DE2309665C3 - Turbomolekular-Vakuumpumpe - Google Patents
Turbomolekular-VakuumpumpeInfo
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- DE2309665C3 DE2309665C3 DE2309665A DE2309665A DE2309665C3 DE 2309665 C3 DE2309665 C3 DE 2309665C3 DE 2309665 A DE2309665 A DE 2309665A DE 2309665 A DE2309665 A DE 2309665A DE 2309665 C3 DE2309665 C3 DE 2309665C3
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekular-Vakuumpumpe mit einem axial und radial gelagerten, vertikal
angeordneten Rotor, wobei zwischen zwei Radiallagern ein Antriebsmotepvorgesehen ist
Turbomolekularpumpen sind für den Einsatz als Hochvakuumpumpen bekannt Sie arbeiten im molekularen
Strömungsbereich und benötigen deshalb sehr
hohe Drehzahlen, da die Förderwirkung durch Impulsübertragung der schnell rotierenden, am Rotor befestigten
Schaufeln auf die Gasmoleküle zustandekommt und demnach die Umfangsgeschwindigkeit der Schaufeln in
der Größenordnung der mittleren thermischen Geschwindigkeit der Gasmoleküle liegen muß.
Die sich daraus ergebende hohe Drehzahl stellt im Vakuum ein ernstnaftes Lagerproblem dar, das bisher
mit noch vertretbarem Aufwand nidrt zufriedenstellend
gelöst ist Es ist bekannt, zur Lagerung der Rotorwelle im Vakuum herkömmliche Kugellaj; ir zu verwenden
(vgl. z. B. DE-OS 21 19 857). Kugellager sind aber im
Vakuum besonders anfällig und besitzen nicht die übliche Lebensdauer. Insbesondere stellen die Schmierung
und Kühlung ein Problem dar. Im Vakuum neigt das Lager dazu, auszutrocknen. Durch die fehlende
Umgebung ist die Kühlung der Kugeln und des Käfigs schlecht Beide Umstände führen dazu, daß das Lager
bei Überbeanspruchung sofort beschädigt wird Durch die Verwendung von Magnetlagem wird zwar eine
Verbesserung erreicht, die jedoch einen überdurchschnittlich hohen Aufwand fordert, so daß bisher beim
Serienbau von Turbomolekularpumpen auf Magnetlager verzichtet wurde.
Weiterhin ist es aus der GB-PS 8 85 954 bekannt, bei
einem horizontal angeordneten Rotor einer zweiflutigen
Turbomolekularpumpe zwei radiale Gleitlager zu verwenden. Diese vorbekannte Gleitlagerung ist bei
Turbomolekularpumpen mit vertikaler Welle nicht ohne weiteres verwendbar, weil die Sicherang der axialen
Lage des Rotors, welche bei den extrem hochtourigen Turbomolekclarpumpen besonders exakt sein muß, bei
vertikaler Anordnung der Rotorwelle größere ScJjwierigkeiten
macht als bei horizontaler Anordnung.
Ausgehend von dem vorstehend geschilderten Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die
Aufgabe zugrunde, eine Turbomolekular-Vakuumpumpe mit einem axial und radial gelagerten, vertikal
angeordneten Rotor mit Gleitlagern auszurüsten.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst,
daß die zwei Radiallager und ein Axiallager in an sich bekannter Weise als Gleitlager ausgebildet sind und daß
das axiale Gleitlager ein vom unteren, halbkugelförmig ausgebildeten Ende der Welle und einer entsprechend
geformten Lagerschale gebildetes Stützlager ist Es hat sich herausgestellt, daß die Lagerung einer in dieser
Weise ausgebildeten Turbomolekularpumpe eine wesentlich größere Lebensdauer hat Gegenüber Magnetlagern
sind die Gleitlager wesentlich preiswerter und raumsparender. Das besondere axiale Stützlager hält
den Rotor stets exakt in einer bestimmten axialen Lage,
was bei den extrem hochtourigen Turbomolekularpumpen
von besonderer Bedeutung ist
jo Einzelheiten der Erfindung sollen anhand eines in der
Figur dargestellten Ausführungsbeispieles erläutert werden. In der Figur ist eine erfindungsgemäß
ausgebildete Turbomolekular-Vakuumpumpe 1 teilweise im Schnitt dargestellt Der mit 2 bezeichnete Rotor
mit den Rotorschaufeln 3 ist am Konus 4 der Welle 5 angebracht Die Lagerung der Welle S besteht aus den
Gleitlagern 6 und 7, deren zugehörige Lagerschalen mit 8 bzw, 9 bezeichnet sind. Außerdem ist ein axiales
Gleitlager 10 (unteres Stützlager) vorgesehen, das vom unteren halbkugelförtnig ausgebildeteti Ende der Welle
5 und von einer entsprechend geformten Lagerschale 11
gebildet wird. Zur Sicherung der Welle 5 gegen ein Ausbrechen in axialer Richtung ist noch das Fanglager
12 vorgesehen, das aus einer kragenförmigen Erweiterung
16 an der Welle 5 besteht, welche mit der Lagerschale 9 des Gleitlagers 7 zusammenarbeitet Der
elektromotorische Antrieb 13 ist zwischen den beiden Gleitlagern 6 und 7 angeordnet
Claims (1)
- Patentanspruch:Turbomolekular-Vakuumpumpe mit einem axial und radial gelagerten, vertikal angeordneten Rotor, wobei zwischen zwei Radiallagern ein Antriebsmotor vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Radiallager (6, 7) und ein Axiallager (10) in an sich bekannter Weise als Gleitlager ausgebildet sind und daß das axiale Gleitlager (10) ein vom unteren, halbkugelförmig ausgebildeten Ende der Welle (5) und einer entsprechend geformten Lagerschale (11) gebildetes Stützlager ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2309665A DE2309665C3 (de) | 1973-02-27 | 1973-02-27 | Turbomolekular-Vakuumpumpe |
FR7404943A FR2219320B3 (de) | 1973-02-27 | 1974-02-08 | |
CH272574A CH594138A5 (de) | 1973-02-27 | 1974-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2309665A DE2309665C3 (de) | 1973-02-27 | 1973-02-27 | Turbomolekular-Vakuumpumpe |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2309665A1 DE2309665A1 (de) | 1974-09-05 |
DE2309665B2 DE2309665B2 (de) | 1980-11-06 |
DE2309665C3 true DE2309665C3 (de) | 1981-07-09 |
Family
ID=5873200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2309665A Expired DE2309665C3 (de) | 1973-02-27 | 1973-02-27 | Turbomolekular-Vakuumpumpe |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH594138A5 (de) |
DE (1) | DE2309665C3 (de) |
FR (1) | FR2219320B3 (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4806075A (en) * | 1983-10-07 | 1989-02-21 | Sargent-Welch Scientific Co. | Turbomolecular pump with improved bearing assembly |
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CA1240302A (en) * | 1983-10-07 | 1988-08-09 | Gordon E. Osterstrom | Turbomolecular pump with improved bearing system |
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Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB885954A (en) * | 1960-03-08 | 1962-01-03 | Arthur Pfeiffer G M B H | Improvements in or relating to molecular pumps |
FR1475765A (fr) * | 1966-01-31 | 1967-04-07 | Snecma | Perfectionnements aux appareils à arbre vertical tournant à grande vitesse |
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-
1973
- 1973-02-27 DE DE2309665A patent/DE2309665C3/de not_active Expired
-
1974
- 1974-02-08 FR FR7404943A patent/FR2219320B3/fr not_active Expired
- 1974-02-26 CH CH272574A patent/CH594138A5/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2309665A1 (de) | 1974-09-05 |
CH594138A5 (de) | 1977-12-30 |
DE2309665B2 (de) | 1980-11-06 |
FR2219320A1 (de) | 1974-09-20 |
FR2219320B3 (de) | 1976-11-26 |
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