DE2507430C2 - Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle - Google Patents
Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte MoleküleInfo
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- DE2507430C2 DE2507430C2 DE19752507430 DE2507430A DE2507430C2 DE 2507430 C2 DE2507430 C2 DE 2507430C2 DE 19752507430 DE19752507430 DE 19752507430 DE 2507430 A DE2507430 A DE 2507430A DE 2507430 C2 DE2507430 C2 DE 2507430C2
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Mciekuiarvakinnnpuinpe
der Hybridbauart, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1.
Der Nachteil aller bekannten Molekularvakuumpumpen besteht darin, daß sie for leichte Molekuhle wie H2
und He ein niedriges Kompressionsverhältnis K - (Vorvakuumdruck/Hochvakuumdruck) haben. Bei
den bestehenden Konstruktionen werden für Wasserstoff K- Werte zwischen 103 und 104 angegeben, während
für Nj Werte von 101' erreicht werden.
Es sind verschiedene Methoden bekannt, um diese Nachteile suszugleichen. Einmal ist es bekannt, zu diesem
Zweck bei einer mit einer Vorpumpe betriebenen Turbomolekularpumpe auf der Vorvakuumseite Ballastgas
einzuführen. Dadurch wird der Wasserstoffpartialdruck
auf der Vorvakuumseite um den Faktor 2 oder 3 erniedrigt Daraus folgt auch auf der Hochvakuumseite
eine Erniedrigung des Wasserstoffpartialdrucks um den gleichen Faktor. Dieses Ballastgas wirkt in Vorvakuumleitung
und Vorpumpe. Nachteilig ist außerdem, daß relativ große Ballastgasmengen benötigt werden, der
Wirkungsgrad also schlecht ist
Bekannt ist außerdem eine Molekularpumpe, die als Hybridpumpe bezeichnet wird (DE-OS 24 12 624). Auch
diese Pumpe erreicht für Wasserstoff nur ein Kompressionsverhältnis von Al » 1,5 · 103.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, das Kompressionsverhältnis einer Molekularvakuumpumpe
der eingangs erläuterten bekannten Art zu erhöhen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die so Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1
ge!ö$t
Es wurde festgestellt, daß sich z. B. durch Einlaß von
N 2 und Ar zwischen Turbo- und Holweckstufe das Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle in der Molekularpumpe
um mehrere Zehnerpotenzen, also wesentlich mehr als mit bisher bekannten Anordnungen
und Verfahren, verbessern läßt. Die benötigte Ballastgasmenge liegt erheblich niedriger und somit der Wirkungsgrad
wesentlich höher als mit den zur Zeit bekannten Methoden.
Es handelt sich offensichtlich um eine Maßnahme, die
in der Molekularpumpe selbst eine Erhöhung des Kompressionsverhältnisses
für leichte Moleküle bewirkt.
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Claims (2)
1. Molekularvakuumpumpe der Hybridbauart, bestehend aus einem Turbomolekular- und einem Hol·
weckmolekularpumpenteil, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen dem Turbomolekularpumpenteil und dem Holweckmolekularpumpenteil
eine Gasballasteinrichtung zum Einlaß geringer Ballastgasmengen in die Molekularpumpe angeordnet
ist
2. Molekularvakuumpumpe, nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Teil der Turbomolekularpumpenstufen
durch Scheibenmolekularpumpenstufen ersetzt ist
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752507430 DE2507430C2 (de) | 1975-02-21 | 1975-02-21 | Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752507430 DE2507430C2 (de) | 1975-02-21 | 1975-02-21 | Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2507430A1 DE2507430A1 (de) | 1976-08-26 |
DE2507430C2 true DE2507430C2 (de) | 1985-04-04 |
Family
ID=5939419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752507430 Expired DE2507430C2 (de) | 1975-02-21 | 1975-02-21 | Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2507430C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4333980C1 (de) * | 1993-10-05 | 1994-11-03 | Saskia Hochvakuum Und Labortec | Spülgasquelle |
Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
JPS62113887A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-25 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
EP4108931B1 (de) * | 2022-09-01 | 2024-06-26 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Verfahren zum betreiben einer molekularvakuumpumpe zur erzielung eines verbesserten saugvermögens |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2224009A5 (de) * | 1973-03-30 | 1974-10-25 | Cit Alcatel |
-
1975
- 1975-02-21 DE DE19752507430 patent/DE2507430C2/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4333980C1 (de) * | 1993-10-05 | 1994-11-03 | Saskia Hochvakuum Und Labortec | Spülgasquelle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2507430A1 (de) | 1976-08-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE |
|
8381 | Inventor (new situation) |
Free format text: SCHITTKO, FRANZ-JOSEF, DIPL.-PHYS. DR., 5300 BONN, DE |