DE2362731A1 - Verfahren zur erzeugung einer gruppe von positionsbestimmenden signalen - Google Patents
Verfahren zur erzeugung einer gruppe von positionsbestimmenden signalenInfo
- Publication number
- DE2362731A1 DE2362731A1 DE2362731A DE2362731A DE2362731A1 DE 2362731 A1 DE2362731 A1 DE 2362731A1 DE 2362731 A DE2362731 A DE 2362731A DE 2362731 A DE2362731 A DE 2362731A DE 2362731 A1 DE2362731 A1 DE 2362731A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- diffraction
- basic structure
- sections
- intensities
- signals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 claims 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- MNWBNISUBARLIT-UHFFFAOYSA-N sodium cyanide Chemical compound [Na+].N#[C-] MNWBNISUBARLIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 102000014150 Interferons Human genes 0.000 description 1
- 108010050904 Interferons Proteins 0.000 description 1
- 241000282320 Panthera leo Species 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 229940079322 interferon Drugs 0.000 description 1
- 210000004072 lung Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
UiuerZeichen: A 1S>52/H 2812 . · 633 Wetzlar,den, 12. Dez. 1973
Pat St/Pf?
Verfatireti zur Erzeugung einer Gruppe
von positionsbestimmotidcn Signa-Ion
Die Erfindung betrifft ein Verfanreri zur Ei^zeugung
Gruppe von positionsbestiiwueuden Signalen jnit HiIiV mindestens
piner als .Beugungsgitter ausgebildeten Me Ji spur
einer Maßverkörperung und eine Anordnung /ur Durcnfünrung
dieses Verfatirens.
Es sind verscniedeiio pnotoelektrisciie Verfariren und Anordnungen
zur inkrementalen Längen- und Winkelmessung bekanntgeworden, die durcti Abzänlen von überf atirenen Gitterteiluu^sperioden
bezuglicn. einer vorgegebenen NuIlage
die Positionierung eines Werkstücks ei'lauben. Die eigentlicne
Meiigrölje ist bei diesen Anordnungen die Anzaul der bei
Bewegung in einer Rictitung entweder direkt oder durcti Interferonzerscaeinungeii
erzeugten Signalperioden und deren Periodnnbrucnteile.
Eine absolute Positionierung auf einen bestimmten Längenoder
Wiükclwert kann mit Hilfe von codierten Teilungen
erreiout iv'erdmi. Als Maßvorkörperung dienen nier meist
meiirom parallel zueinander angeordnete Spuren mit untersciilr-dliciior
Teilungsperiode. Duron gleicny,eitige Abtastung aller Spuren ertiält man eine Signalkomljination,
die entsprechend deüi jeweils verwendeten Code einen bestimmten
Meßwert repr-üscutiei't, beispielsweise in Form
einer De^irnalzatil. Eine andere Möglichkeit bestellt tlai'in,
eine einzige Te i lungs spur mit .Hilfe monrnrer codierter
Teilungen gleichzeitig abzutasten, wobei durcti Kombination
der einzelnen Signale eine digitale Meilv\Tertanzei;';e
müglicn wird.
BAD ORiGlNAL
S0982S/060S
" " A Ί952/Β 2812
3 2812 12. T20 1973
Bei allen bekannten Anordnungen zur Erzeugung positionsbe stimmender Signale liefert jede Teilungsspur nur die
Information für einen einzigen Meßwert, bzw. eine Dezimalstelle
eines Meßwertes, so daß für jede zusätzlich gewünscnte Information bzw. jede feinere Unterteilung
der Meßwertanzeige, die nictit elektronisch erfolgen soll,
mindestens eine weitere Teilungsspur erforderlich, ist.
Da es Häufig aus Platzgründen nicht möglicn ist, zusätzlicne
Teilungsspuren auf dem Teilungsträger unterzubringen, sind dem Meßbereicn. oder der Anzeigegenauigkeit der
bekannteii Anordnungen prinzipielle Grenzen gesetzt.
Aus der DT-OS 1 622 865 ist ein Verfahren bekannt gewor- · den, durcn das aus einer Speicnerfläctieneinheit menrere
unabnängige Informationen gewonnen werden können. Das genannte
Verfanren dient der Einschränkung des Speicnerplatzbedarfs
bei optisciaer Informationsspeicüerung, indem
einzelnen Informationsgruppen Codierungen zugeordnet werden, die z.B. übereinander menrere Gitter mit untersctiiedlicner
azimutaler Winkelstellung und Gitterkonstanten entnalten
(vgl. Anspruch 11 dieser Scnrift). Beim Durchleuchten des Speicherfeldes kann durcn Abtasten der Beugungsordnungen in der Ortsfrequenzebene die Codierung gelesen
werden. Dieses Verfanren macht von der Erkenntnis Gebraucn, daß die Lage der Beugungsordnungen in der Ortsfrequenzebene
nur von der Lage der Licntquelle, der Gitterkonstanten und dem Azimutwinkel der Gitterteilung abnängig ist.
Von Interesse ist in diesem Zusammennang nocn. der Aufsatz:
Azimutalmodulation in der Optik, A. Lotimann und Bo Morgenstern,
Optik 2£ (1963), S. 450 - k-55. Die dort beschriebene
Tatsache nat im Zusammenhang mit der Informationsspeir·
cnerung den Vorteil, daß bei Bewegung des gittercodierten Speicnerfeldes senkrecnt zur Beleucntungsricntung die Lage
der Beugungsordnungen fest bleibt. Dies läßt die Anwendung des Verfanrens für Meßzwecke aber als ungeeignet erscneinen,
da durcn Beobacntung der Codesignale eine Verscnie-
5098-2S/06ÖS - 3 -
A 1952/B 2812
12. 12. 1973
bung des SpeictierfeOa.es in seiner Ebene nictit feststellbar
ist.
Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, das aus der optischen
Informationsspeicherung bekannte Verfahren für Linear- und Winkelkoordinaten-Messungen nutzbar zu machen,
damit aus einer Teilungsspur mit Hilfe eines geeigneten Abtastkopfes gleichzeitig mehrere voneinander
unabhängige Informationen gewonnen werden können«
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs erwärmten Art erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden
Merkmale des Anspruchs 1 gelöste Vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens ergeben sien aus den Ansprüchen 2
bis 7· Eine Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist im Anspruch 8 angegeben. Vorteilhafte
Ausgesteltungen dieser Anordnung sind in den Ansprüchen 9 bis 11 beschrieben.
In der Zeicnnung ist ein Ausführungsbeispiel für einen Positionsgeber nach der Erfindung sctiematisch dargestellt.
Außerdem werden Beispiele für die Überlagerung einer Mikrostruktur auf die Grundstruktur eines mäanderförmigen
Phasengitters gezeigt.
Bei dem in Fig. 1 als Beispiel für einen nur eindimensional beugenden Maßstab dargestellten Positionsgeber wird
ein als Maßverkörperung dienendes Beugungsgitter 10, das mit einem nicht dargestellten Meßobjekt starr verbunden
ist, von einer monochromatischen Lichtquelle 11 über eine
Kollimatorlinse 12 mit parallelem Licht beleuchtet,,
Die Grundstruktur des Beugungsgitters 10 ist beispielsweise als mäanderförmiges Phasengitter mit einem Tastverhältnis
von 1:1 (Balken=Lücke) und χ/2-Phasensprung ausgebildet» Eine solche Grundstruktur besitzt bekanntlich
50982570605 ~ h ~
_ /j. —
A 1952/B 2812
12, 12. 1973
nur in den ungeraden Beugungsordnungen Intensität, wobei die ±1 . BeugungsOrdnung mit 2 χ kO *ja vor allen anderen
bevorzugt ist. Dieser Grundstruktür ist erfindungsgemäß
in periodischem Wechsel je eine MikroStruktur überlagert, die einmal die Intensität der ±3. und zum anderen die der
±5° BeugungsOrdnung bevorzugt, onne die Auslöschung der
nullten Beugungsordnung zu beeinflussen.
In Richtung der optiscnen Actise des Beleuctitungs systems
11, 12 ist Hinter dem Beugungsgitter 10 ein aus Prfenen I3,
Ik zusammengesetztes Bauelement angeordnet,das zumindest
die ersten drei BeugungsOrdnungen des am Gitter 10 gebeugten
Beleucntungsstranls auffängt. Durcn ein nachgescnaltetes Ptiasengitter 15 wird eine Interferenz-Strahl vereinigung
der ±1 0 Beugungs Ordnung erreictit. Die Licnteintrittsfläctien
16, I7 der Prismen 13» 14 sind senkrecht zur
Strahlrichtung der ±1. BeugungsOrdnung ausgerichtet. Die
Prismenmaterialien sind so gewan.lt, daß die Strahlenbündel
der ±1 o Beugungs Ordnung an den Seitenf läctien 18, I9
der Prismen totalreflektiert werden, die Strahlenbündel der ±3. und ±5. Beugungsordnung aber durch diese Fläcnen
wieder aus den Prismen austreten«
Nacn ^der Totalreflexion durchdringen und durchmiscnen die
Strahlenbündel der ±1. BeugungsOrdnung einander an dem
rückbeugenden Phasengitter 15 in der Weise, daß in der
wiederentsten.end.en 0-ten Beugungs Ordnung gleiche Anteile
der +1 ο und der -1. BeugungsOrdnung enthalten sind, während
in den wiederentstehenden zweiten BeugungsOrdnungen Teilstrahlen mit den Ordnungszahlen +1, +3 einerseits und
-1, -3 andererseits enthalten sind. Die drei Strahlenbündel
werden zusammen über eine Linse 22 auf drei nebeneinander liegende photoelektrische Empfänger 231 2k, 25 abgebildet,
an deren Ausgängen bei Bewegung des Gitters 10 in bekannter Weise (DT-OS 2 003 ^92 und DT-OS 2 127
5 0 9 6 2 S/060 S
A I952/B 2812
12. 12. I973
ein chircn Interferenz der untersctiiedlictien Beugungsordnungen erzeugtes periodiscn.es Signal entstellt«
Die seitlicti aus den Prismen 13» 14 austretenden ±3. und
±5". Beugungsordnungen v/erden je über eine Linse 26, 27
auf getrennte ptiotoelektrisctie Empfänger 28-31 abgebildet.
Die Signalamplituden an den Empfängern der 3«
bzw. 5· BeugungsOrdnungen nängen von der speziellen Ausfünrung
der der Grundstruktur des Gitters 10 überlagerten MikroStruktur ab. Beispiele für verschiedene Mikrostrukturen
sind in den Figuren 2 bis 5 angegeben. Die an den pnotoelektrisctien Empfängern anfallenden Signale werden
in einer nicnt dargestellten Auswerteelektronik durcti
Scnwellwertsenalter in logiscne Signale verformt, die in
einer geeigneten Verknüpfungsschaltung zu einem System
codierter Positionssignale umgeformt werden.
Die in den Figuren 2 bis 5 angegebenen Beispiele für die
in der erfindungsgemäßen Anordnung zu verwendenden Teilungsspuren besitzen die gleicne mäanderförmige Grundstruktur
mit einer Gitterperiode g» In Fig. 2 ist in jeden Steg der Grundstruktur eine Lücke mit einer Breite a und in
jede Lücke der Grundstruktur ein Steg mit fiter gleicnen Breite a an einer nomologen Stelle eingearbeitet. Diese
überlagerte MikroStruktur beeinflußt die Oberwellen des Ortsfrequenzspektrums der Grundstruktur, d.n. die Amplituden
und Pnasen der Beugungsordnungen eines Licntbündels bei Reflexion oder Transmission an dem Beugungsgitter mit
dieser Struktur, in der Weise, daß die 3· Beugungsordnung verstärkt wird. Das Ausmaß der Verstärkung dieser Beugungsordnung nängt ersicntlich von der Breite a der zusätzlictien
Struktur elemente abo
Das Beispiel der Fig. 3 ist so gewählt, daß ausgehend von
der gleicnen Grundstruktur wie in Fig. 2 zusätzlich, je
5/0605
A 1952/B 2812
12. 12. 1973
zwei Lücken und Stege eingearbeitet sind, die jeweils
die Halbe Breite der Mikrostrukturelemente von Fig» 2 besitzen. Die MikroStruktur nimmt also insgesamt die
gleicne Fläctie ein, wie in Fig. 2. Diese Anordnung nat
den Vorteil, daß wegen der feineren Teilung der Mikrostruktur jetzt die 5° Beugungsordnung verstärkt wird,
wegen der Fläcnengleicnheit der Strukturelemente im Vergleich zu Fig. 2 aber die Intensität in der 1. Beugungsordnung die gleictie bleibt wie dort bei Bevorzugung der
3 ο BeugungsOrdnung.
¥ählt man datier für einen Positionsgeber nacn Fig» 1 beispielsweise
ein Beugungsgitter nach Figo k, bei dein die
Mikrostrukturen nacn den Fig. 2 und 3 periodisch, wechseln, so kann man die notieren Beugungs Ordnungen zum Auslesen
einer Hilfsinformation paarweise so ausnutzen, daß die
±1 ο Beugungsordnung, die das Auslesen der Hauptinformation
vermittelt, bei Veränderung der Makrostruktur unverändert
in der Intensität bleibt, wänrend die Intensitäten für die Hilf sinf ormation in der einen Beugungs Ordnung abnetimen,
und in der anderen Beugungsordnung in gleicher Proportion zunehmen. Mit Hilfe von solcnen Signalpaaren
kann dann über Differenzverstärker bzw» Differenztrigger
aus den Nulldurcngängen von Ausgangssignalen ein weitgehend
liontpegelunabnängiges Signal für die Hilfsinformationen
aus der metirfacn ausgenutzten Spur gewonnen werden.
Bei dem in Fig. h dargestellten Beugungsgitter kann selbstverständlicn
die Länge der verscniedenen Mikrostrukturen auch über menrere Perioden der Grundstruktur reicnen. Auen
können anstelle der Anordnung der Grund- und der Mikrostruktur auf getrennten, zueinander ausgerichteten Trägern
32, 33 die Strukturen in einen Träger eingearbeitet sein, Die Anordnung nacn Fig. 4 eignet sich aucn setir gut zur
Herstellung eines Reflexionspnasengitters mit überlagerter
- 7 509825/060S
7 " A 1952/B 2812
12. 12. 1973
Mikrostruktur« Dazu braucht beispielsweise nur die
Grundstruktur auf dem Träger 32 verspiegelt zu werden. Die Furchentiefe im Reflexionsteil und die Steghöhe im
Transmissionsteil sind so auszubilden, daß beim Übergang vom Steg zur Furche ein λ/2 Phasensprung für die
transmittierten bzw. reflektierten Strahlenanteile entsteht.
Die örtliche Ausfilterung der beiden Beugungsordnungen für die Hauptinformation kann auch durch Spalte oder
Spiegelflecken an Stellen, an welchen die Bündel der Beugungsordnungen getrennt verlaufen, erfolgen. Dies
können beispielsweise die Bildorte der Lichtquelle oder der Beleuchtungsblende sein« Neben diesen Orten können
für die die Hilfsinformationen enthaltenden Beugungsordnungen
photoelektrische Wandler angeordnet werden, um die/&ntsprechenden Signale zu erzeugen.
Eine andere Trennung ist entsprechend Fig» 5 dadurch möglich,
daß die Strukturelemente der MikroStruktur so angeordnet werden, daß die Verbindungslinie homologer Punkte
(m) der Mikrostruktur nicht mit der Teilungsricntung (g)
der Grundstruktur zusammenfällt„ Die die Hilfsinformation
enthaltenden BeugungsOrdnungen liegen dann nicht mehr in
der Ebene der zur Auslesung der Hauptinformation dienenden Beugungsordnungen.
Die Anwendung der vorstehend genannten Prinzipien ist nicht auf einen Positionsgeber mit nur einer Teilungsspur beschränkt. Beispielsweise können die feiner geteilten
Spuren eines codierten Gebers auch als Beugungsgitter aufgefaßt werden, so daß durch diesen Teilungen überlagerte
Mikrostrukturen bei entsprechender geometrischer Trennung der Beugungsordnungen und durch zusätzliche photoelektrische
Empfänger neben der bisher üblichen Information weitere Hilfsinformationen aus derselben Spur gewonnen
werden können.
2S/080S
Claims (1)
- ο —A 1952/B 2812 12. 12. 1973AnsprücheVerfahren zur Erzeugung einer Gruppe von positionsbestimmenden Signalen mit Hilfe mindestens einer als Beugungsgitter ausgebildeten Meßspur einer ein- oder zweidimensionalen Längen- oder Winkel-MaßVerkörperung, dadurcn gekennzeichnet, daß in mindestens einer Meßspur einer konstanten Grundstruktur des Beugungsgitters mindestens eine aus Flächenelementen der Meßspur Heraus in verschiedene Raumwinkelbereicne beugende MikroStruktur als Funktion des Meßweges abschnittsweise überlagert wird und daß die den Abschnitten zugeordneten BeugungsIntensitäten in den verscniedenen Raumwinkeln durch getrennte Empfänger nachgewiesen werden.2, Verfahren nacn Anspruch 1, dadurcn gekennzeichnet, daß mindestens zwei von der Grundstruktur herrührende Beugungsordnungen durch strahlrichtungsändernde Strahlvereiniger jeweils paarweise in die gleictie Ricntung gelenkt werden und die positionsabhängige Interferenzmodulation der jeweiligen ZweiStrahlbündel nachgewiesen wird.3. Verfahren nacn. den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß in an sich bekannter Weise durch vorzugsweise phasenverschobene gegentaktmodulierte Paare von interferenzmodulierten Signalen ein Drehfeldradiusvektor definiert wird und daß durch die abschnittsweise Intensitätsänderung der miteinander nach Anspruch 2 interferierenden Beugungsintensitäten der Betrag dieses Drehfeldvektors geändert wird und daß zur Abschnittserkennung der Betrag des Drehfeldvektors oder das Verhältnis des Drenfeldvektors zu einem Referenzsignal durcn mindestens einen Schwellwertschalter bewertet wird.— 9 —50982S/060S_ ο —A 1952/B 2812 12. 12. 1973Verfaaren nacn einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die abschnittsweise unterscniedlicnen Mikrostrukturen so ausgebildet werden, daß sie gemeinsame Strukturmerkmale aufweisen, durch die bestimmte Beugungsintensitäten in Gruppen von Abscnnitten zumindest annähernd konstant bleiben, wätirend die Beugungsintensitäten anderer Raumwinkelbereiche den einzelnen Abscnnitten entsprecnond variieren.5. Verfatiren nacti einem der vorhergehenden Ansprücne , dadurcn gekennzeicnnet, daß die Beugungs- und Interferenzintensitäten durcn pnofcoelektrische Empfänger nachgewiesen werden, deren Signale nacn Re cnte clever formung in Scnwellwertscnaltern so miteinander verkn^üpft werden, daß für jede Position der Maßverkörperung relativ zu einem Abtastkopf in bekannter Weise eine diese Position codierende binäreSignalkombination am Ausgang einer Verknüpfungslοgilt erzeugt wird.ο Verfanren nacn den Ansprücnen h und 5» dadurch gekennzeicnnet, daß die photoelektrischen Signale den Beugungs- und/ oder Interferenzintensitäten annähernd proportional sind und den jeweiligen Intensitäten durcn mehrere Schwellwertpegel mehr als zwei Schaltzustände zugeordnet worden.Verfanren nacn den Ansprüchen 4 und 5» dadurch gekennzeichnet, daß die Summen oder Differenzen oder Quotienten von mindestens zwei Signalen von photasLektrischen Empfängern gebildet werden und diese Analog- oder Digitalrechenwerte durch mindestens einen Schwellwertschalter bewertet werden,,8„ Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine als Beugungsgitter ausgebildete Meßspur einer Maßverkörperung vorgesetien ist, deren konstanter Grundstruktur eine aus Flächen-504825/0605 - 10 -10 ~ A 1952/B 281212. 12. 1973elementen der Meßspur neraus in verscniedene Raumwinkelbereictie beugende Makrostruktur als Punktion des Meßweges abschnittsweise variabel überlagert ist, und daß photoelektrische Empfänger zum Nachweis der den Abschnitten zugeordneten Beugungsintensitäten in verschiedenen Raumwinkeln vorgesehen sind.9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrostrukturen Periodizitäten aufweisen, deren Ricntung mit der Periodizitätsrichtung der Grundstruktur zusammenfällt .10. Anordnung nach Ansprucn 8, dadurcn gekennzeichnet, daß die Mikrostrukturen Periodizitäten aufweisen, deren Richtungen mit der Periodizitätsricntung der Grundstruktur abscnnittsweise verschiedene Winkel einschließen„11. Anordnung nach einem der Ansprücne 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem als Maßverkörperung dienenden Träger der Grundstruktur der Meßspur mindestens eine zumindest Strukturanteile der Mikrostruktur tragende zweite Trägerplatte fest oder in der Strukturebene verscnwenkbar verbunden ist.509825/0608Leerseite
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2362731A DE2362731A1 (de) | 1973-12-17 | 1973-12-17 | Verfahren zur erzeugung einer gruppe von positionsbestimmenden signalen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2362731A DE2362731A1 (de) | 1973-12-17 | 1973-12-17 | Verfahren zur erzeugung einer gruppe von positionsbestimmenden signalen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2362731A1 true DE2362731A1 (de) | 1975-06-19 |
Family
ID=5901039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2362731A Pending DE2362731A1 (de) | 1973-12-17 | 1973-12-17 | Verfahren zur erzeugung einer gruppe von positionsbestimmenden signalen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2362731A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2714324A1 (de) * | 1977-03-31 | 1978-10-05 | Leitz Ernst Gmbh | Fotoelektrisches auflicht-wegmessystem |
EP0446691A2 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-18 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Vorrichtung |
US5332895A (en) * | 1992-02-20 | 1994-07-26 | Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. | Angle encoder with incremental and absolute tracks |
US6472658B2 (en) | 1997-12-10 | 2002-10-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Photoelectric position measuring system that optimizes modulation of a scanning device and the intensity of a reference mark signal |
-
1973
- 1973-12-17 DE DE2362731A patent/DE2362731A1/de active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2714324A1 (de) * | 1977-03-31 | 1978-10-05 | Leitz Ernst Gmbh | Fotoelektrisches auflicht-wegmessystem |
EP0446691A2 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-18 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Vorrichtung |
EP0446691A3 (en) * | 1990-03-13 | 1991-11-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optical device |
US5332895A (en) * | 1992-02-20 | 1994-07-26 | Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. | Angle encoder with incremental and absolute tracks |
AT404300B (de) * | 1992-02-20 | 1998-10-27 | Rsf Elektronik Gmbh | Drehgeber |
US6472658B2 (en) | 1997-12-10 | 2002-10-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Photoelectric position measuring system that optimizes modulation of a scanning device and the intensity of a reference mark signal |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0513427B1 (de) | Interferentielle Positionsmessvorrichtung | |
EP0163824B1 (de) | Photoelektrische Messeinrichtung | |
EP0509979B1 (de) | Photoelektronische Positionsmesseinrichtung | |
DE69633213T2 (de) | Drehwinkelgeber | |
DE4226683B9 (de) | Optischer Bewegungsaufnehmer | |
EP0735346B1 (de) | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung | |
DE10028136B4 (de) | Positionsmeßsystem | |
EP0137099B1 (de) | Messeinrichtung | |
DE3541199C1 (de) | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung | |
DE4209149C2 (de) | Verschiebungsdetektoren zum Detektieren zweidimensionaler Verschiebungen | |
DE4422641A1 (de) | Optisches Wellenmeßgerät | |
DE19701925A1 (de) | Vorrichtung zum Messen einer Verschiebung | |
EP3511680B1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
EP0804716B1 (de) | Fotoelektrisches weg- und winkelmesssystem zum messen der verschiebung zweier objekte zueinander | |
DE9007559U1 (de) | ||
DE102015218539B4 (de) | Optische Positionsmesseinrichtung | |
EP0425726A1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
EP0333929A2 (de) | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung | |
DE102016015233B4 (de) | Codiereinrichtung | |
DE3933983C2 (de) | ||
EP0626563B1 (de) | Positionsmesseinrichtung mit Hologramm-Masstab | |
DE3872227T2 (de) | Opto-elektronischer skalenlese-apparat. | |
DE102016015225B4 (de) | Codiereinrichtung | |
EP3477264A1 (de) | Optische positionsmesseinrichtung | |
DE2362731A1 (de) | Verfahren zur erzeugung einer gruppe von positionsbestimmenden signalen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OHJ | Non-payment of the annual fee |