DE2203717B2 - Verfahren zum Aufbringen eines metallischen Filmes auf einen festen Körper - Google Patents

Description

stromleitend sind, dienen sie als Elektroden, um ein Ofen in Luftatmosphäre erhitzt wird, Dieses Verfah-

elektrisches Feld zwischen der Vorder- und der ren, das bei der Herstellung von Kathodenstrahlröh-

Rückseire der Platte anzulegen. renschirmen angewendet wird, bietet sich nicht als

Wird eine Mikrokanalplatte als Bildverstärker be- eine Möglichkeit zum Niederschlagen eines Metallfil-

trieben, dringen Elektronen, die aus einer Photoka- 5 mes auf einer Elektronenvervielfacher-Mikrokanal-

thode gegen die Platte von der Vorderseite beschleu- platte an, und zwar aus folgendem entscheidenden

nigt werden, in die Bohrungen ein und kollidieren Grund. Nach diesem bekannten Verfahren ist es er-

mtt den Wandbohrungen. Bei derartigen Kollisionen forderlich, die Mikrokanalplatte während eines Tei-

mit den Wandungen macht ein Elektron wenigstens les der Bearbeitungsdauer in Wasser einzutauchen,

zwei zusätzliche Elektronen auf Grund der hohen Se- jo Es ist bekannt, daß das Wasser zerstörend auf den

kundäremissionseigenschaft der Blei-Bleioxid-Kom- Betrieb der Mikrokanalplatte einwirkt, da alle Her-

bination frei, ein Vorgang, der sich in jeder Bohrung steller angeben, daß Mikrokanalplatten nicht in Was-

fortsetzt und eine Elektronenvervielfachung ergibt. ser eingetaucht v/erden dürfen.

Der Wert des spezifischen elektrischen Widerstandes Ziel vorliegender Erfindung ist somit ein Verfahder Bohrungswandi'ngen wird vom Hersteller sorg- 15 ren zur Herstellung dünner Filme aus Metall auf fältig gewählt. Bei einem Ausführungsbeispiel wird einem Körper, bei welchem schädliche Behandlungen die Mikrokanalplatte aus Bleiglas hergestellt und ist des Körpers, z. B. Eintauchen in eine Flüssigkeit, somit reich an Bleioxid PbO, einer Zusammenset- vermieden werden, insbesondere, wenn der auf eine zung mit guten Sekundärelektronenemissionseigen- Mikrokanalplatte aufzubringende Film als Bildverschaften. In typischer Weise wird die Bleioxidschicht 20 stärker betrieben werden soll, wobei der auf diese wenigstens teilweise durch Wärmebehandlung in Weise gebildete Film eine Snerre für Elektronen und einer Wasserstoffatmosphäre unter sorgfältig gesteu- Ionen geringer Energie darstellt,
erten Bedingungen verringert, damit 'in Bleiüberzug Gemäß der Erfindung wird bei einem Verfahren der gewünschten elektrischen Stromleitfähigkeit er- der eingangs angegebenen Art vorgeschlagen, daß ein zielt wird. Offensichtlich ist jede Behandlung der 25 sich selbsttragender Lackfilm auf einem durch die Platte, die das Blei in Bleioxid PbO umwandeln Kanten eines Hilfsträgerelementes geformten Rahkönnte, unerwünscht. men ausgebildet und daß der Lackfilm von dem

Die Notwendigkeit, einen dünnen, sich nicht Rahmen auf die Oberfläche des Körpers übertragen

selbsttragenden Metallfilm, vorzugsweise aus Alumi- wird.

nium, auf eine der Oberflächen einer Mikrokanal- 30 In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird vorplatte aufzubringen, um damit die Oberfläche zu be- geschlagen, daß das Hilfsträgerelement in eine Flüsdecken und die Öffnungen der Bohrungen durch die sigkeit getaucht wird, daß der Lack auf die Ober-Platte zu überbrücken, hat zu einer Auswertung un- fläche der Flüssigkeit aufgebracht wird, daß der terschiedlicher Verfahren geführt. Lack getrocknet wird, damit er einen trockenen

Die weithin bekannten Techniken zum Plattieren 35 Lackfilm auf der Oberfläche der Flüssigkeit bildet,

u. dgl. sind offensichtlich für den vorliegenden und daß wenigstens ein Teil der Flüssigkeit entfernt

Zweck ungeeignet, da sie keinen Film in den Berei- wird, damit der trockene Lackfilm sich so weit ab-

chen der Öffnungen ergeben würden. Da darüber senkt, bis er von dem Rahmen aufgenommen wird,

hinaus eine solche aufzubringende Metallschicht in Das Hilfsträgerelement ist. dabei z. o. ein Hohlzy-

der Größenordnung von nur 400A dick ist, ist sie 40 linder, dessen Kante um eine der beiden Öffnungen

nicht selbsttragend, ein Faktor, der sein Aufbringen herum den Rahmen darstellt und dessen Basis längs

auf die Mikrokanalplatte durch direkte Behandlungs- einer Ebene geschnitten sein kann, die die Zylinder-

und Bindeverfahren ausschließt. achse in einem Winkel von etwa 45° schneidet, wo-

Ein chemisches Niederschlagen und ein Nieder- durch der Rahmen, der durch die Kante oder die schlagen durch Dampf in einem Vakuum sind des- 45 Kanten geformt wird, in einem Winkel zur Oberhalb ungeeignet, weil, anstatt die Oberfläche mit fläche der Flüssigkeit während des Entfernens der einem kontinuierlichen Film zu überziehen, das aus- Flüssigkeit gehalten wird. Man hat festgestellt, daß gefällte Metall in die winzigen Bohrungen eindringen ein geeigneter Lack eine Lösung von Nitrozellulose und somit die Mikrowellenplatte unwirksam machen in einem Lösungsmittel, wie z. B. Azeton oder Amylwürde. Darüber hinaus würde jede Art eines chemi- 50 azetat (Essigsäureamylester) ist. Gute Resultate wurschen Bades, in welches die Mikrokanalplatte ge- den erzielt, wenn der Metallfilm auf dem Lackfilm bracht würde, schädlich auf den emittierenden Belag durch Vakuumverdampfung aufgetragen wird, und auf den Wandflächen der Bohrungen wirken und ihre wenn wenigstens teilweise der Lackfilm entfernt elektrische Stromleitfähigkeit beeinflussen. wird, indem der Körper mit dem Lackfilm und mit

Ein bekanntes Verfahren, das bei der Herstellung 55 dem Metallfilm darauf einer Wärmebehandlung ausvon Phosphorschirmen für Kathodenstrahlröhren an- gesetzt wird; vorzugsweise werden die Bedingungen gewendet wird, ermöglicht die Ausbildung eines sich für die Wärmebehandlung so gewählt, daß Spuren nicht selbsttragenden Filmes aus Metall auf der desi Lackiilmes als Kleber zwischen dem Körper und Oberfläche eines anderen Elementes. Bei dieser dem Metallfilm verbleiben. Dabei wird die Wärme-Technik wird der Körper, auf den der Film aufge- 60 behandlung in einer Luftatmosphäre bei einer Tembracht werden soll, in einen Behälter mit Wasser ge- peratur von etwa 325° C und etwa einer Stunde setzt und unter die Wasseroberfläche getaucht. Eine Dauer durchgeführt.

dünne Lackschicht wird auf der Wasseroberfläche Wenn dns erfindungsgemäße Verfahren mit einer

ausgebreitet, dort getrocknet und dann auf den Kör- perforierten Platte als Körper durchgeführt wird, per abgesetzt, indem das Wasser aus dem Behälter 65 überbrückt der resultierende metallische Film die

abgelassen wird. Im Anschluß daran wird das Metall Öffnungen der Perforationen an der Oberfläche der

auf den Lack niedergeschlagen und nachfolgend der Platte. Dies ist von besonderer Bedeutung, wenn die

Lack durch Verdampfen entfernt, indem er in einem pelforierte Platte eine Mikrokanalplatte ist, die ein

Elektronenvervielfacherelement darstellt, das in der obenerwähnten Weise funktionieren soll. Dann ist die Flüssigkeit, auf der der Lackfilm ausgebildet wird, vorzugsweise entionisiertes Wasser, und die Übertragung des Lackfilmes von dem Hilfsträgerelement auf die Mikrokanalplatte kann dadurch erreicht werden, daß der Lackfilm in Kontakt mit einer Oberfläche der Mikrokanalplatte gebracht wird und daß ein Druckgradient am Lackfilm in Richtung auf die Mikrokanalplatte erzeugt wird. Zur Erzeugung dieses Druckgradienten wird die Mikrokanalplatte mit dem Hilfsträgerelement, das den Lackfilm auf einer Seite der Mikrokanalplatte aufnimmt, in einer Befestigungsvorrichtung verbunden, die eine geschlossene Zone um die andere Seite der Mikrokanalplatte herum festlegt, wobei eine Auslaßpumpe zur Erzeugung eines Unterdruckes innerhalb der geschlossenen Zone vorgesehen ist.

Da gemäß vorliegender Erfindung ein Lackfilm zuerst dadurch ausgebildet wird, daß eine ausreichende Menge flüssigen Lackes in einen mit einer Flüssigkeit, z. B. Wasser, gefüllten Rehälter tropfenweise eingeführt wird, wo er über die Oberfläche verteilt wird, kann der Lack aushärten, die Flüssigkeit wird allmählich abgelassen, so daß der Lackfilm von einem Trägerring, der in das Gefäß eingetaucht ist und das Hilfselement darstellt, abgesenkt wird, wobei alle anschließenden Behandlungen des Trägerringes, nämlich Übertragung des Lackfilmes auf die Oberfläche des Körpers unter trockenen Bedingungen vorgenommen werden können, ohne daß der Körper in Wasser eingetaucht ist.

Nachstehend wird die Erfindung in Verbindung mit der Zeichnung an Hand eines Ausführungsbeispieles erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Filmträgerringes, wie er als Hilfselement zum Aufnehmen des Lackfilmes bei dem erfindungsgemäßen Verfahren verwendet wird,

F i g. 2 a in schematischer Schnittansicht einen ersten Schritt bei der Herstellung des Lackfilmes,

F i g. 2 b in ähnlicher Darstellung einen sich daran anschließenden Schritt bei der Herstellung des Lackfilmes, wenn der Film auf dem Trägerring nach F i g. 1 ausgebildet worden ist,

F i g. 3 eine ähnliche Darstellung eines weiteren Schrittes, bei dem der Lackfilm auf die Oberfläche einer Mikrokanalplatte übertragen wird.

Fig.4 in ähnlicher Weise einen weiteren Schritt, durch den der Metallfilm ausgebildet wird, und

F i g. 5 den Schritt, mit welchem der Lackfilm entfernt wird, so daß der Metallfilm auf der Mikrokanalplatte verbleibt.

Wie in F i g. 1 gezeigt, stellt ein Trägerring 1 das Hilfsträgerelement dar, das bei dem Ausführungsbeispiel gemäß vorliegender Erfindung zur Herstellung eines dünnen, sich selbsttragenden Filmes aus Lack, zweckmäßigerweise einer Lösung aus Nitrozellulose in Azeton oder Amylazetat (Essigsäureamylester), verwendet wird. Der Ring weist eine hohe, zylindrische Form auf und besteht vorzugsweise aus Metall. Ein Randteil 2 ist nach innen am einen Ende des zylindrischen Körpers verjüngt ausgebildet, so daß er eine kreisförmige, messerscharfe Kante 4 bildet, die den Rahmen für den aufzunehmenden Lackfilm bildet. Die Basis dieses zylindrischen Körpers wird dadurch gebildet, daß die zylindrische Gestalt in einem Winkel νο.η*45° gegen die Zylinderachse geschnitten wird. Wenn das Trägerelement 1 mit seiner Basis auf eine horizontale Ebene aufgesetzt wird, liegt die Kante bzw. der Rand 4 in einer Ebene von 45° gegenüber der horizontalen Ebene.

Wie in Fig. 2a gezeigt ist, wird der Ringl in einem Behälter angeordnet, beispielsweise in einer KristallisierschaleS. Diese Kristallisierschale 3 weist einen Auslaß 5 und ein Ventil 7 auf, welches den Auslaß öffnen oder verschließen kann. Eine bestimmte Menge von entionisiertem Wasser 9 wird in die Kristallisierschale eingefüllt, so daß der Trägerring 1 vollständig mit Wasser bedeckt ist.

Ein Glasrohr 11 mit einem Gummidruckball, z.B. ein Tropfenzähler, wie er zum Auffüllen von Füllfederhaltern verwendet worden ist, wird mit einer ausreichenden Menge von Lack 12 mit Hilfe des Druckballes gefüllt, dann über der Kristalüsieirschale gehalten und der Druckball ausgedrückt, so daß ein Tropfen Lack freigegeben wird. Es kann aber auch

ao eine Kapillarröhre verwendet werden, die mit Lack gefüllt ist und bei der dann die Oberseite der Kapillarröhre leicht geöffnet wird. Dadurch kann der Inhalt der Röhre 11, nämlich der Lack 12, auf die Wasseroberfläche tropfen. Da das spezifische Gewi /at der meisten Lacke größer ist als das von Wasser, wird der Lack sorgfältig und allmählich in solcher Weise auf die Wasseroberfläche entleert, daß das Auftreffen der Lacktropfen die Haut nicht durchschlägt, die durch die Oberflächenspannung, welche normalerweise auf der Oberfläche einer Flüssigkeit herrscht, vorhanden ist. Infolgedessen breitet sich der Lack über die Wasseroberfläche aus und bildet einen kontinuierlichen Lackfilm 13 gewünschter Dicke. Der Lackfilm 13 kann in der eingenommenen Lage auf der Wasseroberfläche austrocknen. Ganz allgemein läßt sich feststellen, daß der Lack bis zu der gewünschten Konsistenz getrocknet ist, wenn die Farbe sich von klar über das Regenbogenspektrum zweimal und dann wieder zurück zur klaren Farbe geändert hat, was — abhängig von der Umgebungstemperatur — etwa 5 Minuten Zeit beansprucht.

Das Ventil 7 wird dann in Offenstellung gebracht, wie in F i g. 2 b angedeutet ist, so daß Wasser 9 allmählich aus der Kristallisierschale 3 über den Abfluß5 entweichen kann. Wenn der Wasserpegel allmählich von dem in F i g. 2 a gezeigten Pegel absinkt, berührt zuerst nur ein Teil des Filmes S3 aus Lack die höchste Stelle an der Kante des Trägerringes 1, Wenn der Film 13 mit dem Wasserpegel weiter nach

abwärts wandert, wird der dariiberliegende Teil des Lackfilmes allmählich über die gesamte geschlossene Linie der Kante 4 des Trägerringes gezogen und gestreckt.

Die übrigen Teile des Lackfilmes 13 außerhalb de* Bereiches, der innerhalb der Kante 4 festgelegt ist. werden von der Kante abgezogen, mit dem Wassei nach abwärts gebracht und sammeln sich am Boden der Schale. Der Lackfilm 13 erscheint somit als dünne Folie auf der Oberseite des Trägerringes 1 wie

eine gestreckte Membran. Der Trägerring und dei aufgenommene Lackfilm 13 werden aus der Kristallisierschale entfernt und können trocknen. Aus dei vorstehenden Beschreibung ergibt sich, daß dei Trägerring 1 jede gewünschte geometrische Form an-

nehmen kann, solange er den Rahmen bildet, der zui Aufnahme des Lackfilmes erforderlich ist, wenn dei Flüssigkeitspegel abgesenkt wird. Die Grundforderung ist die, daß eine praktisch kontinuierliche Kante

,Olgenden Verfahrens* „,«, -er^nde . »H« ^^'^rScVrg^ so daß die

srίαiSsts, ssiSraÄ

vorgesehen, der eine Schu « " ^°JJ _bif_{det ao Dic}|_{e im} Bereich von 20 bis 2000 A, vorzugsweise

ansehen Durchgan?s durch die ^age ^hJ ^öL- mit einer Dicke von 400 A aufgebaut werden (ehe

Die Schulter 16 ste t «je«J>ite ™ ™ _{h tisch Messung} erfolgt in herkömmlicher Weise, beispiels-

Hche Mikrokanalplatte 18 dar, die aucn scnemat ^ ^ ^^ _{Quarzoszillator}._Dickenmeßgeim Querschnitt angedeutet ist.

Wenn der Lackfilnι auf de*^™B*^S ^ »^ _{An8chIuß daran wird die} Anordnung aus ist, wird der Tragerring mit dem auf mn ™ge° Trägerhülse 15 und Mikrokanalplatte 18 mit den beten Film nach abwärts gerichtet in α« ^|^e™^uls _d ⁸ _Fil df de Glocke 23 entfernt und in

ist, wird der Tragerring mit dem auf mn ™ge Trägerhülse 15 und Mikrokanalplatte 18 mit den beten Film nach abwärts gerichtet in α« ^|^e™^uls _den ⁸ _Filmen darauf aus der Glocke 23 entfernt und in 15 eingesetzt, mdemerla ^^ffiSfiln. einen Ofen 33 gebracht, wie in Fig.5 gezeigt ist.

3.

HHlSfÄiv»- d:;Är„r^=r_m^efnSo^|

Mikrokanalplatte 18 emesehr row A _r_ _{rich{eten ρ1}^_{ε der Mikrokanal latte ]8 komm}t_c Es kleinen Bohrungen besrtj dw ^{sich von} _Anord. _{trft jedoch die zusätz}i_iche Erscheinung auf, daß Spuseite zur Ruckseite ^^/"'^^kfilrn 13, der ren des Lackfilmes verbleiben können, die das Hafnung einen ^"^ί^^η Sgerringl über ten des Aluminiumfilmes an der Mikrokanalplatte zum Losen des FJ^vondm irag^ g unterstützen. Ferner wurde festgestellt, daß die Lufteine Saugwirkung beitragt^am ih^an Urt _{atmosphäre im O}fen 33 das Blei, das an den Wanzu halten. Der ^^^Uanalplatte 18 be- düngen der Bohrungen in der Mikrokanalplatte 18 und der Lackfilm 13 au der M₁Kr ν _{an(]en vorhanden ist}, _{n5cht weS}entlich oxidiert Somit Geeinlassen Man hat ^J^ef ^llda flß d Afhihift h liegender Erfindung

ud _{an(]en vorhanden ist}, _{n5cht weS}entlich oxidiert Somit G

lassen Man hat ^J^ef ^ll _Art ^da _oder _aber Restadhä- flußt der Aufheizschrift nach vorliegender Erfindung «nd, die eiektro^^r Art oder ^ ^ ^ ^.^ .^ ^ _{Mikrokanalplatte mcht in}

sionskrafte des Lackma^nais ein _{iedlichen 45 einem ins Gew}icht fallenden Maße,

ziehungskrafte:«Λ[^f J^ _{dünne Lackfilr}n Die elektrische Komponente, nämlich die MikroMassen sind die bew.rm, _Mi_krokanalplatte kanalplatte, die als Bildverstärker verwendet werden

unmittelbar an der Obe«tl**e ^ ^ _dem ^ ^. ^^ _Aufbau ^ ^ _{hier fe}eschnebe-

anhaftet. Auf diese Weisewiraa _{und nen} ^.^ _{außerordentUch} ^frfecienstellende Ergeb-

^{Hl fS}!T⁸SSSSSAfAS, so daß die Ab- so nisse gezeigt. Wenn sie als lichtverstärkendes EIeauf der ^^Sf^en kann. ment in eine Röhre eingebaut wurde, wurde festge-

fuhrpurnpe M abgestem werd _Mikrokanal- stellt, daß die Kontrastauflösung verbessert und eine

_Dle Anordnung aus H^^³ angeordnet ist, längere Lebensdauer der Röhre erzielt wurde Roh platte 18, auf der £«LM«um S _ren ^ _der Mifaokanaipjatte _gemäß vorliegender Er

wrrd dann in eine g ^kenanoranu g ^^. _{55 findu sind eingehend geprüft wor}den und habei wie schematisch in Fig.4 &™& ■> . _Glaskol- eine normale Lebensdauer von 400 Stunden ergeben anordnung weist eine<******efdas genau über ohne daß ein Anzeichen von verringerter Leiste ben der ein ^hause 25 ausMdet^ g ^ ^ ^^ ^^ ^ _{Mikrokanalplatte festgeste}i_lt wer

die Grundplatte 24 paßt, undJine F ς ^ ^^^ ^^ ^ ^ _{Auffassung) daß diese} Er

auf, so daß der Raum innerhalb des oi<u,g ^ _gd)nisse ^ _{einem wesentlichen Teil durch} das erfm

evakuiert werden kann. _{d pn 22} dungsgemäße Herstellverfahren erzielt werden konn

Die Glocke ist die Enmchtong, ^Jr Jr^Um ^^,, _{bekanntej ktisch} ^ Verfügung ste

aus Aluminium ^ff^^d^O^^^ ^hende Verfahren zum Aufbringen eines Metallfilme

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

1 2 ein Unterdruck innerhalb der geschlossenen Zone erzeugt wird. Patentansprüche:

1. Verfahren zum Aufbringen eines metallischen Filmes auf wenigstens eine Oberfläche
eines festen Körpers, gemäß dem ein Lackfilm

auf die Oberfläche aufgebracht, das Metall an- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum

schließend auf der Lackschicht abgeschieden und io Aufbringen eines metallischen Filmes auf wenigstens dann die Lackschicht durch Erhitzen wenigstens eine Oberfläche eines festen Körpers, gemäß dem ein teilweise entfernt wird, dadurch gekenn- Lackfilm auf die Oberflüche aufgebracht, das Metall zeichnet, daß ein sich selbst tragender Lack- anschließend auf der Lackschicht abgeschieden und film auf einem durch die Kanten eines Hilfs- dann die Lackschicht durch Erhitzen wenigstens teilträgerelementes geformtem Rahmen ausgebildet 15 weise entfernt wird. Insbesondere bezieht sich die und daß der Lackfilm von dem Rahmen auf die Erfindung auf Verfahren, bei denen ein Film aus Oberfläche des Körpers übertragen wird. Aluminium mit einer Dicke zwischen 100 und

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 2000 A, vorzugsweise 400 A, auf einer ebenen Oberkennzeichnet, Odß das Hilfsträgerelement in eine fläche eines perforierten, plattenförmigen Körpers, Flüssigkeit getaucht wird, daß der Lack auf die 20 z, B. einer Mikrokanalplatte, die als Elektronenver-Oberfläche der Flüssigkeit aufgebracht wird, daß Vielfacherelement von Lichtverstärkereinrichtungen der Lack getrocknet wird, damit er einen trocke- betrieben wird, bei welchen der auf diese Weise ausnen Lackfilm auf der Oberfläche der flüssigkeit gebildete Film die Funktion einer Sperre für Elektrobildet, und daß wenigstens ein Teil der Flüssig- nen und Ionen niedriger Energie ausübt, ausgebildet keit entfernt wird, damit der trockene Lackfilm 25 wird.

sich so weit absenkt, bis er von dem Rahmen auf- Es sind bereits verschiedenste Verfahren bekannt,

genommen wird. bei denen Filme auf Oberflächen von anderen Mate-

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch ge- rialien hergestellt werden, die so dünn und zerbrechkennzeichnet, cVß die Ebene des durch die Kan- lieh sind, daß sie sich nicht selbst tragen und bei gete(n) gebildeten Rahmens in einem Winkel zur 30 wohnlicher Handhabung oder bei einer Trennung Oberfläche der Flüssigkeit während des Fntfer- von der Oberfläche, auf der sie aufgebracht sind, zernens der Flüssigkeit gehalten wird brechen wurden. Die weitgehend bekannten Verfah-

4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, da- ren des chemischen Niederschiagens, des elektrochedurch gekennzeichnet, daß als Hilfsträgerelement mischen Plattierens und des Niederschiagens durch ein Hohlzylinder, dessen Kante um eine der bei- 35 Dampf in einem Vakuum sind Beispiele für solche den öffnungen herum den Rahmen darstellt, ver- herkömmlichen Verfahren, durch die derartige Filme wendet wird. ausgebildet werden. In bestimmten Umgebungen und

5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch unter speziellen Bedingungen sind jedoch solche hergekennzeichnet, daß die Basis des Hohlzylinders kömmlichen Verfahren häufig nicht brauchbar, da erhalten wird, indem dieser längs einer Ebene, *o sie nicht das gewünschte Ergebnis erzielen lassen.

die zur 21ylinderachse in einem Winkel von etwa Beispielsweise ist eine Art einer Komponente, auf

45° verläuft, geschnitten wird. die ein metallischer Film, aufgebracht werden soll,

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 eine Vervielfachermatrix mit Mikrokapillaren, die als bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Flüssigkeit Mikrokanalplatte bezeichnet wird. Eine solche Mi-Wasser verwendet wird. 45 krokanalplatte ist ein Körper plattenförmiger Gestalt

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 mit ebenen Vorder- und Rückseiten und besteht aus bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem einer Blei-Glas-Zusammensetzung. Eine große AnKörper mit perforierter Platte durch den resultie- zahl von winzigen offenen Bohrungen ist in der renden Metallfilm die Öffnungen der Perforatio- Platte vorgesehen. Gewöhnlich erstrecken sich mehr nen an der Oberfläche der Platte überbrückt wer- 5° als 100 000 solcher Bohrungen, die winzige Kanäle den. sind, durch eine Vielzahl von kleinen Röhren, aus

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch ge- denen die Mikrokanalplatte gebildet wird, durch die kennzeichnet, daß das Übertragen des Lackfümcs Platte zwischen der Vorder- und der Rückseite über von dem Hilfsträgerelement auf eine Mikrokanai- einen Bereich von etwa einigen Quadratzentimetern, platte dadurch vorgenommen wird, daß der 53 Solche Mikrokanalplatten werden dadurch herge-Lackfilm in Kontakt mit einer Oberfläche der stellt, daß ein großes Bündel solcher winziger hohler Mikrokanalplatte gebracht und daß ein Druck- Glasrohre zusammengeschmolzen werden. Mikrokagradient an dem Lackfilm in Richtung auf die nalplatten sind Elektronenvervielfacherelemente. Die Mikrokanalplatte erzeugt wird. Wdiidflächen der winzigen Innenbohrungen enthal-

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch ge- 60 ten eine Bleioxid-Blei-Kombination, die zwar elekkennzeichnet, daß zur Erzeugung des Druckgra- trisch etwas stromleitend ist, jedoch einen hohen dienten die Mikrokanalplatte mit dem Hilfs- elektrischen Widerstand aufweist, der den elektriträgerelement, das den Lackfilm auf der Seite, sehen Eigenschaften eines Isolators nahekommt, und die der Mikrokanalplatte gegenüberliegt, trägt, hohe Sekundärelektronenemissionseigenschaften bein einer Befestigungsvorrichtung in Kontakt mit- 65 sitzt. Ferner sind die Vorder- und Rückseite der einander befestigt werden, die eine geschlossene Platte mit einem Metall überzogen, das den Oberflä-Zone um die andere Seite der Mikrokanalplatte chenbereich, welcher die Öffnungen der Bohrungen herum festlegt, wobei mittels einer Auslaßpumpe umgibt, bedeckt. Da diese Metallüberzüge elektrisch