DE2144571A1 - Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-Widerständen - Google Patents

Description

7278-71/Sch/Ba

U.S. Ser.llo. 130,316
vom 1. April 1971

HCA Corporation, New York, N.Y. (V.St.A.)

Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-Widerständen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-Widerständen mit einem innerhalb eines prozentual vorgegebenen Toleranzbereiches liegenden Sollwiderstandswert, bei dem eine fortläufende Heine von gedruckten Widerstandseinheiten auf Isoliersubstraten abgelagert wird und durch Verdampfen des Lösungsmittels getrocknet wird und die getrockneten Einheiten in einem Ofen mit einer bestimmten Spitzentemperatur zur Ein- : stellung des gewünschten Sollwiderstandswertes gebrannt wer-

Die sogenannten Dickfilm-Schaltungen in j?orm integrierter Hybridschaltungen enthalten normalerweise eine Anordnung von Leitern, welche auf einem isolierenden Substrat abgelagert ist, und passive Bauelemente wie Widerstände, Kondensatoren und Spulen', die in Dickfilmtechnik ebenso auf dem Substrat abgelagert und mit den Leitern verbunden sind. Aktive Bauelemente : wie Transistoren und Dioden und auch komplexere Schaltungsteile, die auf Halbleiterplättchen ausgebildet sind, werden normalerweise mit Anschlüssen der Dickfilm-Schaltung verbunden^

Ein üblicher Widerstandstyp wird mit Hilfe einer viskosen j Tinte oder Druckfarbe hergestellt, welche Metallpartikel und/ oder Metalloxide, Glasfritten, organische oder nichtorganische Bindemittel und organische Lösungsmittel enthält. Ferner sind manchmal ölartige Bestandteile enthalten. Derartige Widerstände werden als "Oermef'-Widerstände bezeichnet.

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Solche Cermet-Widerstände werden mit Hilfe von Siebdruckverfahren mit einer sorgfältig bestimmten Menge der "iiiderstandsdruckfarbe auf einen Keramikträger aufgebracht. Bei der Herstellung einer Charge von vielen tausend Einheiten druckt eine Maschine nacheinander die Widerstandseinheiten in einer Folge auf kleine Keramikplatten und zwar während einer zeitlichen Periode, die eine oder mehrere Produktionsspannen unfe-ßt.

Nachdem die Widerstandseinheiten auf den Träger aufgedruckt sind, werden sie in Luft (üblicherweise bei erhöhter Temperatur) getrocknet, damit das lösungsmittel ausdampft. Dann werden sie einem Brennprozeß unterworfen, damit die Glasfritte schmilzt und das Bindemittel ausbrennt. Die meisten Cermet-Widerstand-Verbundmaterialien enthalten als metallischen Anteil Silber und Palladiumpartikel. Wenn das Verbundmaterial gebrannt wird, legiert ein Teil des Palladiums mit dem Silber und das überflüssige Palladium wird zu einem Zustand oxydiert, der von der Zeit und Temperatur der Brennbehandlung abhängt. Es gibt noch weitere Widerstandsverbundmaterialien, beispielsweise auf Rutheniumbasis. Der Brennprozeß kann ausgeführt werden, indem man die Keramikträger auf einem metallischen Forderband anordnet, welches sich mit einer geringen konstanten Geschwindigkeit durch den Brennofen bewegt, in dem ein bestimmtes Temperaturprofil herrscht. Wenn die Glasfritte schmilzt, unterbricht sie den Oxydationsvorgang des Palladiumoxids und stabilisiert auf diese Weise einen der wichtigsten Faktoren, welche den Widerstandswert des gebrannten Widerstandes bestimmen.

Der Entwicklungsingenieur kennt den Widerstandswert, den ein bestimmter Widerstand haben soll. Er kennt ferner den zulässigen Toleranzbereich als prozentuale Abweichung vom Sollwert. Mit der Kentnis der zur Verfügung stehenden Fläche für den Widerstand kann er die Druckmasse bestimmen, mit welcher der Widerstand gedruckt werden soll, der nach dem Brennen bei einer bestimmten Temperatur den gewünschten Widerstandswert haben

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soll. Es gibt nocli viele andere Faktoren, weiche für die Wahl der Druckmasse für bestimmte Schaltungsanwendungen mitbestim- . men. So sind elektrische Einflußgrößen zu bedenken, wie die Leistung, welche der Widerstand verarbeiten soll, die Spannungsverteilung über den Widerstand, der Rauschfaktor usw. Die Druckmasse muß so ausgewählt werden, daß der Widerstand bei der geforderten Leistung nicht verbrennt oder seinen Wert verändert, daß das Widerstandsrauschen unterhalb eines vorbestimmten Pegels bleibt und daß er bei dem anliegenden Spannungsgradienten das richtige Betriebsverhalten zeigt.

Da in den Herstellungsprozeß so viele Variablen eingehen, läßt sich der letztlich erreichte Widerstandswert bei einer be- _; ™ stimmten Druckmasse, vorgegebenen Brenntemperatur und Brennzeit, vorgegebenen Schichtdicke und Siebmaschengröße, vorge- j gebener Druckkraft und vorgegebenem Drahtdurchmesser nur näherungsweise vorhersagen. Einige dieser Variablen sind: Weiten des Drucksiebes, Änderungen der Siebdrahtspannung, Abnutzung des Siebes, allmähliche Verdickung des Verbundmaterials infolge Verdampfung des Lösungsmittels und Unterschiede in der > Zusammensetzung und Reinheit des Druckmaterials zwischen einzelnen Packungen oder Flaschen. Wenn die Chargen zusammengestellt und gemessen sind, sind zusätzliche Einstellungen erforderlich, um den Widerstandswert des Vorlaufs einer Charge ! in den gewünschten Toleranzbereich zu bringen. j

Bei Beachtung aller üblichen Vorsichtsmaßnahmen bei federn j Schritt des Herstellungsverfahrens treten doch immer noch zwei j verschiedene Effekte im Lauf der Produktion auf. Der eine liegt im Anfallen von Widerständen außerhalb des Toleranzbe- . reiches, welche aussortiert oder hinsichtlich des Widerstandswertes nachkorrigiert werden müssen. Widerstandswerte lassen sich normalerweise durch Entfernen eines Teils des Widerstandsmaterials erhöhen, eine Verringerung des Widerstandswertes erreicht man durch ein Kürzen eines Teils des Strompfades: Die* se Korrekturmaßnahmen werden jedoch bei derzeitigen Produktions-

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verfahren normalerweise nicht durchgeführt, da sie mühselig und teuer sind. Es wäre daher von Vorteil, die Notwendigkeit solcher Maßnahmen in so viel Schaltungen wie möglich auszuschalten.

Der zweite Effekt liegt in einer allmählichen Drift des durchschnittlichen oder normalen Widerstandswertes sämtlicher produzierter Einheiten in Richtung vom gewünschten Widerstandswert weg. Dieses Abweichen ergibt sich infolge der vorerwähnten Produktionsvariablen.

Es ist häufig zeitraubend und teuer, den Widerstandswert auf den Optimalwert zu bringen, indem man den oder die Eaktoren korrigiert, welche für die Abweichungen verantwortlich sind. Eine Abnutzung des Drucksiebes würde beispielsweise ein häufiges Auswechseln gegen ein neues Drucksieb erfordern. Ein Verdampfen des Lösungsmittels würde eine genaue Messung des Lösungsmittelverlustes und ein häufiges Nachgießen erfordern, wobei das Lösungsmittel sorgfältig mit dem Verbundmaterial ver* mischt werden müßte.

Zur Verringerung der Produktionsprobleme hat man beträchtliche Anstrengungen gemacht, Druckmassen zu entwickeln, bei welchen ein Minimum von Änderungen des letztlich erhaltenen Widerstandswertes mit der Brennzeit und Brenntemperatur auftritt. Man hat geglaubt, daß dies der beste Weg wäre, Widerstandsabweichungen gering zu halten, welche im Endprodukt auftreten. Es hat sich jedoch herausgestellt, daß sich auf diese Weise die Probleme nicht befriedigend lösen lassen. Um hohe Ausbeuten brauchbarer Einheiten zu erhalten, hat man die Widerstände zunächst so ausgelegt, daß die Istendwerte nach der Behandlung unter den Sollendwerten liegen. Die Widerstände wurden dann auf den gewünschten Sollwert gebracht, indem man soviel Widerstandsmaterial wie nötig entfernt hat. Die vielen anderen oben erwähnten Variablen im Herstellungsprozeß und Material haben die Widerstandsabweichungen, welche im normalen Brenn-

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prozeß infolge geringer Änderungen der Brennzeit und Brenntemperatur auftreten, weit überwogen.

Es ist andererseits wünschenswert, Prozeßvariable zu kennen, welche sich leicht und schnell steuern lassen, um den durch das Brennen entstehenden Widerstandswert um einen bekannten und genauen Wert zur Kompensation der Widerstandsdrift beein-. flüssen lassen. Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung einer solchen Beeinflussungsmöglichkeit.

Die Erfindung ist im folgenden anhand der Darstellungen näher erläutert. Es zeigt:

i'ig. 1 ein Temperaturprofil zwischen Eingang und Ausgang eines Irörderbandofens in Laborgröße zur Verwendung bei der Herstellung von PrüfChargen zum Testen des Verfahrens;

I'ig. 2 eine Darstellung des spezifischen Widerstandes einer bestimmten gebrannten Cermet-Widerstandsdruckmasse über der Spitzenbrenntemperatur bei konstanter Brennzeit in einem Brennofen, welcher das in i'ig. 1 dargestellte Temperaturprofil aufweist;

fig. 5 eine Darstellung des normierten Widerstandes (^) über der Zeit im Brennofen mit einem konstanten Temperaturprofil für Cermet-Wiaerstände einer bestimmten Masse unter Verwendung eines Ofens mit einem Temperaturprofil gemäß Fig. 1;

Pig. 4 eine Darstellung des Widerstandes über der i'örderband- ^! geschwindigkeit für sechs verschiedene Materialien, welche bei der gleichen Temperatur gebrannt worden sind;

JB'ig. 5 ein Blockschaltbild einer Schaltung zur Rechner steuerung der ii'örderbandgeschwindigkeit beim Brennen von Dickfilm-7iaeratänden; und

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JPig. 6 ein Teinperaturprofil eines Produktionsbreniiofens für die Herstellung von PrοduktionsChargen von Hybridschaltungen unter Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Us sei nun ein Beispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens beschrieben. Hierbei wird die Spitzenbrenntemperatur des Ofens und/oder die Brennzeit, während deren sich der widerstand im Brennofen befindet, gesteuert, damit V/iderstände erzeugt werden, deren Widerstandswert innerhalb eines gewünschten Temperaturbereiches liegt. Änderungen des ividerstandswertes vom gewünschten Bereich infolge der vielen oben erwähnten Verfahrensvariablen lassen sich durch Änderungen der IPörderbandgeschwindigkeit oder der Brenntemperatur, oder beider Variablen, um einen bekannten Betrag verändern.

Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zunächst wünschenswert, eine Widerstandsdruckmasse zu wählen, deren Kennliniezeit/Temperatur über dem spezifischen Widerstand eine Neigung (entweder positiv oder negativ) aufweist, welche nahezu linear innerhalb des Brenntemperaturbereichs der Druckmasse verläuft. Unter dem Ausdruck Widerstand ist hier der Flächenwiderstand zu verstehen, welcher in Ohm pro i'lächenquadrat gemessen wird. Der Temperaturbereich ist derjenige Bereich von Brenntemperaturen, in welchem die Glasfritte schmilzt und der Metalloxidanteil auf einen gewünschten Wert stabilisiert wird. Der Brenntemperaturbereich kann innerhalb von 30⁰G schwanken.

Der Erfindung liegt die .Feststellung zugrunde, daß die oben erwähnte Neigung der Charakteristik innerhalb eines Bereiches von 1 bis 5 yö liegen soll, damit sich diese Neigung des Verlaufs der Spitzenbrenntemperatur über dem ICiderstcnd viricungsvoll zur Prozeßsteuerung ausnutzen läßt. Das bedeutet, daß sich mit jedem G-rad Temperaturänderung der in ühni pro ü'lächenquadrat gemessene Widerstand sich um 1 bis 5 Ά ändert. Ist die Neigung geringer als 1 /■>, dann ist sie zu flach, uci als

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beeinflussende Steuergröße brauchbar zu sein, da man dann einen zu großen Temperaturbereich benötigt, um eine vorbestimmte Widerstandsänderung zu bewirken. Ist die Ueigung dagegen großer als 5 ■;·■>, dann verursacht eine Temperaturänderung von 1° eine so große Widerstandsänderung, daß eine genaue Steuerung nicht mehr gut möglieh ist. Vorzugsweise soll die Neigung der Kurve 2 bis 2,5 ^CJ> betragen.

Jfigur 1 zeigt ein typisches Temperaturprofil in einem !Förderbandofen in Laborgröße, welches so ausgewählt ist, daß es zum Brennen einer bestimmten Y/iderstandsdruckmasse geeignet ist. Der Ofen ist etwa 2,4 m lang. ¥enn die Druckmasse vom Hersteller verkauft wird, ist zur Herstellung eines gewünschten Widerstandswertes ein bevorzugtes Brenntemperaturprofil anzuwenden. Die einzelnen Druckmassen unterscheiden sich in diesem Brenntemperaturprofil. JB¹Ur die hier im Rahmen von Beispielen beschriebenen Druckmassen beträgt die vom Hersteller empfohlene normale Brennzeit etwa 50 Minuten vom Eintritt in den Ofen bis zum Austritt aus ihm gerechnet.

Bei der Entwicklung muß zunächst entschieden werden, welche Druckmasse im speziellen Fall aus dem Angebot ausgewählt werden soll, damit das gewünschte Resultat erreicht wird. Die Druckmasse wird so gewählt, daß die Geometrie des Widerstandes in einen bestimmten Formen- oder Abmessungsbereich fällt, wobei ferner Einschränkungen infolge der gewünschten elektrischen Eigenschaften wie zulässiger Rauschfaktor, Spannungsgradient und Leistung zu beachten sind. Man wählt den spezifi-' sehen Widerstand in Übereinstimmung mit einer durch andere ' Einflußgrößen bestimmten Geometrie so, daß der Widerstand mit diesen Abmessungen im Endeffekt den gewünschten Viert haben wird.

Nach dem hier beschriebenen Verfahren soll ferner die Druckmasse so ausgewählt werden, daß die Neigung der die Spitzenbrenntemperatur über dem Widerstand darstellenden Kurve die vorerwähnte Größe hat.

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Beim Drucken der Widerstandsmasse auf den Substrat müssen noch andere Faktoren berücksichtigt werden, wie die Maschenweise des Drucksiebes, der beim Drucken aufgewendete Druck und die Siebdicke. Bei den hier beschriebenen Beispielen betrug die Dicke des getrockneten aber noch nicht gebrannten 3?ilms 33 bis 39 Mikron, nach dem Brennen dagegen etwa 24 bis 30 Mikron. Der Siebdruck erfolgte unter Verwendung eines 165iger Siebes (165 mesh screen).

Wenn eine Charge von Widerständen hergestellt wird, dann können die Widerstandswerte τοη gedruckten und gebrannten Widerständen infolge der oben erwähnten zahlreichen Einflußgrößen von dem zulässigen Bereich wegdriften, so daß sich schließlich eine Widerstandsverteilung außerhalb des Toleranzbereiches ergibt. Gemäß dem in den Ansprüchen gekennzeichneten Verfahren läßt sich die Spitzenbrenntemperatur so einstellen, daß die Widerstände auf einen gewünschten Wert zurückgebracht werden. Dies sei nun unter Zuhilfenahme der in Fig. 2 dargestellten Kurve näher erläutert. Diese Kurve stellt den Widerstand in Ohm pro llächenquadrat über der Spitzenbrenntemperatur dar, welche beim Brennen von 25- Proben aus einer Widerstandsdruckmasse "duPont resistor ink Nr. 8023" bei Spitzenbrenntemperaturen von 725, 740 bzw.- 750° G erhalten worden ist. Wenn als anfängliche Spitzentemperatur bei der Herstellung der Gharge beispielsweise eine Temperatur von 740° C gewählt worden ist, dann ergibt sich bei dieser Temperatur und einer Brenndauer von 50 Minuten ein mittlerer Widerstandswert von 9,700 0hm pro Flächenquadrat für die hergestellten Widerstände. Wenn "die Herstellung fortschreitet und das Sieb sich abnutzt und andere Änderungen eintreten, dann kann sich der mittlere Widerstandswert ändern und beispielsweise 11,000 Ohm/ELächenquadrat annehmen. Zur Kompensation dieser Änderung liest man von der Kurve die zum Zurückbringen des Widerstands auf 9,700 Ohm/Flächenquadrat erforderliche Temperaturänderung ab und führt die entsprechenden Einstellungen durch. In diesem Pail ist eine Temperaturänderung um 10° 0 erforderlich.

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Obgleich die Änderung der Spitzenbrenntemperatur eine Möglichkeit zur Rejustierung von Widerstandsdriften ist, wenn eine große Charge von Einheiten hergestellt wird, hat es sich in der Praxis gezeigt, daß diese Einflußgröße sich auch sehr bequem zur Durchführung relativ großer Widerstandsänderungen heranziehen läßt. Für kleinere Widerstandsänderungen ist es bequemer, die Förderbandgeschwindigkeit zu ändern. Es hat sich, herausgestellt, daß die Widerstände von Cermet-Widerstandsmas-, sen nach dem Brennen regelmäßig mit der Brennzeit variieren und daß unter Ausnutzung dieser einzigen Einflußgröße eine Kompensation nahezu aller Widerstandsabweichungen möglich ist,.

welche normalerweise* infolge der erwähnten Einflüsse auftre- j

ten können. ! I

ι Ein Beispiel dafür, wie sich der in Ohm gemessene Widerstand vnn aus einer besonderen Widerstandsmasse hergestellten Widerständen mit der Brennzeit verändert, ist in Pig. 3 dargestellt,. Die Zeitachse zeigt von links nach rechts abnehmende Zeiten. Die Kurve veranschaulicht, daß für eine Zusammensetzung der Widerstandsmasse mit abnehmender Brennzeit der Widerstand sich mit einer Änderungsrate verringert.

Eine große Anzahl von Experimentierchargen wurde mit einer Anzahl unterschiedlicher duPont-Widerstandsmassen erprobt, um ; zu bestimmen, wie die Förderbandgeschwindigkeit den Flächen- ' M widerstand gebrannter Germet-Widerstände beeinflußt. Die Ergebnisse dieser Versuchsreihen sind in Fig. 4 dargestellt. Man erkennt die Kennlinien für sechs verschiedene Widerstandsmassen für unterschiedliche Widerstandsbereiche.- Sämtliche Brennvorgänge wurden in demselben Ofen durchgeführt, der auf eine Spitzenbrenntemperatur von 730° C eingestellt war. Die Förderbandgeschwindigkeiten betrugen 8,9 bzw. 9,52 bzw. 10,16 bzw. 10,8 cm/sek. Es handelt sich um die Widerstandsmassen duPont 7822, 7823, 8022, 8023, 8024 und 8025.

Die Darstellung zeigt, daß für alle sechs Widerstandsmassen |

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der Widerstand mit zunehmender jförderbandgesehwindigkeit (kürzere Brennzeit) abnimmt. Für eine Korrektur der Förderbandgeschwindigkeit zur Kompensierung relativ kleiner Änderungen des Durchschnittswiderstandes während einer Produktionscharge betrachtet man für jede Widerstandsmasse die Originalkurve und liest die G-eschwindigkeitskorrektur ab, welche für die gewünschte Widerstandsänderung erforderlich ist und erniedrigt bzw. erhöht dann die Drehzahl des fförderbandantriebsmotors entsprechend. Dieses Verfahren läßt sich allerdings nur anwenden, wenn die ursprüngliche Probecharge und die ProduktiönsChargen zeitlich dicht beieinanderliegen.und die Produktionscharge nur klein ist..

Ist die Produktionscharge groß, dann ändert sich die Neigung der über der Förderbajidgeschwindigkeit aufgetragenen Widerstandskurve erheblich. In diesem lalle läßt sich die Originalkurve nicht zur Bestimmung der erforderlichen Förderbandgeschwindigkeit benutzen, um eine bestimmte Änderung des Durchschnittswiderstandes zu bewirken. Es muß vielmehr die neue Kurvenneigung ermittelt werden.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung hat sich herausgestellt, daß der Verlauf des Widerstandes über der Förderbandgeschwindigkeit einer Kurve der allgemeinen J?orm y (Widerstand) = a + bx + ex folgt, wobei χ die Förderbandgeschwindigkeit ist und a, b und c Konstanten sind, welche sich nach Auftragen der Verteilung einer Anzahl von Proben für mehrere unterschiedli- > ehe Förderbandgeschwindigkeiten berechnen lassen. Für kleinere' Geschwindigkeitsänderungen läßt sich die Kurve durch eine ge- i rade linie annähern, so daß für schnelle Überschlagsrechnungen eine lineare Interpolation oder Extrapolation mögliGh ist. Es kann ferner angenommen werden, daß die Änderungsgeschwindigkeiten klein sind, wenn das Verfahren unter einer genauen Kontrolle steht.

{ Stellt sich während der Produktion heraus, daß der mittlere

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Widerstand, wie er aus einer Anzahl von Einzelwiderständen errechnet worden ist, sich nennenswert verändert hat, dann läßt sich diese Information zur Bestimmung eines Punktes der neuen Kurve heranziehen. Man kann dann die Pörderbandgeschwindigkeit um einen bekannten Betrag verändern und eine neue Probecharge fahren und die neue Durchschnittsgeschwindigkeit für die neue Förderbandgeschwindigkeit berechnen. Zwischen diesen beiden Punkten kann man eine geradlinige Kurve ziehen, welche die neue ' Neigung erkennen läßt. Mit Hilfe dieser neuen Kurve läßt sich j ermitteln, welche Pörderbandgeschwindigkeit für den tatsäeh- ^! lieh gewünschten durchschnittlichen Widerstand erforderlich ist.

Bei diesen Verfahren läßt sieh ein Rechner mit großem Vorteil verwenden. Er kann kontinuierlich den mittleren Widerstandswert sämtlicher erzeugter Widerstände berechnen und nach Um-Wandlung einer Spannungsänderung in eine Binärzahl eine Anderung des mittleren Widerstandes feststellen und die erforder- \ liehe Änderung der Pörderbandgeschwindigkeit berechnen, mit . welcher der mittlere Widerstand wieder auf den gewünschten Wert

{ gebracht wird. Die Pörderbandgesehwindigkeit kann entweder von

Hand oder automatisch geändert werden.

j Die Spitzentemperatur und die Brennzeit lassen sich beide zur j Steuerung der Widerstandswerte bei der Herstellung von Wider- ! ständen in Hybridschaltungen heranziehen. Die Temperatur kann ' für Grobeinstellungen herangezogen werden. Zusammen können diese Einstellungen zum Ausgleich von Änderungen der Widerstands-j masse von Vorratsmenge zu Vorratsmenge oder zu Änderungen der \ Druckdicke auf einer langen, zeitkonstanten Basis herangezogen! werden. So können Änderungen der Druckabmessungen infolge von j Siebabnutzungen oder anderen Siebänderungen, infolge von Umspringeffekten durch Änderung der Siebdrahtspannungen und infolge vieler anderen Variablen, welche in langen, konstanten Zeitabschnitten im Zusammenhang mit dem Siebdruckverfahren auftreten, in Realzeit während des Prozesses durch entsprechende Steuerung kompensiert werden.

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1 O_-

I (L-

Das hier beschriebene Verfahren vermeidet nicht völlig die Notwendigkeit einer Sohlußkorrektur der Widerstandswerte durch naterialentfernung oder Kürzung der Widerstandslänge, aber es vermindert diese Arbeit v/es entlich.

Ls ist bereits erläutert worden, daü die Viiderstandswerte gebrannter Oermet-'Jiderstaiidsmassen, welche Palladium, Palladiumoxid und Silber enthalten, über der i'örderbandgeschwindigkeit

ρ aufgetragen eine Eurve vom Typ y = a + bx + ex ergeben. Diese kurve stellt ein Pol3mom zweiter Ordnung dar. Wird eine genaue Steuerung des mittleren Widerstandes gewünscht, dann kann die vorausberechnete Kurve für eine bestimmte Widerstandsdruekmasse aufgezeichnet werden und anstelle einer linearen Approximation zur Korrektur der I'ö'rderbandgesehwindigieeit herangezogen werden. Die Koeffizienten a, b und c lassen sich durch Aufzeichnung der Widerstände für jede Einheit einer recht großen Anzahl von Proben (ca. 100 Einheiten) für mehrere verschiedene Förderbandgeschwindigkeiten bei einer bestimmten Temperatur und Eingabe dieser Informationen in einen Rechner bestimmen. Eür jede i'örderbandgeschwindigkeit variieren die Widerstandswerte innerhalb eines beträchtlichen Bereiches.

Um praktisch interessante Produktionsgeschwindigkeiten ohne Unterbrechung zu erreichen, während diese Prüfung und Berechnung erfolgt, ist eine automatisch arbeitende Prüfeinrichtung und eine Speicherung der Meßdaten sowie eine Computerberechnung des Durchschnittswiderstandes und der zum Einhalten der Driftparameter innerhalb des zulässigen Toleranzbereiches erforderlichen Geschwindigkeitsänderung sehr erwünscht. Sin Beispiel, wie dies durchgeführt werden kann, ist im folgenden beschrieben.

Die in Fig. 5 dargestellte Anordnung kann eine Widerstandsmeßvorrichtung 2 enthalten, welche Sätae von nicht dargestellten Prüfsonden enthält, die zu Kontaktpaaren aus Metallflächen absenkbar sind, die ihrerseits mit den Enden aller Widerstände

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BAD ORIGINAl.

der Schaltung verbunden sind. Ein ebenfalls nicht dargestellter Abtaster icann zürn Ablesen des jeweiligen Wertes der einzelnen /Widerstände benutzt v/erden, nachdem diese einzeln auf dem i'örderband 6 aus dem Ofen 4 herauskommen, und ein ebenfalls nicht dargestelltes Digitalwider standsnießgerät läßt sich zur umwandlung der abgelesenen Werte in Ohm verwenden.

Me Anordnung kann weiterhin zwei Rechner enthalten, von denen einer, der nicht dargestellt ist, die Daten auf Hagnetband speichert. Der andere iiechner 8 erhält die Meßdaten von dem Widerstandsineßgerät während der Produktion und gibt oteuernommandos zur G-ut-Annahme oder 3chiecht-Ausscheidung der Einhexten und - gegebenenfalls - zur Änderung der Geschwindigkeit des Förderbandes 6.

Vor dein Anlauf einer tatsächlichen Produktionscharge für eine bestimmte Einheit, werden gewisse Werte festgehalten und in ein Pa pi erb an G. eingestanzt, i'ür ,jeden Widerstand gibt es einen anzustrebenden Durchschnittswiderstandswert mit einer oberen und einer unteren Toleransgrenze. Damit die Charge brauchbar wird, muß der durchschnittliche Widerstand innerhalb dieser Toleranzgrenzen liegen.

IHt Kenntnis der zulässigen Abweichungen für einen bestimmten Anwendungsfall lassen sich die obere und die untere Toleranzgrenze festsetzen. Befindet sich ein einzelner Widerstand außer halb des Toleranzbereiches, dann ist die gesamte Schaltung, in· der dieser Widerstand enthalten ist, auszuscheiden.

Aus Erfahrung weiß man, bis zu welchem G-rad man den Wert eines Widerstandes nach dem Brennen verändern kann, um den Widerstand in den Toleranzbereich zurückzuholen. Dieser Justierwert muß aufgezeichnet werden.

i^?erner muiä der Rechner Informationen über die Mummer der in einer Jchaltung enthaltenen Widerstände und die Zahl des Steu-

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erwiderstandes, welcher zur Bestimmung der !''örderbandgeschwindigkeitsänderungen verwendet wird, erhalten. Der gewählte Steuerwiderstand sollte derjenige mit den geringsten Toleranzen sein.

Da eine typische Schaltung viele Widerstände mit sehr verschiedenen Widerstandswerten enthalten kann, verwendet man üblicherweise mehr als nur eine einzige /fiaerstandsmasse. Vorzugsweise sollten sämtliche Widerstandsmassen, welche in dex- gleichen Schaltung verwendet werden, gleiche Charakteristiken haben. D.h., die aus ihnen hergestellten'Widerstände sollen Viderstandsänderungen in der gleichen .Richtung und etwa im gleichen Ausmaß bei Änderungen der Spitz'enbrenntemperatur und Änderungen der Brennzeit- aufweisen. Dies ist wünschenswert, demit Messungen an einem der Widerstände sich zur Steuerung der 1,'erte aller Widerstände heranziehen lassen.

Die Konstanten, welche für die Förderbandgeschwindigkeit i'^:ir den Steuerwiderstand erforderlich sind, sollten ebenso auf deia lochstreifen aufgezeichnet werden wie die maximale Anzahl der außerhalb der Toleranz liegenden Schaltungen, welche bei der betreffenden Probe zu akzeptieren ist.

ferner ist für jeden Widerstand der Schaltung eine Bereichskonstante einzugeben, welche den Bereich angibt, in welchen die Digitalmeßanordnung einzustellen ist.

Der bei der Herstellung von Hybridschaltungschargen verwendete Hechner enthielt zwei Kerngruppen, Grupjje liull und Gruppe Dins. Jede Kerngruppe war in 40»Oktalseiten zu 177 Oktalworten unterteilt. Es handelte sich um einen 12 Bit-Wortrechner, und daher war eine indirekte Adressierung für den 'übergang zwischen Seitenbegrenzungen und zur Verknüpfung der Gruppen erforderlich.

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BAD ORtGiNAL

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Gruppe O - die Systerngruppe war folgendermaßen aufgebaut :

a) Unterbrechung des Normal/programmes

b) Fortran ruft arithmetische und I/O Programme auf

c) Anwendungsprogramme, welche ermöglichen, daß ürortran periphere Geräte über Unterprogramme adressiert

Gruppe 1 - die Benutzungsgruppe enthielt:

a) Anlauf der Programme

b) V/arteverzeichnis für den Brennvorgang

c) l'ernschreiberserviceprogramm

d) arithmetische und Berechnungsprogramme für Messung, Abtastung und VorherbeStimmung von Produktionsände- * rungen

e) UatenGpeicherprograiiinie für die Verfahrensanalyse,

das Meßsystem anlaufen zu lassen, wird ein Kommande geschrieben, welches das Verfahren einleitet und anzeigt, daß eine neue Charge von Schaltungen, möglicherweise mit einer anderen Schaltungsausbildung, zum Messen bereit ist. Dann wird die Schaltungsnummer und die Chargennummer eingeschrieben und der gelochte Papierstreifen mit den Schaltungskonstanten eingegeben.

Inzwischen durchlaufen die Schaltungen den Ofen auf einem S¹Or- μ derband, und beim Austreten aus dem Ofen werden Proben in Kontakt mit den Kontaktflächen abgesenkt, welche mit jedem Wider-· stand jeder Schaltung nacheinander verbunden werden. Der Ab- [ taster liest die Spannung über jedem Widerstand, und das Digi-' talwiderstandsmeßgerät wandelt diese Ablesung in Ohm um.

Der Rechner druckt dann die gemessenen Werte jedes Widerstandes aus. Wenn alle Widerstände der Schaltung innerhalb des Toleranzbereiches liegen, wird die Schaltung als gut klassifiziert und in den Gut-Behälter geleitet. Liegt der Wert eines einzelnen V/icierstandes unterhalb der unteren oder oberhalb der

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oberen Toleranzgrenze, dann wird die gesamte -Schaltung in den Sohleclit-Behälter geleitet, liegt der Wert eines einzelnen Widerstandes unterhalb des Einjustier-Wertes aber' oberhalb der unteren Toleranzgrenze, dann wird diese Schaltung in den Einjustier-Behälter geleitet. Die Ablesewerte für jeden Widerstand werden zur Berechnung des mittleren Widerstandswertes für jede Schaltung aus einer vorbestimmten Anzahl aufeinanderfolgender Schaltungen angesammelt.

Wenn nach Messung des Kontrollwiderstandes der durchschnittliche Widerstandswert einer bestimmten Menge von Schaltungen sich aus dem Toleranzbereich herausbewegt, dann erfolgt eine maschinengeschriebene Anzeige der erforderlichen Förderbandgeschwindigkeitsänderung. Zu diesem Zweck muß dem Rechner die aufzuaddierende Zahl von Schaltungen zum Zwecke der Abtastung und der Häufigkeit der Abtastung eingegeben werden.

Ferner muß der Rechner zur Bewirkung der Pörderbandgeschwindigkeitsänderung zusätzliche Daten enthalten:

1) Periodische Messung der Standardkomponenten zur Prüfung der Genauigkeit der Meßbrücke.

2) Anfangsgeschwindigkeit des Förderbandes - diese wird zunächst geschätzt auf der Grundlage der Proben der vorhergehenden Produktionscharge.

Wenn die erforderliche Anzahl von Ablesungen für die Abtastung angesammelt ist, dann wird der mittlere Widerstandswert für jeden Widerstand berechnet und die Gesamtzahl der Meßproben wird ausgeschrieben. - .

Liegt der Mittelwert des Kontrollwiderstandes außerhalb der Grenzen, dann läßt'sich die erforderliche Änderung der Pörderbandgeschwindigkeit in folgender Weise berechnen:

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Geschwindigkeit = -?-· ¹ + eine Konstante

neue

wobei XlT = der anzustrebende Widerstand χ = der durchschnittliche Widerstandswert der Proben

■jjj~ = der Änderungskoeffizient des Widerstandes mit der

i'örderbandgeschwindigkeit
Sn = die Augenblicksgeschwindigkeit des .Förderbandes ist.

Die Änderung der Eörderbandgeschwindigkeit kann automatisch durchgeführt werden. Die Ausgangsinformation des Heehners 8 wird einem Digital-Analog-Konverter 10 zugeführt, welcher die Motorspannung des Förderbandantriebs 12 erhöht oder erniedrigt. IJach der änderung der Förderbandgesehwindigkeit läßt man eine Zeit vergehen, damit die Schaltungen, welche unter den geänderten Brennbedingungen bearbeitet worden sind, bis zu der Prüf- , position wandern können. :

Ein kleiner Anteil der tatsählichen Produktionscharge ist ; nachfolgend als ein Arbeitsbeispiel beschrieben. Die Schaltung hatte acht Widerstände mit sehr unterschiedlichen Werten. Die Widerstände hatten die Nummern 1 bis 6 und bestanden aus demselben widerstandsmaterial. Das Widerstandsmaterial war eine i'Iischung zu gleichen Teilen von.duPont Dir· 8279 und 8281, wobei das erste Material 8279 einen Nominalwert des Flächenwiderstsndes von 0,5 kOhm/lFläehenquadrat bei einer Brenntemperatur ^: von 740° C und einer Dicke von 25 Mikron ergibt, während das zweite Material 8281 einen Nominalwert von etwa 1,8 kOhm/Flächenquadrat unter den gleichen Bedingungen ergibt. Die Widerstände ITr. 7 und 8 bestanden aus einem Widerstandsmaterial, welches einen Ji'lächenwiderstand von etwa 100 kOhm/]?lächenquadrat: ergibt.

Tabelle I zeigt die Werte und Toleranzen für jeden Widerstand.

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Tabelle I Widerstand Ir.

Sollwert

Toleranzbereich

^L7'

3900	Ohm	+ 20 >o
Ίο	kOhiü	± 5 ;i
100	Ohm	+ 30 h - 4-0 Y--
180	Ohm	+ 10 ^
100	Ohm	+ 20 >;
220	Ohm	(Verhältnis -ö— = 0,02 "'"2
2,2	mOhni	+ 20 ρ
220	kOhra	+ 20 ·ρ

Die meisten dieser Widerstände waren in der Präzis als Widerstandspaar jeweils gleichen Wertes entworfen und zur Bildung der oben angeführten Vierte entweder in Reihe oder parallel 'geschaltet. Jedoch waren die Widerstände Mr. 1 und Hr. 6 einfache Rechtecke mit den folgenden Dimensionen:

Nr. 1 2,3 x 8,5 mm Mr. 6 2,1 χ .9,6 mm

Die Widerstände waren auf einen Substrat in einer solchen Dicke aufgetragen, daß die Enddicke nach dem Brennen 23 ±2,5 Mikron betrug. Die Dicke nach dem Trocknen, aber vor dem Brennen, war etwa 30 # größer. Alle Widerstände bestanden aus demselben Widerstandsmaterial und waren in einem einzigen Durchgang gedruckt worden. In diesem Beispiel wurden die Widerstände 7 und 8 zuerst gedruckt und mit einem fünfminutigen Durchlauf durch einen Infrarottrockner getrocknet. Dann wurden die isiiüerstände 1 und 6 gedruckt und der Trockenvorgang· wurde wiederholt. Bei dem Trockenvorgang, werden praktisch sämtliche Lösungsmittel aus' der Druckmasse entfernt. Die Zeit und Temperatur sollte ausreichend läng sein, so daß eine vollständige Durchtrociaiun^ erfolgt.

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Dann wurden die Einheiten in einem Produktionsοfen gebrannt. Der Ofen hatte eine Länge von etwa 10,5 m und ein Temperaturprofil gemäß l?ig. 6. Der Verlauf des Teniperaturprofils in den letzten 2 "bis 3 m ist nicht kritisch, da hier die Temperatur abnimmt und in den Brennvorgang praktisch, nicht mehr eingeht.

Tabelle "II gibt eine Zusammenstellung von werten für eine den Ofen durchlaufende Charge von TOO Einheiten.

j	Nr.	niedrig	justieren	Heu	Tabelle II	K	hoch	erheblich	Durchs chnitt	01
	1	0	1	A = 61			0	zu- hoch	0,3702 E	01
i	2	0	65	gut	1	1	0,9258 E	-01
	3	0	0	98	0	0	0,9555 1	00
	4	0	19	34	0	0	0,1716 E	-01
	5	1	10	100	0	1	0,9114 S	00
	6	0	0	80	0	2	0,2110 E	04
	7	0	11	87	3 .	0	0,2002 E	03
j	8	0	3	100	5	■0	0,2129 E
	BS	= 12504	86	12228	0
[	OKT	G = 28	92	= 1
			TS *=		R = 10

Die vorstehend angegebene Tabelle IT ist eine Kopie einer vom Reeimer ausgedruckten Liste. Die erste Spalte enthält die Wi- . λ derstandsnummer. Die zweite Spalte enthält die Anzahl der Wi- ·

derstände, deren Werte zu niedrig waren, um durch eine Justie-; rung in den Toleranzbereich gebracht zu werden. Hierbei ist ; festzustellen, daß nur eine Schaltung einen Widerstand (Nr.5) aufwies, der in dieser Hinsicht aus dem Rahmen fiel. Die Schal+ tung mit diesem Widerstand mußte als Ausschuß ausgeschieden werden.

Spalte 5 gibt die Anzahl der jeweiligen Widerstände an, welche nach dem Brennen so wenig aus dem Toleranzbereich herausfielen^ daß sie naclijustiert werden konnten.

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BAD ORIGINAL

Spalte 4 gibt die Anzahl der nach dem Brennen innerhalb des Toleranzbereiches liegenden widerstände an, welche Iceine Justierung erforderten.

Spalte 5 gibt die Anzahl der oberhalb des Toleranzbereiches liegenden Widerstände an, die nicht mehr justiert werden konnten, so daß die betreffenden Schaltungen zum Ausschuß gezählt werden müssen.

Spalte β gibt die Anzahl derjenigen Widerstände an, deren Werte viel zu hoch lagen. Die betreffenden Schaltungen waren ebenfalls Ausschuß.

Spalte 7 gibt den statistischen Durchschnittswiderstandswert in kOhm für alle 100 gemessenen Widerstände an. Mach dem "E" ist die Stellenzahl angegeben, um welche das Komma verschoben werden muß, um den Warenwert In kOnm zu erhalten. Im !falle der Widerstände Hr. 3 und Nr. 5 handelt es sich um eine negative Kommaverschiebung; Das .Komma muß also nach links verschoben werden, während es in den anderen Fällen nach rechts verschoben werden muß.

Unten in der Tabelle sind die Gesamtwerte angegeben. Daraus ist ersichtlich, daß die Gesamtanzahl der Gut-Schaltungen 28 betrug. 61 Schaltungen hatten Widerstände mit außerhalb des Toleranzbereiches liegenden Werten, die sich aber justieren ließen. Eine Schaltung (Kategorie K) war Ausschuß, weil das Verhältnis der Widerstände 2 und 6 außerhalb des Toleranzber^siches lag. 10 Schaltungen mußten ausgeschieden werden, da einer oder mehrere Widerstände zu niedrig oder zu hoch lagen.

Der Widerstand jtfr. 2 wurde als Kontrollwiderstand benutzt, da bei ihm die engsten Toleranzgrenzen von + 5 yt> (Tabelle I) vorlagen. Bei dieser Charge lag der Durchschnittswert des Kontrollwiderstandes außerhalb der Toleranzgrenzen.

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Λ »ir.T=O

-unten In Tabelle II angegebene Wert "BS = 12304" ist ein "für die tatsächliche S'örderbandgeschwinai^iceit. Diese Anzahl stellt die Zahl der Getrieberäderzähne dar, welche in einer vorgegebenen Zeiteinheit (hier 10 Sekunden) an einem Wandler vorbeilaufen. Die tatsächliche Bandgeschwindigkeit betrug 66 em/ain. Ua, der Kontrollwiderstand außerhalb des Toleransbereichs lag, bestimmte der Rechner, daß die Bandgeschwindigkeit geändert werden sollte, und zwar zur neuen Bandgeschwindigkeit "TS = 1222U", damit der mittlere Wert des Kontrollviderstandes dichter beim Sollwert von 10 kOhm liegen soll.

■ In diesem Beispiel wurde die Korrektur der 3?ö'rderbandgeschwindigkeit von Hand durchgeführt. Hierbei wurde nicht genau die vom Rechner bestimmte Änderung durchgeführt, weil in"diesem Produktionsstadium zusätzliche Faktoren zu berücksichtigen waren, welche nicht im Rechner programmiert waren.

Aus Tabelle II ist zu ersehen, daß die Gesamtzahl der Ausschußischaltungen R am Tabellenende nicht die Summe der Zahlen der Spalten "niedrig", "hoch" und "viel zu hoch" ist. Der Grund liegt darin, daß manche Widerstände in mehreren Kategorien gleichzeitig auftauchen, da beispielsweise die viel zu hohen Widerstände gleichzeitig bei den zu hoch liegenden Widerständen aufgeführt sind. Eine Schaltung, bei der mehr als ein Widerstand in der Ausschußkategorie aufgeführt ist, erscheint in der Ge- ! samtzahl der Ausschußschaltungen natürlich nur einmal.

Die im folgenden angeführte Tabelle III ist eine.Kopie des Ausdrucks für die die nächsten 100 Schaltungen umfassende i Charge nach der Änderung der IPörderbandgesehwindigkeit gegen-¹ über Tabelle II. '

2 0 9 8 Λ 1 /0B79 BAD

2UA571

	,Nr.	niedrig	Tabelle	gut	K =	III	erheblich	Durchs chnitt	E 01
[ ■ 1	.1	O		97		zu hoch	■0,3990	Ä 01
2	O	justieren	95	hoch	■ 3	0,9878	!•J OO
3	O	O	100	0	1	0,1062	B 00
4	O	4	93	0	0	0,1873	E 00
5	O	O	99	0	1	0,1002	E 00
6 ■	. O	1	99	5	1	0,2138	jj 04
7	1	O	77	0	1	0,2289	J. 03
8	O	O	78	0	10	0,2325
BS	= 12255	1	Neu TS =	11	9
CKT	α = 56 .	1	A = 5	.12
		12117	= 39
	0 E

Hier ist zunächst festzustellen, daß die tatsächliche bandgeschwindigkeit "BS" etwas höher als die vom lie eimer bestimmte liegt. Die Abnahme der Bandgeschwindigkeit (Erhöhung der üreniizeit), die bei dieser Charge vorlag, führte zu einer Erhöhung der Durchschnittswerte aller Widerstände. Der Durchschnittswert des Kontrollwiderstandes (Hr. 2) wurde enger an den in kOhm angegebenen Sollwert gebracht und lag nun i innerhalb der Toleranzgrenzen. ■

Eine bedeutende Verbesserung wurde bei den G-ut-Schaltungen von 28 auf 56 erreicht. Das ist eine sehr erwünschte Änderung, da die G-ut-Schaltungen nicht nachjustiert zu werden brauchen. Dieser Vorteil ist höher zu werten als lediglich eine Verminderung der Produktionskosten. Schaltungen, welche nicht durch Entfernen eines Teils des Widerstandsmaterials nachjustiert werden müssen, zeigen ein geringeres Rauschen, sind stabiler und verhalten sich bei Betriebstests günstiger als Schaltungen, welche nachjustiert worden sind.

Eine unerwünschte Änderung infolge der Änderung der i'örderbandgeschwindigkeit war die Vergrößerung der Ausschußschaltungen

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BAD

-23- 21U571

von 10 auf 39. Der Grund hierfür liegt hauptsächlich darin, daß die Widerstände 4> 7 und 8 in ihren Werten über den Durchschnittssollwert angehoben worden sind. Wegen dieser Gefahr ist die jj'örderbanägeschwindigkeit nicht so weit herabgesetzt worden, wie es der liechner bestimmt hatte.

Wegen Einflüssen, die in Schwierigkeiten am Meßplats und der Bildung sauberer Jbergangskontakte beim Messen der Widerstände begründet sind, sind einige Schaltungen als Ausschuß deklariert worden, die tatsächlich kein Ausschuß sind. Bei einer nochmaligen Überprüfung der Ausschußschaltungen erscheinen diese dann als akzeptabel.

209841/Q57S

Claims (1)

1. Patentansprüche

   Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-^T.fiderständen mit einem innerhalb eines -prozentual vorgegebenen Toleranzbereiches liegenden Sollwertes für den Durchschnittswiderstandswert, bei dem eine fortlaufende Heine von gedruckten Widerstandseinheiten auf Isoliersubstraten abgelagert wird . und durch Verdampfung des Lösungsmittels getrocknet wird und die getrockneten Einheiten in einem Ofen mit einer bestimmten Spitzentemperatur zur Einstellung des gewünschten Sollwertes gebrannt werden, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

   Brennen einer Charge von Widerstandseinheiten in einem Ofen,

   Messen der Widerstandswerte einer mindestens zu einer Statistik ausreichenden Anzahl von widerständen nach dem Herausnehmen aus dem Ofen und Bestimmung des Istwertes des Durchschnittswiderstandswertes dieser Charge,

   Bestimmung der Abweichung des Istwertes der Charge vom Sollwert und

   Nachjustieren mindestens der Brennzeit und Spitzentemperatur des Ofens, derart, daß der Durchschnittswiderstandswert der gebrannten Einheiten auf den Sollwert gebracht wird.

   2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kennlinie der Spitzenbrenntemperatur gegenüber dem voiderstand für eine bestimmte Widerstandsmasse eine Weisung von 1 fo bis 5 ίο hat.

   3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die Brennzeit zur Justierung des Widerstandes auf einen gewünschten Wert variiert wird.

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   4. Verfahren nach einem der vorstehenden. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Spitzenbrenntemperatur 720° betr und die Brennzeit etwa 50 Minuten beträgt.

   Verfahren nach Anspruch-1, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Messen des Durchschnittswiderstandes der gebrannten Widerstände, welche aus dem Ofen mit einer bekannten !Förderbandgeschwindigkeit austreten, und dem Messen der Abweichung des Istwiderstandes vom Sollwiderstand die iPörderbandgeschwindigkeit so eingestellt wird, daß die Widerstände den gewünschten Sollwert aufweisen.

   Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Heihe von Widerständen gedruckt und in einem Ofen gebrannt wird, aaß die Beziehung zwischen dem Widerstandswert der gebrannten Widerstände und der Brennzeit festgestellt wird, daß die »/erte mindestens einer statistischen Probenzahl von. Widerständen beim Austreten aus dem Ofen gemessen werden, daß der Durchschnittswert der gebrannten Widerstände auto- · matisch mit dem gewünschten Durchschnittswert verglichen ; wird und daß die S'örderbandgeschwindigkeit im Brennofen entsprechend der Beziehung um einen Betrag nachjustiert wird, ■ daß der Durchschnittswiderstand der anschließend gebrannten Widerstände auf den gewünschten Durchschnittswidexstand ^ gebracht wird. ■ . . '

   Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine J Heihe von Testwiderständen im Ofen bei unterschiedlichen ■ i'örderbandgeschwindigkeiten gebrannt wird und aus den Meß- J-ergebnissen die Beziehung zwischen Widerstandswert und S'örderbandgeschwindigkeit bestimmt wird, daß eine Reihe von Produktionswiderständen im Ofen gebrannt wird, daß die Werte mindestens einer statistischen Anzahl von Widerstandsproben der Produktionswiderstände nach dem Austreten aus dem Ofen gemessen und der Durchschnittswiderstand der Produktionswiderstände bestimmt wird, daß die Größe der Abweichung >

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   21U571

   des -./ertes der gesessenen Produktionswiderstände vom gewünschten widerstand festgestellt wird und daß in Übereinstimmung mit der vorher festgestellten Beziehung zwischen Widerstand und JPörderbandgeschwindigkeit die Brennzeit derart nachjustiert wird, daß der Durchschnittswert der anschließend gebrannten Widerstände den gewünschten .Durchschnittswert einnimmt.

   8. Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-Widerstähden nach Anspruch 1, wobei die Widerstände auf einer Mehrzahl von integrierten Hybridschaltungen abgelagert sind, deren jede eine Mehrzahl von Oermet-Widerständen mit unterschiedlichen Durchschnittswiderständen mit unterschiedlichen prozentualen Toleranzbereichen und unterschiedlichen Widerstandsmassen enthält, wobei die Schaltungen durch Drucken einer kontinuierlichen Reihe der einzelnen Widerstände in einer ii'olge. auf isoliersubstraten, Verdampfen des Lösungsmittels aus den gedruckten Widerständen und Durchlaufen der getrockneten Widerstände mit einer bekannten Förderbandgeschwindigkeit durch einen Brennofen mit einem bestimmten Temperaturprofil und einer bestimmten Spitzentemperatus hergestellt werden-, dadurch gekennzeichnet, daß derjenige Widerstand mit den engsten Toleranzen als Kontrollwiderstand verwendet wird, daß sämtliche Widerstände ein und derselben Schaltungseinheit aus Widerstandsmassen mit einer gleichen Charakteristik hinsichtlich Brenngeschwindigkeit und Widerstand nach dem Brennen bei dem Ofentemperatur* profil ausgebildet werden, daß die Beziehung zwischen dem Wert der gebrannten Widerstände und der Brennzeit für den Kontrollwiderstand bestimmt wird, daß eine Reihe von Widerständen im Brennofen mit einer bestimmten i'örderbandgeschwindigkeit gebrannt wird, daß die Widerstandswerte mindestens einer statistischen Probe der Kontrollwiderstände beim Austritt aus dem Ofen gemessen werden, daß der Durchschnittswiderstand der gebrannten Kontrollwiderstände mit dem gewünschten. Durchschnittswiderstand automatisch verglichen

   209841/0579

   wird, und daß die IPörderbandgeschwindigkeit durch den Ofen entsprechend der Beziehung um einen solchen Betrag automatisch verändert wird, daß der Durchschiiittswert der nachfolgend gebrannten "widerstände auf den gewünschten Durchschiiittswiderstand justiert wird.

   209841 /0579 - _ BAD OfciÖfNAL

   it

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