DE2724732A1 - Hochvakuumdichte lageranordnung der drehanode in einem drehanoden- roentgengenerator - Google Patents

Hochvakuumdichte lageranordnung der drehanode in einem drehanoden- roentgengenerator

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Description

  • Hochvakuumdichte Lageranordnung der Drehanode
  • in einem Drehanoden-Röntgengenerator Die Erfindung bezieht sich auf eine hochvakuumdichte Lageranordnung der Drehanode in einem Drehanoden-Röntgengenerator mit einem in einem Flansch der Generator-Röhrenhaube angeordneten äusseren, als Hülse ausgebildeten Lagerkörper und einem diesem gegenüber drehbar gelagerten inneren, mit der Anodenwelle verbundenen Lagerkörper, sowie mit einer zentralen Kühlmittel-Durchführung innerhalb des inneren Lagerkörpers für die Zu- und Abführung eines Kühlmittels für die Anode.
  • Für den Betrieb eines Röntgengenerators mit einer Drehanode ist es erforderlich, dass innerhalb der Röntgenröhre ein -5 Hochvakuum von 1o 5 Torr herrscht, wünschenswert sind sogar -7 1o Torr. Drehanoden in Röntgengeneratoren werden zur Intensitätserhöhung auf das 10- bis 2o-fache gegenüber konventionellen Generatoren mit fester Anode verwendet. Derartige Generatoren werden zur Erzeugung von Röntgenstrahlen insbesondere für die Herstellung von Beugungsspektren verwendet.
  • Wesentliches Problem bei Röntgengeneratoren mit Drehanoden ist, die Lagerung für die drehbare Anode und deren motorischen Antrieb von aussen vakuumdicht zu gestalten, wobei erschwerend hinzukommt, dass Drahzahlen für die Anode in der Grössenordnung von 4ooo bis 1o ooo U/min. beherrscht werden müssen. Gleichzeitig ist die Anode eines solchen Röntgengenerators vorzugsweise durch eine Kühlftissigkeit zu kühlen, welche ebenfalls durch die Lageranordnung der Anode zugeführt und wieder abgeführt werden muss.
  • Bei bekannten Lageranordnungen für Drehanoden bei Röntgengeneratoren werden zur Erzielung einer -bisher allerdings nicht befriedigenden- Vakuumdichte in Hochvakuumöl laufende Simmerringe verwendet. Im allgemeinen werden zwei Simmerringe verwendet und zwar einer ist zur Abdichtung gegenüber dem äusseren Luftraum und der andere zur Abdichtung gegenüber dem innen liegenden Hochvakuumraum vorgesehen. Solche Simmerringe müssen geschmiert werden und es ist bekannt entweder eine Zwangsumlaufschmierung vorzusehen oder eine Eigenschmierung. Nachteilig ist in beiden Fällen, dass bei allmählicher Abnutzung der Simmerringe ein Eindiffundieren von oeldampf in den Hochvakuumraum des Röntgengenerators nicht zu vermeiden ist. Durch Abreißen des die Simmerringe schmierenden blfilmes ist nur eine geringe Lebensdauer für die Lageranordnung gegeben (ca. 400 bis 600 Stunden).
  • Die Abdichtung muss dann erneuert werden.
  • Man hat auch schon bei derartigen mit Simmerringen ausgestatteten Lageranordnungen r2ehrkammersysteme mit abgestuftem Vorvakuum vorgesehen. Solche Anordnungen sind baulich ausserordentlich aufwendig und sind besonders der Gefahr des Abreißens des öl filmes der die Kammern abgrenzenden Simmerringe ausgesetzt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine vereinfachte und hochvakuumdichte Lageranordnung für die Drehanode in einem Drehanoden-Röntgengenerator zu schaffen, welche eine hohe Lebensdauer hat und das Abdampfen von öl in den Hochvakuumraum des Röntgengenerators weitestgehend verhindert.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss bei einer Lageranordnung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass auf der dem Vakuum und der der Aussenluft zugewandten Seite der Lageranordnung je mindestens ein mit zwei Dichtscheiben neschlossenes Kugellager angeordnet ist und zwischen den geschlossenen Kugellagern eine Kammer gebildet ist, die an ein Vorvakuum angeschlossen ist. Geschlossene, mit seitlich zwischen den Laufringen des Kugellagers angeordneten Dichtscheiben versehene Kugellager, die den Kugelring überdecken und mit Fett gefüllt sind, sind an sich bekannt und handelsüblich. Sie werden dort als Rillenkugellager mit zwei Dichtscheiben bezeichnet (z.B. Firma SKF, Schweinfurt). Es hat sich überraschend gezeigt, dass bei Verwendung solcher Kugellager unter Anordnung einer Vorvakuumkammer zwischen den Kugellagern eine vollständig hochvakuumdichte Lageranordnung für den angegebenen Zweck erzielt wird, ohne dass es der Verwendung von zu schmierenden Simmerringen bedarf.
  • Es ergeben sich folgende entscheidende Vorteile: Es besteht nicht die Gefahr eines Abdampfens von dl in den Rezipient.
  • Die Lageranordnung hat hinsichtlich ihrer Hochvakuumdichte eine erheblich längere Lebensdauer, dadurch ist eine wesentliche Steigerung der Effizienz einer solchen Röntgenanlage wegen kürzerer Ruhezeiten des Generators ermöglicht. Es ist ein höheres Vakuum erreichbar, wodurch sich die Lebensdauer der Kathode des Röntgengenerators verlängert Auch sind höhere Drehzahlen für die Drehung der Anode möglich, so dass der jeweilige Röntgengenerator eine verbesserte Leistung hinsichtlich der abgestrahlten Röntgenstrahlung erbringt.
  • Auch kann der Generator mit einer kontinuierlichen Veränderung bzw. Einstellung der Drehzahl der Anode betrieben werden. Dies war bei mit Simmerringen abgedichteten Lageanordnungen für die Drehanode bisher nicht möglich, da die Dichtwirkung von Simmerringen nur für bestimmte Drehzahlen, die auch sofort erreicht sein müssen, tatsächlich gut ist.
  • Zweckmässige Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet. Beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung werden im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 schematisch im Schnitt die Lageranordnung für eine Drehanode in einem Röntgengenerator; Fig. 2 eine nur auf die Lagerteile selbst beschränkte Schnittansicht der Ausführungsform nach Fig. 1 mit Labyrinthdichtungen; Fig. 3 eine nur auf die Darstellung der Lagerteile beschränkte Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform; Fig. 4 die Ausführungsform nach Fig. 3 mit zusätzlicher Labyrinthdichtung; Fig. 5 die Ausführungsform nach Fig. 3 mit zwei Labyrinthdichtungen.
  • Gemäss Darstellung in Fig. 1 ist mit 1 ein Flansch der Haube des Röntgengenerators bezeichnet. In dem Raum links von dem Flansch 1, innerhalb des Röntgengenerators soll Hochvakuum herrschen. In Fig. 1 rechts von dem Flansch 1 ist Aussenluft. In einer Öffnung des Flansches 1 ist ein äusserer Lagerkörper 2 fest angeordnet, der als Lagerhülse ausgebildet ist. Konzentrisch innerhalb der Hülse 2 ist über eine unten beschriebene Anordnung ein innerer Lagerkörper 3 gehalten, welcher auf einer Anodenwelle 4 angeordnet ist. Die Anodenwelle 4 ist an ihrem äusseren, in Fig. 1 nach rechts über den Flansch 1 vorstehenden Ende mit einem Antrieb für die Drehung der Anode verbindbar. An ihrem inneren Ende läuft die Anodenwelle 4 in einen Flansch 5 aus, an dessen Aussenrand bei 6 der Anodenkörper aufsetzbar ist.
  • Der dadurch gebildete, aber nicht dargestellte Anodeninnenraum ist entsprechend den Pfeilen von Kühlwasser durchflossen. Dazu ist ein Kühlwasser Zuführ- und Verteilerkörper 7 vorgesehen, der sich als Rohr 8 durch die Anodenwelle 4 hindurch erstreckt, wobei das Kühlwasser in eine Einlassöffnung 9 eintritt und bei 1o in den Anodeninnenraum austritt, durch an dem Verteiler 7 vorgesehene Bleche 11 verteilt wird und entsprechend den Pfeilen 12 am Flansch 5 entlang zurückströmt, um über Umfangsschlitze 13 und Spalte 14 zwischen dem Rohr 8 und der Anodenwelle 4 bei 15 nach aussen zu strömen.
  • Die eigentliche vakuumdichte Lageranordnung zwischen der äusseren Lagerhülse 2 und dem inneren auf der Anodenwelle 4 angeordneten Lagerkörper 3 wird durch Kugellager 16, 17, 18 gebildet. Jedes dieser Kugellager besteht aus einem Rillenkugel lager mit zwei den Kugelring zwischen den Lagerringen nach aussen dicht abschliessenden Dichtscheiben 16a, 16b; 17a,17b; 18a,18b .Jedes Lager 16,17,18 ist in seinem Innenraum zwischen den jeweiligen Dichtscheiben mit Hochvakuumfett vollständig gefüllt. Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform bilden die Lager 16 und 17 die Lager auf der dem Vakuum zugewandten Seite der Lageranordnung während das Lager 18 auf der der Aussenluft zugewandten Seite liegt.
  • Zwischen den Lagern 17 und 18 ist eine Kammer 19 gebildet, welche über eine Leitung 20 an ein Vorvakuum angeschlossen ist. Die Leitung 20 mündet dazu in eine Öffnung 21 in der äusseren Lagerhülse 2 und ist auf der anderen Seite mit einer Durchlassbohrung 22 im Flansch 1 verbunden an welche bei 23 eine Vakuumleitung anschliessbar ist.
  • Für die Aufnahme des inneren Lagers 16 ist am Lagerkörper 3 eine Schulter 24 vorgesehen. Die äussere Lagerhülse 2 weist eine Schulter 25 auf, so dass sich das Lager 16 zwischen den Schultern 24 und 25 befindet. Gehalten wird das Lager durch in die äussere Lagerhülse 2 bzw. in den inneren Lagerkörper 3 eingeschraubte Spannmuttern 26, 27. Zwischen Lager 16 und Schulter 25 ist ein 0-Ring 28 vorgesehen. Im übrigen ist zwischen dem inneren Lagerkörper 3 und dem Flansch 5 der Anodenwelle 3 ebenfalls ein 0-Ring 29 angeordnet.
  • Das innere Lager 17 liegt einerseits an einer weiteren Schulter 30 der äusseren Lagerhülse 2 an. Zwischen Lager 17 und Schulter 30 ist ein 0-Ring 31 vorgesehen. An der Aussenseite ist das Lager 17 über die Kammer 19 einschliessende Abstandsringe 32, 33 an der Innenseite des äusseren Lagers 18 abgestützt. Das äussere Lager 18 ist seinerseits von der Aussenseite her durch eine in die äussere Lagerhülse einschraubbare Spannmutter 34 gehalten, so dass die Lager 17 und 18 gemeinsam durch die Spannmutter 34 verspannt sind.
  • Zwischen Spannmutter 34 und Lager 18 bzw. zwischen äusserer Lagerhülse 2 und Lager 18 ist ein 0-Ring 35 vorgesehen. Bei der dargestellten Ausführungsform ist es zweckmässig, dass der Raum zwischen den beiden inneren Lagern 16 und 17 durch ein Fettpolster 36 ausgefüllt ist.
  • Wird im Betrieb die Kammer 19 an ein Vorvakuum angelegt, so ist durch die beschriebene Lageranordnung eine bis zu lo Torr hochvakuumdichte Durchführung der Anodenwelle 4 durch den Flansch 1 geschaffen.
  • In der Darstellung der Ausführungsform nach Fig. 2 sind bereits beschriebene Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht nochmals erläutert. Anstelle der Abstandsringe 32 und 33 in der Kammer 19 sind zu beiden Seiten benachbart der Lager 17 und 18 innerhalb der Kammer 19 Labyrinthdichtungen 41, 42 vorgesehen. Diese Labyrinthdichtungen bestehen jeweils aus einem äusseren, mit der Lagerhülse 2 verbundenen Dichtungsteil 41a bzw. 42a mit etwa radial nach innen vorstehenden Lamellen sowie aus einem inneren, auf dem Lagerkörper 3 sitzenden Dichtungsteil 41b bzw. 42b mit radial nach aussen vorstehender Lamelle, wobei an jedem Dichtungsteil ein oder mehrere Lamellen vorgesehen sein können, die mit den Lamellen des anderen Dichtungsteil kämmen. In den Zwischenräumen zwischen den Lamellen ist jeweils ein Fettpolster 43 aus Hochvakuumfett vorgesehen. Die Labyrinthdichtungen 41, 42 erfüllen gleichzeitig die Funktion der Abstandsringe, so dass auch hier die Lager 17 und 18 durch die äussere Spannmutter 34 verspannt sind.
  • Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 sind bereits in Verbindung mit Fig. 1 beschriebene Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht nochmals erläutert.
  • Bei dieser Ausführungsform ist kein inneres Lager 17 vorgesehen. Vielmehr liegen die Abstandsringe 32,33 in der Kammer 19 unmittelbar an der Schulter 30 des inneren Lagerkörpers 3 an. Zwischen dem Abstandsring 32 und der Schulter 30 ist ein 0-Ring 44 angeordnet.
  • Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 ist an der Innenseite der Kammer 19 zwischen den Abstandsringen 32, 33 und der Schulter 30 mit 0-Ring 45 eine Labyrinthdichtung 46 angeordnet. Diese Labyrinthdichtung 46 weist einen äusseren, an der äusseren Lagerhülse 2 anliegenden Dichtungsteil 46a mit radial nach innen vorstehender Lamelle auf sowie einen inneren, auf dem inneren Lagerkörper 3 angeordneten Dichtungsteil 46b mit radial nach aussen vorstehender Lamelle, wobei die Lamellen kämmen und zwischen sich ein Fettpolster 47 haben. Zwischen Labyrinthdichtung 46 und Kugellager 16 ist ein Fettpolster 48 angeordnet, welches dem Fettpolster 36 nach Fig. 1 entspricht. Die übrigen Teile dieser Ausführungsform sind, soweit sie ihrer Funktion und Ausbildung bereits vorher beschriebenen Teilen entsprechen mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht nochmals erläutert.
  • Bei der Ausbildung nach Fig. 5 sind beide Seiten der Kammer 19 durch Labyrinthdichtungen 50, 51 gegenüber den Kugellagern 16 bzw. 18 abgedichtet. Die Ausbildungen der Labyrinthdichtungen entsprechen den vorher beschriebenen Ausbildungen.
  • Die äusseren Dichtungsteile Soa und 51a liegen axial aneinander an und entsprechen funktionell den Abstandsringen 32, 33. Zwischen dem äusseren Dichtungsteil 50a der Labyrinthdichtung 50 und der Schulter 30 ist ein 0-Ring 52 vorgesehen und ein entsprechender 0-Ring 53 ist zwischen dem äusseren Dichtungsteil 51a der Labyrinthdichtung 51 und dem Lager 18 angeordnet. Im übrigen sind wiederum gleiche bereits beschriebene Teile nicht nochmals erläutert und mit gleichen Bezugszeichen versehen.
  • L e e r s e i t e

Claims (5)

  1. Ansprüche 1. Hochvakuumdichte Lageranordnung der Drehanode in einem Drehanoden-Röntgengenerator mit einem in einem Flansch der Generator-Röhrenhaube angeordneten äusseren als Hülse ausgebildeten Lagerkörper und einem diesem gegenüber drehbar gelagerten inneren mit der Anodenwelle verbundenen Lagerkörper, sowie mit einer zentralen Kühlmittel-Durchführung innerhalb des inneren Lagerkörpers für die Zu- und Abführung eines Xühlmittels für die Anode, dadurch gekennzeichnet, dass auf der dem Vakuum und der der Aussenluft zugewandten Seite der Lageranordnung je mindestens ein mit zwei Dichtscheiben (16a,b; 17a,b; 18a,b) geschlossenes Kugellager (16, 17, 18) angeordnet ist und zwischen den geschlossenen Kugellagern eine Kammer (19) gebildet ist, die an ein Vorvakuum angeschlossen ist.
  2. 2. Lageranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die geschlossenen, in Hochvakuumfett laufenden Kugellager (16,17,18) handelsübliche Rillenkugellager mit zwei Dichtscheiben (16a,b;17a,b; 18a,b) sind.
  3. 3. Lageranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb der Kammer (19) auf zumindest einer, vorzugsweise beiden, den Kugellagern (17,18) zugewandten Seiten eine fettgefüllte Labyrinthdichtung (41,42;46; 50,51) angeordnet ist, die je aus einem äusseren mit der Lagerhülse verbundenen Dichtungsteil (41a,42a;46a;50a,51a) und einem inneren mit dem inneren Lagerteil (3) verbundenen Dichtungsteil (41b,42b;46b), welches mit dem äusseren Dichtungsteil kämmt, besteht.
  4. 4. Lageranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die geschlossenen Kugellager mit ihren äusseren Laufringen gegenüber der Lagerhülse (2) durch mindestens einen 0-Ring (28,31,35) abgedichtet sind.
  5. 5. Lageranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die geschlossenen Kugellager mit ihren inneren Laufringen gegenüber der Anodenwelle durch mindestens einen 0-Ring abgedichtet sind.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2913336A1 (de) * 1979-04-03 1980-10-16 Siemens Ag Roentgenroehren-drehanode
DE3644719C1 (en) * 1986-12-30 1988-03-10 Joerg Dr Ihringer Liquid-cooled X-ray rotating anode
US4873709A (en) * 1987-07-24 1989-10-10 Meitec Corporation X-ray generator with grooved rotary anode
EP3118883A1 (de) * 2013-03-15 2017-01-18 Nikon Metrology NV Rotierende unterdruckdichtung und zielanordnung

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE355137C (de) * 1921-01-11 1922-06-23 Karl Obermoser Dipl Ing Abdichtung fuer Kugel- oder Rollenlagergehaeuse
US2488200A (en) * 1946-07-01 1949-11-15 Gen Electric X Ray Corp Rotating vacuum seal
DE2210514B2 (de) * 1971-08-31 1974-02-21 Rigaku Denki Co. Ltd., Tokio Kombination einer hydrodynamischen Wellendichtung mit einer Lippendichtung
DE2308508B2 (de) * 1973-02-21 1976-03-18 Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170Jülich Roentgenroehre

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE355137C (de) * 1921-01-11 1922-06-23 Karl Obermoser Dipl Ing Abdichtung fuer Kugel- oder Rollenlagergehaeuse
US2488200A (en) * 1946-07-01 1949-11-15 Gen Electric X Ray Corp Rotating vacuum seal
DE2210514B2 (de) * 1971-08-31 1974-02-21 Rigaku Denki Co. Ltd., Tokio Kombination einer hydrodynamischen Wellendichtung mit einer Lippendichtung
DE2308508B2 (de) * 1973-02-21 1976-03-18 Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170Jülich Roentgenroehre

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Z: Wälzlagertechnik, Januar 1968, S. 2-8 *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2913336A1 (de) * 1979-04-03 1980-10-16 Siemens Ag Roentgenroehren-drehanode
FR2453498A1 (fr) * 1979-04-03 1980-10-31 Siemens Ag Anode tournante pour tube a rayons x
US4326144A (en) * 1979-04-03 1982-04-20 Siemens Aktiengesellschaft Rotating anode x-ray tube
DE3644719C1 (en) * 1986-12-30 1988-03-10 Joerg Dr Ihringer Liquid-cooled X-ray rotating anode
US4873709A (en) * 1987-07-24 1989-10-10 Meitec Corporation X-ray generator with grooved rotary anode
EP3118883A1 (de) * 2013-03-15 2017-01-18 Nikon Metrology NV Rotierende unterdruckdichtung und zielanordnung
CN106887373A (zh) * 2013-03-15 2017-06-23 尼康计量公众有限公司 x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件
US9941090B2 (en) 2013-03-15 2018-04-10 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, and rotary vacuum seal
US9947501B2 (en) 2013-03-15 2018-04-17 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target, and rotary vacuum seal
US9966217B2 (en) 2013-03-15 2018-05-08 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target, and rotary vacuum seal
US10008357B2 (en) 2013-03-15 2018-06-26 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target, and rotary vacuum seal
US10020157B2 (en) 2013-03-15 2018-07-10 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target, and rotary vacuum seal
US10096446B2 (en) 2013-03-15 2018-10-09 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target, and rotary vacuum seal
US10102997B2 (en) 2013-03-15 2018-10-16 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target, and rotary vacuum seal

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DE2724732B2 (de) 1980-12-04
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