DE2636537A1 - Herstellverfahren eines ausricht- films fuer fluessigkristall-anzeigezellen - Google Patents
Herstellverfahren eines ausricht- films fuer fluessigkristall-anzeigezellenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bildung eines Ausricht-Pilms für eine Flüssigkristall-Anzeigezelle, die
Flüssigkristalle ζ. B. der smektischen und nematischen Phasen verwendet und eine Anzeige abhängig von einer Änderung
der Ausrichtung oder Orientierung ihrer Moleküle bewirkt.
Ein die Orientierung steuernder oder Ausricht-Film ist
mit den Molekülen eines Plüssigkristalls in Berührung und dient dazu, die Anordnung der Flüssigkristall-Molekül& in
einer vorgegebenen Richtung auszurichten. Dazu wird herkömmlich ein Film verwendet, der an seiner Oberfläche mit
81-(A 1766-02)-MaE
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mehreren in einer vorgegebenen Richtung angeordneten Rillen oder Vertiefungen versehen ist. Dessen besonderes Herstellverfahren
ist erläutert in: "SID International Symposium Digest of Technical Papers" (1972), S. 100. Die Vertiefungen
können zunächst durch Bilden eines Substrats mit einem organischen Oberflächenbehandlungsmittel auf der Oberfläche
und dann durch Reiben oder Schaben der Oberfläche des Oberflächenbehandlungsmittels
geschaffen werden. Bei der Herstellung eines Ausricht-Pilms mittels Schaben wird durch
dessen Berührung mit einem Flussigkristall-Material für
längere Zeit eine Struktur an seiner Zwischenfläche hervorgerufen, die allmählich geändert wird, wodurch sich nachteilig
eine unregelmäßige Orientierung des Flüssigkristalls ergibt, weil der Ausricht-Film das organische Oberflächenbehandlungsmittel
verwendet.
Bei einem bekannten Ausricht-Film für eine Flüssigkristall-Anzeigezelle
wird der die Orientierung steuernde Film unter Verwendung eines anorganischen Aufdampfungsfilms anstelle
eines organischen Oberflächenbehandlungsmittels gebildet (vgl. US-PS 3 834 792). Bei diesem Verfahren wird das
Substrat so in einem Vakuumaufdampfungs-Behälter angeordnet,
daß seine Oberfläche unter niedrigem Winkel gegenüber einer Verdampfungsgut-Quelle angeordnet werden kann, damit
aus einer vorgegebenen schrägen Richtung nach unten fliegende Teilchen an der Substrat-Oberfläche niedergeschlagen werden.
Der durch den Schräg-Vakuumniederschlag gebildete Ausricht-Film sieht eine einachsige Anisotropie gegenüber der
Richtung der Verdampfungsgut-Quelle vor und richtet dadurch die Flüssigkristall-Moleküle aus.
Bei diesem Verfahren muß die Verdampfungsgut-Quelle
mit einer sehr begrenzten räumlichen Beziehung gegenüber
dem Substrat angeordnet werden, um eine gleichförmige Ausrichtung
oder Orientierung sicherzustellen. Wenn beispielsweise
der Abstand von der als punktförmig angenommenen Verdampfungsgut-Quelle zum Substrat 50 cm beträgt und wenn ein
Aufdampfungswinkel für den Sehrägaufdampfungs-Film im tolerierbaren
Bereich von 68 +_ 2° bei der S ehr ägauf dämpfung eingestellt
werden .soll, muß das Substrat weniger als etwa 4ö mm
Durchmesser in Richtung der Verdampfungsgut-Quelle sein. Wenn das Substrat über 40 mm Durchmesser besitzt, steigt der Aufdampf
ungswinkel an seinen beiden Enden über 4° an, was die
Bildung einer nicht gleichförmigen Orientierung und eine fehlerhafte Anzeige ergibt.
Der mittels Schräg-Vakuumaufdampfung gebildete Ausricht-Pilm
erzeugt eine einachsige Anisotropie lediglich in der Richtung der Verdampfungsgut-Quelle, so daß er
kein ausreichend großes Ausricht-Steuervermögen für den
Flüssigkristall zeigt. Bei z. B. einem Flüssigkristall mit Schiff'scher Base (R-O-^^-CHsN-^^-R1), der an seiner
Grenzfläche hervorragende Ausrichtung zeigt, besitzt der Film gutes Steuervermögen, jedoch bei einem Flüssigkristall
mit Azoxy-Base (R-0-^J^-N=
der bei Verwendung als Anzeigezelle großes Ansprechvermö-.
gen besitzt, besitzt der Film keine die Orientierung steuern den Eigenschaften. Bei den chemischen Strukturformeln bedeuten R und R' Alkylgruppen.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Bildung
eines Ausrieht-FiIms, der mit einem Flüssigkristall
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in Berührung kommt und die Moleküle des Flüssigkristalls
dauerhaft in eine vorgegebene Richtung orientiert, anzugeben.
Zur Lösung der Aufgabe wird der die Orientierung steuernde
oder Ausricht-Pilm erfindungsgemäß in folgender Weise gebildet: Ein Substrat, an dessen Oberfläche der Ausricht-Film
gebildet werden soll, wird in einem Vakuum-Behälter zusammen mit einer ihr gegenüberliegenden Verdampfungsgut-Quelle angeordnet.
Eine mehrere Lamellen mit vorgegebenem Neigungswinkel aufweisende jalousieartige Anordnung wird zwischen
dem Substrat und dem Verdampfungsgut so angeordnet, daß verdampfte Teilchen durch die Spalten oder Schlitze der
jalousieartigen Anordnung zum Substrat treten. Die Bestimmung
des Musters der jalousieartigen Anordnung und das Einstellen eines Vakuums oder Unterdrücke auf einen
vorgegebenen Wert ermöglicht die Bildung eines Ausricht-Films
für einen Flüssigkristall mitZWei/ChsILSe3Anisotropie.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren ist ein mit sehr feinen Vorsprüngen bedeckter niedergeschlagener Film er-
zweiachsige reichbar, dessen Oberfläche zumindest / /Vnisotropie
besitzt.
Der durch das erfindungsgemäße Herstellverfahren geschaffene
Ausricht-Film zeigt eine gleichförmige Orientierung über einen großen Bereich mit hoher Ausbeute. Weiter
ist durch die Erfindung ein Ausricht-Film für einen verdrillten Flüssigkristall bildbar.
Eine Flüssigkristall-Anzeigezelle, die zur Anzeige mit in einer vorgegebenen Richtung ausgerichteten Flüssig-
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mm CZ m»
kristall-Molekülen geeignet ist, besitzt eine Anzeigecharakteristik,
die sehr von den Eigenschaften eines mit den Molekülen des Flüssigkristalls in Berührung kommenden
Ausricht-Pilms abhängig ist. Gemäß der Erfindung wird eine jalousieartige Anordnung mit vorgegebenem Winkel zwischen
dem Substrat, auf dem der Ausricht-Film zu bilden · ist und einer Quelle für Verdampfungsgut angeordnet, damit
von dem Verdampfungsgut verdampftes Gut zum Niederschlag auf dem Substrat hindurchtritt. Der so gebildete Film
• *. · ,_*. ·· .,zweiachsiger .
zeigt sehr großes Ausrichtvermogen mit / Anisotropie.
Dieses Verfahren zur Bildung des Ausricht-Films ermöglicht auch eine einfache Bildung des Ausricht-Films auf einem
großen Substrat.
Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 die Teilchen-Verteilung abhängig vom Stoßabstand der verdampften Teilchen;
Fig. 2a, 2b schematische Ansichten eines gemäß
der Erfindung bzw. mittels Schräg-Vakuumaufdampfung
niedergeschlagenen dünnen Films;
Fig. 3 schematisch im Schnitt die Grundbeziehung
zwischen einem Substrat und einer jalousieartigen Anordnung;
Fig. h die Beziehung eines durch die jalousieartige
Anordnung definierten Sehwinkels;
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Fig. 5 die Beziehung zwischen dem Muster eines Quergitters und dem Ausrichtwinkel;
Pig. 6 perspektivisch die Lagebeziehung zwischen Substrat, jalousieartiger Anordnung, Quergitter
und Verdampfungsgut-Quelle;
Fig. 7 perspektivisch ein Ausführungsbeispiel des Quergitters;
Fig. 8 im Schnitt eine erste Vorrichtung zur
Bildung eines Ausricht-Films;
Fig. 9 perspektivisch die Lagebeziehung zwischen Substrat und Verdampfungsgut-Quelle;
Fig. 10 die Beziehung zwischen der an einer Flüssigkristall-Anzeigezelle gemäß einem
Ausführungsbeispiel der Erfindung anliegenden Spannung und der Intensität des hindurchgelassenen
Lichts;
Fig. 11 die Beziehung zwischen Vakuum-Druck und Film-Niederschlag- oder rAufwachsgeschwindigkeit;
Fig. 12a, 12b Fotografien, die den Ausricht-Zustand einer gemäß einem Ausführungsbeispiel hergestellten
Anzeigezelle wiedergeben;
Fig. 13 im Schnitt ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Bildung eines dünnen
Ausricht-Films, unter Verwendung von Ionen-Plattierung.
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Ein Substratj auf dem ein Ausricht-Film gebildet wird,
besteht aus lichtdurchlässigem Glas, Kunststoff od. dgl. und besitzt eine nach Bedarf auf einer Oberfläche angeordnete
Elektrode, um die Flüssigkristall-Moleküle mit einem Signal zu beaufschlagen. Wenn die Elektrode vorgesehen ist, wird
sie an ihrer Oberfläche mit einem weiteren Ausricht-Film bedeckt. Es ist andererseits auch möglich, daß die Elektrode
selbst als Ausricht-Film dient.
Das Substrat wird in einem Vakuum-Behälter derart angeordnet,
daß dessen eine Oberfläche, auf der der Ausricht-Film zu bilden ist, einer Quelle für Verdampfungsgut gegenüberliegt.
Der Druck im Behälter wird so vermindert, daß die von der Verdampfungsgut-Quelle verdampften Teilchen die Substrat-Oberfläche
erreichen. Das Ausmaß der Druckabsenkung ist so gewählt, daß die verdampften Teilchen eine geeignete
mittlere freie Weglänge besitzen. Insbesondere wird die
— ρ —c
Verdampfung bei Vakuumdrücken von 1,3 · 10 bis 6,7 * 10
mbar (1 · 10 bis 5 · 10 ^ mmHg) durchgeführt. Bei unter
6,7 " 10 ■* mbar liegendem Druck wird der lineare oder kürzeste
Flugweg der verdampften Teilchen zu groß, wodurch lediglich eine erheblich herabgesetzte Teilchenzahl die Substrat-Oberfläche
erreichen kann, wegen der Behinderung durch die Anwesenheit der jalousieartigen Anordnung. Bei über 1,3 * 10
mbar liegendem Druck wird andererseits die Adhäsion des niedergeschlagenen
Films unerwünscht herabgesetzt. In Fig. 1 ist der Stoßabstand der verdampften Teilchen bei Drücken im D^ckbereich
von 10 bis 10 J mbar dargestellt. In der Darstellung
_2 wurde der Kurvenverlauf c bei 1,3 * 10 mbar, der Kurvenverlauf
d bei 1,3 * 10 J mbar, der Kurvenverlauf e bei 1,3 * 10
mbar und der Kurvenverlauf f bei 1,3 · 10 ^ mbar erhalten.In Fig.
bedeutet die mittlere freie Weglänge einen Stoßabstand der verdampften Teilchen,der 60 % erreicht. Der zur Bildung eines
Ausricht-Films mit / Anisotropie geeignete Luftdruck
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ist ein Druck, bei dem die mittlere freie Weglänge 2 bis 50 cm beträgt. Der Druck, bei dem die mittlere freie Weglänge
5 bis 20 cm erreicht, ist insbesondere wegen des Betriebes und wegen der Qualitätsstabilität des Films geeignet.
Eine mittlere freie Weglänge über 100 cm ergibt die Bildung eines Flüssigkristalls mit lediglich einachsiger
Anisotropie bei erheblich herabgesetztem Ausrichtvermögen der Moleküle, so daß kein gemäß der Erfindung beabsichtigter
Ausricht-Film gebildet würde. Dabei muß der Abstand zwischen der Verdampfungsgut-Quelle und der Substrat-Oberfläche
größer als die mittlere freie Weglänge sein. Das Heizen der Verdampfungsgut-Quelle mittels eines Heizers
oder das Emittieren eines Elektronen- oder Ionen-Strahls zum Verdampfen des Guts der Verdampfungsgut-Quelle kann
zum Abgeben der Teilchen, von der Verdampfungsgut-Quelle
in das Vakuum verwendet werden. Ein Merkmal der Erfindung liegt darin, daß der Ausricht-Film durch chemischen Dampfniederschlag
gebildet werden kann.
Bei der Erfindung werden diese Möglichkeiten zum Abgeben von Teilchen in beliebige, zufällige Richtungen unter
herabgesetztem Druck im Vakuumbehälter verwendet, wobei einige Teilchen, die einen gewünschten Einfallswinkel gegenüber
dem Substrat besitzen, zur Einstrahlung auf das Substrat ausgewählt oder selektiert werden.
Bei der Erfindung ist der Einfallswinkel der Teilchen ein Winkel, der von einer Normalen (senkrechten Ebene) auf
der Substrat-Oberfläche gemessen ist.
Die Substanzen der Verdampfungsgut-Quelle, von denen der Ausricht-Film gebildet wird, sind nichtmetallische Verbindungen,
wie Siliziummonoxid, Siliziumdioxid, Kalziumfluorid,
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Magnesiumfluorid, Lithiumfluorid, Ceriumfluorid, Bornitrid
oder Metalle und Metallverbindungen, wie Gold, Chrom, Titan, "Titanoxid, Aluminiumoxid, Indiumoxid, Zinnoxid, Wolframoxid,
Ceriumoxid, Bleifluorid, Cadmiumsulfid, Bleisulfid, Zinksulfid,
Antimonsulfid usw. Es besteht die Gefahr, daß eine unerwünschte Reaktion abhängig von der Verschiebung von Verunreinigungen
im Flüssigkristall zur Zwischenfläche oder Grenzfläche der Elektrode dann hervorgerufen wird, wenn die
Flüssigkristall-Anzeigezelle lange Zeit verwendet wird. Wenn diese Gefahr besteht, wird vorteilhaft ein isolierender
Ausricht-Film ausgewählt. Für einen Ausricht-Film, der gleichzeitig
als Elektrode dient, wird Indiumoxid, Zinnoxid od. dgl. verwendet.
Die Feinstruktur des gemäß der Erfindung gebildeten Ausricht-Films ist als Mbdellvorstellung in Fig. 2a dargestellt.
D.h., daß die Teilchen in Pfeilrichtung so niedergeschlagen werden, daß sie eine leicht geneigte Oberfläche
bilden, die sich mit zwei Flächen mit großem Neigungswinkel schneidet, wobei zwei Ränder definiert sind. Die Anisotropie
des Films wird in Richtung dieser Ränder oder Kanten erzeugt. Andererseits wird angenommen, daß der durch Schräg-Vakuumaufdampfung
erzeugte Film stufenförmig wie in Fig. 2b dargestellt ausgebildet ist und Anisotropie längs einer unter
rechtem Winkel die Einfallsrichtung der verdampften Teilchen schneidenden Kante zeigt. Dabei sind die Moleküle des Flüssigkristalls
in Richtung des resultierenden Vektors der Anisotropien des Films ausgerichtet.
Die Bedingungen, unter denen der in Fig. 2a dargestellte
gemäß der Erfindung gebildete Niederschlag erreicht wird, sind so, daß der größte Teil der fliegenden Teilchen
Einfalls- oder Neigungswinkel zwischen 45 und 75° besitzt,
und daß mit diesen einige fliegende Teilchen vorhanden sind,
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die Neigungs- oder Einfallswinkel besitzen, die um 10 bis
60° abweichen, einschließlich eines Primär-Neigungswinkels.
Eine jalousieartige Anordnung,um die verdampften Teilchen
mit einem wie erwähnt vorgegebenem Einfallswinkel auf der Substrat-Oberfläche niederzuschlagen, besitzt im wesentlichen
ein Muster und eine Lagebeziehung gegenüber der Substrat-Oberfläche, wie sie in Fig. 3 dargestellt ist.
Dabei bedeuten:
d = Abstand des Substrats 33 von den die jalousieartige
Anordnung bildenden Lamellen 34,
1 = Lamellen-Breite,
t = Lamellen-Dicke,
t = Lamellen-Dicke,
θ = Lamellen-Neigungswinkel gegenüber der Substrat-Oberfläche,
Ot = geringster, durch zwei benachbarte Lamellen
34 definierter Einfallswinkel,
j3 = größter, durch zwei benachbarte Lamellen 34 definierter Einfallswinkel,
d1 = Lamellen-Abstand.
Die Werte können experimentell für optimale Bedingungen aufgrund der folgenden Lehren bestimmt werden.
Die von der Verdampfungsgut-Quelle austretenden verdampften
Teilchen kollidieren oder stoßen zusammen mit Dampfmolekülen oder miteinander, wodurch sich verschieden
gerichtete Teilchen-Gruppen bilden, die den Eintritt in
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die jalousieartige Anordnung erreichen. Die verdampften Teilchen
in bestimmter Komponenten-Richtung treffen auf die Oberfläche der Lamellen auf und werden beim Durchtritt durch die
jalousieartige Anordnung unterbrochen. Dadurch wird Teilchen mit bestimmten Komponenten ermöglicht, die Substrat-Oberfläche
zu erreichen. Das Streuen der Teilchen während ihres Durchtritts durch die jalousieartige Anordnung ergibt geschwächte
Anisotropie des Films. Wie sich aus Fig. 3 ergibt, haben diejenigen
Teilchen, die zum Substrat 33 unter einem Winkel (X
von den Enden der Lamellen 34 an der Seite der Verdampfungskommen,
gut-Quelle im Querschnitt der jalousieartigen Anordnung/den
längsten oder größten Flugweg oder Abstand, der als kürzer als die mittlere freie Weglänge definiert ist. D.h., der
kürzeste oder kleinste (lineare) Abstand im freien Raum vom
Eintritt der jalousieartigen Anordnung zur Substrat-Oberfläche ist stets kürzer oder kleiner als die mittlere freie Weglänge
der verdampften Teilchen. Zwischen der mittleren freien Weglänge mfp und der jalousieartigen Anordnung besteht folgende
Beziehung:
mfp ^ ■ (1).
sin OC
Zu kurzer Abstand d zwischen Substrat-Oberfläche und
jalousieartiger Anordnung hat zur Folge, daß der Schatten der
einzelnen Lamellen auf die Substrat-Oberfläche projektiert wird, wodurch sich auf dem Substrat 33 kein Aufdampfungs-Film
an einigen Stellen seiner Oberfläche bildet. Für den Abstand d besteht daher folgende Beziehung:
?0981Ö/07Si
t · 1
do> — Z — . (2).
2 f d. - _r
sin θ
Bei Annahme eines Einfallswinkels S der verdampften Teilchen gegenüber dem Substrat 33 beträgt die Beziehung
zwischen Einfallswinkel S und den Winkeln <* , β :
CX < (90- £ ) = θ < £>
, wobei sich Of und jS ergeben zu:
1 sin θ
tan Oi =
tan Oi =
d — + 1 cos θ
1 sinö
1 sin θ
tan β = : (H),
tan β = : (H),
1 cos θ - (d —)
1 sin©
D.h., daß ein Verkleinern des Lamellen-Abstands auf
(d. - t/sin0) gegen Null oder ein Vergrößern der Lamellen-Breite
auf 1 y> (d^ - t/sinö) zur Folge hat, daß sowohl
der Winkel Oi als auch der Winkel (3 sich dem Winkel θ
so annähern, daß die Differenz zwischen dem größten und dem kleinsten Einfallswinkel der Teilchen klein wird.
Diese / %md in der Pig. 1I dargestellt. Die Winkel
Oi und (2> sind der kleinste bzw. der größte Einfallswinkel,
bei einer Lamellen-Dicke t = 0,3 mm, einem Lamellen-Abstand d^ = 15 mm und einer Lamellen-Breite
1 = 20 mm. Eine auf 40 mm verbreiterte Lamellen-Breite
ermöglicht Teilchen mit einem Einfallswinkel zwischen den Kurven οι und p>
„, daß sie die Substrat-Oberfläche erreichen.
Je mehr Teilchen auf die Substrat-Oberfläche unter rechtem Winkel dazu auftreffen, umso geringere zweiachsige
Anisotropie tritt im gebildeten Ausricht-Film auf. Das
Muster bzw. der Aufbau der jalpusieartigen Anordnung ist
daher so bestimmt, daß der Winkel fi> unter 90° liegt.
Bei einer Differenz zwischen den Winkeln C und β ,
d.h. einem Sehwinkel, unter 10° bildet sich ein Film aus, dessen Eigenschaften im wesentlichen dem entsprechen, der
durch die Schräg-Vakuumaufdampfung gebildet ist, mit ungenügendem
Ausrichtvermögen. Bei einem Sehwinkel über 60° werden andererseits fleck- oder punktförmige diskontinuierliche
Orientierungslinien, sog. Domänen, gebildet, wenn der Film auf der Flüssigkristall-Anzeigezelle befestigt ist."
Aus diesem Grund ist die Differenz zwischen dem kleinsten und dem größten Einfallswinkel OC bzw. β , der durch zwei
benachbarte Lamellen 34 definiert ist, vorteilhaft zwischen
10 und 60°. Derartige Domänen treten ebenfalls leicht auf, wenn die Verdampfungsgut-Quelle an einer Senkrechten zur
Substrat-Oberfläche angeordnet ist, verschwinden jedoch, wenn die Verdampfungsgut-Quelle einige Grad von der Normalen
oder Senkrechten entfernt ist. Der geringste Abstand d.
zwischen benachbarten Lamellen ist für die Bildung des Films zweckmäßigerweise in der Größenordnung von 0,5 mm
zuzüglich zum Lamellen-Querschnitt (t/sine).
Der Einfallswinkel cf der Teilchen gegenüber dem Substrat
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- l4 -
hängt wesentlich vom Lamellen-Neigungswinkel θ ab. Wenn
wie erwähnt der Einfallswinkel 45 bis 75° beträgt, liegt der Lamellen-Neigungswinkel θ im wesentlichen zwischen 45
und 15°.
Es besteht keine besondere Begrenzung der die jalousieartige Anordnung bildenden Werkstoffe, beispielsweise können
Werkstoffe, wie Metall, Kunststoff, Papier, Keramik od. dgl., verwendet werden, die kein schädliches Gas während der Verdampfung
erzeugen und die bei einer herrschenden Temperatur beständig sind.
Der gebildete Ausricht-Pilm ist 50 bis 600 2 dick.
Ein dünnerer Film ergibt eine Belichtung eines Substrat-
Teils mit schlechterer Orientierung des Flüssigkristalls, em
während/dickerer Film ebenso die Orientierung verschlechtert,
da die ausgerichteten Vorsprünge des Ausricht-Films zerstört sind. Vorzugsweise ist der Film 200 — 50 8 dick.
Eine detaillierte Prüfung entlang einer Linie parallel zur Lamelle 34 von Eigenschaften der zweiachsigen Anisotropie
im gemäß der Erfindung gebildeten Film zeigt, daß ein Unterschied besteht zwischen Orientierungs-Winkeln, bei denen
der Flüssigkristall ausgerichtet ist an einem Abschnitt nahe der Normalen oder Senkrechten von der Verdampfungsgut-Quelle
und an einem Abschnitt mit Abstand davon. Weiter ergibt sich, daß der niedergeschlagene Film umso dünner ist,
je weiter er von der Verdampfungsgut-Quelle entfernt ist.
Der Orientierungswinkel des Flüssigkristalls ändert sich längs der Linie parallel zur Lamelle 34 im wesentlichen
linear, wie in Fig. 5 dargestellt. In Fig. 5 ist der Orien-
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tierungswinkel ")f dargestellt s wobei er von der Achse y'-y
in einer Ebene (x-x')-(y-y') gemäß Pig. 6 gemessen wird.
Eine derartige Orientierungswinkel-Änderung längs der Achse y-y' des Ausricht-Films kann vorteilhaft bei einer
Flüssigkristall-Anzeigezelle in Verbindung mit einem Satz von Ausricht-Filmen mit gleichen Eigenschaften beseitigt
werden. Es gibt bereits eine Flüssigkristall-Anzeigezelle,
bei der eine große Ausricht-Film-Schicht in kleine Einheiten geteilt ist, die zur Anzeige paarweise vorgesehen sind. Bei
einer derartigen Anzeigezelle werden Einheiten, deren Orientierungswinkel y voneinander sehr verschieden ist,
mitunter miteinander gepaart und erzeugen ungleichmäßige Charakteristiken. .
Aus diesem Grund werden Schirmplatten, im folgenden als Quergitter 66 bezeichnet, verwendet, die jede Lamelle
6h der jalousieartigen Anordnung unter rechtem Winkel
schneiden, wie in Fig. 6 dargestellt. Dadurch wird es möglich, die oben erwähnte Orientierungswinkel-Ä'nderung
längs der Achse y-yf zu verringern. Das Quergitter 66 kann
zwischen der jalousieartigen Anordnung und der Verdampfungsgut-Quelle
65, zwischen der jalousieartigen Anordnung und der Substrat-Oberfläche oder innerhalb der jalousieartigen
Anordnung vorgesehen werden.j Insbesondere die Kombination der jalousieartigen Anordnung und des damit einstückigen
Quergitters 66 ergibt ein Schräg-Gitter oder -Raster oder eine wabenförmige jalousieartige Anordnung und verbessert'
die mechanische Festigkeit. Fig. 5 zeigt durch Messung des Orientierungswinkels längs der Achse y'-y erhaltene
Kurven abhängig vom Verhältnis w /1 der Gitter-Breite w
a a a
und des Gitter-Abstands 1& des Quergitters 66. in Fig. 5
ist bei der Kurve I0 kein Quergitter vorhanden, besitzt das
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Quergitter bei der Kurve lo ein Verhältnis w /l =2, bei
der Kurve 1, ein Verhältnis w /1 = 3 und bei der Kurve I2.
das Verhältnis w /1 =4. Ein Quergitter mit einem Verhält-
a a
nis w/1 von 1 bis 5 ist wirksam vorsehbar.
Ein Erweitern des Gitter-Abstands in Lagen, die von der Verdampfungsgut-Quelle 65 weit entfernt sind, oder
ein Vergrößern der Gitter-Breite in Lagen, die der Verdampfungsgut-Quelle 65 näher sind, führt zu einem gleichförmigen
Niederschlag längs der Achse y'-y. In Fig. 7 ist schematisch ein Niederschlagungs-Verfahren dargestellt,
das ein derartiges Quergitter für gleichförmigen Niederschlag längs der Achse y'-y enthält. In Fig. 7 treten verdampfte
Teilchen, die von der Verdampfungsgut-Quelle 75 stammen, durch das Quergitter 76 und die jalousieartige
Anordnung 74 zum Substrat 73. In Fig. 7 sind die verdampften Teilchen als sich geradlinig ausbreitend dargestellt,
um konstante Aufdampfung darzustellen.. In praxi weicht die Flugbahn der Teilchen so ab, daß sie durch das Quergitter
nicht unterbrochen sein kann. Folglich ist der Film keinesfalls diskontinuierlich.
Ein Glas-Substrat 83 (2,5 mm dick, 50 mm lang und 40 mm breit) mit darauf durchAuf dampfung ausgebildetem lichtdurchlässigen
leitfähigen Film aus In„0 wurde an der Oberfläche
mit Trichloräthylen und Aceton zur Entfernung und Entstaubung gewaschen und dann in einem Vakuumaufdampfungs-Behälter 82
(Glasglocke) angeordnet (vgl. Fig. 8) und SiO wurde bei einem
-4 -4
Luftdruck von 6,7 · 10 mbar (5 · 10 Torr) verdampft.
SiO-Pulver 85 war in einem Tantal-Tiegel enthalten und wurde
durch eine Heizspirale aus Wolfram zur Verdampfung beheizt. Der Abstand zwischen Verdampfungsgut-Quelle 85 und einer
jalousieartigen Anordnung 84 betrug 40 cm und der Abstand d zwischen der jalousieartigen Anordnung 84 und dem Glas-Substrat
83 betrug 12 mm. Die jalousieartige Anordnung 84 bildende Lamellen bestanden aus rostfreien Stahlplatten mit
jeweils 0,5 mm Dicke und 20 mm Breite bei einem Lamellen-Neigungswinkel
θ von 15° und einem Lamellen-Abstand von 15 mm.
Bei diesem Beispiel sind OC = 9° und /2>
= 42°. Detailliert ist die Anordnung des Substrats aus Fig. 8 in Fig. 9 dargestellt,
die ein Substrat 93, eine jalousieartige Anordnung 94 und eine Verdampfungsgut-Quelle 95 zeigt.
Zwei mittels des genannten Verfahrens mit SiO bedampfte Glas-Substrate wurden mit denjenigen Oberflächen nach innen
angeordnet, an denen der, SiO-Aufdampfungsfilm gebildet worden war, und mit einer rechtwinkligen Aufdampfungsrichtung (Richtung
χ!-x), . in Fig.9 mit Pfeilen dargestellt,
um eine Flüssigkristall-Zelle zusammen mit einem 9 ,um dicken Abstandshalter aus Polyäthylenterephthalat-Film vorzusehen.
Die Zelle wurde am Umfang mit einem Klebstoff abgedichtet (Epoxyharz, z. B. Epotic, Warenbezeichnung der Epoxy Technology
Incorporated). Der in die Zelle eingeführte Flüssigkristall bestand aus Verbindungen von Schiff'scher Base aus Propylbenzylidencyanoanilin
und Hexylbenzylidencyanoanilin. Die Einführung oder Einspritzung wurde innerhalb des Vakuum-Behälters
82 so durchgeführt, daß der Flüssigkristall bis auf isotropen Zustand mittels einer Infrarotlampe aufgeheizt
war. Nach der Einführung wurde der Flüssigkristall allmählich zum Flüssigkristall-Zustand rückgekühlt.
Zur Beobachtung des optischen oder Lichtzustands dieser
709010/0753
Flüssigkristall-Zelle wurden ein Polarisator und ein Analysator
vor bzw. hinter der Flüssigkristall-Zelle angeordnet. Der Polarisator besaß eine Polarisationsrichtung, die im
wesentlichen senkrecht zu der des Analysators war und die
im wesentlichen mit der Aufdampfungs-Richtung auf das Substrat
der Flüssigkristall-Zelle auf der Seite des Polarisators ausgerichtet war. Bei diesem Aufbau wurde beobachtet,
daß die Flüssigkristall-Zelle auf der Analysatorseite bei
einem Licht einer parallelen weißen Lichtquelle auf der Polarisatorseite gleichförmig hell war. Andererseits wurde
beobachtet, daß die Flüssigkristall-Zelle gleichmäßig dunkel war bei gleichem Aufbau, jedoch mit einer Polarisationsrichtung
des Analysators, die im wesentlichen parallel zur Polarisationsrichtung des Polarisators war. Dies erfolgt, weil
das emittierte Licht durch den Polarisator polarisiert wird, und durch den Flüssigkristall beim Durchtritt durch ihn
um 90° in der Polarisationsebene gedreht wird, wobei das Licht hindurchtreten kann, wenn dessen Polarisationswinkel
mit der Polarisationsrichtung des Analysators zusammenfällt und wobei das Licht unterbrochen wird, wenn diese sich kreuzen.
Anschließend wurde eine Rechteckspannung mit Frequenz 1 kHz an die beiden lichtdurchlässigen leitfähigen Filme
angelegt, die jeweils an den beiden Substrat-Scheiben
der Flüssigkristall-Zelle gebildet sind, um die Durchlässigkeit weißen Lichts von einer Wolframlampe bei einer Temperatur
von 25 0C mittels einer Fotovervielfacherröhre und
eines X-Y-Schreibers zu messen bzw. zu erfassen. Die Ergebnisse sind in Fig. 10 dargestellt. Wie sich aus Fig. 10
ergibt, zeigt die Flüssigkristall-Zelle ausgezeichnete Eigenschaften
mit einer Schwellenspannung von etwa 3 V,einer Spannung von etwa 5 V, bei der die Lichtdurchlässigkeit ge-
sättigt ist und der Kontrast 18O beträgt.
Ein mit einer lichtdurchlässigen Elektrode versehenes
Glas-Substrat wurde im Vakuumaufdampfungs-Behälter in
gleicher Weise wie beim Beispiel 1 angeordnet und SiO wurde
—? —fi
unter einem Stickstoffdruck von 1,3 · 10 bis 1,3 · 10 mbar
-2 -fi
(10 bis 10 Torr) 5 bis 10 min lang aufgedampft. Die Dicke des niedergeschlagenen Films wurde mit einem Oberflächenrauhigkeitsmesser gemessen, um die Aufwachsgeschwindigkeit oder Aufdampfgeschwindigkeit des Films zu erfassen. Das Ergebnis ist in Fig. 11 dargestellt. Wie sich aus Fig. 11 ergibt, ist der Ausricht-Film wegen der Störung durch die jalousieartige Anordnung bei Vakuumdrücken unter 1,3 ♦ 10 ^ mbar (10 Torr) so langsam aufgewachsen, daß er nicht gebildet werden kann* Der 10 bis 1000 8 dicke SiO-Orientierungs- oder Ausricht-Film wurde gemäß dem erläuterten Verfahren gebildet und eine Flüssigkristall-Zelle wurde mit zwei Filmen
aufgebaut, derenAuiüampfungsrichtung im wesentlichen senkrecht zueinander war, in ähnlicher Weise wie im Beispiel 1 erläutert. Der gleiche Flüssigkristall wie beim Beispiel 1 wurde in gleicher Weise eingefüllt.
(10 bis 10 Torr) 5 bis 10 min lang aufgedampft. Die Dicke des niedergeschlagenen Films wurde mit einem Oberflächenrauhigkeitsmesser gemessen, um die Aufwachsgeschwindigkeit oder Aufdampfgeschwindigkeit des Films zu erfassen. Das Ergebnis ist in Fig. 11 dargestellt. Wie sich aus Fig. 11 ergibt, ist der Ausricht-Film wegen der Störung durch die jalousieartige Anordnung bei Vakuumdrücken unter 1,3 ♦ 10 ^ mbar (10 Torr) so langsam aufgewachsen, daß er nicht gebildet werden kann* Der 10 bis 1000 8 dicke SiO-Orientierungs- oder Ausricht-Film wurde gemäß dem erläuterten Verfahren gebildet und eine Flüssigkristall-Zelle wurde mit zwei Filmen
aufgebaut, derenAuiüampfungsrichtung im wesentlichen senkrecht zueinander war, in ähnlicher Weise wie im Beispiel 1 erläutert. Der gleiche Flüssigkristall wie beim Beispiel 1 wurde in gleicher Weise eingefüllt.
Die Flüssigkristall-Zelle wurde zwischen dem Polarisator und Analysator in gleicher Weise wie beim Beispiel 1
angeordnet, um die Lichtdurchlässigkeit mit dem Fotovervielfacher zu messen, wenn die Polarisationsrichtung des
Analysators im wesentlichen senkrecht bzw. parallel zu der des Polarisators ist und um dadurch ein Lichttransmissionsverhältnis oder einen Lichtdurchlässigkeitsgrad zu erhalten. Der Flüssigkristall wurde weiter mittels eines Orthogonal-
Analysators im wesentlichen senkrecht bzw. parallel zu der des Polarisators ist und um dadurch ein Lichttransmissionsverhältnis oder einen Lichtdurchlässigkeitsgrad zu erhalten. Der Flüssigkristall wurde weiter mittels eines Orthogonal-
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Nicol-Prismas unter einem Polarisations-Mikroskop beobachtet.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 dargestellt.
Nr | Vakuum- £mbarj |
■Druck [Torr] |
Film-Dicke | Lichtdurch lässigkeits verhältnis |
Orientie- rungs- Zustand |
1 | i,3-io-6 | 10-6 | < 10 | «J.20 . | zufällig |
2 | 1,3 ΊΟ"5 | ίο"5 | < 10 | « 20 | II |
3 | 6,7-10~5 | 5·ιο~5 | 60 | 80 | |
4 | 1,3·1Ο-4 | ΙΟ"" | 80 | 100 | * |
5 | 6,7-κΓ4 | 5·10~4 | 80 | 100 | |
6 | 6,7-1U-11 | 5-ίο"4 | 100 | l80 | * |
7 | 6,7·ιο"4 | 5·1θ"4 | 200 | 190 | * |
8 | 6,7·ιο"4 | 5·1Ο~4 | 400 | 180 | |
9 | 6,7-1O-4 | 5·1θ" | 600 | 80 | * |
10 | 6,7·1θ"4 | 5-ΙΟ"4 | 1000 | O | ** |
11 | 1,3'1O-3 | 10~3 | 200 | 190 | * |
12 | 1,3·ΙΟ"3 | ίο"5 | 1000 | 0 | |
13 | 2,7-ΙΟ"2 | 2·10~2 | 100 | 180 | |
14 | 1,3·1θ"2 | ΙΟ"2 | 50 | 80 | * |
15 | 1,3·1Ο~2 | ΙΟ"2 | 100 | 100 |
• = verdrillt-nematisch
#»= Längsorientierung
#»= Längsorientierung
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Eine mit einer lichtdurchlässigen Elektrode versehene Glasplatte wurde in einem Vakuumaufdampfungs-Behälter ähnlich
wie im Beispiel 1 angeordnet und SiO wurde bei Vakuumdrücken unter 6,7 · 10 mbar (5 * 10 Torr) 10 min lang aufgedampft.
Ein 400 α dicker SiO-Ausricht-Film wurde gemäß dem beschriebenen
Verfahren gebildet und eine Flüssigkristall-Zelle wurde in ähnlicher Weise wie beim Beispiel 1 so aufgebaut, daß
die Aufdampfungsrichtungen im wesentlichen senkrecht zueinander waren. Der verwendete Flüssigkristall enthält eine
Mischung mit beliebiger Zusammensetzung einer Azoxy-Base (A) und einer Schiff'sehen Base (B), zusammen mit 5 bis 10
Gew.Si eines p-Zusatzes oder -Additivs (C) (Tabelle 2).
Die Flüssigkristall-Zelle wurde dann in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 zwischen Polarisator und Analysator angeordnet,
um die Lichtdurchlässigkeit mit dem Fotovervielfacher zu messen, wenn die Polarisationsrichtung des Analysators
im wesentlichen senkrecht bzw. parallel zu der des Polarisators ist und um davon ein Verhältnis der Lichtdurchlässigkeit
abzuleiten. Der Flüssigkristall wurde weiter mittels eines Orthogonal-Nicol-Prismas unter einem polarisierenden
Mikroskop betrachtet. Die Ergebnisse sind in Tabelle 3 dargestellt.
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Flüssigkristall
Bestandteile Zusammensetzung
A
(Azoxy-Base)
(Azoxy-Base)
60 %
(Schiffsche Base)
'2 33,4
33,3 33,4
(p-Additiv)
C4H9°
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- 23 Tabelle 3
Nr. | Komponenten-Verhältnis | B | C | Lichtdurch lässigkeits |
Orientierungs- Zustand |
16 | A | 0 | 5 | verhältnis | |
17 | 100 | 10 | 10 | # 100 | verdrillt-nematisch |
18 | 100 | 20 | 10 | 130 | «t |
19 | 100 | 30 | 10 | 180 | ti |
20 | 100 | 40 | 10 | 210 | Jt |
21 | 100 | 50 | 10 | 210 | ti |
22 | 100 | 60 | 10 | 210 | It |
23 | 10.0 | 70 | 10 | 210 | It |
100 | 210 | tt |
Schrägauf dampf ungs- winkei |
Komponenten-Verhältnis | B | C | Lichtdurch lässigkeits verhältnis |
Orientierungs- Zustand |
60° | A | 30 | 10 | O | Längsorientie |
100 | rung | ||||
65° | 30 | 10 | O | ti | |
70° | 100 | 30 | 10 | O | Il |
82° | 100 | 30 | 10 | O | tt |
100 |
709810/0753
Tabelle 4 zeigt als Beispiel das Meßergebnis, bei dem
ein gemischter Flüssigkristall mit 100 Anteilen aus Azoxy-Base und 30 Anteile aus Schiff'scher Base abgedichtet war,
unter Verwendung eines Ausricht-Films, der unter Aufdampfungswinkeln
von 60 bis 82° mittels herkömmlicher Schräg-Vakuum-Aufdampfung
gebildet war. Die Orientierungsrichtung war in Längsrichtung, wobei keine Anzeigesignale erhalten wurden.
Ein Indiumoxid-Elektrodenfilm wurde auf einer 16 mm langen und 16 mm breiten Quarzplatte mittels Elektronenstrahl··
Aufäampfung gebildet. 64 derart gebildete Substrate wurden im Vakuumbehälter angeordnet. Nahe dem Substrat wurde
eine jalousieartige Anordnung und ein Quergitter angeordnet, dessen Richtung senkrecht zu der der jalousieartigen Anordnung
war. Jede der die jalousieartige Anordnung bildenden Lamellen wies einen Winkel von 30°, einen Abstand von 10 mm und eine
Breite von 20 mm auf und das Quergitter besaß eine Gitter-Breite von 20 mm und einen Gitter-Abstand von 10 mm.
Magnesiumfluorid wurde auf das Substrat bei einem Vakuumdruck von 6,7 · 10 mbar (5-10 mmHg) 5 min lang aufgedampft.
64 so gebildete Schichten aus Ausricht-Film waren im Durchschnitt
200 - 70 2 dick.
Je zwei Substrat-Scheiben wurden 9 bzw. 6 bzw. 3 /Um
voneinander beabstandet angeordnet, wobei zwischen ihnen ein gemischter Flüssigkristall von Schiff'scher Base aus
Propylbenzylidencyanoanilin und Hexylbenzylideneyanoanilin eingefüllt wurde, um eine Flüssigkristall-Anzeigezelle vorzusehen.
Ein vorgegebenes optisches System und Signalschaltungen wurden angeordnet, um die Eigenschaften der Anzeigezelle
zu messen bzw. zu erfassen. Die Ansprechzeit bis zum
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Betrieb der Anzeigezelle nach Anregen elektrischer Signale betrug bei 9 /Um Abstand zwischen den Substraten etwa 200 ms,
bei 6 ,um Abstand etwa 120 ms und bei 3 /Um Abstand etwa
40 ms.
Bei einem durch herkömmliches Schräg-Vakuumaufdampfen geformten Ausricht-Pilm betrug der kürzeste Abstand zwischen
den Substraten 9 /Um und die kürzeste Ansprechzeit etwa 200 ms.
Zwei Scheiben aus im Handel erhältlichem 2,5 mm dicken, 230 mm langen und 38 mm breiten Nesa-Glas wurden
in einer Aufdampfungsvorrichtung so angeordnet, daß die
Ausricht-Richtung der Lamellen parallel zur Längsrichtung der Nesa-Glas-Scheiben war. Eine Wolfram-Heizspirale
war so angeordnet, daß der Oberteil des Heizers geringfügig oberhalb SiO-Puder in einem Molybdän-Schiffchen mit
34 mm Durchmesser war. Der Abstand zwischen der Verdampfungsgut-Quelle
und der jalousieartigen Anordnung betrug 4l cm und der Abstand d zwischen der jalousieartigen
Anordnung und der Nesa-Glas-Scheibe betrug 12 mm.
Die Lamellen bestanden aus 0,4 mm dicken Nickelplatten mit Lamellen-Breite von 20 mm, Lamellen-Winkel von 15° und
Lamellen-Abstand von 10 mm. Der Wolfram-Heizer wurde so betrieben, daß er bei einer Temperatur von etwa 1000 0C
heizt und SiO bei einem Druck von 6,7 » 10 mbar (5 · 10 Torr) in der Glasglocke verdampft. Die beiden bedampften
Substrat-Scheiben oder -Schichten wurden geteilt und so angeordnet, daß die obere Nesa-Glas-Scheibe in einer Längsrichtung
orthogonal zur unteren Nesa-Glas-Scheibe war, um
709810/0753
eine leere Zelle zusammen mit einem 9 /Um dicken Abstandshalter
aus organischem makromolekularen Film zwischen den Glas-Scheiben vorzusehen. Die Glas-Platten oder -Scheiben
wurden an ihren Randabschnitten mit einem Epoxyharz zusammengeklebt. Ein nematischer Flüssigkristall (z. B. TN-200 der
Firma Hoffmann la Roche) wurde in die leere Zelle zur Bildung
einer Anzeigezelle mit verdrilltem Flüssigkristall eingefüllt.
Die Zelle wurde zwischen zwei Polarisatorschichten eingefügt oder zwischengeschichtet, um die Orientierungs-Zustände
zu untersuchen. Fig. 12a zeigt die Orientierungs-Zustände
einer herkömmlichen Flüssigkristall-Anzeigezelle und Fig. 12b zeigt diejenigen einer erfindungsgemäß hergestellten
Anzeigezelle. Wie sich aus den Fotografien ergibt, zeigt die erfindungsgemäß gebildete Flüssigkristall-Anzeigezelle
gleichförmige Orientierbarkeit mit besonders guten Anzeigecharakteristiken. Der Vergrößerungsfaktor beträgt
jeweils 72.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ein Ionenplattierung
verwendendes Verfahren zum Bilden eines auch als Elektrode dienenden Ausricht-Films erläutert. Die Vorrichtung ist
schematisch in Fig. 13 dargestellt. In Fig. 13 ist innerhalb
eines Vakuumbehälters 132 ein negativ-aufladbarer Substrat-Halter 130, ein Glas-Substrat 133 4 eine jalousieartige
Anordnung 134 auf Erdpotential und ein Verdampfungsgut 135 aus Indium vorgesehen. An der Basis 137 des
Vakuumbehälters 132 ist eine Luftdruck-Einstelleinrichtung 138 angekoppelt, um den Vakuumbehälter 132 auf einen Sauerstoff
gas-Druck von 6,7 · 10"^ mbar (5 · 10 mmHg) einzu-
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stellen. Anlegen einer Spannung von -2,0 kV an den Substrat-Halter
131 verursacht die Bildung eines Glimmentladungs-Bereiches 139 nahe dem Substrat 133. Durch Aufheizen der
Verdampfungsgut-Quelle 135 treten Indium-Teilchen durch die jalousieartige Anordnung 131Ij wobei ein Teil der Teilchen
im Glimmentladungs-Bereich 139 ionisiert wird und auf dem Substrat 130 in Form von Indiumoxid niedergeschlagen
wird. 15 min langes Niederschlagen ergab die Bildung einer etwa 1000 Ä dicken Oberflächenschicht bzw. eines Filmes
aus Indiumoxid. Zwischen die Substrate wurde ein Flüssigkristall gefüllt, ein elektrisches Signal wurde mittels
elektrischer Schaltungen angelegt, zusammen mit einem optischen System. Das stellt den Betrieb als Anzeigeeinrichtung sicher. Der Ausricht-Film des Flüssigkristalls
dient auch als Elektrode. Das Einbringen von ionisierten Teilchen in die Substrat-Oberfläche im Glimmentladungs-Bereich
verbesserte die Adhäsion des Films auf dem Substrat.
Ein 70 mm langes und 220 mm breites Sodaglas-Substrat
wurde mit Trichloräthylen und Aceton zur Entfettung und Entstaubung gewaschen und im Aufdampfungs-Behälter 88 (Glasglocke)
wie in Fig. 8 dargestellt angeordnet. Eine jalousieartige Anordnung und ein Quergitter, dessen Richtung orthogonal
zur jalousieartigen Anordnung ist, wurden neben dem Substrat
angeordnet. Die die jalousieartige Anordnung bildenden Lamellen hatten einen Winkel von 30°, waren 5 mm beabstandet und
10 mm breit und das Quergitter besaß eine Gitter-Breite von 20 mm und einen Gitter-Abstand von 5 mm. Nach Druckabsenkung
des Vakuumaufdampfungs-Behälters 88 auf einen Vakuumdruck von
2,7 ♦ 10~-> mbar (2 ·. ίο""-5 Torr) wurde Sauerstoffgas zum Ein-
7-09&1.0/0763
stellen des Vakuumdrucks auf 6,7 · 10 ^ mbar (5 ° 10~^ Torr)
eingeführt. Indiumoxidpulver (In0O ) mit 5 Gew.% Zinnoxidpulver
(SnO ) wurde bei einem Druck von 50,5 bar (50 kp/cm ) zu einer Zylinder-Tablette mit 15 mm Durchmesser und 10 mm Dicke
gepreßt, die etwa 7 min durch Elektronenstrahlung erhitzt wurde, zur Aufdampfung auf das Substrat. Der gebildete dünne
Film aus Indiumoxid und Zinnoxid war 300 — 50 S dick. Der
elektrische Widerstand des dünnen Films wurde dann mittels des Vier-Anschluß-Verfahrens gemessen und betrug 0,05 Sl./ Q
Der dünne Film zeigte daher sehr gute Leitfähigkeit.
Diese beiden Substrate wurden in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 miteinander kombiniert, um eine Flüssigkristall-Zelle
vorzusehen, in die ein gemischter Flüssigkristall von Schiff'scher Base aus Propylbenzylidencyanoanilin
und Hexylbenzylidencyanoanilin in gleichen Gewichts-
wurde ί
mengen eingefüllte Ein Rechteckspannungssignal mit Frequenz 1 kHz wurde in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 an den dünnen Film aus Indiumoxid und Zinnoxid angelegt, die jeweils an den beiden Substraten der Flüssigkristall-Zelle gebildet sind, um die Spannungs-Helligkeits-Kennlinie der Flüssigkristall-Zelle zu erfassen, wobei sich hervorragende Eigenschaften ergaben sowie eine Schwellenwertspannung von etwa 3 Vj eine Spannung von etwa 5 V, bei der die Lichtdurchlässigkeit gesättigt ist, und ein Kontrast von 200.
mengen eingefüllte Ein Rechteckspannungssignal mit Frequenz 1 kHz wurde in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 an den dünnen Film aus Indiumoxid und Zinnoxid angelegt, die jeweils an den beiden Substraten der Flüssigkristall-Zelle gebildet sind, um die Spannungs-Helligkeits-Kennlinie der Flüssigkristall-Zelle zu erfassen, wobei sich hervorragende Eigenschaften ergaben sowie eine Schwellenwertspannung von etwa 3 Vj eine Spannung von etwa 5 V, bei der die Lichtdurchlässigkeit gesättigt ist, und ein Kontrast von 200.
709810/0753
Claims (12)
- - 29 AnsprücheIj Verfahren zur Bildung eines Ausricht-Films zweiachsiger Anisotropie, der zur Ausrichtung von Flüssigkristall-Molekülen mit diesen in Berührung gebracht wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen eines Verdampfungsguts durch parallel zueinander und mit Abstand von der Oberfläche eines Substrats (33, 63, 73, 83, 93, 133) angeordnete, gegen diese unter einem Winkel (Θ) geneigte Lamellen (34, 64, 74, 94) einer jalousieartigen Anordnung (84, 134) hindurch bei Vakuum zur Bildung des Ausricht-Films auf der Substrat-Oberfläche unter einem Einfallswinkel von 45 - 75° niedergeschlagen werden.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch senkrecht die Lamellen (64, 74) schneidende, aus Platten bestehende Quergitter (66, 76) mit zur Substrat-Oberfläche senkrechter Ebene, wobei die Teilchen des Verdampfungsguts (65, 75) durch Quergitter (66, 76) und jalousieartige Anordnung hindurch niedergeschlagen werden.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen des Verdampfungsguts (135) bei Anwesenheit eines Glimmentladungs-Bereichs (139) nahe der Substrat-Oberfläche niedergeschlagen werden (Fig. 13)·
- 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen (34, 64, 74, 94) unter einem Winkel von 15-45° gegen die Substrat-Oberfläche geneigt werden.
- 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen des Verdampfungsguts (65, 75, 85,709810/075395s 135) unter einem Druck von 1,3 ·. 10 bis 6,7 · 10 3 mbar niedergeschlagen werden.
- 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß der kürzeste Abstand zwischen der Verdampfungsgut-Quelle und der Substrat-Oberfläche größer und der kürzesteFreiraum-Abstand zwischen dem Eintritt der jalousieartigen Anordnung und der Substrat-Oberfläche kleiner als die mittlere freie Weglänge der Teilchen des Verdampfungsgutes ist.
- 7. Verfahren nach Anspruch 2 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß der kürzeste Abstand zwischen der freien Querschnittsebene der jalousieartigen Anordnung und der Substrat-Oberfläche kleiner als die mittlere freie Weglänge der Verdampfungsgut-Teilchen ist.
- 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-7» gekennzeichnet durch eine mittlere freie Weglänge der Verdampfungsgut-Teilchen von 2 bis 50 cm.
- 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 4-8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen unter Sehfeld-Winkeln von 10 60° geneigt werden, die durch die benachbarten Lamellen bei Schnitt durch eine jalousieartige Anordnung gebildet werden.
- 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-9» dadurch gekennzeichnet, daß der Ausricht-Pilm auf der Substrat-Oberfläche 50 bis 600 8 dick ausgebildet wird.
- 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-10, gekennzeichnet durch einen Ausricht-Film auf der Substrat-Oberfläche aus elektrischem Isolierstoff.
- 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekenn-70981Ö/07S3zeichnet, daß der auf dem Substrat niedergeschlagene Ausricht-Film aus Indiumoxid oder Zinnoxid besteht.709310/0 7Leerseite
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