DE2807456A1 - Korrosionsbestaendiger duennschicht- magnetkopf und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents
Korrosionsbestaendiger duennschicht- magnetkopf und verfahren zu dessen herstellungInfo
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Description
2807458
Anmelden: International Business Machines.
Corporation, Armonk, N.Y. 10504
heb-pi
Korrosionsbeständiger Dünnschicht-Magnetkopf und Verfahren zu dessen Herstellung
Die Erfindung betrifft einen korrosionsfesten Dünnschicht-Magnetkopf
und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
Bei der Aufzeichnung und Wiedergabe auf einem magnetisierbaren
Aufzeichnungsträger aufgezeichneter Information wird eine Magnetkopfanordnung benutzt, die aus einem Gleitkörper be-
steht, der das eigentliche Wandlerelement trägt. Dieses Wandlereleraent
wird zum Lesen und Schreiben von magnetisch aufgezeichneter Information benutzt. Das Bestreben geht nun
dahin, auf einem Aufzeichnungsträger immer höhere Aufzeichnungsdichten zu erzielen. Zur Erzielung höherer Aufzeichnungsdichten
sind dünnere Polschuhe und wesentlich geringere .
Abstände der Gleitkörper im Fluge über dem Aufzeichnungsträger'
und damit auch des Wandlers über dem Aufzeichnungsträger er- ι
forderlich. Zur Erzielung höherer magnetischer Aufzeichnungs- i dichten werden Wandler mit Polschuhen aus niedergeschlagenem \
magnetischen Material benutzt, die ganz allgemein als Dünn- ' schichtwandler bezeichnet werden und auf einem Gleitkörper
angebracht sind, der den Wandler in enger Nachbarschaft i zum magnetisierbaren Aufzeichnungsträger trägt. In der Umgebung
eines solchen Speichermechanismus sind die Polschuhe der Korrosion ausgesetzt, die zum vollständigen Ausfall der
Wandler führen kann. Man hat versucht, die gesamte Luftlageroberfläche
und die Polschuhe des Magnetkopfes mit einer Passi-:
I t
'Vierungsmaterial zu überziehen. Das hat jedoch bei dem Passi- j
1 Vierungsmaterial zu Abnutzungserscheinungen geführt. Die dar- j
1 aufhin sich einstellende Ablösung des Passivierungsmaterials |
ι hat zum wiederholten Ausfall des Speichersystems geführt, wennI
i !
sä 977 001 ~ 8 0 98 AO/066 3
mehr und mehr solcher Abfallstoffe erzeugt und auf dem magnetisierbaren
Aufzeichnungsträger abgelagert werden. Dabei kann sich eine direkte Berührung zwischen dem Wandler und dem Aufzeichnungsträger
ergeben, welche zu einer völligen Zerstörung des Speichersystems zusammen mit dem Verlust der auf dem
magnetisierbaren Aufzeichnungsträger eingespeicherten Information
führen kann.
Aufgabe der Erfindung ist es also, einen Gleitkörper und einen Dünnschicht-Magnetkopf zu schaffen, die beide gegen
Korrosion und Abrieb wiederstandsfähig sind.
In der US-Patentschrift 3 665 436 und in der Britischen Patentschrift
776 348 ist eine Passivierungsschicht über der Spitze eines Magnetkopfes beschrieben, die einen abriebfesten
überzug darstellt. Die Passivierungsschicht bedeckt dabei die Polschuhe und den Luftspalt des Magnetkopfes nicht.
Dieser Stand der Technik befaßt sich mit dem Abrieb des im allgemeinen weichmagnetischen Ferritmaterials der Polschuhe.
Das keramische Material der Gleitkörper moderner Magnetköpfe besteht heutzutage aus einem wesentlich
härteren abriebfesten Material, als das der Passivierungsschicht. Somit ist die Verwendung einer Passivierungsschicht
für den Abrieb, wie sie der Stand der Technik lehrt, überflüssig. Das Niederschlagen einer magnetischen Schicht auf
der Unterseite eines Gleitkörpers zeigb die US-Patentschrift
3 573 768. Das Material wird an der Vorderseite des Abschnittes des Gleitkörpers niedergeschlagen und dient dazu, die
gewünschte Plughöhe und den Winkel des am hinteren Ende des Gleitkörpers angeordneten Wandlers einzustellen. Das auf
' der Luftlageroberfläche des Gleitkörpers niedergeschlagene
I Material bedeckt die Polschuhe des Wandlers nicht.
SA 977 οόΐ 80 9 8 AO/06 6 3
Durch die Erfindung soll dagegen eine Magnetkopfanordnung geschaffen werden, die eine Passivierungsschicht enthält,
die auch die freiliegenden Teile, insbesondere die Polschuhe und den Luftspalt eines Dünnfilmwandlers und einen Teil des
Gleitkörpers, an dem der Wandler befestigt ist, bedeckt, so daß der vordere Abschnitt des Gleitkörpers das Passivierungsmaterial
gegen Abrieb schützt, während das Passivierungsmaterial einen Korrosionsschutz für den Wandler darstellt.
In der US-Patentschrift 3 921 217 der Anmelderin ist das magneto-resistive Element des Wandlers zum Schutz gegen Abrieb
gegen die Oberfläche des Magnetkopfes zurückgesetzt angeordnet. Das magnetisch permeable Abstandselement zwischen
dem magneto-resistiven Element und dem Aufzeichnungsträger
kann aus elektrisch leitendem oder nichtleitendem Material bestehen. Das Abstandselement wird in derselben Höhe niedergeschlagen,
wie das magneto-resistive Element. Diese Patentschrift zeigt keinen Schutz für zum induktiven Schreiben
verwendete Polschuhe gegen Korrosion. Die dort gezeigte Anordnung hat nicht die Aufgabe, das magneto-resistive Element
durch das Abstandselement gegen Korrosion zu schützen, da das Abstandselement aus Permalloy bestehen kann. Es wurde
ferner festgestellt, daß das Abstandselement nicht aus nichtmagnetischem Material bestehen kann, da das eigentliche
Wandlerelement so dicht über dem Aufzeichnungsträger angeordnet werden muß, daß ein in der gleichen Schichtebene niedergeschlagenes
oder nur über dem Wandlerelementen niedergeschlagenes
Abstandselement einen so kleinen Rauminhalt hat, daß es bei Berührung mit dem Aufzeichnungsträger in kürzester
Zeit herausgelöst würde. Auch daraus läßt sich in etwas anderer Weise die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe
ableiten, eine Magnetkopfanordnung zu schaffen, bei der der Wandler gegen Korrosion geschützt ist, wobei dieser Korrosions*
I schutz wiederum gegen Abnutzung geschützt ist.
SA 977 °°1 8 0 9 8 A 0 / 0 6 6 3
Claims (12)
- PATENTANSPRÜCHEKorrosionsbeständige Magnetkopfanordnung mit einem einer Aufzeichnungsträger-Oberfläche gegenüberliegenden Lagerfläche und einer daran angebrachten Wandleranordnung für Aufzeichnung und Wiedergabe magnetisch aufzeichenbarer Information bei einer Relativbewegung zwischen Wandleranordnung und Aufzeichnungsträger, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) und ein Teil des Gleitkörpers (12) gegenüber der die Gleitfläche (26) des Gleitkörpers bildenden Oberfläche zurückgesetzt sind, daß dieser zurückgesetzte Teil der Oberfläche und der Wandleranordnung durch eine Passivierungsschicht (34) gegen Korrosion geschützt sind und daß diese Passivierungsschicht (34) durch die nicht zurückgesetzten Teile des Gleitkörpers (12) gegen übermäßige Berührung mit der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers geschützt ist„
- 2. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) aus einer Anzahl dünner magnetischer Schiebten und mindestens einer dazwischenliegenden elektrisch leitenden Schicht (43 945) besteht, die zur induktiven Erregung der magnetischen Schichten ansteuerbar ist„
- 3. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) aus einer Anzahl nacheinander auf die Hinterkante des Gleitkörpers (12) niedergeschlagener Schichten (42, 43 ^ 44? 45P 46p 48) besteht, derart, daß die Arbeitsspalte und die Polschuhe der Wandleranordnung dem relativ dazu be~ wegbaren Aufzeichnungsträger (36) gegenüber liegen„Oöi 8098 40/066 3ORiOJNAL INSPECTED
- 4. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandleranordnung (40) ein magnetoresist ives Element zum Abfühlen magnetischer Flußübergänge auf dem Aufzeichnungsträger (36) enthält.
- 5. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Passivierungsschicht (34) aus Chrom besteht.
- 6. Magnetkopfanordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Gleitkörper (12) mehrere nach unten gerichtete, Luftlagerflächen bildende Rippen (14, 16, 18) auf v/eist und daß die Wandleranordnung (40) mit mindestens einer der Rippen (16) in Längsrichtung ausgerichtet ist.
- 7. Magnetkopfanordnung nach Ansruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der zurückgesetzte Abschnitt der Wandleranordnung (40) und des Gleitkörpers (12) durch Zerstäubungsätzen in einer Vakuumkammer gebildet ist und daß die Passivierungsschicht (34) in der gleichen Vakuumkammer durch Kathodenzerstäubung aufgebracht ist.
- 8. Verfahren zum Herstellen einer Magnetkopfanordnung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Verfahrens schritte:Herstellen eines Gleitkörpers mit einer aus mehreren an einer Unterseite sich erstreckenden Rippen (14, 16, 18) gebildeten Luftlagerfläche,Niederschlagen mindestens einer Wandleranordnung in Verlängerung der Längsrichtung einer Rippe auf der Hinterkante des Gleitkörpers, so daß die aktive Fläche des Wandlers dem Aufzeichnungsträger zugev.Tandt ist,SA977001 809840/0663Abtragen eines Teils der Rippe (16) in der Nachbarschaft jeder Wandleranordnung (40) zusammen mit der aktiven Fläche der Wandleranordnung und Niederschlagen einer Schicht eines Passivierungsmaterials auf den abgetragenen Teilen des Gleitkörpers und der Wandleranordnung.
- 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die nicht abzutragenden Teile des Gleitkörpers mit einer Maskenschicht überzogen werden und daß dann das abzutragende Material im Vakuum durch Zerstäubungsätzen entfernt wird.
- 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Passivierungsmaterial im gleichen Vakuum durch Kathodenzerstäubung niedergeschlagen wird.
- 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß anschließend die Maske entfernt und die Magnetkopf·= anordnung poliert wird.
- 12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß als Passivierungsmaterial eine Chromschicht aufgebracht wird.SA977001 809840/0663
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