DE2502973A1 - Tonerde mit einem leitenden ueberzug - Google Patents
Tonerde mit einem leitenden ueberzugInfo
- Publication number
- DE2502973A1 DE2502973A1 DE19752502973 DE2502973A DE2502973A1 DE 2502973 A1 DE2502973 A1 DE 2502973A1 DE 19752502973 DE19752502973 DE 19752502973 DE 2502973 A DE2502973 A DE 2502973A DE 2502973 A1 DE2502973 A1 DE 2502973A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- nitride
- alumina
- metal
- conductive
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/388—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of a metallic or inorganic thin film adhesion layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka, Japan
Tonerde mit einem leitenden Überzug
Die Erfindung betrifft Tonerde mit einem leitenden überzug mit einer glatten
Oberfläche, bestehend aus einer leitenden Schicht und einer Klebeschicht zwischen
der leitenden Schicht und einer Oberfläche der Tonerde, welche vorteilhaft benutzt werden kann z. B. für einen Abnehmer eines Videoplatten-Wiedergäbesystems
der Type mit Kapazitätsänderung»
Diese Erfindung betrifft einen neuartigen Aufbau einer Tonerde, die einen leitenden
Überzug trägt. Insbesondere betrifft sie eine Tonerde mit einem leitenden Überzug, die z. B. zur Herstellung eines Abnehmers für ein Videoplatten-Wiedergabesystem
der Type mit Kapazitätsänderung geeignet ist.
509841/0823
Eine Tonerde wie z. B. Saphir oder Rubin, deren chemische Hauptzusammensetzung
ein OC-Al-CL ist und die einen leitenden Überzug aufweist, wird in großem Maße
z. B. dazu verwendet, einen Abnehmer für ein Videoplatten-Wiedergabesystem mit Kapazitätsänderung und einen veränderlichen Widerstand mit einem dünnen Metallfilmüberzug
für eine elektrische Schaltung herzustellen. Der leitende Überzug klebt jedoch wegen der hohen chemischen Stabilität schlecht auf der Oberfläche
der Tonerde. Es wurden viele versuche unternommen, um die Klebkraft des leitenden
Überzuges auf der Tonerde zu verbessern. Z. B. wurde versucht, mit einer unregelmäßigen Oberfläche der Tonerde die Haftung des leitenden Überzuges auf
der Tonerdeoberfläche zu verbessern. Diese Tonerden haben jedoch den Nachteil einer ühgleichförmigkeit der Oberfläche des leitenden Überzuges. .
Ziel dieser Erfindung ist die Schaffung einer Tonerde mit leitendem Überzug und
mit glatter Oberfläche.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer Tonerde mit einem leitenden
Überzug, die z. B. geeignet ist für die Herstellung eines Abnehmers für ein Videoplatten-Wiedergabesystem der Type mit Kapazitätsänderung.
Noch ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer Tonerde mit einem
leitenden Überzug, die z. B. geeignet ist für die Herstellung eines veränderlichen
Widerstandes für eine elektrische Schaltung.
Diese und andere Ziele der Erfindung werden aus der nachfolgenden Beschreibung
mit den beiliegenden Zeichnungen deutlich werden, in denen
die Figuren 1 und 2 Querschnittsansichten einer Tonerde mit einem leitenden
609341/0823
Überzug gemäß dieser Erfindung zeigen,
Fig. 3 ein Querschnitt eines .Abnehmers für ein Videoplatten-Wiedergabesystem
der Type mit Kapazitätsänderung ist, der eine leitende Schicht gemäß dieser Erfindung
trägt, und . Fig. 4 eine Querschnittsansicht eines veränderlichen Widerstandes zeigt, der
aus einer Tonerde mit einem leitenden Überzug gemäß dieser Erfindung hergestellt
ist.
In Fig. 1 umfaßt eine Tonerde J^ mit einer leitenden Schicht gemäß dieser Erfindung eine leitende Schicht 1 und eine Klebeschicht 2 zwischen der leitenden
Schicht und einer Oberfläche der Tonerde 3. Jedes verfügbare und geeignete leitende
Material kann für die Herstellung der leitenden Schicht verwendet werden.
Z. B. kann ein Metallelement, eine Metallegierung und eine Mstall-Nitrid-Verbindung
dafür verwendet werden.
Gemäß dieser Erfindung wurde entdeckt, daß, wenn die Klebeschicht aus einemλ
Oxid der leitenden Schicht hergestellt ist, wie z. B. dem Oxid des Mstallelements,
dem Oxid der Metallegierung und dem Oxid der Metall-Nitrid-Verbindung, die leitende Schicht fest mit der Oberfläche der Tonerde verklebt werden kann.
Die Klebkraft der leitenden Schicht auf der Tonerde, gemessen nach einem Zugver-
2
fahren, ist höher als 5 kg/mm .
fahren, ist höher als 5 kg/mm .
Gemäß dieser Erfindung wurde ebenfalls entdeckt, daß, wenn die Klebschicht aus
einer Mshrfach-Schicht besteht, die leitende Schicht sehr fest an der Oberfläche
der Tonerde haften kann, wie es in der Fig. 2 angezeigt wird.
In der Fig. 2 besteht eine Tonerde 20 mit leitender Schicht gemäß dieser Erfin-
609841/0823 '
dung aus einer leitenden Schicht T und einer Klebeschicht 2 zwischen der leitenden
Schicht und der Oberfläche der Tonerde 3. Die Klebeschicht besteht aus einer oberen Schicht 4 und einer unteren Schicht 5, wobei die obere Schicht
aus einem Oxid der leitenden Schicht hergestellt ist und die untere Schicht aus einer festen Lösung zwischen einem Aluminiummetalloxid und einem fremden Metalloxid
besteht, dessen Schmelzpunkt niedriger ist als der der Tonerde. Die Tonerde 3 ist nicht beschränkt auf reine Tonerdekristalle oder Keramiken. Alle
Kristalle oder Keramiken, die aus 0^-Al2O., bestehen, sind dafür verwendbar wie
Saphir, Rubin, Sternrubin und Sternsaphir.
Vorzugsweise besteht die feste Lösung für die untere Schicht 5 aus einem Mitglied
der Gruppe Al2O3-SiO2, Al2O3-GeO2, Al2O3-SnO2, Al2O3-PbO, Al2O3-B2O3,
Al2O3-Ga2O3, Al2O3-In2O3 und einer Verbindung davon. Die feste Lösung kann die
Oberfläche der Tonerde erweichen, so daß die leitende Schicht leicht auf die Oberfläche der Tonerde aufgeklebt werden kann. Die untere Schicht 5 kann auch
aus einer festen Lösung zwischen einer Tonerde und einem Glas hergestellt werden
wie Sodaglas, Bleiglas, Borsilikatglas, Silikaglas, Pyrexglas und Vycorglas.
Hartmetalle wie ein schwer schmelzbares Metall, ein Nitrid wie ein schwer
schmelzbares Mstallnitrid, ein Siicid wie ein schwer schmelzbares Metallsilicid,
ein Borid wie ein schwer schmelzbares Metallborid, ein Karbid wie ein schwer schmelzbares Metallkarbid und eine Verbindung davon können zur Herstellung der
leitenden Schicht verwendet werden, wenn eine hohe Abnutzungsfestigkeit für die leitende Schicht gefordert wird. Die Klebkraft der leitenden Schicht auf der
2
Tonerde liegt viel höher als 5 kg/mm , gemessen nach einem Zugverfahren.
Tonerde liegt viel höher als 5 kg/mm , gemessen nach einem Zugverfahren.
S09841/0823
Die leitende Schicht und die Klebschicht, die oben beschrieben wurden, können
unter Verwendung einer herkömmlichen kathodischen Aufsprühtechnik hergestellt werden; Die leitende Schicht kann durch ein kathodisches Aufsprühen bei Hochfrequenz
-von einer Elektrode aus dem leitenden Material für die leitende
Schicht in einer nicht reagierenden Atmosphäre von z. B. Argongas bei 10 bis 10 Torr hergestellt werden. Die aus einem Oxid der leitenden Schicht hergestellte
Klebeschicht kann durch ein kathodisches Aufsprühen bei Hochfrequenz von der Elektrode aus dem leitenden Material in einer oxidierenden Atmosphäre
-2-1
wie Sauerstoffgas bei 10 bis 10 Torr hergestellt werden. Die aus der festen Lösung bestehende Klebeschicht kann durch ein kathodisches Aufsprühen bei Hochfrequenz von einer Elektrode des fremden Metalloxids oder einer Elektrode des oben beschriebenen Glases in einer nicht reagierenden Atmosphäre wie Argongas in Verbindung mit anschließender Wärmebehandlung in Luft bei 600 bis 1200 0G für 1 bis 3 Stunden hergestellt werden.
wie Sauerstoffgas bei 10 bis 10 Torr hergestellt werden. Die aus der festen Lösung bestehende Klebeschicht kann durch ein kathodisches Aufsprühen bei Hochfrequenz von einer Elektrode des fremden Metalloxids oder einer Elektrode des oben beschriebenen Glases in einer nicht reagierenden Atmosphäre wie Argongas in Verbindung mit anschließender Wärmebehandlung in Luft bei 600 bis 1200 0G für 1 bis 3 Stunden hergestellt werden.
Es wurde gefunden, daß ein Tonerde-Abnehmer für ein Videoplatten-Wiedergabesystem
der Type mit Kapazitätsänderung hergestellt werden kann aus einem Stab aus Tonerde mit einem leitenden Überzug, wie er oben beschrieben wurde. Der in Fig.
3 gezeigte Abnehmer 30 für ein Videoplatten-Wiedergabesystem gemäß der vorliegenden
Erfindung besteht aus einem länglichen Stab 3 aus Tonerde, z. B. einem
Saphirkristallstäb, mit einer leitenden Schicht 1 hoher Abnutzungsfestigkeit aus
Tantal und mit einer Klebeschicht 2 aus einer Tantaloxidschicht 4 und einer Schicht 5 einer festen Lösung von Al2O3-SiO2. Die Dicke des Tantals, des Tantaloxids
und der festen Lösung Al2O^-SiO2 beträgt vorzugsweise 0,05 bis 1,0, 0,01
bis 0,2 bzw. 0,01 bis 0,3/um. Wie Fig. 3 zeigt, soll der Abnehmer 30 in einer
Nut der Platte 6 laufen, die eine leitende Oberfläche 7 und einen dielektrischen
609841/0823
Oberzug 8 über der leitenden Oberfläche aufweist, und der Abnehmer soll weiterhin
mit der Platte 6 zusammenwirken und kapazitive Änderungen- zwischen dem Abnehmer
und der leitenden Oberfläche aufgrund geometrischer Veränderungen im Boden der Nut liefern, wenn eine relative Bewegung zwischen dem Abnehmer oder Taster
unider Platte hergestellt wird. Alle leitenden Materialien mit einem hohen
Abnutzungswiderstand können für die leitende Schicht 1 des Abnehmers verwendet werden. Für die leitende Schicht 1 können verwendet werden ein schwer schmelzbares
Metall wie Ta, Hf, Ti, Zr, Nb, Mo und Legierungen davon, ein schwer schmelzbares Metallnitrid wie Tantalnitride, Hafniumnitride, Titannitride, Zirkonnitride,
Niobiumnitride, Molybdännitride und eine Verbindung davon, ein schwer schmelzbares Mstallsilicid wie Tantalsilicide, Hafniumsilicide, Titansilicide,
Zirkonsilicide, Niobiumsilicide, Molybdänsilicide und Verbindungen
davon, ein schwer schmelzbares Metallborid wie Tantalboride, Hafniumboride, Titanboride, Zirkonboride, Niobiumboride, Molybdänboride und Verbindungen davon
und ein schwer schmelzbares Mstallkarbid wie Tantalkarbide, Hafniuirikarbide, Titankarbide,
Zirkonkarbide, Niobiumkarbide, Molybdärikarbide und eine Verbindung
davon. Der Tonerdestab 3 ist so geformt, daß, wenn er die Plattennut berührt, eine Kante des leitenden Elementes nahe dem dielektrischen Überzug liegt.
Gemäß dieser Erfindung wurde auch entdeckt, daß ein veränderlicher Widerstand
mit einem dünnen Widerstandsfilm für eine elektrische Schaltung hergestellt
werden kann unter Verwendung einer Tonerde, die einen leitenden Überzug trägt, wie er oben beschrieben worden ist. Der in Fig. 4 gezeigte veränderliche Widerstand
40 gemäß dieser Erfindung umfaßt einen Träger 3 aus Tonerdekeramiken mit
einer glatten Oberfläche, einem leitenden Überzug 1 aus einem Widerstandsfilm,
einer Klebeschicht 2 aus einem Oxid des Widerstandsfilmes und einer festen Lösung
5, wie Al9O7-SiO9, einer festen Metallelektrode 9 und einer beweglichen Ms-
609841/0823
tallbürstenelektrode 11, die die Oberfläche des leitenden Überzuges berühren.
Alle Widerstandsmaterialien können für den leitenden Überzug verwendet werden, wenn der leitende Überzug eine hohe Abnutzungsfestigkeit aufweist. Ein hartes
Metall wie Ta, Hf, Ti, Zr, Nb, Mo und Legierungen davon, eine Metallnitratverbindung
wie Tantalnitrate, Hafniuranitride, Titannitride, Zirkonnitride, Niobiumnitride
und Molybdännitride, Tantal-Tantalnitride, Tantal-Silikonnitride und
Tantal-Aluminiuranitride und verbindungen zwischen Nitriden wie Tantalnitrid-Silikonnitrid,
Tantalnitrid-Aluminiumnitrid, Titannitrid-Zirkonnitrid-Aluminiuranitrid
können zur Herstellung des leitenden Überzuges verwendet werden.
- Patentansprüche -
S09841/0823
Claims (10)
1. Tonerde mit einem leitenden Überzug, gekennzeichnet durch eine leitende
Schicht und eine Klebeschicht zwischen der leitenden Schicht und der Tonerdeoberfläche
.
2. Tonerde mit einem leitenden Überzug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Klebeschicht aus einem Oxid der leitenden Schicht besteht.
3. Tonerde mit einem leitenden Überzug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Klebeschicht aus einer oberen und einer unteren Schicht besteht, wobei die obere Schicht aus einem Oxid der leitenden Schicht und die untere
Schicht aus einer festen Lösung zwischen einem Aluminiummetalloxid und einem Fremdmetalloxid besteht, dessen Schmelztemperatur niedriger ist als die des
Aluminiummetalloxids.
4. Tonerde mit einem leitenden Überzug nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die feste Lösung ein Mitglied der Gruppe Al2O3-SiO2, Al2O3-GeO2,
Al2O3-PbO, Al2O3-B2O3, Al2O3-Ga2O3, Al2O3-In2O3 und eine Verbindung davon und
ein weiteres Mitglied der Gruppe umfaßt, die aus einer festen Lösung von Tonerde-Sodaglas,
einer festen Lösung von Tonerde-Bleiglas, einer festen Lösung von
Tonerde-Borsilikatglas, einer festen Lösung von Tonerde-Silikaglas, einer festen
Lösung von Tonerde-Pyrexglas und einer festen Lösung von Tonerde-Vycorglas besteht.
5. Abnehmertaster, der einer Nut in einer Aufzeichnungsplatte folgt, die
609841/0823
eine leitende Oberfläche und einen dielektrischen Überzug über der leitenden
Oberfläche aufweist, und der weiterhin mit der Aufzeichnungsplatte zusammenwirkt
und kapazitive Änderungen zwischen dem Taster und der leitenden Oberfläche
liefert, wenn eine relative Bewegung zwischen dem Taster und der Aufzeichnungsplatte
hergestellt wird, wobei der Taster aus einem länglichen Stab aus Tonerde mit einem leitenden überzug gemäß Anspruch 1 besteht.
6. Abnehmertaster nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die leitende
Schicht aus einem Mitglied der von einem Ms tall, einem Mstallnitrid, einem Mstallsilicid,
einem Metallborid, einem Metallkarbid und einer Verbindung davon gebildeten Gruppe besteht.
7. Abnehmertaster nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die leitende
Schicht aus einem Mitglied der Gruppe hergestellt ist, die von einem schwer
schmelzbaren Metall, einem schwer schmelzbaren Metallnitrid, einem schwer schmelzbaren Metallsilicid, einem schwer schmelzbaren Metallborid, einem schwer
schmelzbaren Metallkarbid und einer verbindung davon gebildet wird.
8. Abnehmertaster nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Klebeschicht
aus einem Mitglied der Grupe hergestellt ist, die von einem Metalloxid, einem Oxid eines Metallnitrids, einem Oxid eines Metallsilicids, einem Oxid
eines Metallborids, einem Oxid eines Metallkarbids und einer verbindung davon
gebildet wird.
9. Veränderlicher Widerstand für eine elektrische Schaltung, bestehend aus
einem Träger mit einem leitenden Überzug und einer beweglichen Metallbürste, die
60984U0823
die Oberfläche des leitenden Überzuges berührt, wobei der Träger aus einer Tonerde
besteht, die einen leitenden Überzug gemäß Anspruch 1 aufweist.
10. Veränderlicher Widerstand nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
der leitende Überzug aus einem Mitglied der Gruppe, die von Ta, Hf, Ti, Zr, Nb, Md und Legierungen davon gebildet wird, und einem weiteren Mitglied der Gruppe
hergestellt wird, die von Tantalnitriden, Titannitriden, Zirkonnitriden, Niobiumnitriden,
Molybdännitriden, Tantal-Tantalnitriden, Hafhium-Hafniumnitride,
Titan-Titannitride, Zirkon-Zirkonnitride, Niobium-Niobiumnitride, Molybdän-Malybdännitride,
Tantalnitrid-Titannitrid, Titannitrid-Zirkonnitrid, Tantal nitrid-Aluminiuninitrid,
Tantalnitrid-Silikonnitrid, Titannitrid-Munriniumnitrid,
Titannitrid-Silikonnitrid und Titannitrid-Zirkonnitrid-Alumiiiiuninitrid gebildet
wird.
Heipa/Nep
509841 /0823
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3860074 | 1974-04-04 | ||
JP49038600A JPS511398A (de) | 1974-04-04 | 1974-04-04 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2502973A1 true DE2502973A1 (de) | 1975-10-09 |
DE2502973B2 DE2502973B2 (de) | 1977-06-16 |
DE2502973C3 DE2502973C3 (de) | 1978-02-02 |
Family
ID=
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS511398A (de) | 1976-01-08 |
DE2502973B2 (de) | 1977-06-16 |
FR2266930B1 (de) | 1980-06-20 |
GB1487260A (en) | 1977-09-28 |
FR2266930A1 (de) | 1975-10-31 |
US4052738A (en) | 1977-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2527739C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Meßwiderstandes für ein Widerstandsthermometer | |
DE2148132C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines dünnen piezoelektrischen Films | |
EP0459575B1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Monolayer-Kondensatoren | |
DE3026200C2 (de) | Nichtlinearer Widerstand | |
DE2436911A1 (de) | Verfahren zur herstellung von duennfilmbauteilen | |
DE1465702A1 (de) | Verfahren zur Haltbarmachung eines schwer schmelzbaren duennschichtigen Metallwiderstandes | |
DE3518637C2 (de) | Optischer Artikel mit verbesserter Hitzefestigkeit | |
DE3811907C1 (de) | ||
DE2538331C3 (de) | Flüssigkristallanzeigeelement | |
DE1216499B (de) | Auf Eisen oder Eisenlegierungen aufgebrachtes Email mit hoher Dielektrizitaetskonstante | |
DE3520064A1 (de) | Kapazitiver drucksensor, sowie verfahren zu seiner herstellung | |
DE102007011878A1 (de) | Isolatorschichtsystem für einen Sensor und Sensor mit einem solchen Isolatorschichtsystem | |
DE2502973A1 (de) | Tonerde mit einem leitenden ueberzug | |
DE69613928T2 (de) | Piezoelektrische Keramik und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
EP0637089B1 (de) | Verfahren zur Herstellung von PZT-Schichten | |
DE2461096C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Dunnschichtwiderstandes | |
DE2502973C3 (de) | Abnehmertaster | |
DE2502974A1 (de) | Diamant mit leitendem ueberzug und verfahren zur herstellung desselben | |
DE1279242B (de) | Elektronisches Festkoerperbauelement zum Schalten | |
DE856920C (de) | Verfahren zur Herstellung gasbindender, gut waermestrahlender Elektrodenoberflaechen | |
DE1521157C3 (de) | Verfahren zur Erhöhung der Festigkeit der Bindung zwischen dünnen Schichten | |
DE68916748T2 (de) | Wärmekopf. | |
DE2126340B2 (de) | Mit elektroden versehener dickschichtwiderstand | |
EP0477744B1 (de) | Temperatursensor | |
DE69112739T2 (de) | Zerstäubungstarget, damit hergestellter filmwiderstand und thermischer druckkopf nebst zugehöriger herstellungsverfahren. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |