DE2700981A1

DE2700981A1 - Verfahren zur justierung ebener objekte gegeneinander, vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens und nach dem verfahren justierte fluessigkristallanzeigevorrichtung

Info

Publication number: DE2700981A1
Application number: DE19772700981
Authority: DE
Inventors: Rene Dr Daendliker; Otto Lanz; Francois Dr Mottier
Original assignee: BBC Brown Boveri France SA
Current assignee: BBC Brown Boveri France SA
Priority date: 1976-12-23
Filing date: 1977-01-12
Publication date: 1978-06-29
Also published as: HK29181A; DE7834317U1; GB1582388A; CH600362A5; FR2375630A1; DE7700701U1; FR2375630B1; US4225241A

Description

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Ka/dh 22.12.76 /Kn

BBC Aktiengesellschaft Brown, üovcri & C:ic, Baiion (Schweiz)

Verfahren zur Justierung ebener Objekte gegeneinander, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und nach dem Verfahren justierte Flüssigkristallanzeigevorrichtung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Justierung ebener Objekte gegeneinander, insbesondere zweier mit transparenten Schichtelektroden versehener Glasplättchen einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung, auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und eine nach dem Verfahren justierte Flüssigkristallanzeigevorrichtung.

Bei der Herstellung von Flüssigkristallanzeigevorrichtungen ist es notwendig, zwei Glasplättchen, welche mit transparenten, durch Aufdampfen aufgetragene und durch Aetzen strukturierte Elektroden versehen sind, gegeneinander auf ca. -bO μτη genau zur Uebereinstimmung zu bringen. Wegen ungenügender Glasbruchgenauigkeit sind die strukturierten Elektroden nicht in einer definierten Lage in Bezug auf den Glasrand, so dass ein Justieren auf Anschlag die gestellten

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Anforderungen bei weitem nicht erfüllt. Aus technologischen Gründen ist ein Aufbringen von sichtbaren, dem Justierzweck dienenden Referenzpunkten, z.B. durch Aufdrucken, mit definierter Lage zur Elektrodengeometrie ausgeschlossen.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren anzugeben, welches es ermöglicht, die Glasplättchen von Flüssigkristallanzeigevorrichtungen sowie aber auch andere ebene Objekte mindestens auf 50 μπι, vorzugsweise aber auf 20 Jim, genau gegeneinander auszurichten, ohne dass der Transparenz abträgliehe Massnahmen ergriffen werden. Darüber hinaus ist es aber auch Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung anzugeben, mit deren Hilfe das Verfahren in besonders einfacher und wirtschaftlicher Weise durchgeführt werden kann.

Die vorgenannte Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass jedes einzelne der Objekte zur Bestimmung seiner Lage und zur Erzeugung einer örtlichen Phasenmodulation von durch die Objekte tretendem Licht mit transparenten strukturierten Markierungen versehen wird, dass die auf einer mechanischen Justiervorrichtung angeordneten Objekte in den Strahlengang dec von einer· Lichtquelle auugehcnden UcliLeu gebracht und die sich ergebenden Abbildungen einander entsprechender Markierungen sichtbar gemacht werden, die Lage der Objekte durch Detektion der Abbildungen festgestellt wird und die Objekte ausgerichtet und fixiert werden. Eine die vorgenannte Aufgabe lösende Vorrichtung ist gekennzeichnet durch eine Anordnung

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zum Beleuchten der transparenten Markierungen der zu justierenden Objekte mit kollimiertem Licht und zum Abbilden der Markierungen mittels von den Markierungen ausgehenden örtlich phasenmodulierten Lichtes in der Bildebene eines Dunkelfeldaufbaus und eine Anordnung zum Detektieren der Abbildungen der Markierungen und zur Lagebestimmung der Objekte. Eine gemäss der Erfindung justierte Flüssigkristallanzeigevorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass jede ihrer Glasplättchen mindestens eine transparente strukturierte Markierung aufweist.

Gemäss der Erfindung ist es möglich, ebene Objekte, etwa die Glasplättchen von Flüssigkristallanzeigevorrichtungen, sehr genau, ohne besondere Schwierigkeiten sogar besser als auf 20 um, gegeneinander zu justieren und hierbei auf die bisher notwendigen sichtbaren Referenzpunkte vollständig zu verzichten.

Eine vorteilhafte Ausführung der Erfindung besteht darin, die Abbildungen einander entsprechender Markierungen in einem optischen Dunkelfeld sichtbar zu machen und die Lage der Ob- jekte durch Detektion der Abbildungen in der Bildebene eines Dunkelfeldaufbauea der optiuchen Justiervorrichtung festzustellen, da ein derartiges Verfahren nicht nur ein zuverlässiges und schnelles und daher wirtschaftliches Herstellen von PlÜBsigkristallanzeigevorrichtungen, sondern darüber hinaus auch eine besonders genaue Justierung der Glasplätt- chen ermöglicht. Von Vorteil ist hierbei vor allem aber auch,

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dass die Markierungen in der fertigen Anzeigevorrichtung nicht zu sehen sind.

Besonders günstig ist es, die Objekte in der mechanischen Justiervorrichtung unabhängig voneinander beweglich, paral-IeI und in einem Abstand von höchstens 1 mm zueinander anzuordnen, da hierbei nur die relative Lage der zu justierenden Objekte gegeneinander als Fehlerquelle eine Rolle spielt, die durch die Koordinatenbestimmung der einzelnen Objekte und durch deren Zusammenlegen auftretenden Fehler jedoch eliminiert werden.

Zu empfehlen ist eine Detektion der abgebildeten Markierungen in der Bildebene des Dunkelfeldaufbaus mittels einer Bildaufnahmeröhre oder einer vorzugsweise im Kurzschluss betriebenen Differentialphotodiode. Da diese Methode über die Abbildung der Markierung mindestens teilweise integriert, werden kleine Unregelmässigkeiten, wie sie etwa durch Aetzen der Markierungen entstehen können, ausgemittelt. Falls die Differentialphotodiode als Halbbrücke betrieben und auf das Ausgangssignal Null justiert wird, haben Schwankungen der Beleuchtung oder des Beugungswirkungsgrades der Markierung keinen Einfluss auf die Genauigkeit des Verfahrens.

Markierungen mit periodischer Struktur, iiu'.beuondcre Streifenmuster, deren Streifen parallel zueinander, in einem grössenordnungsmässig etwa dem 10-fachen der Wellenlänge des von der Lichtquelle aus-

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gesandten Lichtes entsprechenden Abstand voneinander angeordnet sind, sind für die Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens besonders geeignet. Derartige Strukturen lassen sich bei der notwendigen feinen Teilung besser und reproduzierbarer herstellen als kompliziertere Strukturen und erleichtern darüber hinaus eine Raumfrequenzbandpass-Filterung, was sich in einem gegenüber unperiodischen Strukturen verbesserten Signal-Zu-Rauschverhältnis äussert.

Sehr zu empfehlen ist es, bei der Herstellung von Flüssigkristallanordnungen die Markierungen im gleichen Arbeitsgang wie die Strukturen der Elektroden in die Elektrodenschichten jedes Glasplättchens zu ätzen, da die Erstellung der Markierungen auf diesem Wege dann praktisch ohne kostenverursachenden Mehraufwand bewerkstelligt wird. Hierbei spielt es keine Rolle, ob die Strukturen in positiver oder negativer Form geätzt werden.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung in vereinfachter Form dargestellt.

Es zeigt

Fig. 1 den optischen Strahlengang in einer Vorrichtung zur Justierung zweier mit transparenten Markierungen versehenen Glasplättchen einer Flüssigkriatallzelle,

Fig.2 eine Aufsicht auf ein mit Markierungen versehenes Glasplättchen einer Flüssigkristallzelle,

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Fig.3 a) - d) den zeitlichen Verlauf eines längs einer Zeile abgetasteten Signals U bei Detektion der Abbildungen der Markierungen mit einem Vidikon,

e) eine Aufsicht auf die auf einem Monitor erscheinenden Abbildungen der Markierungen,

f) das längs einer Zeile abgetastete Signal U in Abhängigkeit von der Zeilenzahl N, und

Fig.4 eine Aufsicht auf eine Detektoranordnung.

In Fig.l bezeichnet 1 eine Lichtquelle, deren Licht nach Kollimation in einem Kondensor 2 zwei in einer mechanischen Justiervorrichtung 3 unabhängig voneinander beweglich, parallel und in einem Abstand von ca. 0,3 mm zueinander angeordnete Glasplättchen a und b durchsetzt.

Beide Glasplättchen haben rechteckige Gestalt bei Kantenlängen von 10 bzw. 30 mm und weisen auf ihren einander zugewandten Oberflächen strukturierte Elektroden ¹J (Hauptelektrode) bzw. 5 (Rückelektrode) mit jeweils drei Markierungen A. bzw. B., wobei i = χ, y, <p , auf. F.ine beispielsweise Anordnung der drei Markierungen des Plättchens a (Träger der Hauptelektrode) ist der Fig.2 zu entnehmen. Die Markierungen A und A dienen

x y

der translatorischen Justierung in Richtung der durch die Koordinaten χ und y bezeichneten Glasränder, während durch die Markierung l\<p die Rotation des Plättchens um einen festen Punkt, etwa um eine der beiden Markierungen A oder A , bestimmt

χ y

werden kann.

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Entsprechend, jedoch um einen Sollwert Δ N., beispielsweise 0,5 mm, in Richtung der dem i-ten Markierungspaar zugeordneten Koordinate verschoben, sind die Markierungen B. auf dem Glasplättchen b (Träger der Rückelektrode) angeordnet. Als Markierungen sind jeweils periodische Strukturen von gleichen Abmessungen und rechteckiger Gestalt vorgesehen. Bei allen Untersuchungen wurde als Struktur bevorzugt ein Streifenmuster von der Gestalt eines optischen Gitters mit Streifenabständen von ca. 25 Jim bei einer Streifenhöhe von ca. 100 pn und einer Länge von ca.

300 um verwendet. Die Markierungen A-,B-wurden zusammen mit den strukturierten Elektroden ^,5 im gleichen Arbeitsgang in die auf den Glasplättchen angebrachten ebenen Elektrodenschichten aus Zinndioxyd eingeätzt.

Nach Durchsetzen der beiden Glasplättchen wird das von der Lichtquelle 1 ausgehende Licht vom Objektiv 7 auf eine Dunkelfeldblende 6 abgebildet. Lediglich das an den strukturierten Markierungen A., B. gebeugte Licht gelangt in die Bildebene 8 eines Dunkelfeldes. Die Strukturierung der Markierungen A., B. bewirkt nämlich infolge der örtlichen Phasenmodulation eine Beugung des einfallenden Lichtes, so dass die an sich völlig transparenten Markierungen A-, B. vom ob jektiv 7 in der Bildebene 8 des Dunkelfeldes abgebildet werden und wegen der Anordnung in einem Dunkelfeld gut zu beobachten und zu detektieren sind. Als Anordnungen zum Detektieren der Abbildungen der Markierungen A^, B^ sind Bildaufnahmeröhren oder Anordnungen von Differentialphotodioden 10 vorgesehen.

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Um nun die beiden Glasplättohen a, b gegenseitig zu justieren, ist es notwendig, die relative Lage der auf diesen Plättchen aufgebrachten Markierungen zu bestimmen, Hierzu werden die Plättchen unabhängig voneinander so ausgerichtet, dass einander entsprechende Markierungen A-, B. beider Plättchen a, b an einer Detektoranordnung den gewünschten Sollwert ergeben.

Eine solche Detektion ist beispielsweise mit einer Bildaufnahmeröhre 9 möglich. Die einander entsprechenden Markierungen A-, B. werden hierbei auf eine Bildaufnahmeröhre (Si-Target Vidikon) abgebildet, wobei als Lichtquelle 1 eine infrarot (890 ti emittierende Diode verwendet wird.

Durch zeilenweises Abtasten der Bildebene 8 entsteht ein Zeitsignal, das die Information über die in der Bildebene herrschende Intensitätsverteilung enthält. In den Figuren 3a, b und c sind typische Verläufe des Videosignals dargestellt, Fig. 3e zeigt die auf einem Monitor erscheinenden Abbildungen zweier einander entsprechender Markierungen A., B₁.

Um die gegenseitige Lage der einander entsprechenden Markierungen A·, B. festzustellen, genügt es im Prinzip, den Sollwert durch die Anzahl der Abtastzeilen zwischen den Markierungen A- und B. zu bestimmen, da sowohl der Abbildungsmassstab als auch das Abtastraster konstant sind. Bedingt durch die Struktur

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der Markierung,durch kleine Kratzer oder andere Störungen auf den Gläschen, sowie systembedingtes Rauschen ist das Signal- zu Rauschverhältnis des Videosignals zu ungünstig, um ohne Signalaufbereitung eine direkte Auswertung durchzuführen. Daher empfiehlt es sich, eine Integration des Videosignals längs einer Zeile durchzuführen, um die Struktür der Markierung auszumitteln und um das systembedingte Rauschen zu reduzieren. Während das Integral des Videosignals längs einer Zeile 11 ohne Markierung, etwa gemäss den Fig. 3_a und 3c annähernd Null wird, ergibt sich bei einem Videosignal, welches eine Zeile 12 mit Markierung erfasst, ein Verlauf wie er in Fig. 2d dargestellt ist. Mit Hilfe eines Schwellwertdetektors lässt sich somit leicht feststellen ob das Videosignal eine Markierung erfasst oder nicht. Durch die Integration können sich kleinere Fehler, wie z.B. Kratzer oder Luftbläschen im Glas innerhalb oder ausserhalb der Markierungen somit nicht auswirken.

Um weitere Störeinflüsse, wie leichte Aenderung der Markierungsbreite durch den Aetzprozess oder Defokussierung der abgebildeten Markierung infolge Dickencchwankungen der Gläser zu eliminieren, ist es vorteilhaft, nicht die Zeilenanzahl zwischen den Abbildungen dor Markierungen, sondern die Zeilenanzahl vom Intensitätsschwerpunkte der Abbildung der Markierung A.des ersten Glasplättchens a zum Intensitätsschwerpunkt der Markierung B.des zweiten Glasplättchens b zu bestimmen. Bei der Auswertung ergeben dann selbst das

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Gchrägstehen der Markierungen und unterschiedliche Helligkeit (d.h. Sichtbarkeit) keine Fehler.

Die vorstehend offenbarte Detektion wurde bei Glasplättchen mit Abständen bis zu 1 mm vorgenommen und ergab in allen Fällen eine Genauigkeit bei der Abstandsbestimmung der einander entsprechenden Markierungen von 0,15?. Der Zeitbedarf für eine Auswertung einschliesslich der Normierung der Signale für ein betreffendes Stellglied (etwa einem Schrittmotor an der mechanischen Justiervorrichtung 3) betrug 60 -80 ms.

Eine Bestimmung der gegenseitigen Lage der zu justierenden Gläser a,b kann anstatt mit einem Vidikon 9 auch mit in der Bildebene 8 des Dunkelfeldaufbaus angeordneten Differentialphutodioden 10 erfolgen. In Fig.4 ist eine Aufsicht auf eine solche Detektoranordnung dargestellt.Mit 13 bzw. 14 sind hierbei die Differentialphotodioden zur Erfassung der Abbildungen der Markierungen A. bzw. B. bezeichnet. Die Bezugsziffern 15, 16, 17 und 18 bezeichnen die zu den beiden Photodioden jeweils gehörenden Detektorhälften.

Fine derartige Detektoranordnung 10 kann nun entweder fest montiert oder auf einem Verschiebe- und Drehtisch befestigt sein. Je nach ArL der Montage ergibt sich eine andere Wirkungsweise. Im Falle der verschiebbaren Detektoranordnung 10 wird z.B. in einem ersten Schritt die Differentialphotodiode 13 mit der Abbildung der Markierung A^ des fixierten Gläschens a

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in Uebereinstimmung gebracht; und danach das Gläschen b solange in der mechanischen Justiervorrichtung 3 verschoben, bis dessen Markierung B. mit der Differentialphotodiode 14 der nun arretierten Detektoranordnung 10 korrespondiert.

Bei der fest montierten Detektoranordnung 10 hingegen müssen beide Gläser a, b relativ zur Detektoranordnung justiert werden.

Beide Detektierverfahren sind in bezug auf die erreichbare Auflösung und Genauigkeit gleichwertig. Mit beiden Verfahren lassen sich die beiden Glasplättchen ohne weiteres auf 20 um genau gegeneinander justieren.

Die Grossen der Detektorhälften 15, 16, 17 und 18 werden vorzugsweise so gewählt, dass eine genügende Integration über die räumliche Intensitätsschwankung der Markierung A. bzw. B., die durch deren Struktur gegeben ist, erreicht wird. Zwischen Detektoranordnung 10 und Abbildung der Markierung A. bzw. B. herrscht dann Uebereinstimmung, wenn an den Photor detektorhälften 15, 16 bzw. 17,18 gleich grosse, von Null verschiedene Signale entstehen.

Um eine Beobachtung des Justiervorganges zu ermöglichen, empfiehlt es sich, im optischen System einen Strahlteiler und ein Okular vorzusehen. Als Lichtquelle für den Dunkel feldaufbau ist ein kleiner He-Ne Laser (rotes Licht) von ca. 1 mW Leistung besonders geeignet.

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Anstatt die beiden Glasplättchen a, b durch Uebereinanderlegen zu justieren, ist es auch möglich, die Plättchen an getrennten Orten gegenüber dem festen Koordinatensystem (Xjy»^) auszurichten, nachfolgend zusammenzulegen und einem Haltewerkzeug zu übergeben.

Anstelle der in Fig.2 dargestellten, mit einem Streifenmuster versehenen Markierungen lassen sich als strukturierte Markierungen A. auch Markierungen mit beliebigen anderen Strukturen verwenden. So können neben komplizierten Gitter- und Rasterstrukturen als besonders einfache Strukturen auch die Ränder der strukturierten Elektrodenschichten, welche ggfs. durch zusätzliche Elemente, etwa einen einzelnen den Elektrodenrand schneidenden Streifen, zu ergänzen sind, verwendet werden.

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Claims

BBC daden 123/76 Patentansprüche

1. Verfahren zur Justierung ebener Objekte gegeneinander, insbesondere zweier mit transparenten Schichtelektroden versehener Glasplättchen einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass jedes einzelne der Objekte (a, b) zur Bestimmung seiner Lage und zur Erzeugung einer örtlichen Phasenmodulation von durch die Objekte tretendem Licht mit transparenten strukturierten Markierungen (A,, B.) vorsehen wird, dass die auf einer mechanischen Justiervorrichtung (3) angeord- neten Objekte (a, b) in den Strahlengang des von einer Lichtquelle (1) ausgehenden Lichtes gebracht, und die sich ergebenden Abbildungen einander entsprechender Markierungen (A., B.) sichtbar gemacht werden, die Lage der Objekte (a, b) durch Detektion der Abbildungen fest- gestellt wird und die Objekte (a, b) ausgerichtet und fixiert werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gcknnn/.o ichnct, daso die Abbildungen einander entsprechender Markierungen (A., B.) in einem optischen Dunkelfeld sichtbar gemacht werden und die Lage der Objekte (a, b) durch Detektion der Abbildungen in der Bildebene (8) eines Dunkelfeldaufbaus festgestellt wird.

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3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Markierungen (A., B.) zur Ausmittlung ihres Intensitätsschwerpunktes zunächst auf eine Bildaufnahmeröhre (9) abgebildet, zeilenweise elektronisch abgetastet und die längs einer Zeile (11, 12) ermittelten Signale integriert werden, und sodann die Abstände ( Δ Ν.) der Markierungen zweier Objekte durch Ermittlung der Anzahl der Zeilen vom Intensitätsschwerpunkt der Markierung A. des Objektes a zum Intensitätsschwerpunkt der Markierung B. des Objektes b bestimmt werden.

¹J. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Abbildung einer Markierung (A., B.) in Richtung einer der die Lage des Objekts (a, b) festlegenden Koordinaten (x, y, ^³) mittels einer im Kurzschluss betriebenen Differentialphotodiode (13, I¹J) detektiert wird.

5· Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine Markierung (A.) des Objekts a auf eine erste Differentialphotodiode (13) und eine entsprechende Markierung (B.) des Objekts b auf eine zweite Differential- photodiode (I¹J) einer Detektoranordnung (10) abgebildet werden.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass zunächst die erste Differentialphotodiode (13) durch

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Drehen und Verschieben der Detektoranordnung (10) mit der Abbildung der Markierung A. und sodann die zweite Differentialphotodiode (1*0 durch Verschieben des Objekts b mit der Abbildung der Markierung 13. in Uebereinstimmung gebracht werden.

7. Verfahren nach" einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet j dass die Objekte in der mechanischen Justiervorrichtung (3) zunächst getrennt gegenüber einem fixen Koordinatensystem (x, y, f> ) ausgerichtet und sodann in einer Haltevorrichtung zusammengelegt und fixiert werden.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Objekte in der mechanischen Justiervorrichtung (3) unabhängig voneinander beweglieh, parallel und in einem Abstand von höchstens 1 mm zueinander angeordnet werden.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Justierung der Glasplättchen einer Flüssigkristallzelle die Markierungen (A., B.) zusammen mit der Elektrodensti'uktur in die transparenten lilektrodenschichten jedes Plättchens (a, b) geätzt werden.

10. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach An-

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spruch 1, gekennzeichnet durch eine Anordnung zum Beleuchten der transparenten Markierungen (A., B.) der zu justierenden Objekte (a, b) mit kollimiertem Licht und zum Abbilden der Markierungen mittels von den Markierungen ausgehenden örtlich phasenmodulierten Lichtee in der Bildebene (8) eines Dunkelfeldaufbaus und eine Anordnung zum Detektieren der Abbildungen der Markierungen und zur Lagebestimmung der Objekte.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung zum Beleuchten und Abbilden der Markierungen eine Lichtquelle (1), einen Kollimator (2) zum Bündeln des von der Lichtquelle (1) ausgehenden Lichtes und eine Dunkelfeldblende (6) zum Auffangen des aus dem Kollimator (2) tretenden, die Markierungen (A-,, B.) der zu justierenden Objekte (a, b) durchsetzenden Lichtes sowie ein Objekt (7) zum Abbilden der Markierungen (A., B.) aufweist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dasa als Anordnung zur Detektion dor Abbildungen sowie zur Lagebestimmung der Objekte (a, b) eine Bildaufnahmeröhre (9) vorgesehen 3ind.

13· Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass als Anordnung zur Detektion der Abbildungen und

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zur Lagebestimmung der Objekte (a, b) eine Detektoranordnung (10) vorgesehen ist, welche für die Markierungen (A., B.) jedes Objektes (a, b) eine gesonderte Differentialphotodiode (13, 1*0 aufweist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass jede Differentialphotodiode (13> I¹O zwei Detektorhälften (15, 16, 17, 18) aufweist, deren Grosse so bemessen ist, dass eine genügende Integration über die räumliche Intensitätsverteilung der abgebildeten Markierungen (A., D.) möglich ist.

15· Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, das eine monochromatische Lichtquelle (1), vorzugsweise ein He-Ne Laser von ca. 1 mW Leistung, vorgesehen ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass als Lichtquelle (1) eine infrarotemittierende Diode vorgesehen ist.

17. Flüsaigkristallanzeigevorrichtung justiert nach dem Verfahren gemüss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede ihrer Glasplättchen (a, b) mindestens eine transparente etruktuierte Markierung (A., B.) aufweist.

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18. Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Markierungen (A., B.) periodische Struktur aufweisen.

19· Flüssigkristallanzeigevorrichtung nach Anspruch l8, dadurch gekennzeichnet, dass als Markierungen (A., B.) Streifeninuster vorgesehen sind, deren Streifen parallel zueinander in einem grossenordnungsmässig der 10-fachen Wellenlänge des Lichtes der Lichtquelle (1) entsprechenden Abstand voneinander angeordnet sind.

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