DE2720636A1 - Pneumatischer infrarot-strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten kammer und einem strahlungsdurchlaessigen fenster - Google Patents

Pneumatischer infrarot-strahlungsdetektor mit einer vakuumdichten kammer und einem strahlungsdurchlaessigen fenster

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DE2720636A1 DE19772720636 DE2720636A DE2720636A1 DE 2720636 A1 DE2720636 A1 DE 2720636A1 DE 19772720636 DE19772720636 DE 19772720636 DE 2720636 A DE2720636 A DE 2720636A DE 2720636 A1 DE2720636 A1 DE 2720636A1
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Description

D-6050 Offenbach 4 Postfach 532 Kaiserstraße 9 Dipl.-lng. Hans Zapfe Telefon 0611/8827 21
Offenbach, den
22. April 1977 Zap/Han
Akte: 77502
LEYBOLD-HERAEUS GmbH & Co. KG
Bonner Straße 504
Köln - 51
Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor
mit einer vakuumdichten Kammer und einem
strahl ungsdurchlä'ssigen Fenster "
8098Ab/0526
Die Erfindung betrifft einen pneumatischen Infrarot-Strahlungsdetektor für intermittierende Beaufschlagung mit Infrarot-Strahlung, bestehend aus einer vakuumdichten Kammer mit einem strahlungsdurchlässigen Fenster aus der Gruppe Kalzium- und Bariumf1uorid, und mit einem die Kammerrückseite bildenden metallischen Napf mit hochreflektierender innerer Oberfläche und einem flanschförmigen Rand, der mit dem Fenster durch ein Glaslot vakuumdicht verbunden ist, sowie aus einem die Kammer umgebenden Gehäuse und einem an die Kammer angeschlossenen Strömungsfühler.
Derartige Detektoren können für verschiedene Zwecke eingesetzt werden. So ist beispielsweise der Einsatz in einem Infrarot-Gasanalysator für die schnelle, selektive und kontinuierliche Analyse von Gasen und Dämpfen möglich. Weiterhin ist an einen Einsatz als Strahlungsempfänger für Temperaturstrahlungen gedacht sowie für die Reflexionsmessung im Infrarot-Bereich.
Es besteht dabei der allgemeine Wunsch, die Strahlungsdurchlässigkeit des Fensters möglichst weit in den langwelligen Bereich auszudehnen, um die spektrale Empfindlichkeit des Detektors zu steigern. Diese Forderung führt zum Einsatz von Kaiziumf1uorid oder Bariumfluorid als Werkstoff für das Fenster. Natriumchlorid hat diesbezüglich noch günstigere Eigenschaften, scheidet jedoch wegen seiner Wasserlöslichkeit für praktische Anwendungsfälle aus.
Der den hinteren Teil der Kammer bildende Napf soll korrosionsfest sein und ein hohes Reflexionsvermögen aufweisen, weil der Meßeffekt durch die Mehrfachreflexion an den hoch-
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glänzenden Oberflächen zunimmt. Bei bekannten Detektoren besteht der Napf aus einem dickwandigen Körper aus unedlem Metall, auf dessen Innenseite eine dünne Goldschicht aufgebracht wird. Die Verbindung von Napf und Fenster erfolgt hierbei durch Verkleben mit einem Kunstharz. Ein solcher Detektor erfüllt jedoch nicht alle an ihn gestellte Forderungen: Er kann nicht durch Aufheizen auf Temperaturen oberhalb 400 °C entgast werden. Dem Detektor muß daher ein chemisch oder physikalisch wirkendes Absorptionsmittel für die Restgase beigegeben werden. Damit ist aber eine Instabilität der Gaszusammensetzung verbunden, denn die Gasbindung an das betreffende Absorptionsmittel ist in der Regel temperaturabhängig. Der Detektor soll außerdem für eine ganze Reihe üblicher Meßgase einsetzbar sein, wie CO, CO2, H2O, SO2, NO, und zahlreiche Kohlenwasserstoffe. Es ist aber bisher kein Absorptionsmittel bekannt, welches mit allen infragekommenden Gasenverträglich wäre. Der aus Kunstharz, beispielsweise aus Epoxidharz bestehende Klebstoff ist für den angegebenen Verwendungszeck in störendem Maße durchlässig für Wasserdampf und Kohlendioxid.
Wegen der bekannten Nachteile der Verklebung von Napf und Fenster hat man daher bereits versucht, die Verbindung mittels eines Glaslotes auszuführen. Es ist dabei naheliegend, als Glaslot ein solches zu verwenden, welches den gleichen Ausdehnungskoeffizienten wie das Material des Fensters hat. Der Ausdehnungskoeffizient von Kalziumfluorid beträgt 235 · 10* /K. Der Ausdehnungskoeffizient von Bariumfluorid beträgt 185 · 10" /K. Glaslote mit einem entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten besitzen jedoch
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notwendigerweise einen hohen Gehalt an Alkalimetalloxiden Sie sind daher wasserlöslich und lösen sich in feuchter Atmosphäre relativ rasch auf. Der Einsatz eines Detektors in feuchter Atmosphäre ist nicht auszuschliessen. Außerdem wäre mit einem solchen Detektor Wasserdampf nicht meßbar.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen pneumatischen Infrarot-Strahlungsdetektor der eingangs beschriebenen Gattung anzugeben, der ausheizhar ist, wahlweise für alle üblichen Meßgase einsetzbar ist, und bei dem dennoch eine betriebssichere Verbindung zwischen Napf und Fenster vorhanden ist.
Es wurde überraschend gefunden, daß die Lösung der gestellten Aufgabe erfindungsgemäß dadurch erfolgt, daß der Napf aus einem dünnwandigen Edelmetallbehälter (Gold, Silber) besteht, und daß als Glaslot für die Verbindung des Napfes mit dem Fenster ein solches mit einem Ausdehnungskoeffizienten zwischen 110 und 150 * 10 /K verwendet worden ist.
Glaslote innerhalb des angegebenen Bereichs sind unter Angabe ihres Ausdehnungskoeffizienten im Handel. Die Angabe ist somit für den Fachmann eindeutig, um zu einem geeigneten Glaslot zu gelangen. Ein für die Lösung der gestellten Aufgabe besonders geeignetes Glaslot wird unter der Nummer 8472 von der Firma Schott und Gen. in Mainz vertrieben. Wegen des relativ hohen Ausdehnungskoeffizienten des Fenstermaterials wäre es an sich zu erwarten gewesen, daß ein Glaslot innerhalb des erfindungsgemäßen Bereichs bei den durch das Ausheizen hedingten starken Temperaturänderungen nicht brauchbar ist. Es hat sich jedoch überraschend gezeigt, daß die gestellte Auf-
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gäbe durch die Gesamtheit der Merkmale des Anspruchs 1 in vollem Umfange lösbar ist. Hierbei spielt auch offenbar die Dünnwandigkeit des Napfes aus Edelmetall eine besondere Rolle, durch die der Napf der thermischen Ausdehnung des Fensters ohne übermäßige Spannungen leichter folgen kann. Die Dünnwandigkeit des Napfes hat außerdem den Vorteil, daß dieser aus homogenem Werkstoff hergestellt werden kann, ohne unerträglich hohe Gestehungskosten zur Folge zu haben. Ein solcher Napf läßt sich aus dem betreffenden Edelmetallblech leicht durdi Drücken oder Tiefziehen herstellen. Ein solcher Napf hat sehr gute Reflexionseigenschaften und führt damit zu einer hohen Ansprechempfindlichkeit des Detektors. Durch die erfindungsgemäße Lösung konnte außerdem der Napfdurchmesser stark verkleinert werden. Während es bisher üblich war, derartige Näpfe mit einem Durchmesser von etwa 25 mm auszuführen, liegt der Napfdurchmesser beim Erfindungsgegenstand bei 10 mm. Dies hat den Vorteil, daß innerhalb der impulsförmigen Beaufschlagung des Detektors mit der Meßstrahlung sehr viel schneller ein Gleichgewichtszustand erreichbar ist. Es hat sich gezeigt, daß der erfindungsgemäße Detektor mit einer Frequenz bis zu 1 kHz betreibbar ist. Eine derart hohe Frequenz hat den Vorteil, daß die Meßsignale auf "elektronischem Wege gut ausgewertet werden können, und daß die Auswirkungen mechanischer Erschütterungen auf das Meßsignal besonders gering werden.
Beim Erfindungsgegenstand kann auch in besonders vorteilhafter Weise der Napf mit dem Gehäuse über eine Hartlötung verbunden werden. Durch diese Hartlötung wird dann nachträglich die Bohrung hindurchgeführt, durch welche der
T Innenraum des Napfes über den Strömungsfühler mit einer Ausgleichskammer verbindbar ist. Die Hartlötung erhöht in
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vorteilhafter Weise die Vakuumdichtigkeit der Verbindung.
Ein AusfUhrungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes und ein Anwendungsbeispiel innerhalb eines Analysengeräts seien nachfolgend anhand der Figuren 1 und 2 näher e r läutert.
Es zeigen:
Figur 1 eine schematische Darstellung eines Infrarot-Gasanalysators mit e.inem gattungsgemäßen Detektor und
Figur 2 einen Querschnitt durch einen Detektor, bei
dem die erfindungsgemäße Lehre angewendet worden ist.
In Figur 1 ist mit 1 ein Infrarot-Strahler bezeichnet, der von einem Reflektor 2 umgeben ist. Unterhalb des Infrarot-Strahlers befindet sich eine Meßküvette 3 mit einer Küvetten-Meßseite 4 und einer Küvetten-Vergleichsseite 5. Darunter sind eine Fi1terküvette 6 und eine Modulationsblende 7 angeordnet. Der Infrarot-Strahlungsdetektor ist mit 8 bezeichnet und besteht aus einer Absorptionskammer 9 und einer Ausgleichskammer 10, welche die Absorptionskammer teilweise umgibt. Die Absorptionskammer 9 ist zur Seite der Infrarot-Strahlung hin vakuumdicht durch ein strahlungsdurchlässiges Fenster 15 verschlossen. Von der Rückseite der Absorptionskammer 9 führt eine Bohrung 16 zu einem Strö'mungsfühler 11. Der Raum um den Strömungsfühler 11 ist üher eine weitere Bohrung 17 mit der Ausgleichskammer 10 verbunden. Die impulsförmigen Ausdehnungen des Gases in der Absorptionskammer 9 teilen sich daher dem Strömungsfühler 11 mit. Die Modulationsblende 7 läßt die durch die Meßseite und die
Vergleichsseite gehenden Strahlengängen alternierend
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passieren. Der Strahlungsempfänger 8 ist durch seine spezielle Gasfüllung auf die zu messende Komponente sensibilitiert.
Die Anordnung gemäß Figur 1 funktioniert in der Weise, daß beim Fehlen einer Meßkomponente in der Küvetten-Meßseite die aus beiden Küvettenhälften stammenden Meßintensitäten gleich sind und so aufeinanderfolgen, daß keine Druckimpulse im Empfänger entstehen. Ist eine Meßkomponente jedoch vorhanden, so wird, abhängig von ihrer Konzentration, Strahlung im Bereich der charakteristischen Absorptionsbande vorabsorbiert. Die im Empfänger absorbierte, von der Küvetten-Meßseite kommende Intensität wird nun um diesen Anteil geschwächt. Es entstehen pulsierende Druckänderungen und als Folge pulsierende Ausgleichsströmungen zwischen der Absorptionskammer 9 und der Ausgleichskammer 10. Der Strömungsfühler 11 formt diese Strömung in elektrische Widerstandsänderungen um, aus denen die elektronische Signalverarbeitung den konzentrationsproportionalen Gleichstrom-Meßwert erzeugt.
Ein Strömungsfühler, der beispielsweise als Strömungsfühler 11 zum Einsatz kommen kann, ist in der DT-OS 26 56 487.4 offenbart. Eine hier nicht näher interessierende Schaltungsanordnung 12 dient zur Signalverarbeitung der vom Strömungsfühler 11 erhaltenen Meßsignale und gibt sie an ein An-Zeigeinstrument 13 wieder. Ein geregelter Wirbelstromantrieb 14 sorgt für eine konstante Drehzahl der Modulationsblende 7.
In Figur 2 sind gleiche Teile wie in Figur 1 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Zusätzlich ist folgendes zu erkennen: Die Ausgleichskammer 10 besteht aus einem ringförmigen Raum mit L-förmigem Querschnitt und ist inner-
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halb eines Gehäuses 18 angeordnet. Nach außen hin ist die Ausgleichskammer 10 durch eine vakuumdicht aufgeschweißte Hülse 19 verschlossen, in die radial ein Füllstutzen mündet, dessen äußeres Ende mittels eines zugeschmolzenen Glasröhrchens 21 verschlossen ist.
Das Gehäuse 18 besitzt eine nach oben offene Ausnehmung 22, in der die Absorptionskammer 9 angeordnet ist. Diese besteht aus einem dünnwandigen Napf 23 aus Gold- oder Silberblech, der mit dem Gehäuse 18 durch Hartlöten verbunden ist, wobei zwischen der Absorptionskammer 9 und der Bohrung 16 eine Verbindung besteht. Der Napf 23 besitzt einen umlaufenden flanschförmigen Rand 24, der mittels des erfindungsgemäßen Glaslots der Nummer 8472 der Firma Schott mit dem Fenster 15 verbunden ist, welches aus Kaiziumf1uorid oder Bariumfluorid besteht. Schrauben 24, von denen nur eine sichtbar ist, dienen zur Befestigung des Gehäuses 18 am übrigen, in Figur 2 nicht dargestellten Teil der Vorrichtung.
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e e r s e i t e

Claims (3)

ANSPRÜCHE:
1. Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor für intermittierende Beaufschlagung mit Infrarot-Strahlung, bestehend aus einer vakuumdichten Kammer mit einem strahlungsdurchlä'ssi gen Fenster aus der Gruppe Kalzium- und Bariumf1uorid und mit einem die Kammerrückseite bildenden metallischen Napf mit hochreflektierender innerer Oberfläche und einem f1anschförmigen Rand, der mit dem Fenster durch ein Glaslot vakuumdicht verbunden ist sowie aus einem die Kammer umgebenden Gehäuse und einem an die Kammer angeschlossenen Strömungsfühler, dadurch gekennzeichnet, daß der Napf (23) aus einem dünnwandigen Edelmetallbehälter (Gold, Silber) besteht, und daß als Glaslot für die Verbindung des Napfes mit dem Fenster (15) ein solches mit einem Ausdehnungskoeffizienten zwischen 110 und 150 · 10" /K verwendet ist.
2. Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der dünnwandige Napf (23) eine Wandstärke zwischen 0,08 und 0J5 mm, vorzugsweise zwischen 0,10 und 0,12 besitzt.
3. Pneumatischer Infrarot-Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Napf (23) mit dem Gehäuse (18) über ein Hartlot verbunden ist.
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IT22753/78A IT1095007B (it) 1977-05-07 1978-04-27 Rivelatore pneumatico di irraggiamento infrarosso con una camera a tenuta di vuoto ed una finestra permeabile all'irraggiamento
US05/902,617 US4201915A (en) 1977-05-07 1978-05-02 Pneumatic infrared radiation detector having a hermetically sealed chamber and a window
GB17533/78A GB1572978A (en) 1977-05-07 1978-05-03 Pneumatic infrared radiation detector with a vacuum-tight chamber and a radiation-permeable window
FR7813419A FR2389876B1 (de) 1977-05-07 1978-05-05

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GB (1) GB1572978A (de)
IT (1) IT1095007B (de)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2478814A1 (fr) * 1980-03-19 1981-09-25 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Cellule pour analyseurs optiques de gaz
US4495418A (en) * 1983-02-15 1985-01-22 Cal Detect, Inc. Method of standardizing IR breath alcohol device
DE3328171A1 (de) * 1983-08-04 1985-02-14 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Kuevette fuer gasanalysengeraete
US4549080A (en) * 1983-06-17 1985-10-22 Infrared Industries, Inc. Double-pass flue gas analyzer
DE3620604A1 (de) * 1986-06-23 1988-01-21 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der strahlungsabsorption eines absorberkoerpers
DE3700580A1 (de) * 1987-01-10 1988-07-21 Leybold Ag Kuevette fuer gasanalysegeraete
DE3733573A1 (de) * 1987-10-03 1989-04-20 Leybold Ag Vorrichtung zum messen des fremdstoffanteils in stroemenden fluessigkeiten
EP0385173A1 (de) * 1989-02-27 1990-09-05 Siemens Aktiengesellschaft Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator
DE4018610C1 (de) * 1990-06-11 1991-04-25 Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt, De
DE19716252A1 (de) * 1997-04-18 1998-10-22 Conducta Endress & Hauser Optischer Sensor
DE4116280C2 (de) * 1990-05-31 2000-06-08 Siemens Ag Gasanalysator

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5362967A (en) * 1992-09-30 1994-11-08 Horiba, Ltd. Pneumatic infrared ray detector for use in gas analyzer
DE19540072B4 (de) * 1995-10-27 2004-12-30 Emerson Process Management Manufacturing Gmbh & Co. Ohg Optisch-pneumatischer Strahlungsdetektor

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT950955B (it) * 1971-04-06 1973-06-20 Siemens Ag Dispositivo per impostare sulla stessa intensita i due fasci di raggi di un apparecchio ottico a due raggi preferibilmente per impostare lo zero di un apparecchio per l analisi di gas a raggi infra rossi
BE786029A (fr) * 1971-09-28 1973-01-08 Schlumberger Compteurs Perfectionnements aux analyseurs de gaz a infrarouge
US3904880A (en) * 1973-05-10 1975-09-09 Honeywell Inc Multi-component infrared analyzer
DE2656487C3 (de) * 1976-12-14 1981-01-29 Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln Mikroströmungsfühler für Gase

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
NICHTS-ERMITTELT *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2478814A1 (fr) * 1980-03-19 1981-09-25 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Cellule pour analyseurs optiques de gaz
US4495418A (en) * 1983-02-15 1985-01-22 Cal Detect, Inc. Method of standardizing IR breath alcohol device
US4549080A (en) * 1983-06-17 1985-10-22 Infrared Industries, Inc. Double-pass flue gas analyzer
DE3328171A1 (de) * 1983-08-04 1985-02-14 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Kuevette fuer gasanalysengeraete
DE3620604A1 (de) * 1986-06-23 1988-01-21 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der strahlungsabsorption eines absorberkoerpers
DE3700580A1 (de) * 1987-01-10 1988-07-21 Leybold Ag Kuevette fuer gasanalysegeraete
DE3733573A1 (de) * 1987-10-03 1989-04-20 Leybold Ag Vorrichtung zum messen des fremdstoffanteils in stroemenden fluessigkeiten
US4931660A (en) * 1987-10-03 1990-06-05 Leybold Aktiengesellschaft Apparatus for measuring foreign substance content in flowing liquids
EP0385173A1 (de) * 1989-02-27 1990-09-05 Siemens Aktiengesellschaft Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator
DE4116280C2 (de) * 1990-05-31 2000-06-08 Siemens Ag Gasanalysator
DE4018610C1 (de) * 1990-06-11 1991-04-25 Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt, De
EP0461404A2 (de) * 1990-06-11 1991-12-18 Hartmann & Braun Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung einer Küvette für fotometrische oder spektrometrische Messeinrichtungen
EP0461404A3 (en) * 1990-06-11 1993-01-20 Hartmann & Braun Aktiengesellschaft Method for manufacturing a cuvette for photometrical or spectrometrical measuring devices
DE19716252A1 (de) * 1997-04-18 1998-10-22 Conducta Endress & Hauser Optischer Sensor

Also Published As

Publication number Publication date
US4201915A (en) 1980-05-06
FR2389876B1 (de) 1983-03-04
DE2720636C2 (de) 1985-01-03
FR2389876A1 (de) 1978-12-01
IT7822753A0 (it) 1978-04-27
IT1095007B (it) 1985-08-10
GB1572978A (en) 1980-08-13

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