DE2263612A1

DE2263612A1 - Turbomolekularpumpe

Info

Publication number: DE2263612A1
Application number: DE19722263612
Authority: DE
Inventors: Hans-Joachim Walther
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1972-12-27
Filing date: 1972-12-27
Publication date: 1974-07-04

Description

72.045

LEYBOLD-IIERAEUS GMBH. & CO. KG Kölr.-Bayer.tal

Turbomolekularpumpe

Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe mit im Betriebszustand vertikal angeordneter Hohlwelle, deren Lagerstellen in einem Ölkreislauf liegen, wozu Mittel zur Förderung des Öls im Inneren der Welle von einem im Bereich des unteren Endes der We^-IIe angeordneten ölsumpf zu den Lagerstellen vorgesehen sind.

Eine derartige Turbomolekularpumpe ist z.B. aus dem DB-GM 7 121 095 bekannt. Bei dieser vorbekannten Pumpe besteht der Nachteil, daß sie in öl-gefülltem Zustand nicht seitlich gekippt werden kann, da sonst das Öl aus dem Motorraum in den Arbeitsraum der Pumpe gelangen kann. Dadurch besteht die Gefahr einer unerwünschten Verseuchung der Vakuumkammer mit Öldämpfen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Turbomolekularpumpe der eingangs genannten Art derart auszubilden, daß die Gefahr der ölverseuchung nicht mehr besteht.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß im Bereich des Rückflußweges mindestens eine sich in Richtung zum Ölsumpf öffnende Kammer für das Öl des Ölkreislaufs vorgesehen ist. Wird eine in dieser Weise "ausgebildete Turbomolekularpumpe gekippt oder gar auf den Kopf gestellt, dann nimmt die erfindungsgemäße Ölkammer das Öl des Ölsumpfs auf,, so daß ein Ölfluß vom Motorraum in den Arbeitsraum der Pumpe nicht stattfindet.

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Ein weiterer wesentlicher Vorteil einer ir. der erfindungsgemäßen Weise ausgebildeten Turbomolekularpumpe besteht darin, daß die Pumpe mit ölfüllung transportiert und verkauft werden' kann. Bisher konnte eine Turbomolekularpumpe erst am Betriebsort mit öl gefüllt werden.·

Zweckmäßig sind mehrere Kammern - vorzugsweise drei - vorgesehen, wobei sich die oberste Ölkammer oberhalb des obersten Lagers der Welle befindet. Dadurch ist sichergestellt, daß auch das im Bereich des Rückflußweges befindliche öl nicht in den Arbeitsraum der Pumpe gelangt.

Das gesamte Volumen der Kammern ist vorteilhafterweise gleich oder etwas größer als das Volumen der gesamten ölmer.ge,des ölkreislaufs. Weiterhin ist es zweckmäßig, insbesondere an den oberen ölkammern Abtropfnasen vorzusehen, die die ablaufenden Ölfilmreste in die Ölkammern leiten.

Einzelheiten der Erfindung sollen anhand eines in der Figur dargestellten Ausführungsbeispieles erläutert werden.

In der Figur ist eine Turbomolekularpumpe 1 dargestellt, die im Gehäuse 2 untergebracht ist. Der obere Teil des Gehäuses ist als Flansch 3 ausgebildet, der dem Anschluß an ein nicht dargestelltes, zu evakuierendes Gefäß dient. Die untere Seite des Gehäuses 2 ist als abnehmbarer Boden "4 ausgebildet.

An der Innenseite des Gehäuses 2 sind die ruhenden Schaufeln befestigt, die zusammen mit den am Rotor 6 gehalterten Schaufeln 7 die Förderung des Gases bewirken. Der Rotor 6 ist über den Flansch 8 mit der Welle 9 verbunden, die Bestandteil eines hochtourigen Elektromotors ist, dessen Wicklungen mit 10 bezeichnet sind. Zur Lagerung der Welle 9 sind die Kugellager 11 und 12 vorgesehen. Das Lager 11 ist im Bereich der oberen öffnung des Gehäuses 13 des Elektromotors angeordnet. Das Lager 12 befindet sich innerhalb einer öffnung 14 im Boden 4 des Gehäuses der Turbomolekularpumpe.

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Am Boden 4 ist noch eine Steckvorrichtung 15 gehaltert, die der vakuumdichten Zuführung der Stromleitungen 16 zu den Wicklungen 10 des Elektromotors dient. Außerdem is-t der Boden 4 mit der Öffnung 17 versehen, an die die Rohrleitung 18 angeschlossen ist, durch die die von der Pumpe geförderten¹ Gase abgeführt werden.

Die Welle 9 ist aus fertigungstechnischen Gründen zweiteilig ausgebildet. Sie besteht aus dem oberen Teil 9' und aus dem unteren Teil 9", die mit Hilfe des Gewindes 19 (oder einer Preßpassung) miteinander verbunden sind. Beide Teile sind mit einem zentralen ölkanal 20 versehen, im unterenTeil 9" hat der Ölkanal 20 eine sich nach ober, erweiternde konische Form, während er im Teil 9' der Welle 9 zylindrisch ausgebildet ist. Das obere Ende des Ölkanals 20 ist über die radialen Bohrungen 21 mit dem oberen Lager 11 verbunden. Dasuntere Ende der Welle ragt durch die öffnung 14 ii.i Boden 4 hindurch und endet in einem ölsumpf 22. Im Boden des Ölsumpfs 22 ist die ülablaßschraube 2 3 vorgesehen. Der Ölspiegel im Ölsumpf 22 ist mit 24 bezeichnet.

Das in die Hohlwelle gelangende Gl wird - entsprechend den Pfeilen 2 5 - infolge der DrehUi.^ er Welle 9 nachjoben gefördert und dem Lager 11 zugeführt. Von dort aus gelangt es durch die ölrinne 26 im Gehäuse 13 des Elektromotors zum unteren Lager 12, das unmittelbar über dem Ölsumpf 2 2 gelegen ist.

Die erfindungsgemäßen Ölkammern sind mit 27, 28 und 29 bezeichnet. Die untere Ölkammer 27 kann als Hauptkammer bezeichnet werden, da sie nach dem Kippen der Pumpe nahezu das gesamte Ol des ölsumpfs 22 aufnimmt. In den Kammern 28 und 29, wobei die Kammer 29 oberhalb des Lagers 11 angeordnet ist, sammelt sich das Öl, das sich beim Kippen der Pumpe in der Rinne 26 oder den Lagern 11 und 12 befand. Im Bereich der Ölkammer 2 9 sind noch die Tropfnasen 30 vorgesehen, wodurch sichergestellt ist, daß die ablaufenden Ölfilmreste in die Kammer 2 9 gelangen.

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Claims

ANSPRUCH JE

ί 1J Turbomolekularpumpe mit im Betriebszustand vertikal angeordneter Hohlwelle, deren Lagerstellen in einem ölkreislauf liegen . wozu Mittel zur Förderung des Öls im Inneren der Welle von einem im Bereich des unteren Endes der Welle angeordneten Ölsumpf zu den- Lägersteiler, vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich des Rückflußweges mindestens eine sich in Richtung zum Ölsumpf (22) öffnende Kammer (27) für das Öl des Ölkreislaufs vorgesehen ist.
2. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Kammern (27, 28,29) - vorzugsweise drei - vorgesehen sind, wobei die oberste Ölkammer (2-9) sich oberhalb des oberen Kellenlagers (11) befindet.
3. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Volumen der Kammern (27,28,29) gleich oder etwas größer als das Volumen der gesamten ölmenge des Ölkreislaufs . ist.
4. Turbomolekularpumpe|nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Ölkammern (27,28,29) Abtropfnasen (30) für die ablaufenden Ölfilmreste vorgesehen sind.

BAD ORIGINAL

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