DE2712829B2 - Ionenquelle - Google Patents
IonenquelleInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Ionenquelle gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine derartige Ionenquelle ist bekannt (»Progress in Astronautics and Aeronautics«, Vol. 9, 1963,
S. 291-298).
Am zweckmäßigsten läßt sich die Ionenquelle nach der Erfindung zum Herstellen dünner Filme aus
verschiedenen Stoffen durch lonenzerstäubung sowie j zur Flächenreinigung durch Ionenätzung anwenden.
Die Ionenquelle nach der Erfindung kann als Injektor geladener Teilchen auch für sonstige Zwecke Verwendung
finden.
Bekannt (LA. Arzimoviseh el al, Plasmabeschleuni-Hi
ger, Moskau, 1973, S. 60) ist ferner eine Ionenquelle mit einem Hohlzylinder-Gehäuse, dessen eine Stirnfläche
geschlossen ausgeführt ist, während dessen zweite Stirnfläche eine öffnung hat. Im Gehäuse ist ein Stab
axial zum Gehäuse angeordnet, der mit einem Ende an r> der geschlossenen Stirnfläche des Gehäuses starr
befestigt ist. Das andere Stabende ist in der öffnung der zweiten Stirnfläche so angeordnet, daß zwischen der
Siabmanieifläche und der Öffnungswandung der zweiten
Stirnlläche des Gehäuses ein Ringspalt zum Austritt der Ionen entsteht. Das Gehäuse und der Stab sind aus
weichmagnetischem Material hergestellt.
Auf dem Stab ist eine Elektromagnet-Spule so befestigt, daß dank dem durch die Spule erzeugten
Magnetfeld das freie Stabende und die öffnungswan- >) dung dei Stirnfläche des Gehäuses eine entgegengesetzte
Polarität aufweisen, d. h. im Ringspalt ein radiales Magnetfeld entsteht.
Innerhalb aes Gehäuses, koaxial zum Stab und nahe der Stirnfläche mit der öffnung ist eine Ring-Elektrode
in angeordnet, deren Stirnseite sich gegenüber dem Ringspalt befindet.
An die Ionenquelle ist eine Spannung so angehgt, daß
das Gehäuse mit dem Stab die Kathode bildet, während die Ring-Elektrode die Anode darstellt.
ii In den Innenraum des Gehäuses wird der Arbeitsstofl, aus dem die Ionen erzeugt werden, /. B. Argongas, eingebracht.
ii In den Innenraum des Gehäuses wird der Arbeitsstofl, aus dem die Ionen erzeugt werden, /. B. Argongas, eingebracht.
Sobald an die Ionenquelle eine Spannung im Bereich bis 10 kV angelegt wird, zündet zwischen der Kathode
4Ii und Anode eine kalte (stille) Entladung, und die dabei
erzeugten Ionen bewegen sich unter der Einwirkung des elektromagnetischen Felds in Richtung zur Kathode
und treten durch den Ringspalt aus.
Mit der beschriebenen Ionenquelle kann man bei 4r) einem Unterdruck von 1,33 · 10 2 bis 1,33 · 10 ' Pa und
einer Spannung bis 10 kV einen lonenstrom bis 1OA erhalten.
Ein wesentlicher Mangel dieser Ionenquelle ist dk hohe Energiestreuung der Ionon (praktisch von Null bis
ίο zum Wert der angelegten Spannung), wodurch Erzeugen,
Steuern und Transport der Ionen zui Bearbeilungsfläche
des Werkstücks erscnwert werden.
Die Energiestreuung der Ionen erfolgt dadurch, daß die Gasionisation an einer beliebigen Stelle der
Vi Beschleunigungsslrecke, d. h. der Strecke zwischen der
Kathode und Anode, gleich wahrscheinlich stattfindet und daß die Ionen eine Energie erlangen, die der
Potentialdifferenz zwischen dem Potential am Entstehungsort und dem Kathodenpotential entspricht. Die
w) Austrittsrichtung der Ionen aus dem Beschleuniger wird
gleichfalls durch den Entstehungsort der Ionen bestimmt, was eine wesentliche Divergenz des lonenstrahls
verursacht.
Die bekannle Ionenquelle der eingangs genannten s>5 Art hat folgenden Aufbau:
Sie enthält ein Zyiinder-Gchäiise. dessen eine
Stirnfläche geschlossen und in dessen anderer Stirnfläche
eine öffnung ausgeführt ist. Innerhalb des Gehäuses
ist ein als Hohlzylinder ausgeführtes Joch untergebracht,
das mil einem Ende an der geschlossenen Stirnflüche, koaxial zum Gehäuse, starr befestigt ist. Am
freien Jochende wird eine Scheibe befestigt, die in der Stirnflächenebene so angeordnet ist, daß zwischen der
Manielfläche der Scheibe und der Öffnungswandung der Stirnfläche des Gehäuses ein Ringspalt entsteht. Im
Gehäuse sind außerdem zwei Elektromagnet-Spulen angeordnet: Die eine Spule umfaßt das Joch, während
die andere Spule von der Innenseite an der Seitenfläche des Gehäuses befestigt ist.
Das Gehäuse, das Joch und die Scheibe sind aus einem weichmagnetischen Material hergestellt.
Im Gehäuse, in der Nähe der geschlossenen Stirnfläche, gegenüber dem Ringspalt und koaxial zum
Gehäuse ist eine Ring-Kathode angeordnet. Um die Kathode ist ein Schirm aus weichmagnetischem
Material aufgestellt. Der Kathodenschirm ist als Hohlring mit einem Ringspalt an seiner S'irnfläche
ausgebildet, koaxial im Zylinder-Gehäuse angeordnet und an der geschlossenen Stirnfläche des Gehäuses
befestigt. Im Kathodenschirm ist ein Ringspalt für Elektronenaustritt gegenüber dem Ringspalt vorgesehen,
der durch die Scheibenmantelfläche u.id die Öffnungswandung der Stirnfläche des Gehäuses gebildet
ist.
Bei dieser Ionenquelle ist eine Elektromagnet-Spule vorhanden, die an der Mantelfläche des Geh..uses
befestigt ist und ein Magnetfeld erzeugt. Die Spule umfaßt die Stirnfläche des Gehäuses mit der öffnung,
die Mantelfläche des Gehäuses, einen Teil dei geschlossenen Stirnfläche, einen Teil des Kathodenschirms
und erzeugt ein axiales Magnetfeld im Spalt zwischen dem Kathodenschirm und der Kante der
Stirnfläche des Gehäuses mit der Öffnung.
Außerdem ist eine Eleklromagnet-Spule vorhanden,
die an einem Stab befestigt ist und ein Magnetfeld erzeugt; die Spule umfaßt die Scheibe, den Stab, einen
Teil der geschlossenen Stirnseite des Gehäuses und einen Teil des Kathodenschirms; sie erzeugt ein axiales
Magnetfeld im Spalt zwischen dem Kathodenschirm und der Scheibenkante.
Das Magnetfeld wird durch die beiden Spulen derart erzeugt, daß die magnetischen Kraftlinien aus der
Stirnfläche mit der öffnung und aus der Scheibe des Jochs heraustreten und in den Kathodenschirm
gelangen.
Zwischen der Stirnfläche mit der öffnung und dem
Kathodenschirm ist koaxial zum Gehäuse eine flache Ring-Anode mit einem Ringspalt angeordnet, wobei
dieser Spalt gegenüber dem Spalt liegt, der durch die S'irnfläche mit der öffnung und die Scheibe gebildet ist.
Außerhalb des Gehäuses, seitlich der Stirnfläche mit der Öffnung, ist eine Beschleunigungselektrode vorgesehen.
Die Beschleunigungselektrode ist als Scheioe aus einem nichtmagnetischen Material hergestellt und hat
einen Ringspalt, koaxial zum Gehäuse, und ist gegenüber dem Spalt angeordnet, der durch die
Stirnfläche mit der öffnung und die Scheibe gebildet ist.
Hinter der Beschleunigungselektrode, in der Bewegungsrichtung des erzeugten lonenstroms, ist eine
Brems- oder Verzögerungselektrode untergebracht. Die Bremselektrode ist analog der Beschleunigungselcktrodc
ausgeführt und hat einen Ringspalt, der gegeniiber der Beschleunigungselektrode gerichtet ist.
In das Gehäuse wird der Arbeitsstoff, z. B. Aigongi.s.
eingebracht, aus dem die Ionen erzeugt werden.
Das ArbeitsprinziD dieser Ionenquelle Desteht im
folgenden:
Die von der Oberfläche der heißen Kathode emittierten Elektronen prallen auf ihrer Bahn mit den
Molekülen des Arbeitsstoffs zusammen und ionisieren , ihn. Zwischen der Kathode und der Anode entsteht eine
Entladung. Das dabei gebildete Plasma diffundiert längs des durch die beiden Spulen erzeugten Magnetfelds zum
Ringspalt, der durch die Stirnfläche mit der Öffnung und die Scheibe gebildet worden ist. Bei Anlegen einer
Hi hinreichend hohen Spannung zwischen dem Gehäuse und der Beschleunigungselektrode werden von der
Plasmagrenze die Ionen extrahiert, beschleunigt, dann auf die erforderliche Energie gebremst und in einen
Strahl von der zwischen der Beschleunigungs- und der
ι ·-, Bremselektrode angelegten Spannung geformt.
Die Plasmagrenze wird je nach der zwischen dem Gehäuse und der Beschleunigungselektrode angelegten
Spannung eingestellt. Die Dichte des extrahierten lonenstroms wird durch die angelegte Spannung und
_>o den Abstand zwischen der Plasmagrenze und der
Bcsehleunigungselektrode bestimmt. Ferner wird die Dichte des durch die Öffnung in der Beschleunigungselektrode
fließenden Stroms durch die Eigen-Rauinladung des Ionenstrahls selbst beschränkt, deren Wirkung
_>i eine Zerstreuung des Ionenstrahl hervorruft, weshalb
die Erzeugung geformter Ionenstrahlen von hoher Intensität erschwert wird, was gerade ein wesentlicher
Mangel der oben beschriebenen Ionenquelle ist.
Darüber hinaus erfolgt die Extraktion und Formung
«ι des Ionenstrahl mit Hilfe eines Mehrelektrodensystems,
an dem Verluste des lonenstroms entstehen.
Zu den Nachteilen der genannten Ionenquelle gehören ferner komplizierte Bauart, großes Gewicht,
sperrige Außenmaße und komplizierte Bedienung
ν, (erschwerte Justierung, große Anzahl der Speisequellen).
Bekannt (CH. Weissmantel et al, New Developments
in lon Beam Sputtering and Etching Techniques, Proc. bth lnternl. Vacuum Congr. 1974, Japan. J. Appl. Phys.
4« Suppl. 2, Pt. 1, 1974 S. 509-512) ist ferner eine
Ionenquelle, deren Gehäuse einen Hohlzylinder darstellt, der an einer Seite durch eine ebene Stirnfläche
abgeschlossen ist. In diesem Hohlzyünder-Gehäuse ist
auf dessen Stirnfläche, koaxial zu ihm, mit einem Ende
4) ein hoher Innenzylinder befestigt. Der Innenzylinder
und das Gehäuse sind so zueinander angeordnet, daß die der Stirnfläche des Gehäuses gegenüberliegenden
Enden in einer Ebene liegen. An diesen Enden des Gehäuses und des Innenzyhnders sind zwei flache Ringe
so befestigt, die eine Antikathode darstellen. Diese beiden Ringe liegen in einer Ebene und sind konzentrisch und
koaxial zum Gehäuse so angeordnet, daß der zwischen ihnen gebildete Spalt sich im Raum zwischen dem
Gehäuse und dem Innenzylinder befindet. Dieser Raum
π bildet die Entladungskammer, während der Spalt zur
Extraktion der Ionen aus dem Plasma dient, das in der Eniladungskammer erzeugt worden ist. In der Entladungskammer,
an der flachen Stirnseite, gegeniiber dem durch die genannten Ringe gebildeten Spalt, ist eine
so Ring-Kathode angeordnet, zu deren beiden Seiten, konzentrisch und koaxial zum Gehäuse, zwei Zylinder
vorhanden sind, die die Anode darstellen.
Außerhalb der Entladungskammer, seitlich der Antikathode,sind mit Hilfe zylindrischer llolilisolatoren
an den Enden des Gehäuses und des Innenzylinders, auf
dem die Antikathodenringe befestigt sind, parallel /ur Antikathodcnebene zwei Ringe befestigt, die die
Heschleunigiingselektrode bilden, in der ein Ringspalt
gegenüber dem Spalt in der Antikathode ausgeführt ist.
Der Arbeitssioff, /. B. Argongas, wird in die EnlladungskamiiKT
eingeführt. Die Ionenquelle ist im Magnetfeld so angeordnet, daß die magnetischen Kraftlinien längs
der Gehäuseachse verlaufen.
Bevor die von der Oberfläche der heißen Kathode emittierten Elektroden an die Anode gelangen, ionisieren
sie auf ihrer Bahn den Arbeitssloff (Argongas). In der Entladungskanimcr erfolgt eine Entladung. Das
dabei gebildete Plasma bewegt sich durch die Diffusion längs der Kraftlinien des Magnetfelds zur Antikathode.
Bei Anlage einer entsprechenden Spannung zwischen der Antikathode und der Beschleunigungselektrode
werden von der Plasmaoberfläche durch den Ringspall in der Antikathode die Ionen des Arbeitsstoffs
extrahiert, beschleunigt und in ein Bündel geformt. Dabei gelangen die Ionen teilweise auf die Beschleunigungselektrode
und schlagen Sekundärelektronen heraus, die entgegen dem lonenstrom beschleunigt werden,
auf die Oberfläche der Entladungskammer, der Kathode und Anode prallen, sie erwärmen und schließlich
zerstören. Beim Durchgang des Ionenstrahl durch das Restgas wird dieser ionisiert, wobei die nun entstehenden
Elektronen gleich den Sekundärelektronen unbehindert auf die Oberfläche der Entladungskammer und
ihrer Elemente gelangen, sie erwärmen und zerstören, was einen wesentlichen Mangel darstellt. Ein weiterer
Nachteil dieser Bauart ist, daß die Dichte des von der Plasmagrenze extrahierten lonenstroms durch die
angelegte Spannung und den Abstand zwischen der Plasmagrenze und der Beschleunigungselektrode bestimmt
wird, während die Einstellung der Plasmagrenze von der angelegten Spannung abhängt.
Darüber hinaus wird die Dichte des durch die öffnung
der Beschleunigungselektrode hindurchgehenden lonenstroms durch die Eigen-Raumladung des lonenstrahls
selbst begrenzt.
Die Wirkung der Eigen-Raumladung verursacht ein Streuen des Ionenstrahl, wodurch die Erzeugung
zweckmäßig geformter lonenstrahlen hoher Intensität erschwert wird.
Schließlich ist bekannt (W. A. Nikitishij et al. Der
Austritt von Ionen in Vakuum aus in gekreuztem elektromagnetischem Feld kontrahierter Ladung. Zeitschrift
f. techn. Physik, Band 44, 1974, Heft 6. )uni.
S. 1333) eine Ionenquelle mit einem Hohlzylinder-Gehäuse, dessen eine Stirnfläche geschlossen ausgeführt ist
und dessen andere Stirnfläche eine runde Öffnung hat. Im Gehäuse ist koaxial zu ihm ein Stab untergebracht,
der mit einem Ende an der geschlossenen Stirnfläche des Gehäuses befestigt ist.
Das andere Stabende ist in der Öffnung der zweiten Stirnfläche so angeordnet, daß zwischen der Mantelfläche
des Stabs und der Öffnungswandung dieser Stirnfläche ein Ringspalt für den Austritt der Ionen
entsteht.
Das Gehäuse und der Stab sind aus weichmagnetischem Material hergestellt. Innerhalb des Gehäuses ist
an dessen Mantelfläche eine Elektromagnet-Spule so befestigt, daß durch das durch diese Spule erzeugte
Magnetfeld das freie Stabende und die Öffnungswandung eine entgegengesetzte magnetische Polarität
haben, d. h. im Ringspalt ein radiales Magnetfeld erzeugt wird
Im Gehäuse ist rings um den Stab und koaxial zu ihm eine Hohlzylinder-Anode angeordnet.
Außerhalb des Gehäuses ist seitlich der Stirnfläche mit der öffnung, koaxial zum Gehäuse, eine Ring-Kaihode
angeordnet.
Hinter der Kathode ist in Bewegungsrichtung des
er/eugien lonenslrahls eine Bcschleunigungsclcktrode
vorgesehen. Die Beschlcunigungsclekirode ist als eine
Scheibe mit einer Öffnung ausgeführt, wobei die
Öffnung der Bcschlcunigungsclcktrodc koaxial /um
Gehäuse, gegenüber der Öffnung in dessen Stirnfläche,
liegt.
In das Gehäuse wird der Arbeitsstoff, /.. H. Argongas,
eingeführt.
Das Arbeitsprinzip dieser Ionenquelle besieht im folgenden:
Die von der Oberfläche der geheizten Kathode emittierten Elektronen bewegen sich längs der Kraftlinien
des elektrischen Felds innerhalb des Gehäuses zur Anode, im Gehäuse erfolgt eine Ionisierung des Gases.
Das dabei gebildete Plasma füllt den Innenraum des Gehäuses aus. Legt man eine Hochspannung bis 10 kV
an, so erfolgt zwischen dem Gehäuse und der Bcschleunigungselektrode eine Extraktion. Beschleunigung
und Formung der Ionen zu einem Strahl.
Der beschriebenen Ionenquelle haftet eine Reihe von
Mangeln an:
Die Intensität des mit ihr erzeugten lonenstrahls ist gering, da die Eigen-Raumladung des lonenstrahls die
Extraktion der Ionen von der Plasmaoberfläche erschwert und eine Steigerung der Dichte des
lonenstroms behindert. Die Gegenwart der Eigen-Raumladung des lonenstrahls erschwert das Formen
des lonenstrahls, wodurch Verluste des lonenstroms an der Beschleunigungselektrode entstehen.
Die beim Beschüß der Beschleunigungselektrode mit Ionen erzeugten Sekundärelektroden zerstören die
Stirnfläche des Gehäuses mit der runden öffnung.
Die Beschleunigungselektrode befindet sich unmittelbar in der Zone der Plasmabildung, so daß ihre gesamte
Oberfläche dem intensiven lonenbeschuß ausgesetzt ist. wodurch die Beschleunigungselektrode überhitzt und
schließlich zerstört wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, unter Beseitigung der angeführten Mangel der genannten
lonenquellen eine Ionenquelle zu entwickeln, in der eine
Intensitätssteigerung des lonenstrahls durch Kompensation der Eigen-Raumladung des lonenstrahls während
dessen Erzeugung erfolgt.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe erfolgt nach der Lehre des Kennzeichens des Patentanspruchs
1.
Die Ausführung der Stirnfläche des Zylinder-Gehäuses und des Stabs mit der Scheibe aus weichmagnetischem
Material gestattet, in der Erzeugungs- und Formungszone des lonenstrahls ein radiales Magnetfeld
zu erzeugen, dessen Kraftlinien senkrecht zu den Kraftlinien des die Ionen beschleunigenden elektrischen
Felds verlaufen. Das ermöglicht eine Elektronenwanderung in der Erzeugungs- und Formungszone des
Ionenstrahls und somit die Erzeugung eines Elektronenstroms, der die Eigen-Raumladung des lonenstrahls
kompensiert.
Die Anordnung der Glüh-Kathode vor der Stirnfläche des Zylinder-Gehäuses ermöglicht die Erzeugung
eines Elektronenstroms zum weiteren Ausgleich der Eigen-Raumladung des lonenstrahls.
Außerdem ermöglicht die Glüh-Kathode eine Stromneutralisation des lonenstrahls auf dem Target (Werkstück).
Die Erfindung wird vorteilhaft weitergebildet durch die Lehre des Patentanspruchs Z
Aul diese Weise werden optimale Bedingungen für
die Kompensation der Ligen-Raumladung des Ionenstrahl
geschaffen.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es
zeigt
F i g. 1 schemalisch das Ausführungsbeispiel der ei findungsgemäßen Ionenquelle im Längsschnitt;
I ι g. 2 schemalisch die Ionenquelle in Pfeilrichtung A:
F i g. 3 schematisch den Schnitt lll-lll der Ionenquelle
von I- i g. I;
Fig.4 eine erste Kantenformvariante der öffnung
des Hohlrings sowie der öffnungskanten der Stirnfläche des Zylinder-Gehäuses und der Scheibe; und
Fig. 5 eine zweite Kanlenformvariante der öffnung
des Hohirings sowie der öffnungskanien der Stirnfläche
des Zylinder-Gehäuses und der Scheibe.
Die Ionenquelle zur Erzeugung eines hohlzylindrischen Ionenstrahl enthält ein Hohlzylinder-Gehäuse 1
(Fig. 1-3), dessen eine Stirnfläche 2 geschlossen ist
und dessen andere Stirnfläche 3 eine runde öffnung hat. Innerhalb des Gehäuses 1 ist ein Rund-Stab 4
vorhanden, der koaxial zum Gehäuse 1 angeordnet ist und mit einem Ende an der geschlossenen Stirnfläche 2
starr befestigt ist. Am freien Ende des Stabs 4 ist eine Scheibe 5 befestigt, die in der Ebene der Stirnfläche 3
mit der Öffnung so angeordnet ist, daß zwischen der Mantelfläche der Scheibe 5 und der Öffnungswandung
der Stirnfläche 3 ein Ringspah zum Austritt der Ionen gebildet wird.
Das Gehäuse 1, der Stab 4 und die Scheibe 5 sind aus weichmagnetischem Material ausgeführt, beispielsweise
aus Stahl mit Kohlenstoff bis 0,1 %, Silizium bis 0,2% und Mangan bis 0.4%.
Im Gehäuse I ist koaxial zu ihm an dessen Mantelfläche eine Elektromagnet-Spule 6 so befestigt,
daß durch das von ihr erzeugte Magnetfeld die Mantelfläche der Scheibe 5 und die Öffnungswandung
der Stirnfläche 3 eine entgegengesetzte magnetische Polarität haben, d. h. im Ringspalt zwischen den
öffnungskanten der Stirnfläche 3 und der Scheibe 5 ein radiales Magnetfeld entsteht.
Der Querschnitt des Stabs 4 ist so gewählt, daß gleichzeitig mit dem radialen Magnetfeld zwischen den
Öffnungskanten der Stirnfläche 3 und der Scheibe 5 innerhalb des Gehäuses 1 ein axiales Magnetfeld
entsteht. So wird z. B. bei einer Querschnittsfläche des Stabs 4 von 80 bis 120 mm2 innerhalb des Gehäuses 1 ein
axiales Magnetfeld von 24 000 bis 40 000 A/m Feldstärke erzeugt, wobei das radiale Magnetfeld im Ringspalt
80 000 bis 120 000 A/m beträgt.
Im Gehäuse 1 ist koaxial zum Stab 4 ein Hohlring 7 mit einem Ringspalt in der Stirnfläche 8 gegenüber dem
Ringspalt der Stirnfläche 3 des Gehäuses 1 angeordnet. Der Hohlring 7 ist aus nichtmagnetischem Material, z. B.
aus Kupfer bzw. Molybdän, ausgeführt. Der Hohlring 7
ist vom Gehäuse 1 und der Elektromagnet-Spule 6 elektrisch isoliert.
Innerhalb des Hohlrings 7, in der Zone des homogenen Magnetfelds, das durch die Elektromagnet-Spule
6 erzeugt wird, ist ungefähr im gleichen Abstand von den beiden Stirnflächen des Gehäuses 1, koaxial mit
dem Gehäuse 1. eine Ring-Kathode 9 angeordnet die z. B. aus Wolframdraht von 2 mm Durchmesser
ausgeführt sein kann. Die Kathode 9 ist so angeordnet. daß die Kraftlinien des axialen Magnetfelds, das von der
Elektromagnet-Spule 6 erzeugt wird, durch die Kathode 9 und den Ringspah der Stirnfläche 8 des Hohlrings 7
verlaufen.
Im llohlring 7, zwischen der Kathode 9 und der
Stirnfläche 8 des Hohlrings 7, ist koaxial mil dem Gehäuse 1 eine Ring-Anode 10 angeordnet. Die Anode
10 ist deshalb in der Nähe der Kathode 9 angeordnet um den Wert der zwischen der Kathode 9 und der
Anode 10 angelegten Zünd- und Brennspannung der Entladung zu verringern.
Um die Bahn der Elektronen von der Kathode 9 zur Anode 10 zu verlängern und damit auch den
lonisationsgrad des Arbeitsstoffs zu erhöhen, wird der Innendurchmesser der Anode 10 etwas größer als der
Außendurchmesser der Kathode 9 ausgeführt.
Außerhalb des Gehäuses 1 ist vor seiner Stirnfläche 3 mit der Öffnung, koaxial zu ihm, eine Ring-Glüh-Kathode
ίί angeordnet. Die Giüh-Kathode Ii dient zum
Erzeugen eines gegensinnigen Elektronenstroms, der die Eigen-Raumladungdes Ionenstrahl im Erzeugungsbereich des Ionenstrahl kompensiert. Folglich muß die
Glüh-Kathode 11 genügend viel Elektronen emittieren, weshalb sie aus einem beliebigen entsprechenden
Material, z. B. Wolfram oder Tantal, hergestellt ist.
Die Glüh-Kathode 11 ist in der Nähe der Stirnfläche 3
des Gehäuses 1 angeordnet. Der Abstand zwischen der Glüh-Kalhode 11 und der Stirnfläche 3 des Gehäuses 1
hängt von der Feldstärke des radialen Magnetfelds ab, das durch die Elektromagnet-Spule 6 in der Nähe der
Stirnfläche 3 des Gehäuses 1 erzeugt wird. Bei einer Erhöhung der Feldstärke des Magnetfelds wird dieser
Abstand vergrößert. Im beschriebenen Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Ionenquelle beträgt dieser
Abstand 25 bis 40 mm bei einer Feldstärke des radialen Magnetfelds von 80 000 bis 120 000 A/m. Bei diesem
Abstand ist eine Einwirkung der durch die Elektromagnet-Spule 6 erzeugten Streufelder auf die von der
Oberfläche der Glüh-Kathode 11 emittierten Elektronen praktisch ausgeschlossen. Der Durchmesser der
Glüh-Kathode 11 wird so gewählt, daß sie vom sie durchsetzenden Ionenstrahl nicht gestreift wird; anderenfalls
wird die Glüh-Kathode 11 einem intensiven lonenbeschuß ausgesetzt, was ihren schnellen Verschleiß
herbeiführt. Praktisch muß der Durchmesser der Glüh-Kathode 11 den Öffnungsdurchmesser der Stirnfläche
3 des Gehäuses 1 um 5 bis 15 mm übersteigen.
Eine Hochspannungs-Quelle (nicht gezeigt) ist mit » + « an den Hohlring 7 und » —« an das Gehäuse 1
angeschlossen, so daß die Stirnfläche 3 mit der öffnung und die Scheibe 5 ein Mittel zum Extrahieren und
Beschleunigen der Ionen werden, die im Hohlring 7 erzeugt worden sind. d. h. sie bilden eine Beschleunigungselektrode.
Die Form dieser Beschleunigungselektrode und des Hohlrings 7 sowie ihre gegenseitige Lage werden so
gewählt, daß die Kraftlinien des radialen Magnetfelds, das durch die Elektromagnet-Spule 6 erzeugt wird, mit
den Äquipotentialflächen des elektrischen Felds auf der Strecke (Beschleunigungsstrecke) zwischen dem Hohlring
7 und der Beschleunigungselektrode miteinander zusammenfallen. Auf diese Weise werden auf der
Beschleunigungsstrecke ein elektrisches und ein magnetisches Feld erzeugt, die senkrecht zueinander gerichtet
sind. Dabei kann man durch entsprechende Änderung der Form und der gegenseitigen Lage des Hohlrings 7
und der Beschleunigungselektrode den Ionenstrahl entweder zu einem Fleck von 5 bis 20 mm Durchmesser
fokussieren oder ihn längs der Ionenquellenachse in Form eines Zylinderrohrs auf eine Strecke bis 600 mm
und darüber richten oder auch auf eine größere Fläche
defokussieren. Die optimale Form der Beschleunigungselektrode
und des Hohlrings 7 sowie ihre gegenseitige Lage hängen vorn Wert der angelegten Hochspannung
ab und können so ausgeführt werden, wie das in Fig. 4
und 5 gezeigt wird.
Bei einer Spannung zwischen der Beschleunigungselektrode (d. h. der Stirnfläche 3 des Gehäuses 1 und der
Scheibe 5) und dem Hohlring 7 von 0,2 bis 5 kV werden die Kantenform der öffnung der Stirnfläche 3 des
Gehäuses 1 und der Scheibe 5 sowie die Kantenform der öffnung im Hohlring 7 gemäß F i g. 4 ausgeführt. Dabei
liegt der Wert der Strecke h zwischen dem Hohlring 7 und der Beschleunigungselektrode im Bereich von 1,0
bis 2,5 mm.
Bei einer Spannung zwischen der Beschleunigungselektrode und dem Hohlring 7 von 6 bis 10 kV wird die
Kantenform der Öffnung der Stirnfläche 3 des Gehäuses 1 und der Scheibe 5 sowie die Kantenform der öffnung
im Hohlring 7 gemäß F i g. 5 ausgeführt. Dabei liegt der Wert der Strecke h zwischen dem Hohlring 7 und der
Beschleunigungselektrode im Bereich von 3 bis 3,5 mm.
Die Arbeit der Ionenquelle beginnt mit der Zufuhr des Arbeitsstoffs (z. B. Argongas) in den Hohlring 7, aus dem
die Ionen erzeugt werden.
Das Arbeitsprinzip der beschriebenen Ionenquelle besteht im folgenden:
Zunächst wird die Ionenquelle an eine Arbeitsvakuumkammer (in F ι g. 1 nicht dargestellt) angeschlossen,
die z. B. mit Hilfe einer allgemein bekannten öldiffusions-Hochvakuumpumpe evakuiert wird. Dann wird
die Ionenquelle an ein Wasserkühlsystem (nicht gezeigt), an Stromversorgungen und an ein Zufuhrsystem des Arbeitsstoffs (z. B. Argongas) (nicht gezeigt)
angeschlossen. In der Vakuumkammer wird ein Unterdruck von ungefähr 1,33 · 10-* Pa erzeugt.
Dann wird die Kathode 9 mit 140 A Gleichstrom auf die Emissionstemperatur erwärmt. Nun schaltet man die
Stromversorgung der Elektromagnet-Spule 6 ein, wonach mit Hilfe einer Anströmvorrichtung (nicht
gezeigt) das Argongas in die Ionenquelle eingebracht wird. Der Argonstrom wird so lange erhöht, bis sich in
der Vakuumkammer ein Unterdruck von 1,33 — 2,66 · 10"2 Pa bei einer effektiven Evakuierungsgeschwindigkeit von 1000 l/s eingestellt hat. Sodann
wird die Spannungsquelle der Anode 10 eingeschaltet und eine Spannung zwischen der Kathode 9 und Anode
10 im Bereich von 40 bis 70 V angelegt. Im Hohlring 7 zündet dabei eine Lichtbogenentladung, die Entladungsspannung sinkt spontan ab, und es entsteht ein
Lichtbogenstrom, den man durch eine Steigerung der Entladungsspannung auf 20 bis 30 A erhöhen muß.
Das im Hohlring 7 gebildete Plasma diffundiert längs der Kraftlinien des Magnetfelds in die Zone des
Ringspalts des Hohlnngs 7. Zwischen dem Hohlring 7 und dem Gehäuse 1 wird eine Beschleunigungsspannung angelegt. Im Spalt des Hohirings 7 bildet sich die
Plasmagrenze, von der die !onenextraktion unter der Einwirkung des elektrischen Felds erfolgt
Die Plasmagrenze wird je nach der zwischen dem Hohlring 7 und der Beschleunigungselektrode angelegten Spannung eingestellt Die Dichte des von der
Plasmagrenze extrahierten lonenstroms wird durch die angelegte Spannung und den Abstand von der
Plasmagrenze zur Beschleunigungselektrode bestimmt Außerdem ist die Dichte des lonenstroms durch den
Ringspalt der Beschleunigungselektrode durch die Eigen-Raumladung des lonenstroms selbst beschränkt
deren Wirkung eine Divergenz des Ionenstrahls hervorruft. Eine Steigerung des extrahierten lonenstroms
bei gleichem Absland von der Bcschlcunigungselcktrode
zur Plasmagrenze kann man durch eine Erhöhung der Plasmakonzentration und eine Einwirkungsverringerung
der Eigen-Raumladung des lonenstrahls auf dessen Divergenz auf der Strecke zwischen
der Plasmagrenze und der Beschleunigungselektrode erreichen.
Eine Neutralisierung der Eigen-Raumladung des
κι Ionenstrahl im Beschleunigungszwischenraum erreicht
man durch Einführung eines Elektronenstrons von der Glüh-Kathode 11 in den Bcschleunigungszwischenraum.
Für diesen Zweck wird die Stromversorgung der
Glüh-Kathode 11 eingeschaltet und diese mit 10 bis 15 A
Gleichstrom auf die Emissionstemperatur erwärmt.
Die von der Oberfläche der erwärmten Glüh-Kathode 11 emittierten Elektronen werden durch die
angelegte Spannung entgegengesetzt zur Richtung des lonenstroms beschleunigt.
Diese Elektronen gelangen in die Zone zwischen dem Hohlring 7 und der Beschleunigungselektrodi und
werden dort mit Hilfe des elektrischen und des radialen Magnetfelds, die senkrecht aufeinanderstellen, festgehalten. Indem die genannten Elektronen auf Kardioid-
bahnen längs des Ringspalts im Hohiriug 7 wandern, erzeugen sie eine negative Raumladung, die die
Eigen-Raumladung des Ionenstrahl kompensiert.
Um die Elektronen wirksam festzuhalten, müssen die magnetischen Kraftlinien des durch die Elektromagnet- Spule 6 erzeugten radialen Magnetfelds mit den Äquipotentialflächen des elektrischen Felds im Be
schleunigungszwischenraum zusammenfallen.
Die Feldstärke des Magnetfelds im Ringspalt der Beschleunigungselektrode übersteigt einen gewissen
j5 kritischen Wert, der von der Größe der Beschleunigungsspannung in der Beschleunigungszone abhängt.
Nur unter dieser Bedingung laufen die Elektronen in der Nähe der die Ionen emittierenden Fläche, d. h. der
Plasmagrenze am Hohlring 7. vorbei und gelangen an die Elektroden, die das gleiche Potential wie die
Glüh-Kathode U haben. Sobald der Ionenstrahl das Restgas passiert, wird letzteres ionisiert, und die dabei
gebildeten Elektronen beginnen unter der Wirkung des elektrischen Felds des Ionenstrahl am Strahl entlang zu
wandern, gelangen in die Beschleunigungszone und kompensieren teilweise die Eigen-Raumladung des
Betrieb der Ionenquelle mit einem Unterdruck in der Vakuumkammer von 3,99 ■ 10- 2-1,33 10-3Pa die
beim Durchlaufen des Restgases gebildeten Elektronen zum Kompensieren der Eigen-Raumladung des lonenstrahls in der Beschleunigungszone völlig ausreichen
und daß dabei ein gerichteter Argonionenstrahl von 0,2 A mit einer Energie von 1 keV bis 0,5 A mit einer
Energie von 5 keV erhalten werden kann. Bei weiterer Drucksenkung entsteht ein Elektronenmangel, so daß
man ihn nur mit Hilfe der von der Glüh-Kathode 11
erhaltenen Elektronen ergänzen kann.
Darüber hinaus ermöglicht die erfindungsgemäße Ionenquelle eine Stromneutralisation des Ionenstrahl
auf der Bearbeitungsfläche (Target). Für eine Stromneutralisierung der Raumladung des Ionenstrahls am
Target muß man an die Glüh-Kathode 11 eine negative
Vorspannung von 30—40 V gegenüber der Beschleunigungselektrode anlegen bzw. den Querschnitt und die
Länge des Drahts der Glüh-Kathode 11 so wählen, daß
der Spannungsabfall ;·η der Glüh-Kathodc 11 bei der
Ijnissionstemperatur 30-40 V betragt, wobei der Pluspol ( + )der Stromversorgung der Glüh· Kathode 11
mit der Beschleunigungselektrode verbunden sein muli
Hin Vorteil der erfindungsgemäßen Ionenquelle
12
besteht also insbesondere darin, daß man mit ihr einer,
monoenergetischen Ionenstrahl hoher Intensität erhalten kann, wobei sich eine Stromneutralisierung des
lonenstrahls am Target verwirklichen läßt.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Ionenquelle für hohlzylindrischen Ionenstrahl
— mit einer Ring-Anode und mit einer Ring-Kathode,
— die in einem Zylinder-Gehäuse mit Stirnflächen angeordnet sind,
— deren eine eine Axialöffnung hat und deren andere geschlossen ist und koaxial
zum Gehäuse mit einem Ende eines Stabs starr verbunden ist, dessen anderes Ende
eine Scheibe trägt, die in der Axiaiöffnung der Stirnfläche angeordnet ist und mit der
Wandung der Axialöffnung einen Ringspalt zum Ionenaustritt bildet,
— mit einem innerhalb des Zylinder-Gehäuses koaxial zu diesem angeordne;en, die Ring-Kathode
umgebenden Hohlring,
— der mit einem Ringspalt an seiner Stirnfläche zum Ringspalt der Stirnfläche des Zylinder-Gehäuses
hin gerichtet ist,
— mit einer innerhalb des Gehäuses koaxial zu ihm angeordneten Elektromagnet-Spule und
-· mit einer Ionen-Beschleunigungseinrichtung,
— bei der das Zylinder-Gehäuse mit den Stirnflächen und der Stab mit der Scheibe aus
wdchmagnetischem Material bestehen,
dadurch gekennzeichnet,
— daß im vom Zylinder-Gehäuse (1) elektrisch isolierten, aus nichtmagnetischem Material bestehenden
Hohlring (7) auch die Ring-Anode (10) angeordnet ist,
— daß die lonen-Beschleunigungseinrichtung dadurch
ausgebildet ist,
— daß eine Beschleunigungsspannung anliegt zwischen
— einerseits dem Hohlring (7) und
— andererseits der die Axialöffnung enthaltenden Stirnfläche des Zylindergehäuses
(1) und der Scheibe (5) und
— daß außerhalb des Zylinder-Gehäuses (1) nahe dessen Stirnfläche (3) mit dem Ringspalt koaxial
zu diesem eine Glüh-Kathode (H) angeordnet ist.
2. Ionenquelle nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
— daß der Querschnitt des Stabs (4) und die Kantenform der öffnung der Stirnfläche (3) des
Zylinder-Gehäuses (1) und der Scheibe (5) so gewählt sind,
— daß die Kraftlinien des durch die Elektromagnet-Spule (6) erzeugten Magnetfelds zwischen
den die öffnungen aufweisenden Stirnflächen (3, 8) des Zylinder-Gehäuses (1)
und des Hohlrings (7) mit den Äquipotentialflächen des von der Beschleunigungsspannung
erzeugten elektrischen Felds zusammenfallen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772712829 DE2712829C3 (de) | 1977-03-23 | 1977-03-23 | Ionenquelle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772712829 DE2712829C3 (de) | 1977-03-23 | 1977-03-23 | Ionenquelle |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2712829A1 DE2712829A1 (de) | 1978-09-28 |
DE2712829B2 true DE2712829B2 (de) | 1981-06-11 |
DE2712829C3 DE2712829C3 (de) | 1982-02-04 |
Family
ID=6004475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772712829 Expired DE2712829C3 (de) | 1977-03-23 | 1977-03-23 | Ionenquelle |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2712829C3 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2002069364A2 (en) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Kaufman & Robinson Inc. | Magnetic field for small closed-drift thruster |
CN111916326A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-11-10 | 哈尔滨工业大学 | 一种具有防护功能的离子源的导磁套筒结构 |
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1977
- 1977-03-23 DE DE19772712829 patent/DE2712829C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
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