DE2720636A1 - Pneumatischer infrarot-strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten kammer und einem strahlungsdurchlaessigen fenster - Google Patents
Pneumatischer infrarot-strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten kammer und einem strahlungsdurchlaessigen fensterInfo
- Publication number
- DE2720636A1 DE2720636A1 DE19772720636 DE2720636A DE2720636A1 DE 2720636 A1 DE2720636 A1 DE 2720636A1 DE 19772720636 DE19772720636 DE 19772720636 DE 2720636 A DE2720636 A DE 2720636A DE 2720636 A1 DE2720636 A1 DE 2720636A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- window
- infrared radiation
- chamber
- vacuum
- radiation detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 17
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 13
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical group [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 claims description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 3
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 3
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/37—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using pneumatic detection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
D-6050 Offenbach 4 Postfach 532 Kaiserstraße 9 Dipl.-lng. Hans Zapfe Telefon 0611/8827 21
Offenbach, den
22. April 1977 Zap/Han
Akte: 77502
LEYBOLD-HERAEUS GmbH & Co. KG
Bonner Straße 504
Bonner Straße 504
Köln - 51
Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor
mit einer vakuumdichten Kammer und einem
strahl ungsdurchlä'ssigen Fenster "
mit einer vakuumdichten Kammer und einem
strahl ungsdurchlä'ssigen Fenster "
8098Ab/0526
Die Erfindung betrifft einen pneumatischen Infrarot-Strahlungsdetektor
für intermittierende Beaufschlagung mit
Infrarot-Strahlung, bestehend aus einer vakuumdichten
Kammer mit einem strahlungsdurchlässigen Fenster aus der Gruppe Kalzium- und Bariumf1uorid, und mit einem die
Kammerrückseite bildenden metallischen Napf mit hochreflektierender
innerer Oberfläche und einem flanschförmigen Rand, der mit dem Fenster durch ein Glaslot
vakuumdicht verbunden ist, sowie aus einem die Kammer umgebenden Gehäuse und einem an die Kammer angeschlossenen
Strömungsfühler.
Derartige Detektoren können für verschiedene Zwecke eingesetzt werden. So ist beispielsweise der Einsatz in einem
Infrarot-Gasanalysator für die schnelle, selektive und
kontinuierliche Analyse von Gasen und Dämpfen möglich.
Weiterhin ist an einen Einsatz als Strahlungsempfänger für Temperaturstrahlungen gedacht sowie für die Reflexionsmessung im Infrarot-Bereich.
Es besteht dabei der allgemeine Wunsch, die Strahlungsdurchlässigkeit
des Fensters möglichst weit in den langwelligen Bereich auszudehnen, um die spektrale Empfindlichkeit
des Detektors zu steigern. Diese Forderung führt zum Einsatz von Kaiziumf1uorid oder Bariumfluorid als Werkstoff
für das Fenster. Natriumchlorid hat diesbezüglich noch günstigere Eigenschaften, scheidet jedoch wegen seiner
Wasserlöslichkeit für praktische Anwendungsfälle aus.
Der den hinteren Teil der Kammer bildende Napf soll korrosionsfest
sein und ein hohes Reflexionsvermögen aufweisen, weil der Meßeffekt durch die Mehrfachreflexion an den hoch-
809845/0526
glänzenden Oberflächen zunimmt. Bei bekannten Detektoren besteht der Napf aus einem dickwandigen Körper aus unedlem
Metall, auf dessen Innenseite eine dünne Goldschicht aufgebracht wird. Die Verbindung von Napf und
Fenster erfolgt hierbei durch Verkleben mit einem Kunstharz. Ein solcher Detektor erfüllt jedoch nicht alle
an ihn gestellte Forderungen: Er kann nicht durch Aufheizen auf Temperaturen oberhalb 400 °C entgast werden.
Dem Detektor muß daher ein chemisch oder physikalisch wirkendes Absorptionsmittel für die Restgase beigegeben
werden. Damit ist aber eine Instabilität der Gaszusammensetzung
verbunden, denn die Gasbindung an das betreffende Absorptionsmittel ist in der Regel temperaturabhängig.
Der Detektor soll außerdem für eine ganze Reihe üblicher Meßgase einsetzbar sein, wie CO, CO2, H2O, SO2, NO, und
zahlreiche Kohlenwasserstoffe. Es ist aber bisher kein Absorptionsmittel bekannt, welches mit allen infragekommenden
Gasenverträglich wäre. Der aus Kunstharz, beispielsweise
aus Epoxidharz bestehende Klebstoff ist für den angegebenen Verwendungszeck in störendem Maße durchlässig
für Wasserdampf und Kohlendioxid.
Wegen der bekannten Nachteile der Verklebung von Napf und Fenster hat man daher bereits versucht, die Verbindung
mittels eines Glaslotes auszuführen. Es ist dabei naheliegend, als Glaslot ein solches zu verwenden, welches den
gleichen Ausdehnungskoeffizienten wie das Material des Fensters hat. Der Ausdehnungskoeffizient von Kalziumfluorid
beträgt 235 · 10* /K. Der Ausdehnungskoeffizient von
Bariumfluorid beträgt 185 · 10" /K. Glaslote mit einem entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten besitzen jedoch
- 5 8098AS/0526
notwendigerweise einen hohen Gehalt an Alkalimetalloxiden
Sie sind daher wasserlöslich und lösen sich in feuchter
Atmosphäre relativ rasch auf. Der Einsatz eines Detektors in feuchter Atmosphäre ist nicht auszuschliessen. Außerdem
wäre mit einem solchen Detektor Wasserdampf nicht meßbar.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen pneumatischen Infrarot-Strahlungsdetektor der eingangs
beschriebenen Gattung anzugeben, der ausheizhar ist, wahlweise für alle üblichen Meßgase einsetzbar ist, und
bei dem dennoch eine betriebssichere Verbindung zwischen Napf und Fenster vorhanden ist.
Es wurde überraschend gefunden, daß die Lösung der gestellten Aufgabe erfindungsgemäß dadurch erfolgt, daß
der Napf aus einem dünnwandigen Edelmetallbehälter (Gold,
Silber) besteht, und daß als Glaslot für die Verbindung des Napfes mit dem Fenster ein solches mit einem Ausdehnungskoeffizienten zwischen 110 und 150 * 10 /K verwendet
worden ist.
Glaslote innerhalb des angegebenen Bereichs sind unter Angabe ihres Ausdehnungskoeffizienten im Handel. Die Angabe ist somit für den Fachmann eindeutig, um zu einem
geeigneten Glaslot zu gelangen. Ein für die Lösung der gestellten Aufgabe besonders geeignetes Glaslot wird
unter der Nummer 8472 von der Firma Schott und Gen. in Mainz vertrieben. Wegen des relativ hohen Ausdehnungskoeffizienten
des Fenstermaterials wäre es an sich zu erwarten gewesen, daß ein Glaslot innerhalb des erfindungsgemäßen Bereichs bei den durch das Ausheizen hedingten
starken Temperaturänderungen nicht brauchbar ist. Es hat sich jedoch überraschend gezeigt, daß die gestellte Auf-
809845/0526
gäbe durch die Gesamtheit der Merkmale des Anspruchs 1 in
vollem Umfange lösbar ist. Hierbei spielt auch offenbar die Dünnwandigkeit des Napfes aus Edelmetall eine besondere
Rolle, durch die der Napf der thermischen Ausdehnung des Fensters ohne übermäßige Spannungen leichter
folgen kann. Die Dünnwandigkeit des Napfes hat außerdem den Vorteil, daß dieser aus homogenem Werkstoff hergestellt
werden kann, ohne unerträglich hohe Gestehungskosten zur Folge zu haben. Ein solcher Napf läßt sich
aus dem betreffenden Edelmetallblech leicht durdi Drücken
oder Tiefziehen herstellen. Ein solcher Napf hat sehr gute Reflexionseigenschaften und führt damit zu einer
hohen Ansprechempfindlichkeit des Detektors. Durch die
erfindungsgemäße Lösung konnte außerdem der Napfdurchmesser stark verkleinert werden. Während es bisher üblich
war, derartige Näpfe mit einem Durchmesser von etwa 25 mm auszuführen, liegt der Napfdurchmesser beim Erfindungsgegenstand bei 10 mm. Dies hat den Vorteil, daß innerhalb
der impulsförmigen Beaufschlagung des Detektors mit der Meßstrahlung sehr viel schneller ein Gleichgewichtszustand
erreichbar ist. Es hat sich gezeigt, daß der erfindungsgemäße Detektor mit einer Frequenz bis zu
1 kHz betreibbar ist. Eine derart hohe Frequenz hat den Vorteil, daß die Meßsignale auf "elektronischem Wege gut ausgewertet werden können, und
daß die Auswirkungen mechanischer Erschütterungen auf das Meßsignal besonders gering werden.
Beim Erfindungsgegenstand kann auch in besonders vorteilhafter
Weise der Napf mit dem Gehäuse über eine Hartlötung verbunden werden. Durch diese Hartlötung wird dann nachträglich
die Bohrung hindurchgeführt, durch welche der
T Innenraum des Napfes über den Strömungsfühler mit einer
Ausgleichskammer verbindbar ist. Die Hartlötung erhöht in
Θ098Α5/0526
vorteilhafter Weise die Vakuumdichtigkeit der Verbindung.
Ein AusfUhrungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes und
ein Anwendungsbeispiel innerhalb eines Analysengeräts seien nachfolgend anhand der Figuren 1 und 2 näher e r läutert.
Es zeigen:
Figur 1 eine schematische Darstellung eines Infrarot-Gasanalysators
mit e.inem gattungsgemäßen Detektor und
dem die erfindungsgemäße Lehre angewendet worden ist.
In Figur 1 ist mit 1 ein Infrarot-Strahler bezeichnet, der
von einem Reflektor 2 umgeben ist. Unterhalb des Infrarot-Strahlers befindet sich eine Meßküvette 3 mit einer Küvetten-Meßseite
4 und einer Küvetten-Vergleichsseite 5. Darunter
sind eine Fi1terküvette 6 und eine Modulationsblende 7 angeordnet.
Der Infrarot-Strahlungsdetektor ist mit 8 bezeichnet und besteht aus einer Absorptionskammer 9 und
einer Ausgleichskammer 10, welche die Absorptionskammer teilweise umgibt. Die Absorptionskammer 9 ist zur Seite der
Infrarot-Strahlung hin vakuumdicht durch ein strahlungsdurchlässiges
Fenster 15 verschlossen. Von der Rückseite der Absorptionskammer 9 führt eine Bohrung 16 zu einem Strö'mungsfühler
11. Der Raum um den Strömungsfühler 11 ist üher eine weitere Bohrung 17 mit der Ausgleichskammer 10 verbunden.
Die impulsförmigen Ausdehnungen des Gases in der Absorptionskammer 9 teilen sich daher dem Strömungsfühler 11 mit. Die
Modulationsblende 7 läßt die durch die Meßseite und die
809845/0526
passieren. Der Strahlungsempfänger 8 ist durch seine
spezielle Gasfüllung auf die zu messende Komponente sensibilitiert.
Die Anordnung gemäß Figur 1 funktioniert in der Weise, daß beim Fehlen einer Meßkomponente in der Küvetten-Meßseite
die aus beiden Küvettenhälften stammenden Meßintensitäten
gleich sind und so aufeinanderfolgen, daß
keine Druckimpulse im Empfänger entstehen. Ist eine Meßkomponente jedoch vorhanden, so wird, abhängig von
ihrer Konzentration, Strahlung im Bereich der charakteristischen Absorptionsbande vorabsorbiert. Die im Empfänger absorbierte,
von der Küvetten-Meßseite kommende Intensität wird nun um diesen Anteil geschwächt. Es entstehen pulsierende
Druckänderungen und als Folge pulsierende Ausgleichsströmungen
zwischen der Absorptionskammer 9 und der Ausgleichskammer 10. Der Strömungsfühler 11 formt
diese Strömung in elektrische Widerstandsänderungen um, aus denen die elektronische Signalverarbeitung den konzentrationsproportionalen
Gleichstrom-Meßwert erzeugt.
Ein Strömungsfühler, der beispielsweise als Strömungsfühler
11 zum Einsatz kommen kann, ist in der DT-OS 26 56 487.4 offenbart. Eine hier nicht näher interessierende Schaltungsanordnung
12 dient zur Signalverarbeitung der vom Strömungsfühler
11 erhaltenen Meßsignale und gibt sie an ein An-Zeigeinstrument 13 wieder. Ein geregelter Wirbelstromantrieb
14 sorgt für eine konstante Drehzahl der Modulationsblende 7.
In Figur 2 sind gleiche Teile wie in Figur 1 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Zusätzlich ist folgendes zu erkennen:
Die Ausgleichskammer 10 besteht aus einem ringförmigen
Raum mit L-förmigem Querschnitt und ist inner-
809845/0526
halb eines Gehäuses 18 angeordnet. Nach außen hin ist die Ausgleichskammer 10 durch eine vakuumdicht aufgeschweißte
Hülse 19 verschlossen, in die radial ein Füllstutzen mündet, dessen äußeres Ende mittels eines zugeschmolzenen
Glasröhrchens 21 verschlossen ist.
Das Gehäuse 18 besitzt eine nach oben offene Ausnehmung
22, in der die Absorptionskammer 9 angeordnet ist. Diese besteht aus einem dünnwandigen Napf 23 aus Gold- oder
Silberblech, der mit dem Gehäuse 18 durch Hartlöten verbunden ist, wobei zwischen der Absorptionskammer 9 und
der Bohrung 16 eine Verbindung besteht. Der Napf 23 besitzt einen umlaufenden flanschförmigen Rand 24, der
mittels des erfindungsgemäßen Glaslots der Nummer
8472 der Firma Schott mit dem Fenster 15 verbunden ist, welches aus Kaiziumf1uorid oder Bariumfluorid besteht.
Schrauben 24, von denen nur eine sichtbar ist, dienen zur Befestigung des Gehäuses 18 am übrigen, in Figur 2
nicht dargestellten Teil der Vorrichtung.
809845/0526
e e r s e i t e
Claims (3)
1. Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor für intermittierende
Beaufschlagung mit Infrarot-Strahlung, bestehend aus einer vakuumdichten Kammer mit einem
strahlungsdurchlä'ssi gen Fenster aus der Gruppe Kalzium-
und Bariumf1uorid und mit einem die Kammerrückseite
bildenden metallischen Napf mit hochreflektierender innerer Oberfläche und einem f1anschförmigen Rand,
der mit dem Fenster durch ein Glaslot vakuumdicht verbunden ist sowie aus einem die Kammer umgebenden
Gehäuse und einem an die Kammer angeschlossenen Strömungsfühler, dadurch gekennzeichnet, daß der
Napf (23) aus einem dünnwandigen Edelmetallbehälter
(Gold, Silber) besteht, und daß als Glaslot für die Verbindung des Napfes mit dem Fenster (15) ein solches
mit einem Ausdehnungskoeffizienten zwischen 110 und 150 · 10" /K verwendet ist.
2. Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der dünnwandige Napf (23)
eine Wandstärke zwischen 0,08 und 0J5 mm, vorzugsweise zwischen 0,10 und 0,12 besitzt.
3. Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Napf (23) mit dem Gehäuse
(18) über ein Hartlot verbunden ist.
- 3 809845/0526
ORIGINAL INSPECTED
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2720636A DE2720636C2 (de) | 1977-05-07 | 1977-05-07 | Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten Kammer und einem strahlungsdurchlässigen Fenster |
IT22753/78A IT1095007B (it) | 1977-05-07 | 1978-04-27 | Rivelatore pneumatico di irraggiamento infrarosso con una camera a tenuta di vuoto ed una finestra permeabile all'irraggiamento |
US05/902,617 US4201915A (en) | 1977-05-07 | 1978-05-02 | Pneumatic infrared radiation detector having a hermetically sealed chamber and a window |
GB17533/78A GB1572978A (en) | 1977-05-07 | 1978-05-03 | Pneumatic infrared radiation detector with a vacuum-tight chamber and a radiation-permeable window |
FR7813419A FR2389876B1 (de) | 1977-05-07 | 1978-05-05 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2720636A DE2720636C2 (de) | 1977-05-07 | 1977-05-07 | Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten Kammer und einem strahlungsdurchlässigen Fenster |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2720636A1 true DE2720636A1 (de) | 1978-11-09 |
DE2720636C2 DE2720636C2 (de) | 1985-01-03 |
Family
ID=6008343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2720636A Expired DE2720636C2 (de) | 1977-05-07 | 1977-05-07 | Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten Kammer und einem strahlungsdurchlässigen Fenster |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4201915A (de) |
DE (1) | DE2720636C2 (de) |
FR (1) | FR2389876B1 (de) |
GB (1) | GB1572978A (de) |
IT (1) | IT1095007B (de) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2478814A1 (fr) * | 1980-03-19 | 1981-09-25 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Cellule pour analyseurs optiques de gaz |
US4495418A (en) * | 1983-02-15 | 1985-01-22 | Cal Detect, Inc. | Method of standardizing IR breath alcohol device |
DE3328171A1 (de) * | 1983-08-04 | 1985-02-14 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Kuevette fuer gasanalysengeraete |
US4549080A (en) * | 1983-06-17 | 1985-10-22 | Infrared Industries, Inc. | Double-pass flue gas analyzer |
DE3620604A1 (de) * | 1986-06-23 | 1988-01-21 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der strahlungsabsorption eines absorberkoerpers |
DE3700580A1 (de) * | 1987-01-10 | 1988-07-21 | Leybold Ag | Kuevette fuer gasanalysegeraete |
DE3733573A1 (de) * | 1987-10-03 | 1989-04-20 | Leybold Ag | Vorrichtung zum messen des fremdstoffanteils in stroemenden fluessigkeiten |
EP0385173A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator |
DE4018610C1 (de) * | 1990-06-11 | 1991-04-25 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt, De | |
DE19716252A1 (de) * | 1997-04-18 | 1998-10-22 | Conducta Endress & Hauser | Optischer Sensor |
DE4116280C2 (de) * | 1990-05-31 | 2000-06-08 | Siemens Ag | Gasanalysator |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5362967A (en) * | 1992-09-30 | 1994-11-08 | Horiba, Ltd. | Pneumatic infrared ray detector for use in gas analyzer |
DE19540072B4 (de) * | 1995-10-27 | 2004-12-30 | Emerson Process Management Manufacturing Gmbh & Co. Ohg | Optisch-pneumatischer Strahlungsdetektor |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT950955B (it) * | 1971-04-06 | 1973-06-20 | Siemens Ag | Dispositivo per impostare sulla stessa intensita i due fasci di raggi di un apparecchio ottico a due raggi preferibilmente per impostare lo zero di un apparecchio per l analisi di gas a raggi infra rossi |
BE786029A (fr) * | 1971-09-28 | 1973-01-08 | Schlumberger Compteurs | Perfectionnements aux analyseurs de gaz a infrarouge |
US3904880A (en) * | 1973-05-10 | 1975-09-09 | Honeywell Inc | Multi-component infrared analyzer |
DE2656487C3 (de) * | 1976-12-14 | 1981-01-29 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Mikroströmungsfühler für Gase |
-
1977
- 1977-05-07 DE DE2720636A patent/DE2720636C2/de not_active Expired
-
1978
- 1978-04-27 IT IT22753/78A patent/IT1095007B/it active
- 1978-05-02 US US05/902,617 patent/US4201915A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-05-03 GB GB17533/78A patent/GB1572978A/en not_active Expired
- 1978-05-05 FR FR7813419A patent/FR2389876B1/fr not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NICHTS-ERMITTELT * |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2478814A1 (fr) * | 1980-03-19 | 1981-09-25 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Cellule pour analyseurs optiques de gaz |
US4495418A (en) * | 1983-02-15 | 1985-01-22 | Cal Detect, Inc. | Method of standardizing IR breath alcohol device |
US4549080A (en) * | 1983-06-17 | 1985-10-22 | Infrared Industries, Inc. | Double-pass flue gas analyzer |
DE3328171A1 (de) * | 1983-08-04 | 1985-02-14 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Kuevette fuer gasanalysengeraete |
DE3620604A1 (de) * | 1986-06-23 | 1988-01-21 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der strahlungsabsorption eines absorberkoerpers |
DE3700580A1 (de) * | 1987-01-10 | 1988-07-21 | Leybold Ag | Kuevette fuer gasanalysegeraete |
DE3733573A1 (de) * | 1987-10-03 | 1989-04-20 | Leybold Ag | Vorrichtung zum messen des fremdstoffanteils in stroemenden fluessigkeiten |
US4931660A (en) * | 1987-10-03 | 1990-06-05 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for measuring foreign substance content in flowing liquids |
EP0385173A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator |
DE4116280C2 (de) * | 1990-05-31 | 2000-06-08 | Siemens Ag | Gasanalysator |
DE4018610C1 (de) * | 1990-06-11 | 1991-04-25 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt, De | |
EP0461404A2 (de) * | 1990-06-11 | 1991-12-18 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung einer Küvette für fotometrische oder spektrometrische Messeinrichtungen |
EP0461404A3 (en) * | 1990-06-11 | 1993-01-20 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Method for manufacturing a cuvette for photometrical or spectrometrical measuring devices |
DE19716252A1 (de) * | 1997-04-18 | 1998-10-22 | Conducta Endress & Hauser | Optischer Sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4201915A (en) | 1980-05-06 |
FR2389876B1 (de) | 1983-03-04 |
DE2720636C2 (de) | 1985-01-03 |
FR2389876A1 (de) | 1978-12-01 |
IT7822753A0 (it) | 1978-04-27 |
IT1095007B (it) | 1985-08-10 |
GB1572978A (en) | 1980-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2720636A1 (de) | Pneumatischer infrarot-strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten kammer und einem strahlungsdurchlaessigen fenster | |
DE19520488C1 (de) | Meßvorrichtung zur Infrarotabsorption | |
EP0634644A1 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung des 13CO2/12CO2-Konzentrationsverhältnisses in einer Gasprobe | |
EP0317557B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung des dampfdruckes von flüssigkeiten | |
WO2000055603A1 (de) | Infrarot-gasanalysator und verfahren zum betrieb dieses analysators | |
DE69720242T2 (de) | Photoakustischer infrarotdetektor | |
DE4023420A1 (de) | Drucksensor | |
DE2324049B2 (de) | Geraet zur photoelektrischen analyse | |
DE10106046A1 (de) | Kombinierter Atemstromsensor | |
EP2173235A1 (de) | Stoffkonzentrations-sensor und herstellverfahren dafür | |
DE102006052999A1 (de) | Messgasküvette für die Konzentrationsmessung von Gasbestandteilen und Verfahren zur Herstellung einer Messgasküvette | |
DE3628955A1 (de) | Schnellpruefverfahren zur zerstoerungsfreien bestimmung der permeabilitaet von betonoberflaechen | |
DE1017385B (de) | Vorrichtung zum Analysieren von insbesondere gasfoermigen Gemischen durch Absorption einer Strahlung | |
DE3933727A1 (de) | Frei verwendbare kalibriervorrichtung fuer feuchtigkeitsmessgeraete | |
DE3010516A1 (de) | Kuevette fuer optische gasanalysengeraete | |
DE1648834A1 (de) | Atemtestvorrichtung | |
DE1648820A1 (de) | Geraet zur nichtdispersiven Ultrarot-Gasanalyse | |
DE3911151A1 (de) | Messgeraet zur bestimmung von bodeneigenschaften | |
DE19941586A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Atemalkoholmessung | |
DE60131648T2 (de) | Die konzentration von wasserdampf kompensierendes kalibrationsverfahren | |
EP0727655B1 (de) | Messeinrichtung und Verfahren zur Messung der Sauerstoffpermeabilität eines Prüflings | |
DE2462281B2 (de) | ||
DE2612000A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von so tief 2 | |
DE2233829A1 (de) | Kraftstoffbehaelter, insbesondere kraftradtank | |
DE484074C (de) | Verfahren zur UEberwachung von Trockenvorgaengen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAM | Search report available | ||
OC | Search report available | ||
OGA | New person/name/address of the applicant | ||
8126 | Change of the secondary classification | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ROSEMOUNT GMBH & CO, 6450 HANAU, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |