
das Sintern erreichten kalottenförmigen Zustand.
Gemäß den Fig. 1 bis 3 ist als Trägerkörper ein rechteckförmiges,
in der Zeichnung stark vergrößert wiedergegebenes, in Wirklichkeit
0,5 bis 1,0 mm starkes Trägerplättchen aus gepreßtem vollstabili
siertem oder teilstabilisiertem Zirkon-Oxid (ZrO2) vorgesehen,
welches an seiner Rückseite insgesamt vier parallel zueinander ver
laufende, quer zur Längsrichtung des Trägerplättchens 1 gerichtete
schichtförmige Überzugsstreifen 2 trägt. Diese bestehen aus Alu
minium-Oxid (Al2O3) und haben ein wesentlich kleineres Schwind
maß als das Zirkon-Oxid des Trägerplättchens 1. Bei der darge
stellten Anordnung wird auf die aus Fig. 2 erkennbare Vorderseite
des Trägerplättchens 1 durch eines der in der Dickschichttechnik üb
lichen Verfahren, beispielsweise durch Drucken, Walzen, Rollen oder
durch Sprühen oder Spritzen, ein dünner metallhaltiger Belag fest
haftend aufgebracht, der aus zwei verstärkten Anschlußkontakten 3
und einem mäanderförmigen Leitungszug 4 besteht, welcher als Heiz
leiter dient und sich stark erwärmen soll, wenn er bei dem vorge
sehenen Betrieb in Kraftfahrzeugen zur Entwicklung von Wärme, die
einem gegenüberstehenden Bauteil durch konzentrierte Strahlung zuge
führt werden soll, von einem beträchtlichen elektrischen Strom
durchflossen wird. Die vier Überzugsstreifen 2 befinden sich auf der
Höhe der mäanderförmig aneinander sich anschließenden senkrechten
und waagerechten Abschnitte des Leitungszuges 4.
Nach dem Aufbringen des metallhaltigen Belages 3, 4 wird das Träger
plättchen 1 einem Sintervorgang bei etwa 1500°C unterworfen, wobei
der Belag in den Werkstoff des Trägerkörpers einbrennt und dieser im
Bereich seiner Vorderseite in der aus Fig. 3 erkennbaren Weise ein
stärkeres Schwindmaß erleidet als auf seiner die Überzugsstreifen 2
tragenden Rückseite. Die Überzugsstreifen haben ein kleineres
Schwindmaß und bewirken, daß sich das Trägerplättchen 1 in der
jenigen Richtung zylindrisch verformt, in der die Überzugsstreifen 2
deutlich länger als breit sind.
Der Vorteil des erfindungsgemäße Verfahrens besteht einmal darin,
daß ein gewölbter Keramikträger geschaffen werden kann, der im Halb
zeugzustand eben ist und mit einem der bekannten, für ebene Teile
üblichen Beschichtungsverfahren - beispielsweise durch Drucken - mit
einer Heizung versehen werden kann, welche bei der durch diese Ver
fahren erreichbaren geringen Breite und Schichtdicke des Leitungs
zuges 4 auch auf kleiner Oberfläche des Trägerplättchens einen ver
hältnismäßig großen elektrischen Widerstand ergibt. Auch die an der
Rückseite des Trägerplättchens 1 angeordnete, streifenförmig aus
gebildete "Verzugsschicht" 2 kann mit der gleichen Technik auf das
Trägerplättchen aufgebracht werden.
Es ist indessen aber auch ohne weiteres möglich, den elektrisch
leitenden Belag 3, 4 erst dann auf den keramischen Trägerkörper 1
aufzubringen, wenn der Trägerkörper bereits dem Sintervorgang unter
worfen worden und dadurch in die gewünschte hohlzylindrische Form
gebracht worden ist.
In den Fig. 4 bis 6 sind gleiche oder gleich wirkende Teile mit
den gleichen Bezugszeichen wie in den Fig. 1 bis 3 versehen. Wie
die Fig. 4 bis 6 erkennen lassen, ist hier ein vor dem Sintern
ebenfalls ebener, jedoch kreisscheibenförmiger Trägerkörper 1 vorge
sehen, welcher auf seiner in Fig. 4 dargestellten Rückseite vier
sektorförmige, voneinander getrennte Überzugsflächen 2 aus Alu
minium-Oxid (Al2O3) trägt. Diese Überzugsschicht bewirkt, daß
sich infolge der unterschiedlich großen Schwindmaße beim Sintervor
gang die Scheibe kalottenförmig zu der in Fig. 6 angedeuteten Ge
stalt verformt und diese Gestalt nach dem Sintervorgang beibehält.
Auf der konkaven Innenseite des Trägerkörpers befindet sich gemäß
Fig. 5 eine spiralförmige Heizleiterschicht 4, welche am Rande des
Trägerkörpers in zwei verstärkten Anschlußkontakten 3 endet und ent
weder vor dem Sintervorgang auf das noch ebene Trägerplättchen 1
aufgedruckt, aufgewalzt oder mit einem anderen Verfahren aufgebracht
wird oder nach dem Sintervorgang auf das bereits verformte Plättchen
mit Hilfe einer eingelegten Maske aufgespritzt, aufgesprüht oder im
Vakuum aufgedampft wird.
Infolge der durch den Sintervorgang erzeugten hohen Formstabilität
weisen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte, einen ge
wölbten keramischen Träger aufweisende Heizbausteine auch über lange
Betriebszeiträume gleichbleibende Strahlungseigenschaften auf und
erlauben es daher, infolge der erreichten Strahlungskonzentration
oder auch -dispersion bei kleinem elektrischem Leistungsbedarf in
elektrischen Steuergeräten zuverlässige Wärmewirkungen hervorzurufen.
Claims (13)
1. Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Bauelements, das aus
einem Keramikplättchen (1) und einem auf mindestens eine seiner bei
den Hauptoberflächen aufgebrachten elektrisch leitenden,
metallischen oder metallhaltigen Belag (3, 4) besteht, dadurch ge
kennzeichnet, daß auf mindestens eine der beiden Hauptoberflächen
des im Ausgangszustand ebenen Keramikplättchens (1) eine Über
zugsschicht (2) aufgebracht wird, deren Material ein vom Material
des Keramikplättchens (1) verschiedenes Schwindmaß aufweist, und daß
nach dem Aufbringen der Überzugsschicht (2) ein Sinterprozeß durch
geführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag
(3, 4) vor dem Sinterprozeß auf mindestens eine der beiden Haupt
oberflächen des Keramikplättchens (1) aufgebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag
(3, 4) nach dem Sinterprozeß auf mindestens eine der beiden Haupt
oberflächen des Keramikplättchens (1) aufgebracht wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenzeichnet, daß der
Belag (3, 4) durch Sprühen, Spritzen oder Aufdampfen auf mindestens
eine der beiden Hauptoberflächen des Keramikplättchens (1) aufge
bracht wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag
(3, 4) durch Drucken, Walzen oder Rollen auf mindestens eine der
beiden Hauptoberflächen des Keramikplättchens (1) aufgebracht wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Keramikplättchen (1) aus vollstabilisiertem oder
teilstabilisiertem Zirkonium-Oxid (ZrO2) und die Überzugsschicht
(2) aus Aluminium-Oxid (Al2O3) hergestellt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der
Sinterprozeß bei Temperaturen um etwa 1500°C durchgeführt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß ein im Ausgangszustand rechteckiges Keramikplättchen
(1) verwendet wird und daß der Belag (3, 4) mäanderförmig ausge
bildet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Über
zugsschicht (2) auf mindestens eine der beiden Hauptoberflächen des
Keramikplättchens (1) streifenförmig aufgebracht wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Über
zugsschicht (2) in Form von Streifen aufgebracht wird, die quer zur
Längsachse des im Ausgangszustand rechteckigen Keramikplättchens (1)
verlaufen.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß ein im Ausgangszustand kreisscheibenförmiges Keramik
plättchen (1) verwendet wird und daß der Belag (3, 4) spiralförmig
ausgebildet wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Überzugsschicht (2) auf mindestens eine der beiden Hauptoberflächen
segment- oder senktorförmig aufgebracht wird.
13. Verwendung eines nach dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1
bis 12 hergestellten elektrischen Bauelements als Heizelement oder
als Meßelement in einem insbesondere zum Betrieb eines Kraftfahr
zeuges dienende elektrischen Steuergerät.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19782851130 DE2851130A1 (de) | 1978-11-25 | 1978-11-25 | Elektrischer baustein |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19782851130 DE2851130A1 (de) | 1978-11-25 | 1978-11-25 | Elektrischer baustein |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2851130A1 DE2851130A1 (de) | 1980-06-12 |
DE2851130C2 true DE2851130C2 (de) | 1987-10-08 |
Family
ID=6055595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782851130 Granted DE2851130A1 (de) | 1978-11-25 | 1978-11-25 | Elektrischer baustein |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2851130A1 (de) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2205509C2 (de) * | 1972-01-21 | 1984-06-07 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Luftmengenmesser zur Regelung der Kraftstoffzufuhr zu einer Brennkraftmaschine |
-
1978
- 1978-11-25 DE DE19782851130 patent/DE2851130A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2851130A1 (de) | 1980-06-12 |
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