DE2643810C2 - Verfahren zum Einjustieren - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einjustieren der Anschlußkontakte eines Halbleiterbauelementes auf die Kontaktfinger eines Kontaktierungsstreifens gemäß

dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise aus der US-PS 35 81 375 bekannt Dort werden die Lage eines Halbleiterchips und die Lage einer vom Halbleiterchip weit entfernten Vertiefung in einem Substrat durch optische Abtastung dreier Achsen ermittelt. Die Halbleiterchips werden dann zu einer Korrekturvorrichtung transportiert und dort entsprechend den gemessenen Abweichungen von der Soll-Lage in eine neue Lage einjustiert. Chip und Substrat werden dann zu einer dritten Station transportiert und dort zusammengesetzt

Ferner ist aus »IBM Technical Disclosure Bulletin«, VoL 17, No. 10, März 75, S. 2890—2892, ein Justiersystem bekannt, bei dem eine Justiermarke optisch auf eine Photodiodenmatrix abgebildet und durch Abfragen der Diodenmatrix Abweichungen von der Scll-Lage der Justiermarke ermittelt werden. Diese Abweichungen werden in Steuerbefehle für einen Kreuztisch umgesetzt der die Justiermarke in die Soll-Lage bringt

Die bei dem aus der US-PS 35 81 375 bekannten Verfahren benötigte große Anzahl von Transportwegen bedingt unerwünschte Justierfehler. Ferner können weitere Fehler durch die relativ komplizierte optische Abtastung in drei Achsen an weit voneinander entfernten Stellen auftreten.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 so weiterzubilden daß es bei vergrößerter Justiergenauigkeit mit nur einem optischen Erfassungssystem auskommt

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst

Die gezielte Dejustage ist notwendig, um zu verhindern, daß der Kontaktfinger den Anschlußkontakt teilweise überdeckt, da sonst die exakte Lage der beiden zu justierenden Teile nicht eindeutig bestimmbar wäre.

Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, daß es vollautomatisch abläuft und eine visuelle Beobachtung des Justiervorganges nicht mehr unbedingt erforderlich ist Mit dem beschriebenen Verfahren können besonders vorteilhaft integrierte Halbleiterschaltkreise auf sogenannte Kontaktierungsstreifen einjustiert werden, die für jeden Anschlußkontakt einen streifenförmigen Kontaktfinger enthalten. Nach der Justierung ist es möglich, in einem Arbeitsprozeß alle Anschlußkontakte des Schaltkreises gleichzeitig mit den zugeordneten Kontaktfingern zu verbinden. Diese Kontaktierung wird vorzugsweise in der auch der Justierung dienenden Anlage durchgeführt.

Die zu verarbeitenden Bildfenster des aufgenommenen Fernsehbildes müssen so groß gewählt werden, daß bei Beachtung der Zuführgenauigkeit der zu justierenden Teile in die Justieranlage jede Justierstelle mit Sicherheit innerhalb des zugeordneten Bildfensters liegt. In jedem Bildfenster muß somit eine Struktur der aufeinander einzujustierenden Teile erscheinen. Die gewünschte Deckungslage der beiden Justierstellen ist in der Datenverarbeitungsanlage als Sol'-Lage abge- ι speichert. Die nun in den Bildfenstern erscheinenden Ist-Lagen werden mit Hilfe des neuen Verfahrens mit der Soll-Lage verglichen und die bei diesem Vergleich ermittelten Abweichungen werden durch die Datenverarbeitungsanlage errechnet und danach unter Berück- ι sichtigung der vorgenommenen definierten Dejustage beider Teile in eitie entsprechende relative Verschiebung derTeile zueinander umgesetzt.

Das Fernsehbild kann zur visuellen Kontrolle, die jedoch nicht unbedingt erforderlich ist, mit Hilfe eines Monitors wiedergegeben werden. Innerhalb dieses Fernsehbildes werden dann die zu digitalisierenden und abzuspeichernden Bildfenster vorzugsweise aufgehellt wiedergegeben, so daß ein eventueller Beobachter stets feststellen kann, ob die als Justierhilfen herangezogenen Strukturen der beiden zu justierenden Teile in je einem Bilfenster liegen. Dies ermöglicht eine Kontrolle der Zuführgenauigkeit der zu justierenden Teile in die JustieranJage sowie eine Überprüfung der gezielten Dejustage.

Ein Fernsehbild besteht aus zwei Halbbildern, wobei das erste Halbbild nur die ungeraden Zeilenzahlen des Fernsehbildes enthält während im zweiten Halbbild dann die geraden Zeilenzahlen wiedergegeben werden. Es hat sich gezeigt daß es zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ausreicht, wenn nur die Bildfenster aus einem der beiden Halbbilder des Fernsehbildes digitalisiert werden. Auf diese Weise kann das Jujtierverfahren beschleunigt werden, da nicht erst die Abtastung des zweiten HalLiildes abgewartet werden muß. Im Bildfenster für den Halbleiterkörper ist vorzugsweise ein metallischer Anschlußkontakt und dessen unmittelbare Umgebung enthalten, während das zweite Bildfenster das äußere freie Ende eines Kontakt'ingers und dessen unmittelbare Umgebung erfaßt

Jedem der beiden Bildfenster ist eine Bilderfassungselektronik zugeordnet, die jeweils durch den Startimpuls des zugeordneten Halbbildes in Betrieb gesetzt wird.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist vorgesehen, daß aus den von der Fernsehkamera abgegebenen Impulsen die Zeilenimpulse und die Siartimpulse für die Halbbilder ausgefiltert werden und die Zeilenimpulse nach dem Startimpuls für das vorbestimmte Halbbild auf einen Zeilenzähler gegeben werden. Dieser Zeilenzähler löst erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Zeilenzahl die Abspeicherung eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Zeilen aus. Dies ist deswegen nötig, da ja nur uie Zeilen des Fernsehbildes, die in das Bildfenster fallen, abgefragt werden sollen. Die so ausgewählten Bildzeilen, von denen nun ein Teil abgespeichert werden muß, werden mit Hilfe eines Taktgenerators in Bildpunkte zerlegt. Dem Taktgenerator wird ein Bildpunktzähler nachgeschaltet, der erst nach einer wiederum durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Bildpunktzah! jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Bildpunkte auslöst Dieses Abzählen der Bildpunkte ist nötig, da wiederum nur die in das Bildfenster fallenden Bildpunkte digitalisiert und abgespeichert werden sollen.

Um j>;n Informationsinhalt der Bildpunkte abspeichern zu können, muß dem jeweiligen Helligkeitswert jedes Bildpunktes eine binäre Größe zugeordnet werden. Dies geschieht dadurch, daß bis zu einer bestimmten Helligkeit ein Bildpunkt als »schwarz« deklariert wird jnd mit der einen binären Größe versehen wird, während ein Bildpunkt, dessen Helligkeit den gewählten Schwellwert übersteigt, als »weiß« gilt und mit der anderen binären Größe versehet, wird. Hierzu wird während der Abtastzeit des Bildfensters das Bildsignal auf einen Komparator gegeben, indem die der Bildhelligkeit entsprechende Spannung mit einer Vergleichsspannung, die dem Schwellwert entspricht, derart verglichen wird, daß bei einer Unterschreitune

der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildes dem einen binären Wert entspricht und bei Überschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildpunktes dem anderen binären Wert »0« oder »1« entspricht. Der somit einer »Schwarz-Weiß-Information« entsprechende digitalisierte Informationsinhalt der abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile wird in ein Schieberegister mit entsprechender Stellenzahl eingeschrieben. Nach der Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile wird dann der Informationsinhalt des Schieberegisters, der aus einer Serie von »0«- und »!«-Werten besteht, in einen Computer übertragen. Nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden Bildzeilen wird im Computer der abgespeicherte Gesamtinhalt des Ist-Bildes mit dem gleichfalls abgespeicherten Gesamtbild des Soll-Bildes verglichen. Mit Hilfe eines in den Computer einzugebenden Programms werden nun die Abweichungen zwischen den Ist-Bildern und dem Soll-Bild errechnet und diese in eine entsprechende Verschiebung der zu justierenden Körper umgesetzt, wobei die vorgenommene gezielte Dejustage rückgängig gemacht wird.

Die Erfindung und ihre weitere vorteilhafte Ausgestaltung soll im weiteren noch anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden.

Anhand der F i g. 1 und 2 wird zunächst erläutert, wie eine Justierstelle, und zwar der Anschlußkontakt auf dem Halbleiterbauelement, erfaßt, abgespeichert und mit einer zugeordneten Soll-Lage verglichen wird.

Durch entsprechende Beleuchtung des Halbleiterbauelements kann man erreichen, daß sich der Anschlußkontakt sehr deutlich von seiner Umgebung abhebt. Ist zum Beispiel die Umgebung hell, der Anschlußkontakt dunkel, so genügt es. zur Digitalisierung des Bildes den Bildinhalt des Fernsehsignals mit einer »Schwarz-Weiß-Schwelle« zu vergleichen.

Zur Erzeugung des Fernsehbildes wird beispielsweise

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875 Zeilen pro Bild verwendet, die über eine Optik mit der gewünschten Vergrößerung das Bild des zu justierenden Halbleiterbauelementes erfaßt. Da die Kantenlänge von Halbleiterbauelementen bzw. integrie. ten Schaltkreisen nur wenige mm beträgt, wird die Vergrößerung der Optik beispielsweise so eingestellt, daß 200 Bildzeilen einen Bildbereich von 1 mm Breite überstreichen. In der Fig. 1 is: nun das Gesamtbild ί dargestellt, das von der Fernsehkamera erfaßt wird. Dieses Gesamtbild enthält ein Halbleiterbauelement 2 (beispielsweise einen integrierten Halbleiterschaltkreis), das an der abgebildeten Oberfläche zahlreiche An-Schlußkontakte 4 aufweist. Es genügt, wenn mit Hilfe einer entsprechenden Justieranlage einer dieser Anschlußkontakte 4 in eine vorgegebene Soll-Lage gebracht wird. Wenn diese Justierung mit hinreichender Genauigkeit erfolgt, werden mit ihr auch alle übrigen Anschlußkontakte in die erforderliche Lage gebracht Mit den heute üblichen technischen Hilfsmittel ist es möglich, ein Halbleiterbauelement oder einen integrierten Schaltkreis mit einer Zuführgenauigkeit von ca. ±100 μπι in eine gewünschte Position zu bringen. Diese Genauigkeit reicht aber nicht aus, um die Anschlußkontakte des Halbleiterbauelements beispielsweise vollautomatisch mit Kontaktfingern eines Kontaktierungsstreifens zu verbinden. Hierzu ist eine Genauigkeit von ca. ±10μπι erforderlich, die bei Anwendung des crfindungsgernäßcn justierveriahrens eingehalten werden kann.

Um die Bildzerlegung möglichst schnell durchführen

zu können, wird für eine Justierstelle nur ein Halbbild des Fernsehbildes ausgewertet. Bei einer Fernsehanlage mit 875 Zeilen pro Bild enthält somit das Halbbild 437 Zeilen, von denen für den Bildinhalt des Gesamtbildes 1 dann 410 Zeilen ausnutzbar sind. Wenn man davon ausgeht, daß die nachgeschalteten Koordinatensteuerungen, mit denen das Halbleiterbauelement verschoben wird, eine Genauigkeit von ±5 μπι haben, muß die Auflösung der Bildzeile ebenfalls bei ±5 μπι liegen, wenn die verlangte Justiergenauigkeit eine Größe von ± 10 μιη hat. Hieraus ergibt sich, daß der Zeilenabstand der erfaßten Bildzeile ca. 5 μπι groß sein muß. Bei der genannten Zuführgenauigkeit des Halbleiterbauelements durch die Mechanik der Justieranlagen von ±100 μπι und einer Größe des zu erfassenden Anschiußkontakts 4 von 100 μιη · 100 μπι muß das abzutastende Bildfenster 3 eine Mindestgröße von 300 μπι · 300 μπι haben, damit der als Justierstruktur verwendete Anschlußkontakt 4 mit Sicherheit innerhalb des abzutastenden Bildfensters 3 liegt. Bei einem Zeilenabstand von 5 μπι enthält somit das Bildfenster 3 in vertikaler Richtung 60 abzutastende Zeilen.

Die Gesamtbildgröße beträgt bei 410 Zeilen mit einem Abstand von 5 μιη und einem Bildverhältnis von 4 :3 etwa 2,73 mm · 2,05 mm. Die Optik für die Bilderfassung muß daher so gewählt werden, daß ein Bild dieser Größe von der Fernsehkamera wiedergegeben wird. Jede Bildzeile muß nun in Bildpunkte zerlegt werden, die gleichfalls einen Abstand von 5 μιη voneinander haben. Zur Abtastung einer Zeile stehen 35,5 μ5 zur Verfügung, was einer abgebildeten Zeilenlänge von 2,73 mm entspricht. Dies bedeutet, daß jede Bildzeile in 546 Bildpunkte zerlegt wird. Der Abstand zweier Bildpunkte beträgt dann 65 ns. In den Bereich des Bildfensters 3 fallen von den gesamten 546 Bildpunkten jeder Zeile 60 Bildpunkte, wenn das Bildfenster eine Breite von 300 μΐη aufweist. Da viele Datenverarbeitungsanlagen eine Wortlänge von 56 bit haben, wurde für das Bildfenster 3 eine Größe von 64 Zeilen ■ 64 Bildpunkten gewählt, das einem Justierbereich von 320 μΐη · 320 μπι entspricht.

Um jeden beliebigen Anschlußkontakt 4 des Halbleiterbauelements erfassen zu können, läßt sich das abzutastende Bildfenster 3 elektronisch an jede beliebige Stelle des Bildes bringen. Das Bildfenster wird durch eine Aufhellung des Bildes am Monitor sichtbar gemacht.

In der F i g. 2 ist das Blockschaltbild der erfindungsgemäßen Justieranlage für die Erfassung einer Justierstelle dargestellt. Die handelsübliche Fernsehkamera 20 mit 875 Zeilen pro· Bild erfaßt über ihre Optik 16 d?s Bild des zu justierenden Halbleiterbauelementes 2. Aus den bereits geschilderten Gründen wird die Vergrößerung der Optik 16 so gewählt, daß der Abstand zwischen 2 Zeilen 5 μπι beträgt Durch eine Auflichtbeleuchtung 18 über einen haibdurchlässigen Spiegel 17 wird das Halbleiterbauelement 2 so beleuchteudaß ein möglichst kontrastreiches Bild entsteht Die Anschlußkontakte 4 (Fig. 1) erscheinen tiefschwarz gegenüber der sie umgebenden Halbleiteroberfläche. Das Videosignal der Fernsehkamera wird einmal dem Monitor 19 zugeführt, der das Bild von dem Halbleiterbauelement 2 wiedergibt, zum anderen einer Elektronik 21, die aus dem Videosignal den Impuls für den Beginn des zweiten Halbbildes und die Zeilenimpulse herausfiltert Sobald der Impuls für den Beginn des zweiten Kalbbildes erscheint, werden die nachfolgenden Zeilenimpulse auf einen Zeilenzähler 9 gegeben, der Über einen

Vorwahlschalter 7 auf die Zeilenzahl voreingesiellt ist, bei der die Bildabtastung in vertikaler Richtung beginnen soll. Mit dem Vorwahlschalter kann somit die vertikale Lage des abzutastenden Bildfensters 3 eingestellt werden. Mit jedem Zeilenimpuls, der auf den Zeilenzähler 9 gelangt, wird der Zählerstand um 1 erniedrigt, bis die Stellung 0 erreicht ist. Dann zählt ein weiterer Zähler die abzutastenden 64 Zeilen, die in Bildpu.'.r.te zerlegt werden müssen. Nach diesen 64 Zeilenimpulsen ist die Abtastung in vertikaler Richtung beendet.

Mit Beginn der ersten abzutastenden Zeile, die in das Bildfenster 3 fällt, wird ein 15.J8 MHz-Taktgenerator 11 eingeschaltet, der die Zeile in Bildpunkte von 65 ns Dauer zerlegt. Die Impulse des Taktgenerators 11 werden einem Zähler 10 zugeführt, der über den Zeilenimpuls durch einen Vorwahlschalter 8 auf den Bildpunkt voreingestellt wird, bei dem die Abtastung in horizontaler Richtung erfolgen soll. Somit wird über den Vorwahischaiier der Beginn des Bildfensters in horizontaler Richtung bestimmt. Mit jedem ankommenden Bildpunktimpuls einer Zeile wird nun der Zählerstand des Bildpunktzählers 10 um 1 erniedrigt, bis der Zählerstand 0 erreicht ist. Dann zählt ein weiterer Zähler die abzutastenden 64 Bildpunkte, die im 64stelligen Schieberegister 13 abgespeichert werden sollen. Nach Ende dieser 64 Zählerschritte ist eine Zeile abgetastet. Die Auswertelektronik 12 stellt nun fest, wenn gerade die 64 Bildpunkte einer Zeile abgetastet werden. Während dieser Zeit wird das 64stellige Schieberegister 13 zur Abspeicherung der Bildpunkte freigegeben. Der Schiebetaktimpuls für das Schieberegister wird vom Taktgenerator 11 bezogen. Während der Zeit, in der die Abtastung der Bildpunkte erfolgt, wird durch die Auswerteelektronik 12 die Helligkeit des Monitors geringfügig erhöht. Man erhält dadurch auf dem Monitor einen hell erleuchtenden Bildausschnitt, rjej. Harn ekwoljetötiin RiMfonctnr ^ /Pi σ 1\ pntsryr'inht

Während der Zeit, in der die 64 Bildpunkte abgetastet werden, wird nun, wie bereits erwähnt, das 64stellige Schieberegister 13 zur Aufnahme des Informationsinhalts dieser Bildpunkte freigegeben. Um eine Schwarz-Weiß-Entscheidung für jeden Bildpunkt treffen zu können, wird das Videosignal von der Fernsehkamera einem Komparator 5 zugeführt, dem ferner eine Vergleichsspannung 6 zugeführt wird, die die Schwelle für die Schwarz-Weiß-Entscheidung definiert. Der Komparator 5 gibt also immer dann, wenn das Videosignal den Schwellwert der Vergleichsspannung überschreitet, ein Signal ab, welches dem Wert »schwarz« entspricht. Bei Unterschreitung des Schwellwertes gibt der Komparator ein Signal ab, das dem Wert »weiß« entspricht Den Werten »weiß« und »schwarz« wird nun jeweils eine binäre Größe »0« bzw. »!«zugeordnet

Während der Abtastzeit wird nun alle 65 ns in das Schieberegister 13 eine Binärgröße eingeschrieben, die dem zu diesem Zeitpunkt jeweils am Ausgang des Komparators 5 entstehenden Signalwert entspricht Nach 64 Zählimpulsen sind im Schieberegister 13 die abgetasteten 64 Biidpunkte der entsprechenden Zeile gespeichert Nach der Abspeicherung der 64 Bildpunkte einer Bildzeile erhält der Computer 14 von der Auswerteelektronik 12 einen Befehl zur Übernahme des Schieberegisterinhalts. Dieser wird dann über den schnellen Datenkana! in den Computer 14 übertragen. Auf diese Weise werden alle 64 gewünschten Zeilen abgetastet und im Computer 14 abgespeichert

Sind alle 64 Zeilen abgearbeitet, wird dies über die Auswertelektronik 12 den Computer 14 gemeldet. Nun vergleicht der Computer 14 das abgetastete Bild gemäß einem vorgegebenen Auswertprogramm mit der im Computer abgespeicherten Soll-Lage des Justierfeldes und berechnet aus den Unterschieden die Abweichung des Halbleiterbauelementes 2 von dieser Soll-Lage. Die ermittelten Abweichungen werden vom Computer 14 auf eine .Y-V-Koordinatensteuerung 15 übertragen, die

ίο Antriebsmotoren enthalten. Mit deren Hilfe kann nun beispielsweise das Halbleiterbauelement 2 in die gewünschte Soll-Lage transportiert werden.

In der Fig. 3 ist dargestellt, auf welche Weise die Anschlußkontakte 4 des Halbleiterbauelementes 2 mit den Kontaktfingern 22 eines Kontaktierungsstreifens verbunden werden. Würde man den Kontaktierungsstreifen mit den Kontaktfingern 22 und das Halbleiterbauelement 2 nicht gezielt desjustieren, so würden im erfaßten Bildfenster 3 ein Kontaktfinger 22 den

2ü Anscnluukoniakt 4 in einer von der Elektronik nicht exakt erfaßbaren Weise überlappen. Außerdem wäre der meist helle Kontaktfinger 22 gegenüber dem gleichfalls hellen Halbleiterbauelement nicht genau feststellbar.

Um den genannten Schwierigkeiten zu entgehen werden daher vor der Justierung gemäß Fig.4 der Kontaktierungsstreifen und das Halbleiterbauelement um einen definierten Abstand a gezielt dejustiert. Die Größe der Dejustage wird dabei so gewählt, daß mit Sicherheit in einem zu erfassenden Bildfenster 3a nur das äußere freie Ende des Kontaktierungsfingers 22 erscheint, während im anderen Bildfenster Zb der Anschlußkontakt 4 erscheint. Die Bildfenster 3a, 3b sind wiederum 320 μπι · 320 μπι groß. Dann ist bei der

j·, bekannten Zuführgenauigkeit der zu justierende Teil in die Justieranlage sichergestellt, daß die Justierhilfen, also der Anschlußkontakt 4 und das Ende des Kontaktfingers 22. in dem zugeordneten Bildfenster erscheinen.

Zur Bilderfassung der Bildfenster 3a und 3b wird vorzugsweise das erste Halbbild des Fernsehbildes verwendet. Selbstverständlich kann zur Erfassung des zweiten Bildfensters 36 auch der entsprechende Teil des zweiten Halbbildes aus dem Fernsehbild entnommen werden. In der Fig.5 ist das vereinfachte Blockschaltbild dargestellt. Erforderlich ist wiederum eine Fernsehkamera 20, die über eine Optik 16, einen Spiegel 17 und die Beleuchtungsquelle 18 ein Bild von dem Halbleiterbauelement 2 aufnimmt und an einen Monitor 19 bzw.

">o an die beiden Bilderfassungssysteme 23 und 24 (Detailbeschreibung siehe F i g. 2) abgibt. Die digitalisierten Bildfenster werden wiederum in einen Computer 14 eingegeben und dort mit der abgespeicherten gewünschten Deckungslage bzw. Soll-Lage beider Bilder mit Hilfe eines entsprechenden Auswertprogramms verglichen, wobei die gezielt vorgenommene Dejustage eingerechnet wird. Aus den Abweichungen werden die erforderlichen Steuerungsbefehle für die Koordinatensteuerung in x-y-Richtung errechnet Die Verschiebung des Halbleiterbauelements bzw. der das Halbleiterbauelement tragenden Unterlage, des Kontaktierungsstreifens oder beider Teile, erfolgt über entsprechend angetriebene Steuermotoren. Hierbei wird auch die Dejustage rückgängig gemacht, so daß nach dem Justierprozeß die Enden der Kontaktfinger über den Anschlußkontakten liegen und mit diesen, beispielsweise durch Löten, verbunden werden können.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Einjustieren der Anschlußkontakte eines Halbleiterbauelementes auf die Kontaktfinger eines Kontaktierungsstreifens, bei dem die Lage des Kontaktierungsstreifens und die Lage des Halbleiterbauelementes an getrennten Stellen mit Hilfe linienförmiger optischer Abtastsysteme festgestellt werden, und die mittels einer Meß- und Korrekturlogik ermittelten Abweichungen unter Einbeziehung des Abstandes zwischen den Meßpositionen in Steuerbefehle für Bewegungsvorrichtungen umgesetzt werden, mit deren Hilfe die zu justierenden Teile deckungsbildend zueinander verschoben werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktierungsstreifen und das Halbleiterbauelement (2) in der Justieranlage um definierte Strecken dejustiert werden, die nur so groß sind, daß die Justierstelle des Kontaktierungsstreifens gerade nicht die Justierstelle des HaIbleiterbauekiüentes (2) überdeckt, daß vom Halbleiterbauelement (2) und dem Kontaktierungsstreifen ein Fernsehbild erzeugt wird, daß von diesem Fernsehbild nur die Bildfenster (3, 3a, 3b), die die Ist-Lagen der Justierstellen enthalten, in Bildpunkte zerlegt werden, deren Abstand kleiner ist als die geforderte Justiergenauigkeit, daß der Informationsinhalt dieser Bildpunkte digitalisiert und abgespeichert wird, daß in einer Datenverarbeitungsanlage unter Berücksichtigung der vorgenommenen definierten Dejustage die Lage der beiden Justierstellen miteinander verglichen und Abweichungen errechnet werden, und daß die zu justierenden Teile um das Maß der errechneten Abweichungen von der gewünschten Deckungslagt der beiden Justierstellen unter Einbeziehung der definie-. ten Dejustage mit Hilfe von über die Datenverarbeitungsanlage gesteuerten Bewegungsvorrichtungen relativ zueinander verschoben werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Fernsehbild zur visuellen Kontrolle mit Hilfe eines Monitors (19) wiedergegeben wird.

3. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildfenster (3, 3a, 3b) so groß gewählt sind, daß bei Beachtung der Zuführgenauigkeit der zu justierenden Teile in die Justieranlage die Justierstellen mit Sicherheit innerhalb des Bildfensters (3,3a, 3b) liegen.

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildfenster demselben Halbbild des Fernsehbildes entnommen werden.

5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildfenster (3, 3a, 3b) je einem anderen Halbbild des Fernsehbildes entnommen werden.

6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das eine als Justierstelle dienende Bildfenster (3b) einen Anschlußkontakt (4) auf dem Halbleiterbauelement (2) und seine unmittelbare Umgebung erfaßt, während das zweite als justierstelle dienende Bildfenster (3a,) das äußere freie Ende eines Kontaktierfingers (22) und dessen unmittelbare Umgebung erfaßt.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Bildfenster (3a, 3b) eine Fläche der Größe von ca. 300 [im ■ 300 μπι umfaßt und daß die das Bild erfassende Optik (16) so gewählt wird.

daß auf jedes Bildfenster (3a, 3b) ca. 60 Zeilen des Fernsehhalbbildes entfallen.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß jede Bildzeile in ca. 550 Bildpunkte zerlegt wird, wobei auf jedes Bildfenster (3a, 3b) ca. 60 Bildpunkte pro Zeile entfallen.

9. Verfahren nach Anspruch 4, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß jedem durch die beiden verschiedenen Halbbilder des Fernsehbiides wiedergegebenen Bildfenster (3a, 3b) eine Bilderfassungselektronik zugeordnet ist, die jeweils durch den Startimpuls des zugeordneten Halbbildes in Betrieb gesetzt wird.

10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß aus den von der Fernsehkamera abgegebenen Impulsen die Zeilenimpulse und die Startimpulse für die Halbbilder ausgefiltert werden und die Zeilenimpulse nach dem Startimpuls für das vorbestimmte, eine Justierstelle erfassende Halbbild auf einen Zeilenzähler gegeben werden, der erst ab einer durch einen »orwSiiiSCiiaitcr vorgegebenen ^.ciicnzaiu «ic /-tuspeicherung eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Zeilen auslöst.

11- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildzeilen, von denen ein Teil abgespeichert werden soll, mit Hilfe eines Taktgenerators (11) in Bildpunkte zerlegt werden, daß im Taktgeber (11) ein Bildpunktzähler nachgeschaltet wird, der erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Bildpunktzahl jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Bildpunkte auslöst.

12. Verfahren nach Anspruch 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildpunkte dadurch abgespeichert werden, daß während der Abtastzeit des Bildfensters das Bildsignal auf einen Komparator (5) gegeben wird, in dem die der Bildhelligkeit entsprechende Spannung mit einer Vergleichsspannung (6) derart verglichen w'rd. daß bei einer Unterschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildes mit dem einen binären Wert wiedergegeben und bei Überschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des BiId-

4ι punktes mit dem anderen binären Wert wiedergegeben wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der einer »Schwarz-Weißw-Information entsprechende digitalisierende Informationsin-

■>(> halt der abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile in ein Schieberegister (13) mit entsprechender Stellenzahl eingeschrieben wird, daß nach der Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile der Informationsinhalt des Schieberegisters (13) in einen

■>i Computer (14) übertragen wird und daß nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden Bildzeilen im Computer (14) der abgespeicherte Gesamtinhalt der Bilder miteinander verglichen, die Abweichungen errechnet und diese in eine entspre-

Mi chende relative Verschiebung der zu justierenden Teile umgesetzt werden.