DE2611781A1 - Messvorrichtung zur messung des verschiebeweges eines koerpers relativ zu einem zweiten - Google Patents

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. Curt Wallach Dipl.-Ing. Günther Koch Dipl.-Phys. Dr.Tino Haibach Dipl.-Ing. Rainer Feldkamp

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Datum: 19. März 1976

Unser Zeichen: ^ 454 _

Rolls-Royce (I97I) Limited - London (England)

Meßvorrichtung zur Messung des Verschiebeweges eines Körpers relativ zu einem zweiten

Die Erfindung bezieht sich auf eine Verschiebungs-Meßvorrichtung und insbesondere auf eine Versohiebungs-Meßvorrichtung, die die Verschiebung in drei Koordinatenrichtungen anzeigt.

Es sind bereits Verschiebungs-Meßvorrichtungen bekannt, die die Versetzung in drei Koordinatenrichtungen anzeigen. Die Benutzung solcher Meßvorrichtungen ist jedoch infolge ihrer Konstruktion begrenzt und sie sind nur in der Lage, in jedem Moment nur die Versetzung in einer oder höchstens in zwei Richtungen anzuzeigen.

Gemäß der Erfindung wird eine Versetzungs-Meßvorriohtung geschaffen, die am beweglichen Kopf einer Melkmaschine oder einer Maschine befestigt werden kann, die eine Messung durchfuhren soll und ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Meßkörper und eine Sonde vorgesehen sind, welch letztere in drei senkrecht aufeinander stehenden Koordinatenrichtungen relativ zu dem Meßkörper beweglich ist, wobei drei unabhängige Versetzungsfühler mit der Sonde zusammenwirken und eine Anzeige der Lage.

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der Sonde in den drei Koordinatenrichtungen relativ zu dem Körper liefern.

Die Sonde ist vorzugsweise an dem Meßkörper über eine Lageranordnung befestigt, wobei die Sonde einerseits an der Lageranordnung befestigt ist, und die Lageranordnung ihrerseits von dem Meßkörper getragen wird.

Die Lageranordnung wird von dem Meßkörper vorzugsweise über Mittel getragen, die eine Relativbewegung zwischen der Lageranordnung und dem Körper und demgemäß zwischen der Sonde und dem Körper in einer ersten Richtung zulassen.

Die Mittel zur Halterung der Lageranordnungen auf dem Meßkörper können aus einer Gruppe von Blattfedern bestehen.

Die Sonde ist vorzugsweise auf der Lageranordnung durch Mittel festgelegt, die eine Relativbewegung zwischen der Sonde und der Lageranordnung in einer zweiten und einer dritten Richtung zulassen, die senkrecht aufeinander und senkrecht auf der ersten Bewegungsrichtung der Lageranordnung relativ zu dem Meßkörper stehen.

Die Mittel, die eine Relativbewegung zwischen der Sonde und der Lageranordnung aufweisen, bestehen aus zwei Gelenken, von denen das eine die Sonde und einen Zwischenkörper und das andere den Zwischenkörper und die Lageranordnung verbindet. Die beiden Gelenke sind so angeordnet, daß ihre Schwenkachsen senkrecht aufeinander und senkrecht zu der ersten Bewegungsrichtung der Lageranordnung relativ zu dem Meßkörper stehen.

Stattdessen können die Mittel, die eine Relativbewegung zwischen der Sonde und der Lageranordnung bewirken, aus zwei Gruppen von Blattfedern bestehen, wobei eine Gruppe der Blattfedern die

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Sonde und einen Zwischenkörper und die zweite Gruppe den Zwischenkörper mit der Lageranordnung verbindet, wobei die beiden Gruppen von Blattfedern derart angeordnet sind, daß die Ebenen in denen die erste Gruppe liegt, senkrecht zu den Ebenen steht, in denen die zweite Gruppe liegt und ebenfalls senkrecht zu der ersten Bewegungsrichtung der Lageranordnung relativ zu dem Meßkörper.

Die Verschiebungsmeßeinrichtung kann Linear-Verschiebungswandler aufweisen, von denen jeder so angeordnet ist, daß ihre Ausgänge die Lage der Sonde relativ zu dem Meßkörper in einer Koordinatenrichtung anzeigen.

Die Versetzungs-Meßvorrichtung kann mit Funkübertragung ausgestattet sein, um die Ausgänge der Linear-Versetzungswandler einem entfernt angeordneten Funkempfänger zu liefern.

Der entfernt angebrachte Funkempfänger kann die Ausgänge der Linear-Versetzungswandler darstellen.

Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung weist ein Verfahren zur Messung der x, y und ζ Koordinaten eines zu messenden Gegenstandes die folgenden Stufen auf: Es wird der zu messende Gegenstand mit einem Versetzungs-Meßgerät berührt, und es wird gleichzeitig ein elektrisches Signal erzeugt, welches den x, y und ζ Koordinaten des Gerätes entspricht, wenn eine Berührung stattfindet, daß diese Signale in Funksignale umgeformt werden, und daß diese Funksignale an eine entfernt liegende Stelle übertragen werden, und daß empfängerseitig die Funksignale In eine Aufzeichnung umgewandelt werden, die den x, y und ζ Koordinaten entspricht.

Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

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Pig. 1 eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer Ausführungsform einer Versetzungs-Meßvorriehtung gemäß der Erfindung;

Fig. 2 eine Seitenansicht der Lagerung und der Sonde der Versetzungs-Meßeinrichtung gemäß Figur Ij

Fig. 3 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles A gemäß Figur Ij

Fig. 4 eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform eines Versetzungs-Meßgerätes nach der Erfindung;

Fig. 5 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles B gemäß Figur 4;

Fig. 6 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles C nach Figur 4;

Fig. 7 einen Schnitt der Versetzungs-Meßeinrichtung gemäß Figur 4;

Fig· 8 eine perspektivische Ansicht eines Teils der Versetzungs-Meßeinrichtung gemäß Figur 4;

Fig. 9 ein Blockschaltbild einer elektronischen Schaltung, die in Verbindung mit dem erfindungsgemäßen Versetzungs-Meßgerät benutzbar ist.

Gemäß Figur 1 weist das Versetzungs-Meßgerät 10 ein Gehäuse auf, in dem mittels zweier paralleler Blattfedern 13 ein Lageraufbau 12 getragen wird. Dieser Lageraufbau 12 ruht auf den Blattfedern 13 in der Weise, daß er sich gemäß Figur 1 in vertikaler Richtung gegenüber dem Gehäuse 11 bewegen kann.

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Der Lageraufbau 12 ist nach unten (gemäß Figur 1) durch eine Druckfeder 14 vorgespannt, die den Lageraufbau 12 mit dem Gehäuse 11 verbindet. Die Bewegung des Lageraufbaus 12 wird nach unten durch Berührung mit der Basis 15 des Gehäuses begrenzt, während die Aufwärtsbewegung durch einen Anschlag 16 begrenzt ist, der an der Innenwand des Gehäuses 11 vorgesehen ist.

Der Abstand, um den sich die Lageranordnung 12 gegenüber dem Gehäuse 11 bewegt, wird durch den Ausgang des Linear-Versetzungswandlers 17 angezeigt, dessen Spule 18 bzw. dessen Kern 19 am Gehäuse 11 bzw. am Lageraufbau 12 befestigt sind.

Der Lageraufbau 12 besteht aus einem Primärrahmen 20 und einem Sekundärrahmen 21. Der Sekundärrahmen 21 wird teilweise von dem Primärrahmen 20 umschlossen und ist mit diesem bei 22 schwenkbar verbunden. Eine Sonde 25 ist ihrerseits schwenkbar bei 24 innerhalb des Sekundärrahmens 21 angelenkt und wird teilweise von diesem Sekundärrahmen umschlossen. Die Schwenkachsen der Sonde 23 des Sekunärrahraens 21 und des Primärrahmens 20 stehen senkrecht aufeinander, und zwar nach Art von Kardanachsen, so daß die Sonde 23 in zwei senkrecht zueinander verlaufenden Richtungen ausgelenkt werden kann.

Da der Lageraufbau 12 sich vertikal gegenüber dem Gehäuse 11 über die Blattfedern 13 bewegen kann, ist die Sonde 23 demgemäß in der Lage, sich in drei senkrecht zueinander stehenden Richtungen zu bewegen.

Die Sonde 23 ist mit einem im Querschnitt L-förmig gestalteten Abschnitt 24' versehen und trägt hiermit den Kern 25 des Linear-Versetzungswandlers 26. Die Spule 27 des Wandlers 26 ist am Sekundärrahmen 21 so angeordnet, daß der Ausgang des Wandlers 26 die Schwenkstellung der Sonde 23 gegenüber dem

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Sekundärrahmen 21 anzeigt.

Zwei Druckfedern 28 und 29 verbinden den Abschnitt 24 und den Sekundärrahmen 21 so, daß die Sonde 23 gegenüber dem Sekundärrahmen 21 in eine Lage vorgespannt wird, in der die Sonde 23 im wesentlichen senkrecht zur Längsachse der Spule 27 liegt. Nicht dargestellte Anschläge begrenzen die Schwenkbewegung der Sonde 23 gegenüber dem Sekundärrahmen 21.

Der Sekundärrahmen 21 ist mit einem Arm 30 versehen, der den Kern 31 eines Linear-Wandlers 32 trägt. Die Spule 33 des Linear-Wandlers 32 ist am Primärrahmen 20 montiert, so daß der Ausgang des Wandlers 32 die Schwenklage des Sekundärrahmens gegenüber dem Primärrahmen 20 angibt.

Die beiden Druckfedern 33^! und 34 verbinden den Sekundärrahmen 21 mit dem Primärrahmen 20 so, daß der Sekundärrahmen 21, wie aus der Zeichnung dargestellt, in eine Mittelstellung bezüglich des Primärrahmens 20 vorgespannt wird. Anschläge 35 begrenzen die Schwenkbewegung des Sekundärrahmens 21 gegenüber dem Primärrahmen 20.

In Figur 4 ist die Versehiebungs-Meßvorriehtung allgemein mit 36 bezeichnet, und sie besitzt Einzelteile, die dem Zweck nach mit Einzelteilen der Verschiebungs-Meßvorriehtung 10 gleich sind. In der folgenden Beschreibung sind die Bezugszeichen dieser Bauteile mit einem a versehen.

Die Versetzungs-Meßvorrichtung 36 besteht aus- einem Gehäuse 11a, in dem über zwei parallele Blattfedern 13a ein Lageraufbau 12a getragen wird. Der Lageraufbau 12a wird von den Blattfedern 13a so getragen, daß er sich gemäß Figur 4 in Horizontalrichtung gegenüber dem Gehäuse 11a bewegen kann. Die Bewegung des Lageraufbaus 12a nach links (wieder gemäß Figur 4) wird durch

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einen Anschlag 37 begrenzt, während die Bewegung nach rechts durch Anschlag an das Wandlergehäuse 38 begrenzt wird. Der Lageraufbau 12a wird gemäß Figur 4 nach links durch eine Druckfeder 14a vorgespannt, die den Lageraufbau 12a und das Wandlergehäuse 38 verbindet.

Der Lageraufbau 12a weist einen Primärrahmen 20a und einen Sekundärrahmen 21a auf, die durch eine zweite Gruppe paralleler Federn 39 verbunden sind.. Die Blattfedern 39 sind so angeordnet, daß die Ebenen in denen sie liegen, senkrecht auf den Ebenen stehen, in denen die Blattfedern 13a liegen. Infolgedessen kann sich der Sekundärrahmen 21a relativ zu dem Primärrahmen 20a in einer Richtung bewegen,, die senkrecht zur Bewegungsrichtung des Primärrahmens 20a relativ zum Gehäuse 11a verläuft.

Der Sekundärrahmen 21a ist an einem Tertiärrahmen 40 mittels einer dritten Gruppe von Blattfedern 41 befestigt. Die Ebenen, in denen die Blattfedern 41 verlaufen, liegen senkrecht zu den Ebenen, in denen sowohl die Blattfedern 39 als auch die Blattfedern 13a liegen. Infolgedessen kann sich der Tertiärrahmen 30 relativ zu dem Sekundärrahmen 21a in einer Richtung bewegen, die senkrecht zur Bewegungsrichtung des Sekundärrahmens 21a relativ zu dem Primärrahmen 20a verläuft. Die Art und Weise, in der der Sekundärrahmen 21a mit dem Tertiärrahmen 40 verbunden ist, läßt sich deutlicher aus Figur 8 erkennen.

Der Tertiärrahmen 40 ist demgemäß in drei senkrecht aufeinander stehenden Ebenen x, y und ζ relativ zu dem Gehäuse 11a (Figur 8) beweglich.

Ein Sondenträger 42 ist mit einem Flansch 43 ausgestattet, (Figur 6) mit dem er am Tertiärrahmen 40 befestigt ist. Der Sondenträger 42 ist mit einem Innengewindeabschnitt 44 (Figur 7) ausgestattet, das eine Sonde in ähnlicher Weise wie bei

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23 in Figur 1 und 2 gezeigt, aufnimmt. Hierbei ist die tatsächliche Sonde, die im Sondenträger 42 festlegbar ist, aus Gründen der Übersicht weggelassen. Da der Sondenträger 42 am Tertiärrahmen 40 befestigt ist, folgt daß sowohl der Sondenträger 42 als auch Jede daran befestigte Sonde in drei senkrecht zueinander stehenden Ebenen relativ zum Gehäuse 11a beweglich ist.

Der Primärrahmen 20a trägt den Kern 31a eines Linear-Versetzungswandlers 32a (Figur 5). Die Spule 33a des Wandlers 32a ist am Sekundärrahmen 21a im Wandlergehäuse 45 befestigt, so daß der Ausgang des Wandlers 32a die Lage des Sekundärrahmens 21a gegenüber dem Primärrahmen 20a anzeigt.

In gleicher Weise trägt der Tertiärrahmen 40 den Kern 25a des Linear-Versetzungswandlers 26a (Figur 4). Die Spule 27a des Wandlers 26a ist am Sekundärrahmen 21a so festgelegt, daß der Ausgang des Wandlers 26a die Lage des Tertiärrahmens 40 gegenüber dem Sekundärrahmen 21a anzeigt.

Demgemäß liefern die drei Linear-Versetzungswandler 17a, 32a und 26a eine Anzeige der Lage des Sondenträgers 42, und demgemäß der hiervon getragenen Sonde in drei senkrecht aufeinander stehenden Koordinatenrichtungen, relativ zu dem Gehäuse 11a.

Um eine reproduzierbare Anlaufstellung für den Sondenträger 42 zu erzeugen, ist jeder Rahmen, d.h. der Primärrahmen und der Sekundärrahmen und der Tertiärrahmen mit Mitteln ausgestattet, um die Rahmen in eine bekannte Ausgangslage zurückzuführen, nachdem sie aus ihrer beabsichtigten Bewegungsrichtung ausgelenkt wurden. In diesem Fall befindet sich der Primärrahmen 20a in seiner Anlaufstellung, wenn er in Berührung mit dem Anschlag 37 steht. Wie erwähnt, wird der Primärrahmen 20a durch die Druckfeder 14a mit dem Anschlag 37 in Berührung gebracht.

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Die Mittel zur Rückführung der Sekundär- und Tertiärrahmen 21a und 40 in eine definierte Ausgangsstellung können aus Figur 5 abgelesen werden. Das Wandlergehäuse 45, welches vom Sekundärrahmen 21a getragen wird, ist mit einem ersten Ansatz 46 versehen, an dem zwei parallele, im Abstand zueinander angeordnete Blattfedern 47 verschraubt sind, von denen in Figur 5 nur eine dargestellt ist. Ein zweiter am Primärrahmen 20a angeordneter Ansatz 48 ist so dimensioniert, daß er zwischen die freien Enden der Blattfedern 47 und in Berührung mit diesen steht. Infolgedessen führt jede Bewegung des Sekundärrahmens 21a relativ zu dem Primärrahmen 20a je nach Richtung der Bewegung dazu, daß eine der Blattfedern 47 durch den zweiten Ansatz 48 ausgelenkt wird. Wenn die Kraft, die die Relativbewegung zwischen Primär- und Sekundärrahmen 20a und 21a verursacht, weggenommen wird, dann führt die ausgelenkte Blattfeder 47 die Primär- und Sekundärrahmen 20a und 21a in ihre relativen Ausgangsstellungen zurück.

Der Tertiärrahmen 40 ist mit einem dritten Ansatz 49 versehen, an dem ein zweites Paar von Blattfedern 50 angeschraubt ist. Die Blattfedern 50 sind den Blattfedern 47 ähnlich, und sie sind in gleicher Weise montiert, aber in einer Richtung angeordnet, die im wesentlichen senkrecht zu der Richtung verläuft, in der die Blattfedern 47 angeordnet sind. Ein vierter Ansatz 51 ist am Wandlergehäuse 45 so angeordnet, daß er zwischen den freien Enden der Blattfedern 50 zu liegen kommt, und diese berührt. Das Zusammenwirken zwischen den Blattfedern 50 und dem vierten Ansatz 51 ist ähnlich dem Zusammenwirken zwischen den Blattfedern 47 und dem zweiten Ansatz 48. Infolgedessen führt bei einer Relativbewegung zwischen dem Sekundärrahmen 21a und dem Tertiärrahmen 40 eine Wegnahme der Kraft dazu, daß die ausgelenkte Blattfeder 50 den Sekundärrahmen und den Tertiärrahmen 21a bzw. 40 in ihre Anfangsstellung zurückführt.

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Es ist gelegentlich erforderlich, den Sondenträger 42 in einer oder in zwei Richtungen festzulegen, wenn in diesen Richtungen keine Bewegung zu erwarten ist. Der Mechanismus zur Verriegelung des Sondenträgers 42 in einer oder zwei Richtungen ist aus Figur 7 erkennbar. Der Sondenträger 42 enthält einen zylindrischen Plunger 42, der einen Endabschnitt 53 mit vermindertem Durchmesser besitzt. Der Endabschnitt 53 liegt in einem entsprechenden Loch 54, welches im ersten Ansatz 46 des Wandlergehäuses 45 vorgesehen ist. Da der Sondenträger 42 am Tertiärrahmen 40 befestigt ist, wird eine Relativbewegung zwischen dem Tertiärrahmen 40 und dem Sekundärrahmen 21a verhindert, wenn der Endabschnitt 53 des Plungers in dem Loch 54 des Plungerkolbens 52 in dem Loch 54 ruht. Ein Handhebel 55, der am Plunger 52 vorgesehen ist, ermöglicht einen Eingriff mit dem ersten Ansatz 51·

Der Plungerkolben 52 ist mit zwei parallelen Abflachungen 56 versehen, die benachbart zu diametral verlaufenden, gegenüber liegenden Löchern 57 im Sondenträger 42 verlaufen. In Jedem der Löcher 57 ist eine Kugel 58 angeordnet. Das Durchführungsloch 59* das im Primärrahmen 20a für den Sondenträger 42 angeordnet ist, besitzt genügend große Abmessungen, um eine Relativbewegung zwischen Sondenträger 52 und Gehäuse zu ermöglichen. Der Plungerkolben 52 wird durch den Handhebel 55 so gedreht, daß die Abflachungen 56 nicht mehr benachbart zu den Löchern 57 liegen, so daß die Kugel 58 in Eingriff mit dem Primärrahmen 20a gelangen, wodurch eine Relativbewegung zwischen dem Primärrahmen 20a und dem Tertiärrahmen 40 verhindert wird.

Hieraus ergibt sich, daß es möglich ist, Primärrahmen und Tertiärrahmen 20a bzw. 40 und Primärrahmen bzw. Sekundärrahmen 20a bzw. 21a entweder unabhängig voneinander oder kombiniert zu verriegeln.

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Die Ausgänge der Linear-Versetzungswandler 18, 26 und 32 beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 bis 3 und die Wandler 18a, 26a und 32a bei dem Ausführungsbeispiel nach Figur 4 bis stellen diskrete Frequenzbänder dar, die in einer Mischstufe 60 gemischt werden, bevor sie einem Hochfrequenzfunksender 61 zugeführt werden, der eine Sendeantenne 62 aufweist.

Die Mischstufe 60 der Sender 61 und die Antenne 62 sowie Batterien zur Speisang dieser elektronischen Anlage können zweckmäßigerweise bei dem ersten Ausführungsbeispiel am Gehäuse 11 angebaut sein, und beim zweiten Ausführungsbeispiel am Gehäuse lla· Das vom Sender 61 ausgehende Signal wird durch einen entfernt angeordneten Empfänger 63 aufgenommen, der eine Antenne 64 aufweist. Der Empfänger 63 dekodiert das Signal mittels Bandpaßfiltern in drei getrennte Frequenzsignale, die dann weiter behandelt und einer Stufe 65 in Gestalt von Digitalmessungen der Drei-Richtungsbewegung der Sonde 23 bzw. der Sonde im Sondenträger 42 dargeboten werden.

Die Verschiebungs-Meßvorrichtungen 10 und 10a können bei einer numerisch gesteuerten Maschine benutzt werden, um ein Werkstück während einer Folge von Arbeitsgängen zu inspizieren. Die Versetzungs-Meßvorrichtung 10 oder 10a ist dabei auf dem Werkzeugmagazin der Maschine so angeordnet, daß sie vom beweglichen Maschinenkopf automatisch abgetastet wird, wie bei einem normalen Werkzeug, wobei eine Inspektion des Werkstückes durch Berührung zwischen Werkstück und Sonde 23 erlangt werden kann.

Stattdessen können die Verschiebungs-Meßvorrichtungen 10 und lOa bei einer eigens zum Zwecke der Inspektion gebauten Maschine benutzt werden, bei der ein beweglicher Kopf vorgesehen ist, an dem die Meßvorrichtung befestigt werden kann.

Patentansprüche :

B Π 9 8 A 2 / 0 8 8 3

Claims (11)

1. PATENTANSPRÜCHE

   Verschiebungs-Meßvorrichtung, insbesondere zur Befestigung an dem beweglichen Kopf einer Meßmaschine oder einer Maschine, die eine Messung zwischen einem Körper und einer Sonde zuläßt, die sich relativ zu dem Körper bewegt, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonde (23) in drei senkrecht aufeinander stehenden Koordinatenrichtungen relativ zu dem Meßkörper 11 versetzbar ist, und daß drei unabhängige Versetzungs-Anzeigevorrichtungen(18, 26, 32) vorgesehen sind, die mit der Sonde (23) zusammenwirken, und eine Anzeige der Lage der Sonde (23) in den drei Richtungen relativ zu dem Körper (11) liefern.
2. 2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonde (23) vom Körper (11) über einen Lageraufbau (12) getragen wird, und daß die Sonde (23) am Lageraufbau (12) montiert ist, der seinerseits von dem Körper (11) getragen wird.
3. 3. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Lageraufbau (12) auf dem Körper (11) durch Mittel (13) festgelegt ist, die eine Relativbewegung zwischen dem Lageraufbau (12) und dem Körper (11) in einer ersten Richtung ermöglichen.

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4. 4. Meßvorrichtung nach Anspruch 3*
   dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (13), die den Lageraufbau (12) vom Körper (11) aus tragen, aus einer Gruppe von Blattfedern bestehen.
5. 5. Meßvorrichtung nach den Ansprüchen 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonde (23) auf dem Lageraufbau (12) über Mittel (20 21) getragen wird, die eine Relativbewegung zwischen der Sonde (23) und dem Lageraufbau (12) in zweiten und dritten Richtungen zulassen, die senkrecht zueinander lind senkrecht zu der ersten Bewegungsrichtung des Lageraufbaus (12) relativ zum Körper (11) verlaufen.
6. 6. Meßvorrichtung nach Anspruch 5»
   dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (20 21), welche eine Relativbewegung zwischen der Sonde (23) und dem Lageraufbau (12) ermöglichen, aus zwei Gelenken (22, 24) bestehen, von denen das eine Gelenk (24) die Sonde (23) mit einem Zwischenkörper (21) und das andere Gelenk (22) den Zwischenkörper (21) mit dem Lageraufbau (12) verbindet, und daß die beiden Gelenke (22, 24) so angeordnet sind, daß ihre Schwenkachsen senkrecht zueinander und zu der ersten Bewegungsrichtung des Lageraufbaus (12) relativ zu dem Körper verlaufen.
7. 7. Meßvorrichtung nach Anspruch 5,
   dadurch gekennzei chnet, daß die Mittel, die eine Relativbewegung zwischen der Sonde (23) und dem Lageraufbau (12a) ermöglichen, aus zwei Gruppen von Blattfedern (39* 41) bestehen,

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   von denen eine Gruppe (41) die Sonde (23) mit einem Zwischenglied (21a) verbindet, und die andere Gruppe (39) das Zwischenglied (21a) mit dem Lageraufbau (12a) wobei die beiden Gruppen von Blattfedern (39, 41) so angeordnet sind, daß die Ebenen,in denen die erste Gruppe (41) liegt, senkrecht zu den Ebenen verläuft, in denen die zweite Gruppe (39) liegt, und ebenfalls senkrecht zu der ersten Bewegungsrichtung des Lageraufbaus (12a) relativ zu dem Körper.
8. 8. Meßvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Verschiebe-Anzeigeeinrichtung (18, 26 und 32) vorgesehen ist, die aus Linear-Versetzungswandlern besteht, von denen jeder so angeordnet ist, daß der Ausgang die Stellung der Sonde (23) relativ zu dem Körper (11) in einer Koordinatenrichtung anzeigt.
9. 9. Meßvorrichtung nach Anspruch 8,
   dadurch gekennzeichnet, daß die Yersetzungs-Anzeigeeinrichtung (18, 26 und 32) mit einem Funksender (61) versehen ist, der den Ausgang der Linear-Wandler (18, 26, 32) nach einem entfernt liegenden Funkempfänger (63) übermittelt.
10. 10. Meßvorrichtung nach Anspruch 9*
    dadurch gekennzeichnet, daß der entfernt angeordnete Funkempfänger mit Mitteln (65) ausgerüstet ist, die den Ausgang der Linear-Versetzungswandler (18, 26 und 32) darstellen.

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11. 11. Verfahren zur Messung der x, y, und ζ Koordinaten der Bewegung eines Gegenstandes, dadurch gekennzeichnet, daß der zu messende Gegenstand mit einem ■Versetzungsfühler gemäß den Ansprüchen 1 bis 10 berührt wird, daß gleichzeitig ein elektrisches Signal erzeugt wird, welches jede der x, y und ζ Koordinaten der Meßvorrichtung repräsentiert, wenn diese Berührung stattfindet, daß diese Signale in Punksignale umgeformt und einem entfernt liegenden Empfänger übermittelt werden, und dort als x, y und ζ Koordinaten dargestellt werden.

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