DE2709834A1

DE2709834A1 - Kapazitiver druckfuehler

Info

Publication number: DE2709834A1
Application number: DE19772709834
Authority: DE
Inventors: Dennis K Briefer; Shih-Ying Lee
Original assignee: Setra Systems Inc
Current assignee: Setra Systems Inc
Priority date: 1976-03-29
Filing date: 1977-03-07
Publication date: 1977-10-13
Also published as: GB1551514A; JPS52126272A; FR2346704B1; US4084438A; FR2346704A1

Description

BEETZ-LAMPRECHT-BEETZ PATENTANWÄLTE

8OOO München 92 - Steinsdorfstr. 1O oipi.-ing. R. beetz sen.

TELEFON (O89) 2272O1 - 227244 · 2βΒβ1Ο . 7 DIpI.-Ing. K. LAMPRECHT

Telex B22O48-Telegramm Allpatent München Dr.-Ing. R. BEETZ Jr.

270983 A Dlpl.-Phy·. U. HEIDRICH

auch R«cr%tMnwalt

Dr.-Ing. W. TIMPE

DIpI.-Ing. J. SIEGFRIED

6d-26.631P(26.632H) 7. 3. 1977

SETRA SYSTEMS, INC., Hat ick (Massachusetts), V.3t.A.

Kapazitiver Druckfühler

Die Erfindung bezieht sich auf einen, insbesondere kapazitiven, Druckfühler.

Viele bekannte Druckerfassungseinrichtungen verwenden kapazitive Druckfühler. Typischerweise weist ein solcher Druckfühler ein Metallgehäuse mit metallischen Membranen auf. Die Genauigkeit dieser Einrichtungen unterliegt Einschränkungen, die durch den Werkstoff des Fühlers bedingt sind, vor allem, da Metalle keine guten elastischen Werkstoffe sind und das ihnen eigene zeit- und beanspruchungsabhängige Formerinnerungsver-

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mögen Hysterese und eine langsame Nullpunktevereohitbung bewirkt. Außerdem hat Metall eine relativ hohe Wärmeausdehnungszahl, wodurch die Einrichtung wiederum von Temperaturschwankungen beeinflußbar ist.

Wegen dieser Nachteile metallischer Fühler wurden bereits Fühler vorgeschlagen, die dielektrische Kapseln mit leitenden Schichten auf den Innenflächen verwenden.Typischerweise wird Quarz verwendet, das eine sehr niedrige Wärmeausdehnungszahl und nahezu perfekte Elastizitätseigenschaften hat. Quarz könnte also theoretisch zur Herstellung eines idealen Druckfühlers verwendet werden; eine weitgehende Verwendung solcher Fühler ist Jedoch aus mehreren praktischen Gründen, vor allem wegen der hohen Herstellungskosten, ausgeschlossen. Typischerweise verwenden bekannte dielektrische Druckfühler zwei vorgeformte becherförmige dielektrische Elemente, die unter Verwendung eines geeigneten Dichtungsmaterials miteinander verbunden sind und eine gasdichte Kapsel bilden. Bei anderen Ausführungen sind zwei scheibenförmige dielektrische Elemente an ihren Umfangsrändern durch einen Wulst aus Dichtungsmaterial miteinander verbunden. Das Dichtungsmaterial wird normalerweise so gewählt, daß seine Wärmeausdehnungszahl derjenigen des Durchkontaktierungs-Werkstoffs angepaßt ist. Dieser ist eine Metallegierung und hat normalerweise eine wesentlich höhere Wärmeausdehnungszahl und schlechtere Elastizitätseigenschaften als der dielektrische Werkstoff. Die Kapsel besteht daher aus einer Mehrzahl verschiedener Werkstoffe, die normaler-

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weise in bezug auf Wärmebeständigkeit einem homogeneren Aufbau unterlegen sind. Um den Einfluß des Dichtungsmaterials zu verringern, wurden bereits vorgeformte dielektrische Elemente verwendet, wodurch jedoch die Herstellungskosten stark ansteigen. Ferner gibt es monolithische verschmolzene dielektrische Kapseln mit Metalldrahtdurchführungen, die die Metallschichten an den Kapselinnenseiten kontaktieren. Da kein bekanntes Metall eine so niedrige Wärmeausdehnungszahl hat wie im übrigen geeignete dielektrische Werkstoffe wie z. B. Quarz, ist dieser Aufbau wegen der Unzuverlässigkeit der Dichtung zwischen dem Metall und dem Dielektrikum nicht verwendbar. Selbst bei befriedigenden Metall-Quarz*- Dichtungen besteht die Gefahr, daß eine Leckstelle auftritt oder eine Qualitätsverschlechterung erfolgt, wenn die Dichtung einer hohen Temperatur von z. B. mehr als 1093 ⁰C ausgesetzt ist, was beim Glühen zum Reduzieren des Aufbaus innerer Spannungen beim Verschmelzen erforderlich sein kann.

Bekannte Druckfühler aus zwei scheibenförmigen dielektrischen Elementen, die an ihrem Außenumfang durch einen Wulst aus Dichtungsmaterial miteinander verbunden sind, werden als Druckdifferenzfühler ausgebildet, indem ein Verbindungsrohr durch den Dichtungswerkstoff geführt wird, so daß ein Bezugsdruck mit dem Kapselinneren verbindbar ist. Ein solcher Aufbau ist jedoch auf einen sehr kleinen Temperaturbereich beschränkt, da der verwendete Dichtungs-

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werkstoff die Ausdehnung und das Zusammenziehen sowohl der dielektrischen Elemente als auch des Druckverbindungsglieds aufnehmen muß und gleichzeitig innerhalb eines erwünschten Betriebstemperaturbereichs gasdicht sein soll.

Obwohl dielektrische Werkstoffe wie Quarz eine relativ niedrige Wärmeausdehnungszahl haben, ergeben sich bei bestimmten Anwendungsfällen, in denen äußerst genaue Fühler erforderlich sind, durch die Temperaturabhängigkeiten bekannter, aus dielektrischen Kapseln bestehender Fühler unannehmbar hohe Meßfehler. Zwei Hauptquellen dieser Meßfehler sind:

1. die relativ hohe Wärmeausdehnungsgeschwindigkeit der leitenden Schicht und

2. der Wärmekoeffizient des Elastizitätsmoduls des dielektrischen Werkstoffs.

Ein weiterer Nachteil bekannter Druckfühler besteht darin, daß sie auf die Verwendung mit nichtkorrodierenden oder elektrisch nichtleitenden Medien beschränkt sind, so daß sich die Medien und die elektrischen Anschlüsse in den Fühlern nicht gegenseitig beeinflussen.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines mit hoher Genauigkeit arbeitenden kapazitiven Druckfühlers, der sehr betriebszuverlässig und kostengünstig herstellbar 1st;

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dabei ist er innerhalb eines relativ weiten Betriebstemperaturbereichs im wesentlichen temperaturunabhängig und eignet sich zur Verwendung in korrodierenden oder elektrisch leitenden Medien.

Nach der Erfindung werden zwei dielektrische Scheiben, deren 3ede wenigstens eine ebene Fläche, deren Rand durch eine vorgegebene Krümmung begrenzt ist, aufweist, miteinander an ihrem Umfangsrand derart verschmolzen, daß eine hohle monolithische Kapsel mit zwei im wesentlichen parallelen gegenüberliegenden Innenflächen gebildet ist. Die Kapsel wird dadurch gebildet, daß die Scheiben zuerst so angeordnet werden, daß ihre ebenen Flächen einander gegenüberliegend durch einen vorgegebenen Zwischenraum getrennt sind, der durch mehrere Abstandsstücke unterhalten wird. Dann werden relativ wenige beabstandete Punkte längs dem Umfangsrand der Scheiben zusammengedrückt und durch Beaufschlagen mit Wärme und Druck an örtlich begrenzten Bereichen nahe den beabstandeten Punkten verschmolzen. Danach werden die Abstandsstücke entfernt, und die übrigen Stellen des Umfangsrands der Scheiben werden in gleicher Weise durch Beaufschlagen mit Wärme und Druck an örtlich begrenzten Bereichen der Scheiben nahe den übrigen Umfangsrandpunkten verschmolzen. Um während des Yerschmelzens ausgebildete innere Spannungen zu reduzieren, kann die Kapsel dann bei Temperaturen von mehr als 1093 ⁰C geglüht werden. Dadurch wird eine relativ kostengünstige monolithische Kapsel mit im wesentlichen parallelen Innenflächen schnell und zuverlässig mit hoher Reproduzierbarkeit hergestellt.

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Jede der Innenflächen der Kapsel weist eine auf ihr niedergeschlagene elektrisch leitfähige Schicht auf, wobei wenigstens ein Teil jeder Schicht auf gegenüberliegenden Abschnitten der Innenflächen vorgesehen ist. Bei diesem Aufbau sind die Innenflächen der Kapsel durch einen gleichmäßigen vorgegebenen Zwischenraum nahe ihrem Umfangsrand getrennt, der durch den verschmolzenen Teil der Kapsel bestimmt ist. Von diesem Umfangsrand entfernt haben die Innenflächen jedoch einen Abstand voneinander, der durch den Druckunterschied außerhalb und innerhalb der Kapsel aufgrund der druckbedingten Durchbiegung der Kapselwandungen bestimmt ist. Da die überlappenden Teile der beiden Schichten durch eine Kapazität gekennzeichnet sind, die annähernd durch folgende Gleichung gegeben ist:

mit € - Dielektrizitätskonstante des Mediums in der Kapsel,

A = Überlappungsbereich der beiden Schichten und d a Abstand zwischen den Schichten,

liefert die Kapazität der beiden Schichten ein Maß für die an den Kapselwandungen bestehende Druckdifferenz.

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Wenn die Kapsel einen Bereich vollständig umschließt und dieser Innenbereich evakuiert ist, kann sie zusammen mit einem geeigneten elektrischen Kopplungsmittel als Absolutdruckfühler verwendet werden. Auch kann eine Druckluftverbindung verwendet werden, um an das Kapselinnere einen Bezugsdruck anzulegen. Eine solche Druckluftverbindung besteht aus einem Rohr, das in einem oder um einen Kanal bzw. ein Loch in einer der Scheiben verschmolzen ist. In weiterer Ausbildung der Erfindung ist ein Rohr zwischen den Scheiben am Kapselrand verschmolzen. Bei jeder dieser Ausführungsformen ist ein monolithischer Aufbau gebildet, wobei der Kapselinnehbereich an den Innenbereich des Rohrs angrenzt, und ein Bezugsdruck ist mittels des Rohrs mit dem Kapselinneren zusammen mit einer geeigneten elektrischen Kopplungsvorrichtung verbindbar, so daß ein Druckdifferenzfühler erhalten wird.

Bei kapazitiven Druckfühlern mit einer monolithischen dielektrischen Kapsel, die auf gegenüberliegenden Abschnitten der Kapselinnenflächen elektrisch leitende Schichten aufweist, kann sich durch die Wärmeausdehnungsgeschwindigkeit der leitenden Schichten und den Wärmekoeffizienten des dielektrischen Elastizitätsmoduls (der selbst bis zu 1 % pro 37,8 ⁰C schwanken kann) ein unannehmbar hoher Fehler ergeben. Wenn eine Kapsel nach der Erfindung z. B. als Luftdruckfühler verwendet wird, wobei die Kapsel ständig unter Druckverformung steht, kann die

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Abstandsänderung pro 37,8 ⁰C zwischen den Innenflächen der Kapsel aufgrund der Temperatur bei einem vorbestimmten Luftdruck bis zu. 3 % des Skalenendwerts betragen.

In weiterer Ausbildung der Erfindung weist die Kapsel ein Loch auf, das jede der Scheiben durchsetzt und einen Kanal vom Kapselinneren zum Kapseläußeren bildet. Die leitenden Schichten auf den Kapselinnenflächen verlaufen ununterbrochen von den Innenflächen zu den Kanalflächen und zu einem Abschnitt der jeweiligen Kapselaußenflächen, wo die Schichten mit einem der elektrischen Anschlüsse in relativ gutem elektrischen Kontakt gehalten werden. Dabei weist die Kapsel ferner eine Abdeckung auf, die über wenigstens einem dieser Kanäle liegt, an der Außenseite der Kapsel befestigt ist und eine gasundurchlässige Dichtung zwischen dem Kapselaußenbereich und dem Kapselinneren bildet. Die Dichtung und die Abdichtung können durch einen relativ verformbaren Schmelzmetallstöpsel gebildet sein, der an der leitenden Schicht am Kanal befestigt ist. Bei einem Absolutdruckfühler, bei dem das Kapselinnere evakuiert ist, sind die Kanäle in beiden Scheiben der Kapsel in dieser Weise abgedichtet.

In weiterer Ausbildung der Erfindung ist bei einem Druckdifferenzfühler nur einer der Kanäle in dieser Weise dicht, während der andere Kanal mit einem Rohr verbunden ist, das zu einer Einrichtung zum Erzeugen eines Bezugsdrucks im Kapselinneren verläuft.

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Bei Fühlern mit die Scheiben durchsetzenden Kanälen ist ferner vorgesehen» daß die Kanäle an solchen Abschnitten der Scheiben mit relativ niedriger Beanspruchung, d. h. an Belastungsumkehrstellen der Scheiben, liegen.

Durch die Erfindung wird also ein Druckfühler angegeben, der wenigstens zwei dielektrische Scheiben aufweist, die an ihren Umfangsrändern miteinander verschmolzen sind und eine hohle monolithische Kapsel mit zwei im wesentlichen ebenen gegenüberliegenden Innenflächen bilden. Die gegenüberliegenden Kapselinnenflächen sind voneinander am Umfangsrand durch einen gleichmäßigen Zwischenraum und im übrigen durch einen Zwischenraum entsprechend der Differenz zwischen dem Druck innerhalb und dem Druck außerhalb der Kapsel getrennt. Auf gegenüberliegenden Abschnitten der Kapselinnenflächen sind elektrisch leitende Schichten angeordnet. Ferner weist der Fühler Mittel zum elektrischen Verbinden jeder leitenden Schicht mit einem außerhalb der Kapsel befindlichen elektrischen Anschluß auf. Die Kapazität zwischen diesen Anschlüssen steht zu der Druckdifferenz in Beziehung.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1-9 Ausführungsbeispiele des kapazitiven Druckfühlers nach der Erfindung.

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Nach den Fig. 1 und 2 umfaßt der Druckfühler eine hohle monolithische dielektrische Kapsel 10 mit im wesentlichen ebenen gegenüberliegenden Innenflächen 12a und 14a, die voneinander nahe dem Umfangsrand 15 der Kapsel 10 durch einen gleichmäßigen vorbestimmten Zwischenraum 16 getrennt sind. Die Innenflächen 12a und 14a weisen elektrisch leitende Dünnschichten 20 bzw. 22 auf. Die Kapsel 10 ist aus zwei flachen Kreisscheiben 12 und 14 gebildet, die nahe ihrem Umfangsrand miteinander verschmolzen sind. Die Kreisscheiben 12 und 14 haben zwar bei diesem Ausführungsbeispiel im wesentlichen gleiche Dicke, in anderen Ausführungsbeispielen können jedoch Scheiben mit ungleicher Dicke vorgesehen sein. Die Kreisscheiben 12 und 14 können auch statt völlig ebene Scheiben dünne kugelige Schalenteilstücke mit komplementären, im wesentlichen ebenen Flächen sein, die durch einen relativ großen und im wesentlichen identischen Krümmungsradius gekennzeichnet sind.

Die Innenflächen 12a und 14a sind in der Kapselmitte durch einen Zwischenraum 18 voneinander getrennt, der eine Funktion der Druckdifferenz innerhalb und außerhalb der Kapsel 10 sowie der Elastizitätseigenschaften der Scheiben 12 und 14 ist. Die Scheiben bestehen z. B. aus Quarz, Glas oder Keramik.

Ferner umfaßt die Kapsel eine kapazitive Durchgangskopplung zum elektrischen Verbinden des durch die überlappenden Abschnitte der Dünnschichten 20 und 22 gebildeten Konden-

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sators mit äußeren Anschlüssen 24 und 26. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Kapsel 10 leitende Schichten 32 und 34 auf den Außenflächen der Scheiben 12 und 14 auf. Die Schichten 32 bzw. 34 überlappen Abschnitte der Dünnschichten 20 bzw. 22 auf den Innenflächen der Kapsel 10. Der Überlappungsbereich der Schichten 32 und 20 und derjenige der Schichten 34 und 22 ist im Vergleich mit dem Überlappungsbereich der Schichten 20 und 22 relativ groß. Die relativ große Kapazität, die den Überlappungsbereich der Schichten 32 und 20 und der Schichten 34 und 22 kennzeichnet, ergibt dadurch eine entsprechend große kapazitive Kopplung der den überlappenden Abschnitten der Schichten 20 und 22 zugeordneten Kapazität mit den Anschlüssen 24 und 26. Die überlappenden Abschnitte der Schichten 20 und 22 liegen mittig derart in der Kapsel 10 (d. h. sie sind durch den Zwischenraum 18 nach Fig. 6 getrennt), daß die Empfindlichkeit der Fühlerkapsel 10 für eine druckbedingte Verformung der Kapselwandungen maximiert ist.

Der Druckfühler nach den Fig. 1 und 2 ist in einer bekannten kapazitiven DruckmeAbrücke verwendbar. Dabei bewirkt die Druckdifferenz zwischen dem Kapseläußeren und dem Kapselinneren eine Verformung der Scheiben 12 und 14 in solcher Weise, daß der Zwischenraum 18 kleiner als der Zwischenraum 16 ist, wenn der außerhalb der Kapsel 10 herrschende Druck den Kapselinnendruck übersteigt, und größer ist, wenn der Druck außerhalb der Kapsel niedriger als der Kapselinnendruck ist. Infolgedessen

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haben die leitenden Dünnschichten 20 und 22 eine Kapazität, die sich mit der Druckdifferenz ändert. Nach den Fig. 1 und 2 umschließt die Kapsel 10 ihren Innenraum vollständig, und wenn das Kapselinnere evakuiert ist, ist die Kapazität zwischen den Anschlüssen 24 und 26 dem außerhalb der Kapsel herrschenden Druck proportional, wobei der Fühler als Absolutdruckfühler arbeitet.

Der Fühler nach den Fig. 3 und 4 ist als Differenzdruckfühler geeignet. Ein Rohr 30 durchsetzt die Scheibe 12 und ist damit verschweißt zur Bildung eines monolithischen Aufbaus, so daß sich der Innenbereich des Rohrs 30 an den Innenbereich der Kapsel 10 anschließt. Dabei kann mit dem Rohr 30 ein Druckbehälter verbunden sein, damit im Kapselinneren ein erwünschter Druck unterhalten werden kann. Infolgedessen ändert sich der Zwischenraum 18 als eine Funktion der Druckdifferenz außerhalb und innerhalb der Kapsel, wobei die Kapsel als Differenzdruck-Meßumformer wirkt. Im übrigen entspricht die Arbeitsweise dieses Ausführungsbeispiels derjenigen des Ausführungsbeispiels nach den Fig. 1 und 2.

Fig. 5 ist ein Querschnitt durch eine andere Ausführungsform des Fühlers nach den Fig. 3 und 4, wobei das Rohr 30 mit den Scheiben 12 und 14 längs des Kapselrands anstatt durch die Scheibe 12 verschmolzen ist. Dieser Fühler ist für Fehler, die aufgrund einer Beschleunigung der Kapsel hervorgerufen werden können, weniger empfind-

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lieh als der Fühler nach den Fig. 3 und 4.

Fig. 6 ist ein Querschnitt durch eine andere Ausführungsform des Fühlers nach den Fig. 1 und 2. Dabei sind zwei zusätzliche leitende Schichten 36 und 38 auf Abschnitten der Außenflächen der Kapsel 10 gegenüber den Schichten 32 und 34 angeordnet. Die Schichten 36 und 38 können geerdet sein, um die Auswirkungen von Rand- bzw. Streufeldern zu verringern.

Fig. 7 ist ein Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform des Fühlers nach den Fig, 1 und 2. Die Kapsel weist hohle Fortsätze 40 und 42 auf, die mit den Scheiben 12 und 14 verschmolzen sind und sich von diesen nach außen erstrecken. Die Seitenwände der Fortsätze 40 und 42 sind im Vergleich mit der Dicke der Scheiben 12 und 14 relativ dünn, und die Schichten 20 und 32 erstrecken sich fortlaufend von den Oberflächen der Scheibe 12 bis über die entsprechenden inneren und äußeren Seitenwände des Fortsatzes 40. Infolgedessen ist die für die überlappenden Abschnitte der Schichten 20 und 32 charakteristische Kapazität relativ groß im Vergleich mit der entsprechenden Kapazität des Fühlers nach den Fig. 5 und 6 aufgrund der geringeren wirksamen Trennung zwischen den Kondensatorplatten. Die Schichten 22 und 34 verlaufen gleichermaßen fortlaufend zu den Seitenwänden des relativ dünnwandigen Fortsatzes 42, so daß sich ein gleichermaßen erhöhter kapazitiver

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Kopplungskoeffizient zum Anschluß 26 ergibt. Diese Ausführungsform ist besonders wirksam, wenn der die Kapsel beaufschlagende Außendruck den Kapselinnendruck übersteigt. Bei anderen Ausführungsformen kann ein Fortsatz 40 dazu genutzt werden, die Druckluftverbindung mit einer Bezugsdruckquelle zum Beaufschlagen des Kapselinneren mit einem Bezugsdruck herzustellen.

Bei dem Fühler nach Fig. 8 ist jede Scheibe 12 und 14 der Kapsel 10 von einem Kanal durchsetzt. Die leitenden Schichten 20 und 22 verlaufen ununterbrochen von den jeweiligen Oberflächen 12a und 14a längs den Innenflächen der entsprechenden Kanäle und zu einem Abschnitt der Außenfläche der jeweiligen Scheiben 12 und 14. Die leitenden Schichten können thermisch niedergeschlagene Platinschichten sein.

Die Anschlüsse 24 und 26 sind unmittelbar mit Abschnitten der Schichten 20 bzw. 22 außerhalb der Kapsel 10 ζ. B. durch Metallverschmelzung verbunden.

Elektrisch leitende Abdeckungen 52 und 54 sind mit den entsprechenden Abschnitten der Schichten 20 und 22, die außerhalb der Kapsel 10 liegen, verbunden und bilden einen gasdichten Abschluß zum Innenbereich der Kapsel. Die Abdeckungen 52 und 54 können als verschmolzene Metallstöpsel ausgebildet sein, oder sie können gesonderte, an den Fortsätzen der leitenden Schichten befestigte leitende oder dielektrische Platten sein.

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Bei dem Fühler nach Fig. 9, der demjenigen nach Fig. 8 gleicht, bildet eine Abdeckung die Druckluftverbindung für das Kapselinnere zu der Bezugsdruckquelle, so daß ein Differenzdruckfühler gebildet ist. In diesem Fall ist die Abdeckung als Rohr 56 ausgebildet, das mit dem Abschnitt der Schicht 22 oder 20, der sich in der entsprechenden Scheibe durch den Kanal erstreckt, verbunden ist. Bei dem Fühler nach Fig. 8 sind die Kanäle in den Scheiben 12 und 14 nahe den Stellen geringster Beanspruchung, d. h. an Belastungsumkehrpunkten zwischen Bereichen von Kompressionsbeanspruchung und Bereichen von Zugbeanspruchung, angeordnet.

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Leerseite

Claims

Ansprüche

1.^Kapazitiver Druckfühler,
gekennzeichnet durch
zwei dielektrische Scheiben (12, 14) rnit je wenigstens
einer im wesentlichen ebenen .Fläche, die von einer vorbestimmten Umfangskrümmung begrenzt sind, v/obei die Scheiben (12, 14) an ihren Außenrändern verschmolzen sind, eine
hohle monolithische Kapsel mit im wesentlichen ebenen
gegenüberliegenden Innenflächen (12a, 14a) bilden, nahe
ihrem Rand durch einen gleichmäßigen vorbestimmten Zwischenraum (16) und im übrigen durch einen Zwischenraum (18) in Abhängigkeit von dem Unterschied zwischen dem Kapselaußendruck und dem Kapselinnendruck voneinander getrennt sind und wobei die Kapsel (10) auf gegenüberliegenden Abschnitten der entgegengesetzten Innenflächen (12a, Ha) innere leitende Schichten (20, 22) aufweist, und
eine Kopplungsvorrichtung zum elektrischen Verbinden der inneren Schichten (20, 22) mit am Kapseläußeren angeordneten leitenden Anschlüssen (24, 26),

wobei jede Scheibe (12, 14) der Kapsel (10) von einem Kanal durchsetzt ist,

die inneren leitenden Schichten (20, 22) sich fortlaufend von ihren gegenüberliegenden Innenflächen (12a, 14a) zur Innenseite des Kanals und zu einem Abschnitt der Außenfläche der Kapsel (10) erstrecken und mit jeweils einem der Anschlüsse (24, 26) guten elektrischen Kontakt bilden, und die Kapsel (10) eine wenigstens über einem der Kanäle
liegende Abdeckung (52, 54; 52, 56) aufweist, die an der

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ORIGINAL INSPECTED

Kapselaußenfläche befestigt ist und eine gasundurchlässige Abdichtung zwischen dem Kapseläußeren und dem Kapselinneren herstellt.

2. Druckfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (52, 54) versclunolzenes Metall ist.

3. Druckfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (52, 54) ein dielektrisches Glied ist.

4. Druckfühler nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Druckluftverbindung zum Verbinden eines Bezugsdrucks mit dem Kapselinneren.

5. Druckfühler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckluftverbindung ein über einem Kanal liegendes Rohr (56) ist, das auf der Kapselaußenfläche befestigt ist und eine gasundurchlässige Abdichtung zwischen dem Kapseläußeren und dem Rohrinneren bildet, wobei der Rohrinnenbereich an den Kapselinnenbereich angrenzt.

6. Druckfühler nach Anspruch 1 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle im wesentlichen an Belastungsumkehrstellen der Scheiben (12, 14) liegen.

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