DE2709282A1 - Massenspektrometereinrichtung - Google Patents
MassenspektrometereinrichtungInfo
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Description
845 Maude Avenue Sunnyvale, Kalif.,V.St.A.
155 Cherokee Way Portola Valley, Kalif.,V.St.A.
Ronald D. Smith
5, Rymill Close
Bovingdon, Großbritannien
235 Thomas Drive
15745 Wood Acres Road /Los Gatos,Kalif. ,V.St.A.
709837/075?
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Massenspektrometereinrichtung mit einer Gas-Einlaßvorrichtung und einem Ionisierungsraum, sowie mit einem Mehrpol-Massenfilter mit einer Vielzahl
von Elektroden, einer Fokussiereinrichtung zur Verbindung des
genannten Ionisierungsraumes mit dem genannten Massenfilter und einer Speiseschaltung zur Anlegung einer Spannung zur Festlegung
des Massewertes an die genannten Elektroden,
Die Erfindung ist auf eine Massenspektrometer-Einrichtung und
auf ein Verfahren zur Steuerung der Ionenenergie für unterschiedliche Massewerte gerichtet.
In einem Vierpol-Massenspektrometer werden Ionen über eine elektrisch programmierbare Massenfilterungsvorrichtung beschleunigt.
Nur diejenigen Ionen, die ein Massen/Ladungsverhältnis m/e aufweisen, das den aufgeprägten Spannungswerten und dem durch die
Vierpol-Stabelektroden erzeugten elektrostatischen Feld entspricht, werden an einem Detektor aufgefangen. Die Ausgangsgröße des Detektors ist eine elektrische Ladungsmenge, die der Zahl der auftreffenden Ionen pro Zeiteinheit proportional ist und damit ein
MaB für ein bestimmtes Verhältnis m/e bei der entnommenen Probe darstellt.
Es wird in der Tat nicht eine einzelne Masse ausgesondert, sondern
es wird vielmehr ein Massewert-Suchlauf ausgeführt, wobei die
zugeführte Hochfrequenzspannung und die zugeführten Gleichspannungen in konstantem verhältnis zueinander in ihrer Amplitude
erhöht werden. Das jedoch diese Spannungen einer Vierpol-Anordnung mit einer Phasenverschiebung von 180 Grad zueinander zugeführt
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werden, bleibt das Potential an der Achse der Vierpol-Anordnung
konstant und liegt normalerweise in der Nähe des Massepotentials.
überdies zeigen die theoretischen Gleichungsansätze, die zur
Beschreibung der Wirkungsweise eines Vierpol-Massenspektrometers dem Fachmann bekannt sind, theoretisch, daß der Potentialunterschied zwischen dem Ionisierungsraum, aus welchem die Ionen in
das Massenfilter injiziert werden, und der Achse der Vierpol-Anordnung konstant bleiben sollte. Jedoch haben praktische Erfahrungen gezeigt, daß dies nicht zutrifft. Insbesondere bei
niedrigen Massewerten muß der Potentialunterschied kleiner als bei hohen Massewerten sein. Bei vorbekannten Anordnungen hat man
daa dem Ionisierungsraum zugeführte Potential in solcher Weise sich verändern lassen, daß die Energie in axialer Richtung der
Vierpol-Anordnung für niedrige Massewerte kleiner als für hohe Massewerte war. Dies wurde insbesondere dadurch erreicht, daß
man bewirkte, daß sich die Ionenenergie dadurch änderte, daß eine Kippspannung an den Ionisierungsraum angelegt wurde. Sin
Nachteil lag dabei in der verzerrenden Wirkung auf das Extraktionsfeld, das durch die Fokuseiervorrichtung zwischen dem Ionisierungsraum und dem Massenfilter erzeugt wurde. Zur Aufrechterhaltung
einer guten Empfindlichkeit ist es erstrebenswert, eine einwandfreie Fokussierung aufrechtzuerhalten, d.h. die Wirkung der Ionenoptik sollte unveränderlich bleiben. Bisher ist die vorgenannte
Verzerrungswirkung auf die Fokussierung durch Änderung des Potentials am Ionisierungsraum noch nicht erkannt worden.
Nach einem alternativen, vorbekannten Verfahren wurde eine
zusätzliche Gleichspannung zwischen Massepotential und der Vierpol-Anordnung selbst eingefügt. Dies stellte jedoch nur einen
groben Kompromiß dar, der über einen weiten Massewert-Suchlauf-
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bereich wirkungslos war.
Daher ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Massenspektrometer einrichtung und ein zugehöriges Verfahren zur
Steuerung der Ionenenergie bei verschiedenen Massewerten zu schaffen, wobei die Empfindlichkeit beim Massewert-Suchlauf
und gleichzeitig damit der Wirkungsgrad der Einrichtung verbessert werden.
Die zur Lösung der gestellten Aufgabe vorgeschlagene, erfindungsgemäße Massenspektrometereinrichtung ist dadurch gekennzeichnet,
daß die genannte Spannung zur Festlegung des Massewertes aus einer Kombination einer Hochfrequenzspannung und einer Gleichspannung zur Aussonderung eines Ionen anteils mit vorbestimmtem
Massewert besteht, daß die genannte Speiseschaltung auch eine Schaltung umfaßt, die mit den genannten Elektroden verbunden
ist und auf die genannte Spannung zur Festlegung des Massewertes anspricht, zum Abgleich der Ionenenergie des genannten ausgesonderten Ions gemäß seinem Massewert durch Änderung der Potentialdifferenz zwischen dem genannten Ionisierungsraum und dem Achsenpotential der genannten Elektroden.
Gemäß der obigen Aufgabenstellung wird also eine Massenspektrometereinrichtung geschaffen, die eine Gas-Einlaßvorrichtung
und einen Ionisierungsraum aufweist. Eine Vierpol-Massenfiltervorrichtung beinhaltet eine Vielzahl von Elektroden. Eine
Fokussierungseinrichtung verbindet den Ionisierungsraum mit der Massenfiltervorrichtung. Es ist eine Schaltung zur Anlegung
einer Spannung zur Festlegung eines Massewertes vorgesehen, wobei diese spannung aus einer liombination aus einer Hochfrequenz-
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spannung V^p und einer Gleichspannung V™ von zunehmenden Amplituden
besteht, um ein Ion eines vorgegebenen Massewertes auszusondern. Dabei ist auch eine zwischen den Elektroden angeschlossene
und auf die Spannung zur Festlegung des Massewertes ansprechende Schaltung vorgeshen, zum Abgleich oder zur Feinregulierung der
Ionenenergie des ausgesonderten Ions gemäß der Masse dieses Ions, und zwar dadurch, daß der Potentialunterschied zwischen dem Ionisierungeraum
und den Elektroden verändert wird.
Im Hinblick auf das zum Einsatz gebrachte Verfahren bei dem Massenspektrometer von der oben genannten Bauform, umfaßt dieses
Verfahren den Schritt, daß zur Änderung der Spannung zur Festlegung des Massewertes das Achsenpotential der Elektroden verändert
wird, ohne daß dabei das Randfeld verändert wird, das durch die Fokussiervorrichtung im Bereich der anfänglichen Ionen-Injektion
in das Massenfilter erzeugt wird, und daß gleiche Ionengeschwindigkeiten bei verschiedenen Massewerten aufrechterhalten werden·
In folgenden wird die JSrfindung beispielsweise und anhand der
beigefügten Zeichnungen ausführlich erläutert. Bs zeigen*
Fig. 1s ein Blockschaltbild einer typischen Massenspektrometereinrichtung,
zur schematischen Darstellung,
Fig. 2s ein Diagramm zur Darstellung der Stabilität der Ionenwanderung
durch den Massenfilter, zum Verständnis von
Flg. 5: eine vereinfachte, teilweise schaubildliche Darstellung
eines Teils aus Fig. 1, mit einer hinzugefügten Schaltung 709R37/0752
zur Erzeugung des SuchlaufB, zur ISrläuterung des
Erfindungsgedankens, und
Pig.4; ein Schaltbild der erfindungsgemäßen Schaltung zur Erzeugung der Spannungen, die dem Massenfilter nach Fig. 1
zugeführt werden.
Es wird nun auf Fig· 1 bezug genommen, dort idt die Massenspektrometer einrichtung nach der Erfindung dargestellt. Eine Gasprobe 10,
beispielsweise aus einen Gaschromatographen, wird an einem Gas-Einlaß 11 in einen Ionisierungsraum 12 eingelassen, der durch eine
gestrichelte Umrßlinie angedeutet ist. Der Ionisierungsraum 12 schleißt eine Elektronenquelle 13 ein, die derart ausgerichtet
ist, daß sie Elektronen durch den Ionisierungsraum 12 richtet, zum Elektronenbeschuß der Gasprobe zur Erzeugung positiver Ionen.
Diese Zonen werden durch eine Elektronenoptik herausgezogen, die die Fokussierungsplatten 14- und 13 einschließt, und in ein
Massenfilter 17 injiziert· Das Massenfilter 17 ist eine herkömmliche Vierpol-Anordnung mit vier zvlinderförmigen Stabelektroden
18a-d. Diese Stabelektroden sind diagonal paarweise miteinander verbunden und, in der dem Fachmann bekannten Weise, an einen
Spannungseingang X und an einen Spannungseingang Ϊ angeschlossen. Am Austritt des Massenfliters 17 fängt ein Detektor 19, üblicherweise ein Sekundärelektronenvervielfacher, diejenigen Ionen auf,
die an der z-Achse des Massenfilters 17 entlang gelaufen sind, und gibt eine Ausgangsspannung ab, die der Anzahl der aufgefangenen
Ionen des vorbestimmten Massewertes proportional ist.
Im Betrieb haben die an den Spannungseingängen X und Y angelegten
Spannungen ein elektrostatisches -"eld zur Folge, das begrenzte
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hältnis m/e bewirkt, sowie unbegrenzte Schwingungen aller anderen
Ionen mit anderen m/e-Werten. Saher führen die unbegrenzten
Schwingungen dazu, daß die betreffenden Ionen an den Stabelektroden 18a-d abgefangen werden. Nur die ausgewählten Ionen treten
also zuji Detektor hin aus.
Die Spannung zur Festlegung des Massewertes besteht aus einer Kombination einer Hochfrequenzspannung VRp und einer Gleichspannung VjJ0, beide von steigender Amplitude, die die Aussonderung
des Ionenanteils eines vorbestimmten Massewertes bewirken. Fig. veranschaulicht die für die Auswahl gültigen beiden Werte HaN
und NqN für die Stabilität. Genauer ausgeführt, schließt der Wert
NaN als Parameter die Gleichspannung V~G, das Masse/Ladungsverhältnis m/e des Ionenanteils, die Kreisfrequenz der zugeführten Wechselspannung und die Größe r ein, die den effektiven
Radius des Vierpol-Massenfilters darstellt. Der Wert HqN
ändert sich mit der hochfrequenten Wechselspannung VR-. Die
Zusammenhänge für diese beiden Werte ergeben ein Gebiet, in welchem X und χ stabil sind (.l.b. die Richtungen senkrecht zur
Ionenbewegung durch die Vierpol-Anordnung hindurch, vom Ionisierungs
raum 12 zum Detektor 19),sowie Gebiete, wo X und X unstabil sind (wo die nicht ausgesonderten Ionen auf den stabelektroden 18a-d
abgefangen werden).
Für ein vorgegebenes verhältnis der spannungen vtv/^op liegen
alle Werte von "a" und "q" auf der auchlauf-Geraden (Scan Line),
die durch den Ursprung und durch zwei Teile des Stabilitätsdiagramme s. Sin Punkt auf der Suchlauf-Geraden entspricht einem
Massen/Ladungsverhältniswert m/e eines Ions. Der kleine, mit
d(ra/e) bezeichnete Geradenabschnitt , der innerhalb des Stabili-
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tätsdiagrammes liegt, entspricht dem Bereich für diejenigen Massewerte, bei denen die Bewegungsbahnen stabil sind und damit
vom Detektor beim Massewert-Suchlauf erfaßt werden. Man entnimmt, daß bei einer Erhöhung des Verhältnisses der Gleich- zur Wechselspannung VDCApp die Steigung der Suchlauf-Geraden anwächst und
damit eine größere Auflösung ergibt. Bin Massewert-Suchlauf erfolgt dadurch, daß sowohl die Gleich-, als auch die Wechselspannung erhöht werden, während jedoch das Verhältnis aus beiden
konstant gehalten wird. Es kann jedoch auch zur Ausführung eines Massewert-Suchlaufes die Frequenz verändert werden.
Im allgemeinen wird bei Vierpol- oder Mehrpol-Massenfilterungsvorrichtungen die Ionenenergie als die Energiedifferenz zwischen
dem Potential bei der Bildung des Ions und dem Acbsenpotential oder, anders ausgedrückt, dem Mittelwert dee Potentials der
Anordnung angenommen. Randfeldeffekte am Eintritt der Vierpol-Anordnung werden dabei vernachlässigt. Es ist dieses Potential,
das die Geschwindigkeit der Ionen in z-Richtung festlegt, und damit die Anzahl der Zyklen, während welcher das Ion im Feld
der Vierpol-Anordnung verweilt. Wie oben ausgeführt, zeigen die bekannten Gleichungen, daß dieser Potentialunterschied konstant
bleiben müßte. Jedoch wurde bei vorbekannten Einrichtungen das Potential verändert, um die Differenz zwischen hohen und niedrigen
Massewerten zu kompensieren. Nach der vorliegenden Erfindung geschieht dies ohne eine Verzerrung des Randleldes, so daß die
Ionen die Vierpol-Anordnung mit einem für ihre eigene Analyse günstigen Energiewert durchlaufen. Anders ausgedrückt, war bisher
die Empfindlichkeit beeinträchtigt, und die Menge und der Wirkungsgrad bei der Aufsammlung von Ionenanteilen eines Massewertes
vernindert. <<
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Fig. 3 veranschaulicht in schematischer Darstellungsweise den
Gegenstand der Erfindung und zeigt ein herkömmliches Massenfilter
17, mit Spannungseingängen X und Ϊ, die zu Stabelektronen I8a-d
führen. Die Spannungseingänge werden von einem Hochfrequenz-Signalgenerator für die Spannung VRF gespeist, der über einen Transformator
21 angekoppelt wird, gleichzeitig mit den schematisch dargestellten Gleichspannungsquellen Vp0. Die gestrichelte Linie
symbolisiert den Gleichlauf der beiden Spannungen VR-, und V™
zur Erzeugung eines Massewert-Suchlaufs, und zwar entlang der Suchlauf-Geraden nach Fig. 2, wobei beide Spannungen, YRF und
VyjQ, von steigender Amplitude sind. Dies ist soweit dem Fachmann
bekannt. Nun wird jedoch gemäß der Erfindung dem Massenfilter eine Ionenenergie-Suchlaufspannung zugeführt, die einen schematisch
dargestellten Gleichspannun^santeil 2Z und eine Suchlauf-Komponente
23 aufweist. Diese »spannung verändert das Achsenpotential
der Vierpol-Anordnung gemäß einer linearen oder einer nichtlinearen Funktion der Masse, wie unten beschrieben wird.
Die genaue Ausführungsform der erfindungsgemäßen Ionenenergie-Suchlaufschaltung
ist in Fig. 4· dargestellt. In herkömmlicher Weise gibt die spannung zur Festlegung des Massewertes, die, wie
bei 26 dargestellt, die JJOrm einer Rampe hat, sowohl für Vp1,,
als auch für VDC eine steigende amplitude vor und wird über einen
Widerstand B einem verstärker D zugeführt, der seinerseits einen Hochfrequenzgenerator m ansteuert, der zwei Hochfrequenzausgänge
zur Abgabe der Spannung VR-, hat, diese Ausgänge sind mit den
Spannungseingängen X und X des Massenfilters 17 verbunden. Somit wird dadurch eine Spannung VRp von steigendener Amplitude eingespeist.
Es ist eine Rückführungsschleife angebracht, die bewirkt, daß VRp eine lineare Funktion der den Massewert festlegenden
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Spannung bei 26 ist, und schließt einen Rückführungsdetektor G
in Reihe mit einem Widerstand C ein, der mit dem Eingang des Verstärkers D verbunden ist. Dies stellt also demnach eine
Gegenkopplungsschleife dar.
Der Ausgang des Detektors G ist ebenfalls an die Schaltung zur
Erzeugung der Gleichspannung VDC angeschlossen, die allgemein
mit 30 bezeichnet ist und einen Operationsverstärker K mit zugehörigen
Widerständen I und J zur Erzeugung der Spannung +V™
einschließt, die dem Spannungseingang X der Stabelektroden 18a-d der Vierpol-Anordnung zugeführt wird, sowie einen Operationsverstärker
P, mit zugehörigen Widerständen N und O, der die Spannung -VDC liefert, die dem Spannungseingang Y zugeführt wird.
Diese beiden Spannungen werden durch die Hochfrequenzfilter und 28 gefiltert. Eine zwischen die Eingänge der Operationsverstärker
K und P geschaltete Phasenumkehrstufe mit den Bauelementen G,R und S sorgt für eine Phasenumkehr von 160 Grad. Die
Widerstandswerte sind derart gewählt, daß die positiven und negativen Stabelektroden stets auf gleichem und entgegengesetztem
Potential liegen.
Bei allen vorhergegangenen Ausführungen gilt die Annahme, daß eine Umkehrstufe W die Ausgangsspannung null aufweist· Der Eingang
dieser Umkehrstufe W ist der Summierungspunkt 24 für die
Ionenenergie-Suchlaufspannungen 22 und 23. Zur Umkehrstufe W
gehört selbstverständlich ein Gegenkopplungs-Widerstand T. Der Ausgang der Umkehrstufe W ist mit den als Hochspannungs-Gleicbstromverstärker
wirkenden Operationsverstärkern K und P über zwei Widerstände L, bzw. M verbunden.
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Nach der Erfindung liefert ein zwischen eine +15-V- und eine -15-V-Stroraversorgung geschaltetes Potentiometer AA und ein
Widerstand U bei 22* ein Verschiebungspotential, das die Gleichspannung
22 nach Fig. 3 festlegt. Eine Suchlauf-Spannung, die
auf die Spannung zur Festlegung des Hassewertes am Eingang A anspricht, wird durch eine Umkehrstufe mit dem Verstärkungsfaktor
eins erzeugt, die aus einem Verstärker Z und Widerständen X*und Y'
an einem Potentiometer V gebildet wird, zur Erzeugung der Suchlauf-Spannung
bei 25*, die die Suchlauf-Spannung 23 nach Fig. 3 ergibt. Sie Ausgangsspannung des Potentiometers V kann derart eingestellt
sein, daß sie der Spannung zur Festlegung des Massenwertes bei A gleich ist, oder sie kann, über den Wert null hinaus, bis zu
einem Wert verändert werden, der gleich der Spannung zur Festlegung des Massewertes, aber mit umgekehrtem Vorzeichen, ist. Am Verbindungspunkt
2t- wird die Spannung bei 23* durch den Widerstand BB
mit der Spannung bei <&' summiert.
Ji1Ur den betrieb wird vorausgesetzt, daß die Widerstände U,T und BB
gleiche Werte aufweisen. Ist das Potentiometer AA derart eingestellt, daß es eine niedrige Ausgangsspannung liefert, so erscheint
eine Spannung von demselben Betrag, jedoch mit entgegengesetztem Vorzeichen, am Ausgang der Umkehrstufe W, und diese Spannung
wird den Summierungspunkten der Operationsverstärker K und P zugeführt.
Diese bummierungspunkte sind mit 29, bzw. 31 bezeichnet·
Infolge der .Phasenumkehr zum Operationsverstärker P hin, ergibt sich dort, bei 31, ein bubtraktionsvorgang, und ein Additionsvorgang am oummierungspunkt 29. Wenn beispielsweise die Ausgangsspannung
des Potentiometers aa negativ ist, so wird die Ausgangsspannung der umkehrstufe W positiv und bewirkt damit, daß die
AusgangssfMtnmingen der Operationsverstärker P und K stärker
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negativ werden. Um den Suchlaufbetrieb der Spannungen an den Spannungseingängen X und Ϊ zu den Stabelektroden 18a-d auszuführen, wird das Potentiometer V derart eingestellt, daß es eine
von null verschiedene Ausgangsspannung liefert. Wenn nun also die
Spannung zur Festlegung des Massewertes bei null liegt, so ist die Ausgangsspannung des Potentiometers V bei 23' null· Wenn jedoch
die Spannung zur Festlegung des Massewertes irgendeinen anderen Wert aufweist, der irgendeiner, durch das Massenspektrometer zu
untersuchenden Masse entspricht, so ist die Ausgangsspanung des
Potentiometers V von null verschieden. Wenn beim Durchlauf der bei A anliegenden Spannung zur Festlegung des Massewertes zu
höheren Massewerten hin die Spannung am Potentiometer V zu einem immer negativer werdenden Spannungswert hin läuft, so geht die
Ausgangsspannung der Umkehrstufe W wegen der Phasenumkehr zu immer positiveren Spannungswerten über. Dies hat die Wirkung, daß
die Ionenenergie beim Durchlaufen des Massewertbereiches zu hohen Massewerten hin erhöht wird. Es ist klar, daß die Einstellung der
Potentiometer V und AA den Abgleich der Potentialverschiebung an den ütabelektroden entweder für positive oder für negative
Ionen und für den Ionenenergie-Suchlauf in jeder Richtung in bezug auf den Massewert-Suchlauf gestattet·
Wenn es schließlich zum Zwecke des Synchrondetektorbetriebes gewünscht wird, daß das Ionenbündel eingeschaltet oder unterbrochen
wird, so kann ein Ein/Ausschalt-Synchronisiersignal an
einem Eingang CC über einen Widerstand DD dem Summierungspunkt 24·
an der Umkehrstufe W zugeführt werden.
Gemäß der Verfahrensweise der Erfindung bietet die Schaffung des Ionenenergie-Suchlaufes durch direkte Verbindung mit den Spannungs-
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eingängen X und Y des Massenfilters 17 eine Kompensationsmöglichkeit
für niedrige und hohe Massewerte» ohne das Handfeld dabei zu beeinträchtigen, das im Teilbereich der anfänglichen Ionen-Injektion
des Massenfilters 17 auftritt. Die Ionenenergie-Suchlaufspannung wird durch die Potentiometer V und AA optimal eingestellt,
um im wesentlichen die gleiche Geschwindigkeit aller Ionen aufrechtzuerhalten. Im übrigen wird im allgemeinen die Ionenenergie-Suchlaufspannung
auf den bestmöglichen Wirkungsgrad eingestellt.
Wenn auch die vorliegende Erfindung für eine Vierpol-Elektrodenstruktur
beschrieben worden ist, so ist sie gleichfalls auf andere Mehrpol-Massenfilter, wie Zwölfpol-Anordnungen, oder selbst
Einpol-Anordnungen anwendbar, die im herkömmlichen Sinne als Vierpolfilter analysiert werden. Ebenso ist die Erfindung auf
Vielpol-Filtereinrichtungen mit mehr als einem Ionenbündel anwendbar.
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L r. e * r, «■·; ί t e.
Claims (3)
1. , Massenspektrometereinrichtung mit einer Gas-Einlaßvorrichtung
und einem Ionisierungsraum, sowie mit einem Mehrpol-Massenfilter mit einer Vielzahl von Elektroden, einer Fokussiereinrichtung zur
Verbindung des genannten Ionisierungsraumes mit dem genannten Massenfilter und einer Speiseschaltung zur Anlegung einer
Spannung zur Festlegung des Massewertes an die genannten Elektroden,
dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Spannung (26) zur Festlegung des Massewertes aus einer Kombination einer Hochfrequenzspannung (Vr>p) und einer Gleichspannung (VDC) zur Aussonderung
eines Ionenanteils mit vorbestimmtem Massewert besteht, daß die genannte Speiseschaltung (22,23, A-Z,AA-CC) auch eine Schaltung
(A-Z) umfaßt, die mit den genannten Elektroden (I8a-d) verbunden
ist und auf die genannte Spannung (26) zur Festlegung des Massewertes anspricht, zum Abgleich der Ionenenergie des genannten
ausgesonderten Ions gemäß seinem Massewert durch Änderung der Potentialdifferenz zwischen dem genannten Ionisierungsraum (12)
und dem Achsenpotential der genannten Elektroden (18a-d).
2. Massenspektrometereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte Abgleich der Ionenenergie bewirkt,
daß Ionen alt verschiedenen Massewerten mit gleichen Geschwindigkeiten durch das genannte Massenfilter (17) wandern.
3. Verfahren zur Erzielung einer Wanderung von Ionen mit unterschiedlichen Massewerten mit gleichen Geschwindigkeiten durch
das Massefilter einer Massenspektrometereinrichtung nach Anspruch
1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß es den Verfahrensschritt der Veränderung des mittleren Potentials oder des Achsenpotentials
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der genannten Elektroden (I8a-d) syncbron mit der Änderung der
genannten Spannung (26) zur Festlegung des Massewertes umfaßt, ohne daß dabei das Randfeld verzerrt wird, das von der genannten
Pokuseiereinrichtung (14,15) in dem Teilbereich der anfänglichen
Ionen-InJektion des genannten Massefilters (17) erzeugt wird,
und zur Konstanthaltung der genannten gleichen Geschwindigkeiten.
709837/0752
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