DE2144872B2 - Plasmaspritzvorrichtung - Google Patents

Plasmaspritzvorrichtung

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Description

tiing dadurch gelöst, daß die Gaszuführung eine GasverteUerplatte mit einer Vielzahl von zur Bildung eines rotierenden Gasstroms bezüglich der Längsachse des Plasniakanals im Winkel geneigten Gaszuführungskanälen aufweist, und daß die Materialzuführung wenigstens einen in den Plasmakanal mündenden, in Strömungsrichtung im spitzen Winkel bezüglich der Längsachse des Plasmakanals ausgerichteten Kanal aufweist.
Bei dieser erfindungsgemäßen Ausbildung sind also die Gaszuführungskanäle im Winkel schräg zur Längsachse des Plasmakanals und schräg auf die Längsachse verlaufend angeordnet, so daß das durch die Gaszuführungskanäle eingeleitete Gas einen um die Längsachse rotierenden Gasmantel bildet. Dieser Gasmantel wird im Lichtbogenraum ionisiert, und das entstandene Plasma tritt als rotierender Plasmastrom durch den Plasmakanal der Düse hindurch. Zusätzlich sind die Kanäle der Materialzuführung derart im spitzen Winkel zur Austrittsöffnung des Plasmakanals hin ausgerichtet, daß das pulverförmige Material etwa tangential, also im Sinne der Rotation in Bewegungsrichtung in den Randbereich des Plasmastroms eingeleitet wird. Durch diese Art der Einleitung wtrd praktisch keine Störung der laminaren Plasmaströmung hervorgerufen, so daß eine Verwirbelung und damit ein Eindringen des pulverförmiger! Materials in das heiße Innere des Plasmastroms vermieden wird. Auf diese Weise kann sichergestellt werden, daß das Material unter dem Einfluß von Zentrifugalkräften in einem äußeren Bereich des Plasmastroms mit mäßiger Temperatur gehalten wird, bis es auf das zu beschichtende Substrat auftritt. Gleichzeitig aber wird durch die spiralige Rotation erreicht, daß bei vorgegebener Länge des Plasmakanals das Material einen längeren Weg mit dem Plasma zurücklegt und daher die Verwcilzcit in erwünschtem Maße erhöht wird, so daß das Material bei mäßiger Temperatur allmählich ohne Verdampfung oder Zersetzung geschmolzen wird. Die auf diese Weise erzielbarc Beschichtung weist daher eine hohe Qualität auf.
Die tangcntialc Einleitung des pulverförmigcn Materials in den Plasmastrom erreicht man dadurch, daß die Kanäle für das pulverförmige Material etwa die gleiche Winkellage aufweisen, wie die GaszuführungskanäJc in der Gasvcrtcilerplaf'c. Besonders vorteilhafte Ergebnisse erzielt man mit einem Lichtbogcnkanal, der durch ein der Kugelfläche der Düse gegenüberstehendes konisches Ende des die zweite Elektrode bildenden Zylinders gestaltet ist, wobei der Winkel des konischen Endes etwa um K) bis 30° größer ist als der Winkel der Kugelfläche, der bevorzugt etwa 45" zur Längsachse der Düse beträgt. Besonders gute praktische Ergebnisse sind erziclbar, wenn die Kanüle zur Zufühiung des pulverförmigcn Materials im Winkel von 16,5° zur Längsachse der Düse ausgerichtet sind.
Vorteilhaft ist es auch, wenn die sich zur Austrittsöffnung der Düse hin verjüngende Kugelfläche des Lichtbogcnkanals zur Vermeidung von Turbulenzen im Plasmastrnm mit stetiger Krümmung in den anschließenden Plasmakanal übergeht, der sich seinerseits bis in den Bereich der Eintrittsöffnungen der Kanäle für das pulverförmige Material mit stetiger Krümmung erweitert, bis er den Durchmesser der AitstrittsoffnungderDii.se erreicht. Bei dieser Ausbildung wird unter Vermeidung Vm Turbulenzen ein Venturieffckt in dem sieh an den Lichtbogenkanal anschließenden verengten Teil des Plasmakanals hervorgerufen.
Vorteilhafterweise ist der die zweite Elektrode für die Lichtbogenentladung darstellende Zylinder unmittelbar in der Gasverteilerplatte gehaltert. Diese Gasverteilerplatte kann entweder zur Zuführung der elektrischen Energie aus leitendem Material hergestellt und mittels eines Isolierteils am Körper der Düse verankert sein. Alternativ hierzu kann die Zuführung
ι» der elektrischen Energie auch unmittelbar über den Zylinder erfolgen, wobei vorteilhafterweise die Gasverteilerplattc als Isolator ausgebildet ist.
Besonders bevorzugte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Plasmaspritzvorrichtung sind in den
is Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung ist im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Plasmaspritzvorrichtung in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel,
Fig. 2 eine Seitenansicht einer Ga&verteilerplatte mit den Gaszuführungs-Kanälen, die in der Spritzvorrichtung Verwendung findet,
Fig. 3 eine Einzelheit im Schnitt entlang der Linie 3-3 der Fig. 1,
Fig. 4 einen Längsschnitt durch eine Spritzvorrichtung in einem zweiten Ausführungsbeispiel, bei der die Isolierung an einer anderen Stelle sitzt,
.in Fig. 5 eine Seitenansicht einer isolierenden Gasverteilerplatte,
Fig. 6 eine Einzelheit im Schnitt entlang der Linie 6-6 der Fig. 4,
Fi g. 7 einen Längsschnitt durch eine Variante einer
.w Düse, die zur Verbreiterung der Flamme verwendet wird und um eine gleichmäßigere Beschichtung abzulagern,'
Fig. 8 eine Seitenansicht der Plasmaspritzvorrichtung in Pistolenform mit angesetzten Verkleidungen,
4(i Fig. 9 ein Schaltbild, das zeigt, wie die Spritzvorrichtung mittels eines normalen Wechselstromnetzes mit Energie versorgt werden kann, und
Fig. 10 eine Einzelheit einer bevorzugten Anordnung der Elektroden.
Gemäß der Darstellung in Fig. i his 3 weist die Plasmaspritzvorrichtung einen äußeren isolierenden Haltezylinder 10 und mehrere zylindrische Hülsen 11, 12 und 13 auf, von denen die letztere eine Verlängerung der Düse 14 ist. Die Düse 14 ist ein hohler Zylin-
5(i der mit einer geraden Bohrung als Plasmakanal 15, der mit einem Absatz 16 an einer Anzahl von Kanälen 17 verschen ist. Die Kanäle stehen unter einem spitzen Winkel zur Längsachse des Plasmakanals 15, um einen Strom pulverförmigcn Materials in den Plasmakanal 15 zu treiben, ohne den Plasmastrom im Plasmakinal 15 zu stören. Die Kanäle 17 sind mit flexiblen Pulverlcitungcn 18 verbunden, die aus Kunststoff bestehen können, beispielsweise aus Polyäthylen, Gummi oder dergleichen.
wi Die Hülse 13 weist einen kegelförmigen Hohlraum 20 auf, dessen Fläche als eine erste Elektrode einer Lichtbogenentladung dient. Ein kleinerer Ksgel 21 an dem EmIe eines massiven Zylinders 22 dient als die zweite Elektrode für die Lichtbogenentladung, wobei
■ > die tatsächliche Lag: des Liehlbogens am Rand des Kegels 21 ist. Die Anode kann beispielsweise aus Kupfer, die Kathode aus Wolfram bestehen. Der Zylinder 22 kann mit Hilfe größerer Zylinder 23 und
24 gehaltcrt sein, wobei der letztere Zylinder durch eine metallische Gasverteilerplatte 25 in ausgerichteter Stellung gehalten wird.
Man erhält Ergebnisse mit einem besseren Wirkungsgrad, wenn die Winkclstellungen der Elektroden unterschiedlich sind. Die besten Ergebnisse erhält man, wenn der Unterschied zwischen den Winkeln zwischen 10 und 30° liegt, beispielsweise mit einem Kegelwinkel von etwa 120° und einem Winkel der Kegelfläche von etwa 90°, wie in Fig. 10 dargestellt.
Strom für den Lichtbogen kommt von einem Generator 26, wobei ein Anschluß mit der Düse 14 und der andere Anschluß mit dem Zylinder 24 verbunden ist. Ein Schalter 19 dient zur Zuleitung von Energie zur Spritzvorrichtung.
Ein Mantel 27 wird von einem kurzen Zylinder 28 und einem Flansch 30 gebildet; er dient zur Verteilung von Gas um den Rand der Gasverteilerplatte 25 nci'ürii. Dcf Vorrichtung Wird Gas ϋιΌΓ CiPiC LCitüi'ig 31 zugeleitet, das dann durch einen entlang des Umfangs verlaufenden Randschlitz 32 um die Gasvcrteilerplatte 25 herum verteilt wird. Eine Anzahl von Gaszuführungskanälen 33 leitet Gasströme von dem vertikalen Schlitz 32 in den Raum um die Zylinder 23 und 22 und dann durch die Lichtbogenentladung in den Plasmakanal 15.
Die Gaszuführungskanäle 33 lenken das Gas im wesentlichen in Richtung zur Längsachse des Plasmakanals 15, wie das durch die Winkellage in Fig. 1 gezeigt ist. Sie lenken den Gasstrom ferner leicht aus der Achse heraus, wie das durch Fig. 2 und 3 dargestellt ist. Das Ergebnis ist eine Kombination von schraubenlinienförmig gerichteten Gasströmen, die ineinander übergehen und einen rotierenden Gaszylinder bilden, welcher sich in Längsrichtung des Plasmakanals 15 bewegt. Wenn das Gas durch den Lichtbogen wandert, wird es erhitzt und ionisiert. Wenn die entstehende Hitze 220° C und mehr beträgt, bleibt das Gas in seinem ionisierten Zustand, bis es sich abkühlt. Es kann ein Plasmastrahl mit 5500 bis 8300° C erreicht werden. Indem die Energiemenge am Lichtbogen reguliert wird und indem der Gasdurchfluß zum Lichtbogen festgelegt wird, läßt sich die Temperatur des Plasmas auf einen Wert unter 5500° C begrenzen und dort innerhalb eines einigermaßen engen Bereichs halten.
Die Kanäle 17 für die Zuführung von Pulver sind jeweils unter einem Winkel gebohrt, der im wesentlichen parallel zu dem eines entsprechenden Gaszuführungskanals 33 liegt. Das Pulver wird damit in den rotierenden heißen Plasmastrom in einer Richtung eingespritzt, die nicht dazu führt, daß die Richtung des Plasmastroms abgelenkt oder geändert wird. Die eingespritzten Kunststoffpartikel bewegen sich an der äußeren Fläche des Plasmastroms und werden wegen der Fliehkraft in dieser Lage gehalten. Da die Richtung und Lage der eingespritzten Partikel fixiert bleiben, ist es einfach, das Verhältnis des Durchflusses und der Stromstärke des Lichtbogens einzustellen, so daß alle Partikel die Spritzvorrichtung mit einer Solltemperaturverlassen. Da die Partikel mit dem Plasma rotieren, durchlaufen sie einen längeren Weg von der Einspritzstelle bis zum Ende der Düse und haben damit ausreichend Zeit, durch das heiße Plasma auf eine festgelegte Temperatur erhitzt zu werden. Jedes geeignete nicht korrodierende inerte Gas kann verwendet werden. Stickstoff, Argon, Kohlendioxid und Helium haben zu guten Ergebnissen geführt. Sauerstoff dürfte zu vermeiden sein, weil er den Elektrodenwerkstoff im Hereich des Lichtbogens angreift.
In Fig. 4 bis (i ist eine Plasmaspritzvorrichtung gezeigt, die der in Fig. I bis 3 gezeigten Vorrichtung ähnlich ist. jedoch einen metallischen Haltezylindcr 10/4 aufweist, der geerdet werden kann und der als einer der Anschlüsse für die elektrische Energie verwendet wird. Die Gasvertcilcrplatte 2SA, die das Gas in seine schraubenlinicnförmige Bewegung lenkt, ist
κι aus einem geeigneten isolierenden Werkstoff gefertigt, beispielsweise aus duroplastischem Kunststoff. Die Wirkung ist die gleiche, außer daß hier die zweite Elektrode 21, 22, 23, 24 die Kathode ist, während alle anderen Metallteile geerdet sind.
In den in Fig. I und 4 gezeigten Ausführungsbeispiclen sind keine Kühleinrichtungcn gezeigt. Die Vorrichtung erzeugt erhebliche Wärme, so daß eine Wasserkühlung im allgemeinen einen Teil der VornClllÜng IFIluCl. Ix!riglOr,lligC IMItIIIIV ,. .." ~_. .C. I ·.··.·.
2Ii Elementen 11 und 12 lassen sich für Kühlungszwecke verwenden. Solche Kiihlmethodcn sind bekannt.
Die in Fig. 7 gezeigte Düse 14/4 entspricht der in Fig. 1 und 4 gezeigten Düse, außer daß sie kürzer ist und einen Plasmakanal aufweist, der gekrümmt und stromlinienförmig ist. Die Kegelfläche 20/4 mit einem Winkel von vorzugsweise etwa 45° hat einen gerundeten Ubergangsteil 35, um eine Turbulenz im Gasstrc η an dieser Stelle zu mindern. Ferner erweitert sich der Plasmakanal im Querschnitt allmählich bis
in zu einem Punkt in der Nähe der Austrittsöffnung, so daß die Düse wie ein Venturirohr wirkt. Die Kanäle 17/4, die das Pulver führeo, liegen mit ihren Ausgangsöffnungen nahe am größten Durchmesser der Düse. Das Ergebnis ist eine größere Ramme mit einem größeren Durchmesser. Mit einer solchen größeren Düse ist es möglich, einen gleichförmigen Film Polytetrafluorethylen bis herab zu einer Dicke von 0,025 mm auf Aluminium, nichtrostendem Stahl usw. abzulagern.
4(i Während die spezifischen Abmessungen unterschiedlich sein können, hat eine Düse, die zu ausgezeichneten Ergebnissen geführt hat, beispielsweise einen Eintrittsdurchmesser von 18,085 mm vor dem Lichtbogenkanal. Die dem Lichtbogenkanal folgende Einschnürung ist 7,93 mm groß, und der Austrittsbereich der Düse nimmt allmählich bis zu einem Durchmesser von 13,665 mm zu. In diesem Ausführungsbeispiel tritt das zu verspritzende Pulver durch kurze Kanäle 175 ein, die vertikal angeordnet sein können,
so wie dargestellt, oder die unter einem Winkel von etwa 30° nach vorn geneigt sein können - c jt Senkrechten gegenüber -, so daß mit dem Kanal YlA ein Gesamtwinkel von etwa 46-l/2° gebildet wird. Dabei ist ein stetig gekrümmter Übergang vorgesehen. Die
Kanäle 17/4 stehen vorzugsweise unter einem Winkel von etwa 16° 30' zur Waagerechten. Die Durchmesser der Kanäle 17y4 und 17B betragen vorzugsweise etwa 2,5 mm. Einige dieser als Beispiel angegebenen Abmessungen sind in den Zeichnungen dargestellt.
Das Pulver wird dann durch die winklig angeordneten Kanäle YIA getrieben, um sich mit dem Plasmastrom zu vereinigen. Zur Vereinfachung der Herstellungwerden die Kanäle YIA zunächst von der Fläche
es 54 aus gebohrt, dann werden die Eingänge verstöpselt, und es werden neue Eingangskanäic YlB gebohrt, so daß die Pulverleitungen 18 (Fig. 4) angeschlossen werden können.
Die Partikdgröße schwankt erheblich, je nach verwundetem Pulver. Für die besten Ablagerungen von Metallen wie Kupfer und nichtrostendem Stahl soll die Partikclgrößc klein sein, nämlich etwa 0,05 mm im Durchmesser. Für Polytetrafluoräthylcn und andere Kunststoffe, die einen niedrigeren Schmelzpunkt haben, kann die Partikelgröße im Bereich von 0,25 :'.s 0,635 mm liegen.
in Fig. 8 ist die fertig montierte Plasmaspritzvorrichtung mit einem Griff 36 und mit einer Verkleidung 37 gezeigt. Das Pulver wird durch üie Leitung 18 zugeführt; Kühlwasser-Zufluß- und -Ablaufleitungcn 40 und 41 sind am unteren Teil des Hauptgehäuses angebracht. Es ist eine Flamme 42 aus Plasma mit pulvcrförmigem Material gezeigt, die Material auf ein Substrat 43 aus einem geeigneten Werkstoff ablagert.
Wenn die Cilcichstromenergie von einem normalen Wechselstromnetzanschluß aus erzeugt werden soll, kanu cine Giciciirichiunichaiiuiig gemäß tier Darsiei-
lung in Fig. l) eingesetzt werden. Die Schaltung ist bekannt und umfaßt eincnTransformator 45 mit einer Primärwicklung 46, die in Reihe mit einem Rcgelwidcrstand 47 geschaltet ist. Eine Sekundärwicklung 48 ist mit einem Zweiweggleichrichter 50 verbunden, der vier Halbleiterdioden 51 umfaßt. Ein Amperemeter 52 ist in Reihe zu dem Lastleiter geschaltet, und ein Voltmeter 53 ist parallel zur Last geschaltet. Diese Instrumente sind erforderlich, um den Lichtbogen auf
κι die richtige Stärke einzustellen, da der Lichtbogen sich innerhalb der Vorrichtung befindet und nicht zusehen ist. Der Schalter 19 verbindet die Gleichrichtcrschaltung mit den Lichtbogenanschlüssen.
Es sind Polytetrafluorethylen, Polyäthylen und Po-
is lypropylen in Pulverform auf ein Substrat aufgespritzt worden, um einen einheitlichen, geschlossenen Film zu bilden. Ferner sind mit der Vorrichtung Metallpulver wie Aluminium, Kupfer, Zinn und Blei erfolgreich i d
winden.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

1 2 Austrittsöffnung abgewandtem Teil ein Lichtbogen-Patentansprüche; kanal mit einer sich konisch erweiternden Fläche als erster Elektrode und einem hierzu axial ausgerichte-
1. piasmaspritzvonichtung für auf einem Sub- ten Zylinder als zweiter Elektrode gebildet ist, mit strat abzulagerndes wärmeschmelzbares, pulver- 5 einer an dem der Austrittsöffnung der Düse entgegenförrniges Material, mit einer einen Plasmakanal gesetzten Ende des Lichtbogenkaaals angeordneten einschließenden Düse, in deren der Austrittsöff- Gaszuführung, und mit einer in den Plasmakanal nung abgewandtem Teil ein Lichtbogenkanal mit stromabwärts des Lichtbogenkanals mündenden Maeiner sich konisch erweiternden Fläche als erster terialzuführung.
Elektrode und einem hierzu axial ausgerichteten io Die Verwendung von isolierenden Schichten aus Zylinder als zweiter Elektrode gebildet ist, mit ei- Kunststoff, die auf Metall, Keramik und andere Träner an dem der Austrittsöffnung der Düse entge- ger aufgebracht werden, erlangt in der modernen gengesetzten Ende des Lichtbogenkanals an- Technik immer größere Bedeutung. Es werden neue geordneten GaszufQhrung, und mit einer in den Beschichtungswerkstoff^ verwendet, beispielsweise
Plasmakanal stromabwärts des Lichtbogenkanals ts Polytetrafluoräthylen und andere gegen hohe Tempemündenden Materialzuführung, dadurch ge- raturen beständige Kunststoffe, die auf viele Arten kennzeichnet, von Grundwerkstoffen aufgetragen werden können,
— daß die Gaszuführung eine Gasverteiler- um beispielsweise die Reibung zu mindern, Schutz zu platte (25; 2SA ) mit einer Vielzahl voc zur bieten oder eine chemisch inerte Oberfläche zu schaf-Bildung eines rotierenden Gasstroms bezug- 20 fen. Wenn diese Materialien als Paste oder in Pulverlich der Längsachse des Plasmakanals (15) form aufgebracht werden, können sie dadurch geim Winkel geneigten Gaszuführungskanälen schmolzen werden, daß der Träger in einen Ofen mit (33) aufweist, und erhöhter Temperatur eingebracht wird. Wenn jedoch
- daß die Materialzuführung (18, 17; 17ß) der Träger der zum Schmelzen des Pulvers bzw. der wenigstens einen in den Plasmakanal (15) 25 Paste erforderlichen hohen Temperatur nicht gemündenden, in Strömungsrichtung im spitzen wachsen ist oder wenn er zu groß ist, um wirtschaft lieh Winkel bezüglich der Längsachse des Pias- auf diese Weise verarbeitet werden zu können, dann makanals (15) ausgerichteten Kanal (17; muß ein anderes Verfahren angewendet werden. 17a) aufweist. Dazu ist in der DE-OS 1571171 eine Plasmaspritz-
2. Vorrichtung nach Anspruch I, dadurch ge- 30 vorrichtung der eingangs genannten Gattung bekennzeichnet, daß mehrere diametral am Düsen- schrieben, bei der das Beschichtungsmateriai in einem zylinder (14, 14/4) gegenüberliegende Kanäle heißen Plasmastrom erhitzt und geschmolzen und, geil?; 17/4) für die %. ,leitung, des pulverförmigen tragen vom heißen Plasmastrom, auf das Substrat aufMaterials vorgesehen rind. geschleudert wird. Bei dieser bekannten Vorrichtung
3. Vorrichtung nach Änspi ch 1 oder 2, da- 35 wird in das hintere Ende eines Düsenkanals ein Gasdurch gekennzeichnet, daß die zylinderförmig strom eingeleitet, der durch eine innerhalb des Düausgcbildete zweite Elektrode (21, 22, 23, 24) an senkanals aufrechterhaltene Bogenentladung ionidem der Kegelfläche (20; 20/4) gegenüberliegen- siert, also in einen heißen Plasmastrom verwandelt den Ende (21) konisch ausgebildet ist und einen wird. Stromabwärts der Bogenentladung ist in der Winkel aufweist, der größer als der Winkel der 40 Wand ein Zuführungskanal für das in Pulverform vor-Kegelfläche (20; 20/4) ist. liegende Beschichtungsmateriai angeordnet. Dieser
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis Zuführungskanal ist als um den Umfang des Düsen-
3, dadurch gekennzeichnet, daß der Plasmakana.- kanals herum verlaufender Ringkanal ausgebildet, der (15) in seinem Teilbereich zwischen der Kegelf la- das pulverförmige Material etwa senkrecht zur Längsche (20/4) und den Eintrittsöffnungen der Kanäle 45 achse des Düsenkanals in den Plasmastrom einleitet. (17/4) für das pulverförmige Material sich stetig Durch diese Art der Einbringung des pulverförmigen erweitert und in die angrenzenden Bereiche stetig Materials tritt eine heftige Verwirbelung und damit übergeht. eine Störung der an sich erwünschten laminaren Strö-
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis mung des Plasmas auf, wodurch das pulverförmige
4, dadurch gekennzeichnet, daß der vor dem .w Material tief in das Innere des Plasmastroms eindringt. Lichtbogenkanal liegende Raum eine größere Da nun in dem Plasmastrom ein sehr starker Tempe-I ich te Weite aufweist als der sich in Strömlings- raturgradient vorliegt, wobei im Inneren sehr hohe richtung an den Lichtbogenkanal anschließende Temperaturen herrschen, wird durch eine derartige Plasmakanal (15). Vermischung des pulverförmigen Materials mit dem
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden 55 Plasma in unerwünschter Weise teilweise eine Vcr Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die dampfung oder Zersetzung des mit dem heißen Teil Vielzahl von Gaszuführungskanälen (33) auf der des Plasmas in Verbindung tretenden pulverförmigen Gasverteilerplatte (25; ISA) gleichmäßig verteilt Materials hervorgerufen. Inbesondere bei Verwenauf einem Kreis angeordnet ist; dung eines pulverförmigen Kunststoffmatcrials führt
Wi die thermische Zersetzung zu einer schlechten Qualität der hergestellten Beschichtung.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, eine Plasmaspritzvorrichtung der eingangs
j-fj genannten Gattung zu schaffen, bei welcher im Hc-
ί'■'■) Die F:.rfindung betrifft eine l'lasmaspritzvorrich- hs trieb eine laminare Störung des Plasmas aufrechter-
j;( lung für auf einem Substrat abzulagerndes wärme- halten wird.
)!'■; schmelzbares, pulverförmiges Material, mit einer ei- Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe hei einer
ti neu Plasmakanal einschließenden Düse, in deren der Plasmasprit/vorrichtungder eingangs genannten GaI-
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