DE2306091C3 - Interferenz-Refraktometer - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Untersuchen der optischen Dichte strömender Medien mil einer Meßzelle, einer Vergleichszelle und einer Finrichtung zum Erfassen der entstehenden Lichtjnterferenz, d. h. ein Interferenz-Refraktometer.

Zur Messung der Spektralcharakteristik von spektral vorzerlegten oder an sich schon nahezu monochromatischen Lichtquellen iit es bekannt, ein sphärisches Vielfachinterferometer nach Perrot-Fabry zu verwenden, welches zwei Interferenzspiegel in einem bestimmten Abstand voneinander aufweist, zu/sehen denen ein Teil des Spektrums einer Lichtquelle interferiert, so daß für deren Spektralcharakteristik signili-

ao kante Interferenzen erzeugt werden. Der Abstand der Inlerferenzspiegel wird durch ein piezokeramisches Etalonelement definiert und kann durch Anlegen einer entsprechenden Steuerspannung an dic-ses Element zyklisch durch eine sich periodisch und stetig ändernde Spannung über einen ausreichenden Bereich verändert werden, so daß die Resonanzfrequenz des als schmalbandiges Filter wirkenden Interferometers p^-iodisch durchgestimmt wird; diese Durchstimmung erfolgt wegen der Hysterese des Etalonelementes nicht linear (Prospect Model 470 Spectrum Analyser, Spectra 320 North Washington Street, Rochester, New York 14625).

Aus dem Aufsatz »Ein Interferenz-Refraktometer für Gase und Flüssigkeiten« aus der Zeitschrift »Optik« 24, Heft 4, 1966/67, S. 323ff. ist ein Interferenz-Refraktometer der eingangs genannten Art bekannt, bei welchem die Meßzelle und die Vcrgleichszelle gemeinsam im Strahlengang eines Michclson-Interferometers liegen. Dabei sind ein Eingangsstrahlteuer und ein Reflektor auf gegenüber liegenden Seiten der Meßkammern und getrennt von deren Endflächen angeordnet. Durch mechanische Verschiebe-Einrichtungen ist es möglich, die optische Länge beider Zellen zu ändern. Voraussetzung für den ordnungsgemäßen Betrieb dieser Anordnung ist, daß die optische Dichte der strömenden Medien solange konstant bleibt, bis mittels der mechanischen Verschiebeeinrichtung jeweils der entsprechende Resonanzpunkt eingestellt ist.

Aus dem Aufsatz »Ein elektrostriktiv geregeltes Fabry-Perrot-Interferometer«aus der Zeitschrift »Feingeräte Technik« 14. Jahrgang, Heft 12/1965, S. 535ff. ist ein Fabry-Perrot-Interferometer mit einem elektrostriktiven Abstandsetalon zur elektro-mechanischen Einstellung des Abstands der Reflektoren bekannt, welches als optisches Filter zum Erzeugen einer monochromatischen Strahlung oder zur Aufnahme von Linienspektren bestimmt ist. Weiterhin ist bei diesem Interferometer eine Regelschaltung vorgesehen, welche Änderungen des Abstandes der Interferometerplatten auf Grund von Temneraturschwankungen ausregelt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein durchstimmbares Interferenz-Refraktometer der eingangs genannten Art zi; schaffen, mit welchem die Brechungsindizes zweier strömender, sich schnell ändernder Medien mit hoher Genauigkeit und ohne jede Beeinträchtigung durch thermisch bedingte Änderungen der Resüiianzbedingungen gemessen werden können.

Ausgehend von einer Vorrichtung der eingangs genannten Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Meßzelle und die VergTcichszelle als getrennte Fabry-Perrot-Interferomeier mit Hilfe einer gemeinsamen, elektrostriktiv betätigbaren Einrichtung zum periodischen Verändern der Länge beider Zellen durchstimmbar ausgebildet sind. Diese Vorrichtung verbindet das hohe Auflösungsvermögen von Fabry-Perrot-lnterferometern mit dem Vorteil, daß durch die gemeinsame Fassung der Endplatten beider Interferometer die Meßzelle und die Vergleichszelle exakt gleichförmig und unter Kompensation von thermisch bedingten Längenänderungen periodisch so schnell durchgestimmt werden können, daß strömende Medien mit kontinuierlicher Änderung der optischen Dichte fortlaufend gemessen werden können. Bei der Messung werden alle Störeinflüsse unterdrückt, die sich gleichmäßig auf die Resonanzfrequenz beider Zellen auswirken. Dieses ist außer für temperaturbedingte Längenänderungen beider Zellen auch für Änderungen des Druckes oder der Durchflußgeschwindigkeit, insbesondere bei inkompressible)! Medien (Flüssigkeiten) von Bedeutung. Lediglich wenn beide Zellen nicht mehr von Medien mit gleichen Brechungsindizes durchströmt sind, wird die optisch wirksame Länge und damit die Resonanzfrequenz beider Zellen ungleichförmig geändert.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen werden, daß eine Detektoreinrichtung aus den Resonanzmaxima oder -minima der von der Meßzclle bzw. der Vergleichszelle hindurchgelassenen Strahlungen elektrische Triggersignaie erzeugt und eine Auswerlungsschaltung aus diesen ein Signal ableitet, welches der Zeitverzögerung des Resonanzzeitpunktes in Folge des jeweiligen Strömungsmediums in der Meßzelle gegenüber dem Resonanzzeitpunkt entspricht, der durch das Strömungsmedium in der Vergleichszelle bedingt ist, und diese Zeitverschiebung entsprechend dem bekannten Spannungs/Zeitverlauf der Sägezahnspannung und der bekannten Ausdehnungs/Spannungscharakterislik des Etalonelementes ein Maß für die geometrische Längenänderung jeder der beiden Zellen zur Kompensation der Resonanzverschiebung in Folge der unterschiedlichen Strömungsmedien ist. Demzufolge kann die Änderung des Brechungsindizes beim Übergang von einem Medium zum nächsten im Prinzip folgendermaßen bestimmt werden:

Zunächst wird das gleiche Medium durch beide Zellen geleitet und das piezokeramische Etaionelement derart verstimmt, daß die Resonanzfrequenz beider Zellen der Wellenlänge der Lichtquelle entspricht, das Licht durch das Filter hindurchgelassen und dieser Zeitpunkt in einer Auswerteschaltung festgehalten wird. Dann gelangt das Medium mit dem geänderten Brechungsindex in die Meßzelle und verstimmt deren Resonanzfrequenz, bis die geometrische Länge des Etalonelementes üb^r die Steuerspannung vom Sägezahngenerator entsprechend derart verändert worden ist, daß die Resonanzbedingung für die Meßzelle wieder hergestellt ist. Das Zeitintervall zwischen beiden Resonanzmaxima wird als Maß für die erforderliche Längenänderung des Etalonelementes zur Wiederherstellung der Resonanzbedingung gemessen, und diese Längenänderung ist wiederum signifikant für die Änderung des Brechungsindizes.

Vorzugsweise werden Fabry-Perrot-lnterferometer t. welche konkave, kalottenförmige Spiegel-

flächen mit gleichem Krümmungsradius aufweisen. Durch die Mehrfachreflexionen werden die Durchschnittswerte der Brechungsindizes des Referenzmediums bzw. des Meßmediums bestimmt und zudem schärfere Resonanzspitzen des durchgelassenen Lichtes erreicht, als es bei einem Resonanzfilier mit Einfachreflexion der Fall wäre. Durch die kalotlenförmige Ausbildung der Spiegelflächen lassen sich diese leichter ausrichten als es bei planparallelen Spiegeln der Fall wäre, da jene nach zwei Freiheitsgraden, dieses nur nach einem ausgerichtet werden muß. -

Weiterhin wird ein kompakter Aufbau dadurch erreicht, daß jeder der zentralen Bereiche der be.^en Zellen durch den mittleren, zu den optischen Achsen parallelen Schenkel von Z-förmig angeordneten Durchgangsbohrungen gebildet ist, während die zu den optischen Achsen schrägen Schenkel die Einlaß- und Auslaßkanäle bilden und die Z-formigen Durchgangsbohrungen heider Zellen axiai um ISO zueinander versetzt sind.

Im folgenden wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung an Hand der Zeichnung erläutert: es zeigt

Fig. I schematisch ein durchstimmbares Interferenz-Refraktometer und eine Auswerteschaltung;

Fig. 2 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht der Doppelzelle;

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht des Doppelzellenkörpers.

Gemäß Fig 1 sind im Strahlengang einer Laserlichtquelle 1 ein halbdurchlässiger, zur Strahlenachse um 45 geneigter Spiegel 2 und ein zu diesem praalleler, zweiter, vollständig reflektierender Spiegel 3 vorgesehen. Das von den Spiegeln reflektierte Licht tritt durch Fenster in die Referenz- bzw. Meßkanäle 4: S eines schemalisch angedeuteten Doppclzellenkörpcrs 6 ein und wird zum größten Teil zwischen Interferenzspiegeln 7; 8 bzw. 9; 10 mehrfach reflektiert, welche a:i den Enden des Mcßkanals und des Referenzkanals angeordnet sind, wie in Fig. 1 schematisch angedeutet ist. Der Abstand der Paare von Interferenzspiegeln wird durch ein piezokeramischcs Etaionelement 11 definiert und durch die Ausgangsspannung eines Sägezahngencrators 12 periodisch über ein Mehrfaches der Spektralbreite geändert, wobei die Intensität des durch das Doppel-lnterferometer hindurchgelangenden Lichtes modifiziert wird und Lichtimpulse erzeugt werden, welche verstärkt, in einem Detektor 13 in elektrische Impulse umgewandelt und einer elektronischen, im wesentlichen digitalen Auswerte- und Anzeigeschaltung zugeführt \ Hen.

Im folgenden werden die einzelnen Baugruppen ausführlicher erläutert:

Als Laserlichtquelle 1 kann ein He-Ne-Lascr verwendet werden, welcher monochromatisches, kohärentes Licht einer bekannten Wellenlänge λ abgibt.

Die Doppelzellenanordnung ist folgendermaßen aufgebaut: Einlaßleitungen 14a, b sind über Durcligangsöohrungen 15fl, h der einen Endplatte 16 hindurch mit dem Zellenkörper 7 verbunden. In Gewindebohrungen 17a, b der Endplatte ist je eine Spiegelfassung 18«, b mit einem eingekitteten Interferenzspiegel 7 eingeschraubt. Die Endplatte 16 ist mit einem Etaionelement bzw. einer Distanzbuchse 11 direkt verbunden, während eine Endplatte 19 auf der anderen Seite der Distanzbuchse mit einem Gewindeflansch 20 verschraubt ist, der wiederum mit der Distanzbuchse verklebt und in

einem Halter 21 aufgenommen ist. Die Endplatte: 19 weist ebenfalls zwei Gewindebohrungen 22a, b /ur Aufnahme von Spiegelfassungen mit eingekitteten Interferenzspiegeln auf und enthält Auslaßleitungen 23α, b für die Referenzflüssigkeit bzw. die Meßflüssigkeit. Die Endplatte 16 ist über einen Dichtungsring 24 federnd gegenüber dem Doppelzellenkörper gelagert.

Die Distanzbuchse besteht aus piezokeramischem Material und nimmt den Doppelzcllenkörper 6 auf. der aus einem chemisch inerten, schlecht Wärme leitenden Material, vorzugsweise Polytetrafluorethylen besteht.

Gemäß Fig. 3 weist der Doppelzellenkörpcr zwei umfangsseitig um 180 versetzte Z-förmige, sich über seine gesamte Länge erstreckende Kanäle 25a, b für die Referenz- bzw. Meßflüssigkeit auf, welche dichtend an die Einlaß- und Auslaßleitungen 14«, h bzw. 23a, b in den Endplatten 16, 19 angeschlossen sind. Die mittleren Schenkel der Z-förmigen Kanäle liegen parallel zur Längsachse der Distanzbuchse und fluchten mit der Achse der entsprechenden Referenz- oder Meßstrahlen, den Durchgangsbohrungen 17a, b in den Endplatten 16 bzw. 19 und den in die Endplatten mittels Spiegelhallern 18a, b eingeschraubten, paarweise gegenüberliegenden Interferenzspiegeln. Somit ist im Betrieb der zentrale Bereich zwischen jedem Paar von Interferenzspiegeln vollständig mit der durchströmenden Referenz- oder Meßflüssigkeit erfüllt und bildet die beiden Zellen. Jedes Paar von Interferenzspiegeln 7. 8 bzw. 9, 10, welche durch die Distanzbuchse 11 in 3« einem definierten, in noch zu beschreibender Weise gesteuerten Abstand gehalten werden und zwischen sich eine von der Meßflüssigkeit bzw. der Referenzflüssigkeit erfüllte Kammer bilden, stellt ein Interferometer dar. Die Interferenzspiegel sind kugelförmig gekrümmt und haben ein Reflexionsvermögen von 99,5°,;, so daß das eintretende Licht — statistisch betrachtet — nach sehr vielen Reflexionen durch eine Spiegelfläche hindurch austritt. Bei einem derartigen Vielfach-Interferometer nach Perrot-Fabry gilt, daß der Spiegelabstand d. der Brechungsindex », die Wellenlänge λ und eine ganze Zahl N der Gleichung

N ■'' - n-d 4

genügen müssen, um Resonanz bzw. maximale Lichtdurchlässigkeit des Interferometers zu erhalten. Wenn die Wellenlänge λ bekannt ist, kann die Änderung des Brechungsindizes π eines strömenden, sich in der Zusammensetzung ändernden Mediums bestimmt werden, wenn der Spiegelabstand d geändert wird und die Ordnungszahl /V der Interferenzflecke bzw. Resonanzmaxima konstant gehalten wird, wie noch erläutert wird. Die Steuereinrichtung für das Piezo-Etalonelcment zur Änderung des Spiegelabstandes ist nicht im einzelnen dargestellt und weist im wesentlichen einen Funktionsgenerator zum Erzeugen einer rampenförmigen Steuerspannung, beispielsweise eine Sägezahnspannung auf. Ein derartiger Funktionsgenerator wird beispielsweise in dem eingangs erwähnten Gerät »Model 470 Spectrum Analyser« der Firma Spectra, 320 North Washington Street, Rochester, New York 14625 verwendet.

Beim Durchfahren des Ausstcucrbcrcichs des für beide Zellen gemeinsamen Etalonclcmcntes werden die Rcsonanzbercichc der Meßzellc und der Referenzzellc mehrere Male zeitlich linear abgetastet. Jede der beiden Zellen läßt dann jeweils eine scharf begrenzte Rcsonanzlichtwelle durch, welche klar gegen vergleichsweise breite Bereiche abgegrenzt ist, in denen die Zelle nicht lichtdurchlässig ist. Diese Maxima der Lichtintensität lösen in dem Detektor 13 elektrische Impulse aus, welche verstärkt und der digitalen Auswcrteschallung zugeführt werden.

Das Zeitintervall zwischen den in einem Meßzyklus aufeinanderfolgenden Resonanzmaxima der Mcßzclle ist ein Maß für die optische Länge der Meßzelle, welche durch das Produkt des (zu messenden) Brechungsindizes ;? und der geometrischen Länge d der Zelle gebildet ist. Bei konstanter Lichlwellenlängc '■ und konstanter geometrischer Länge d kann aus diesem Zeitintervall direkt der relative Brechungsindex η des Mediums in der Meßzelle bestimmt werden.

Bevor mit der eigentlichen Messung begonnen werden kann, muß die Relativlage der Lichtmaxima beider Zellen gemessen und bei der Nullpunkteinstellung berücksichtigt werden, da die Zellen, durch Herstellungsungenauigkeiten bedingt, verschiedene geometrische Längen haben. Bereits ein Längenunterschied von 10 ⁸ cm führt nämlich schon zu einer Verschiebung des Resonanzmaximums, die von der Meßanordnung erfaßt wird.

. Im folgenden wird die Funktion und der prinzipielle Aufbau der Auswerteschaltung erläutert.

Zunächst wird durch einen externen Steuerimpuls der Vorgang der Nullpunkt-Einstellung des Hauptzählers ausgelöst: Der erste von dem Detektor 13 auf Grund eines Resonanzmaximums der Referenzzelle abgegebene Impuls wird über eine erste Wählschaltung 26 an ein Galter 27 weitergegeben, so daß dieses leitend wird und die mit einer Frequenz von 10 MHz erzeugten Taktimpulse eines Taktgebers über eine zweite Wählschaltung 28 an den »Vorwärts«-Zähleingang eines Hauptzählers und 'en »Rückwärts«- Zählcingang eines Hilfszählers 30 weiterleitet, nachdem dieser durch eine Programmeinrichtung vorbereitet worden ist. Weitere Impulse von der Referenzzelle werden durch die erste Wählschaltung 26 unterdrückt, und erst der nächste einem Resonanzmaximum der Meßzelle entsprechende Impuls sperrt das Gatter 27 und damit die Zufuhr der Impulse zu den Zählern. Wenn beide Zähler vorher auf Null gesetzt worden waren, ist somit im Hauptzähler ein Digitalwert Af und im Hilfszähler ein Digitalwcrt - A/ entsprechend der Verschiebung der Resonanzmaxima beider Zellen eingespeichert.

Bei nachfolgenden Meßzyklen wird jeweils zunächst der Wert —A/ in den Hauptzähler eingespeichert, se daß dieser nur dann einen von Null verschiedener Zählerstand abgibt, wenn das Meßmedium und da; Referenzmedium verschieden sind und eine entspre chende Änderung der Resonanzverschiebung hervor gerufen wird. Alle Störeinflüsse, welche in gleiche Weise die Resonanzfrequenz beider Zc'len ändern gehen nicht in die Messung ein. Der im Hauptzähle enthaltene Meßwert wird dann am Ende des MeD zyklus in ein Schieberegister 31 übertragen. Dort win der Wert entsprechend der Einstellung eines Ab schwächers 32 um eine Anzahl von Stellen verschöbe und dann von einem Register 33 gespeichert. Vor Register 33 wird der gespeicherte Digitalwert einei D/A-Umsetzcr 34 und von dort einem Oszillographe zur Anzeige zugeführt.

Vorstehend wurde vorausgesetzt, daß das Gatter 2 jeweils durch einen Referenzimpuls leitend und dun einem vor dem nächsten Referenzimpuls nachfolge;

den Meßimpuls nichtleitend gemacht wird. Das bedeutet, daß gemäß Fig. 1 das Zeitintervall Af zwischen einem Referenzimpuls un ddem nachfolgenden Meßimpuls kleiner ais das Zeitintervall Af₁ zwischen aufeinanderfolgenden Referenzimpulsen sein muß. Nähert lieh der Wert Af dem Wert Af₁ und wandert der Wert Af über fj hinaus, so wird diese Änderung als eine sprunghafte Rückversetzung des Meßwertes erscheinen, weil dann ein anderer und um Af₂ früherer Meßimpuls die Abstellung des Zählers übernimmt und den Zählvorgang schon früher beendet. Für diesen Fall wird ein zusätzlicher Zählvorgang vorgesehen, der bewirkt, daß eine fortlaufende Änderung des Brechungsindex angezeigt wird. Hierzu werden dem Hauptzähler 29 und dem Hilfszähler 30 über ein Gatter 35 und die zweite Wählschaltung28 zusätzliche Impulse zugeführt. Der zugeführte Wert müßte eigentlich dem Zeitintervall Af₂ entsprechen. In guter Näherung kann jedoch statt des Wertes Af₂ der Wert Af₁ genommen werden, welcher genauer gemessen werden kann, da die Refe- *<> renzimpulse ihrem Abstand nicht oder nur wenig ändern. Demgegenüber können die Meßimpulse sich so schnell zeitlich verschieben, daß diese Verschiebegeschwindigkeit in die Größenordnung der Zyklusgeschwindigkeit kommt und Af₂ nicht mehr ohne *5 Fehler gemessen werden kann. Auch ist vorgesehen, daß die über die Gatter 27 und 35 geleiteten Impulsfolgen zeitlich verschoben sind, so daß die Zähler simultan Af und Af, zählen können. Im Ergebnis ist der im Hilfszähler vorliegende alte Wert um Af₁ erhöht und die nachfolgenden nun wieder normal erfaßten Meßwerte schließen sich stetig an die vorherigen Werte an, nachdem der Hauptzähler eur-sprechend voreingestellt worden ist.

Während vorstehend der Fall behandelt wurde, daß Ar größer wird als Z₁, kann auch der Fall e ntreten, daß Af negativ wird; d. h. der Meßimpuls wird immer mehr verzögert, bis er zeitlich hinter dem Referenzimpuls zurückbleibt. Das Ergebnis ist dann ein Sprung auf einen um Af₂ späteren Meßimpuls, und die Zeit Af₁ wird dann auf die »Rückwärts«-Eingänge beider Zähler eingelesen.

Die beschriebenen Vorgänge setzen voraus, daß zu Beginn eines Meßzyklus bereits die Information vorliegt, daß und welcher der beiden Fälle auftritt. Dieses wird dadurch erreicht, daß während des vorhergehenden Zyklus die Nähe eines so'chen Ere gnisses erkannt und im gerade laufenden Meßzyklus die »kritischen« Meßimpulse unterdrückt und in geeigneter Form substituiert werden.

Dazu sind den beiden ersten Spektralbreiten der Referenzimpulse fünf »Zeitfenster« zugeordnet, in welche immer mindestens einer, höchstens zwei Meßimpulse fallen. Falls zwei Meßimpulse vorliegen, so wird einer zur Messung von Af benutzt, der andere dagegen in der ersten Wählschaltung ausgeblendet. Vorzugsweise wird der Meßimpuls benutzt, der sich in den Fenstern 11, IU oder IV befindet. Falls der Impuls erstmals vom Fenster IV ins Fenster V übergetreten ist, wird der Meßimpuls im nachfolgenden Meßzyklus ersetzt und der Meßimpuls im Fenster V durch Ausblenden durch den um Af₂ früheren Impuls im Fenster Il ersetzt.

Läuft ein Resonanzmaximum bzw. ein dadurch hervorgerufener Impuls vom Fenster II zum Fenster I so läuft der entsprechende Vorgang ab und der Impuh im Fenster IV wird gemessen. Die Ausblendung ist in allgemeinen so geregelt, daß immer das Fenster mi seinen beiden Nachbarfenstern zur Messung freige geben wird, in dem beim vorherigen Zyklus der Meß wert lag. Resonanzmaxima in den beiden verbleiben den Fenstern werden dagegen ausgeblendet.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 509 644

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Untersuchen der optischen Dichte strömender Medien mit einer Meßzelle, einer Vergleichszelle und einer Einrichtung zum Erfassen der entstehenden Lichtinterferenz, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßzelle (7, 4,^8) und die Vergleichszelle (9, 5, 10) als getrennte Fabry-Perrot-Interferomeler mit Hilfe einer gemeinsamen, elektrostriktiv betätigbaren Einrichtung (11, 12) zum periodischen Verändern der Länge beider Zellen durchstimmbar ausgebildet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fabry-Perrot-Interferometer konk;ive, kalotten/ormige Spiegelflächen mit gleichen Krümmungsradien aufweisen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der zentralen Bereiche der Meßzelle und der Vergleichszelle durch den zu den optischen Achsen parallelen Schenkel von Z-förmig angeordneten Durchgangsbohrungen (25«, />) gebildet isl, während die zu den optischen Achsen schrägen Schenkel die Einlaß- und Auslaßkanäle bilden, und die Z-förmigen Durchgangsbohrungen beider Zellen axial um 180 zueinander versetzt sind.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Doppelzellenkörper zylinderförmig ausgebildet isl, an der einen Endfläche fest und an der anderen Endfläche elastisch mit je einer Endplatte (16, 19) verbunden ist, beide Endplatlen auf der dem Zellcnkörper zugewandten Seite je zwei Interferotneierspiegel (7, 8) aufnehmen, und das Etalonelement als Zylinderbuchse (12) ausgebildet ist, im Zylinderraum den Doppelzellenkörper (6) aufnimmt und mit den Endplatlen verbunden ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung (1, 2, 3) zur Abgabe monochromatischer Strahlungen an die Meßzclle (7, 4, 8) und die Vergleichszelle (9, 5, 10) vorgesehen ist, die Einrichtung zum periodischen Durchstimmen beider Zellen ein piezokeramiseh.es Etalonelement (11) zur gemeinsamen Halterung der Endspiegel (7, 8; 9, 10) beider Interferometer aufweist und ein Sägezahngenerator (12) sägezahnförmige Steuersignale an das Etalonelement abgibt und dadurch der Abstand der Interferometerspiegel beider Zellen gleichförmig gewobbelt wird.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche I bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Detektoreinrichtung (13) vorgesehen ist, welche aus den Resonanzmaxima oder -minima der von der Meßzelle bzw", der Vergleichszelle hindurchgelassenen Strahlungen elektrische Triggersignalc erzeugt und eine Auswertungsschaltung aus diesen ein Signal ableitet, welches der Zeitverschiebung des Resonanzzeitpunktes in Folge des jeweiligen Strömungsmediums in der Meßzelle gegenüber dem Resonanzzeitpunkt entspricht, der durch das Strömungsmedium in der Vergleichszelle bedingt ist, und diese Zeitverschiebung entsprechend dem bekannten Spannungs, Zeitverlauf der Sägezahnspannung und Jer bekannten Ausdehnungs/Spannungscharakteristik des Etalonelementes ein Maß für die geometrische Längenänderung jeder der beiden Zeller zur Kompensation der Resonanzverschiebung ir Folge der unterschiedlichen Strömungsmedien ist