DE2134347C3 - Device for converting an electrical alternating variable into a mechanical see large - Google Patents

Description

mittelbarer Nähe der Oberfläche des Festkörpers Ein besserer Wirkungsgrad wird bei anderen be-indirect proximity of the surface of the solid

angeordnel ist, und daß die vierte Elektroden- kannten Anordnungen dadurch erzielt, daß das clck-is arranged, and that the fourth electrode known arrangements achieved by the fact that the clck-

giuppe iiuf einem in bezug auf die Elektronen- 60 Irische Signal direkt an Elektroden angelegt wird, diegroup iiuf a signal with respect to the electron- 60 Irish signal is applied directly to electrodes, the

c|uelle (I) positiven Potential liegt, so daß sie als in Form von kammartig ineinandergreifenden I-laeh-c | uelle (I) positive potential, so that it appears as in the form of comb-like interlocking I-laeh-

FangeIcktrode für die Sekundärelckironcn wirkt. leitern auf der Oberfläche des piezoelektrischen F'est-The catch rod for the secondary iron is effective. conductors on the surface of the piezoelectric fixed

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche I körpers angebracht sind. Dadurch addieren sich die bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrieb- Wirkungen der elektrischen Felder von mehreren lung zur Festlegung des Potentials an der Auf- 65 kammartig ineinandergreifenden Leiterclementen, treffläche des 1-ICkIrOiIeIiSlIaIiIs aus einem diin- vorausgesetzt, daß die Abstände dieser Leiterclciien Metallfilm (10) besteht, der auf die Ober- mente auf die Frequenz des elektrischen Signals so fluche des piezoelektrischen Festkörpers (7) auf- abgestimmt sind, daß die erzeugte;) mechanischen7. Device according to one of claims I are attached to the body. Characterized add up to to 5, characterized in that the Einrieb- effects of the electric fields of several lung laying down of the potential at the up 65 interdigitated conductor Clementen, tref surface of the 1-ICkIrOiIeIiSlIaIiIs diyne provided from a that the distances of these Leiterclciien There is a metal film (10) which is tuned to the upper elements on the frequency of the electrical signal so curse the piezoelectric solid body (7) that the generated;) mechanical

Wellen gleichphasig sind. Infolge dieser geometrischen Bedingung ist eine solche Vorrichtung nur für ein bestimmtes schmales Frequenzband brauchbar. Wenn ferner die Frequenz sehr hoch ist, werden die Abstände der kammartigen Lehrelemente so klein, daß ihre praktische Herstellung schwierig ist.Waves are in phase. As a result of this geometric One condition is that such a device can only be used for a certain narrow frequency band. Furthermore, when the frequency is very high, the intervals of the comb-like teaching elements become so small that that their practical manufacture is difficult.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung zur Umwandlung einer elektrischen Wechselgröße in eine mechanische Grölte, die hinsichtlich ('es Wirkungsgrades mit den Vorrichtungen mit kammartig ineinandergreifenden Elektroden vergleichbar ist, aber in einem sehr großen Frequenzbereich verwendbar ist.The object of the invention is to provide a device for converting an electrical Variation in a mechanical size, which in terms of ('it efficiency with the devices is comparable to electrodes interlocking like a comb, but in a very wide frequency range is usable.

Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß im Weg des Elektronenstrahls zu dem piezoelektrischen Festkörper eine dritte Elektrodengruppe angeordnet ist, die parallele Schlitze aufweist, welche den Elektronenstrahl in mehrere getrennte Teilstrahien autteilen.According to the invention this is achieved in that in the path of the electron beam to the piezoelectric Solid body a third electrode group is arranged, which has parallel slots, which the electron beam into several separate partial beams share.

Bei der Vorrichtung nach der Erfindung treffen mehrere getrennte Teilelektronenstrahlen in Abständen auf dem piezoelektrischen Festkörper auf. Jeder dieser Teilelektronenstrahlen erzeugt eine mechanische Welle. Durch geeignete Ablenkung der Teilelektronenstrahlen kann leicht erreicht werden, daß die Abstände der Auftreffzonen bei den jeweils angewendeten Frequenzen Vielfache der Wellenlänge der mechanischen Wellen sind, so daß sich die von den einzelnen Teilelektronenstrahlen erzeugten Wellen addieren. Die Auftreffzonen ergeben also die gleiche Wirkung wie kammartig ineinandergreifende Elektroden, jedoch mit dem Unterschied, daß die Abstände zwischen den Auftreffzonen durch Veränderung der Ablenkspannungen leicht geändert und dadurch an die jeweilige Betriebsfrequenz angepaßt werden können. In the device according to the invention, several separate partial electron beams strike at intervals on the piezoelectric solid. Each of these partial electron beams generates a mechanical one Wave. By suitable deflection of the partial electron beams can easily be achieved that the The distances between the impact zones at the frequencies used are multiples of the wavelength of the are mechanical waves, so that the waves generated by the individual partial electron beams add. The impact zones therefore have the same effect as electrodes that interlock in a comb-like manner, but with the difference that the distances between the impact zones by changing the Deflection voltages can easily be changed and thereby adapted to the respective operating frequency.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt. Darin zeigtEmbodiments of the invention are shown in the drawing. In it shows

F i g. ι eine Gesamtansicht einer Vorrichtung nach der Erfindung,F i g. ι a general view of a device according to the invention,

Fig. 2 eine abgeänderte Ausfüiirungsform der Vorrichtung von Fig. 1,FIG. 2 shows a modified embodiment of the device from FIG. 1,

Fig. 3 eine andere Ausführungsform der Vorrichtung mit einem Rcsonanzhohl-aum und3 shows another embodiment of the device with a resonance cavity and

Fig.4 eine abgeänderte Ausfiihrungsform der Vorrichtung mit einem Resonanzhohlraum.4 shows a modified embodiment of the Device with a resonance cavity.

F i g. I zeigt eine piezoelektrische elektronische Wandlervorrichtun^ mit einer Elektronenquelle I. die von einem Heizdraht 2 geheizt wird, einer giltc:- förmig.;n ersten Elektrode 3 für die Steuerung des emittierten Elektronenstrahls, einer zweiten Elektrode 4. die Öffnungen 5 in Form von parallelen Schlitzen aufweist, und mit einer gitieiTörmigen dritten Elektrode 6, die in der Nähe des stabförmige!! Blocks 7 aus piezoelektrischem Material angeordnet ist.F i g. I shows a piezoelectric electronic transducer device with an electron source I. which is heated by a heating wire 2, one is: - shaped.; n first electrode 3 for controlling the emitted electron beam, a second electrode 4. the openings 5 in the form of parallel Has slots, and with a gate-shaped third Electrode 6, which is near the rod-shaped !! Blocks 7 arranged from piezoelectric material is.

Schließlich bewirken seitliche Elektroden 8 und 9 die Fokussierung; des Lleklroiienslnihis, und Elektroden 13 und 14 die Richtungscinstelliing des Elektronenstrahls. Dies geschieht in an sich bekannter Weise mit Hilfe von nicht dargestellten Spannungsquellen, an welche diese Elektroden angeschlossen sind. Der gesamte Wandler ist so angeordnet, daß die Richtung des Elektronenstrahls im wesentlichen senkrecht zu der Nutzfläche des piezoelektrischen Blocks steht.Finally, side electrodes 8 and 9 effect the focusing; des Lleklroiienslnihis, and electrodes 13 and 14 show the setting of the direction of the electron beam. This is done in a manner known per se with the help of voltage sources, not shown, to which these electrodes are connected. The entire transducer is arranged so that the direction of the electron beam is essentially perpendicular to the useful surface of the piezoelectric block.

Ein solcher Wandler arbeitet in der folgenden Weise:Such a converter works in the following way:

Die Elektronenquelle 1 oder »Katode«, ist mit dem negativen Pol einer elektrischen Gleichspannungsquelle 30 verbunden. Sie emittiert einen Elektronenstrahl, der durch die Elektrode 4 oder »Anode« beschleunigt wird, die an den positiven Pol der Gleich-The electron source 1 or "cathode" is with the negative pole of an electrical DC voltage source 30 connected. She emits an electron beam which is accelerated by the electrode 4 or »anode«, which is attached to the positive pole of the

Spannungsquelle 30 angeschlossen ist. Das Gitter3 ermöglicht die F.instellung des emittierten Stroms und insbesondere dessen Modulation durch Anlegen einer zeitlich veränderlichen Spannung, beispielsweise einer Wechselspannung, mit Hilfe der QuelleVoltage source 30 is connected. The grid 3 enables the emitted current to be adjusted and, in particular, to be modulated by applying it a time-variable voltage, for example an alternating voltage, with the aid of the source

ίο 31 zwischen Gitter und Katode. Aus diesem Grund soll das Gitter 3 nachstehend »Modulationselektrode« genannt werden.ίο 31 between grid and cathode. For this reason the grid 3 shall hereinafter be called "modulation electrode".

Die Hilfselektroden, wie die Elektroden 8 und 9, ermöglichen die Fokussierung und Führung desThe auxiliary electrodes, such as electrodes 8 and 9, allow the focusing and guidance of the

Elektronenstrahls, der nach dem Durchgang durch die in der Anode 4 angebrachten Schlitze 5 in mehrere getrennte flache Teilsuahhüi zerlegt ist.Electron beam, which after passing through the slits 5 made in the anode 4 into several separate flat parts uahhüi is decomposed.

Nach dem Durchgang durch das zweite Cutter6 treffen diese Elektronenstrahlen in getrennten Auftreffzonen auf die Oberfl . ;he des piezoelektrischen Stabes auf. Sie reißen dara js Sekundärelektronen heraus. Das Gitter6 fängt diese Sekundärelektronen auf, und legt in einer bekannten Weise, bei der sein Potential eine Rolle spielt, das Potential der Ober- ~!äche des von den Elektronenstrahlen getroffenen Blocks auf einen Wert fest, der unter demjenigen der zweiten Elektrodengruppe liegt. Das Potential des Blocks ist durch dessen Verbindung mit einem nicht dargestellten Bezugspunkt festgelegt.After passing through the second cutter6 these electron beams hit the surface in separate impact zones. ; hey of the piezoelectric Rod up. They tear out secondary electrons. The grid6 catches these secondary electrons on, and in a known way, in which its potential plays a role, the potential of the upper ~! area of the block hit by the electron beams to a value below that of the second group of electrodes. The potential of the block is not due to its connection with you specified reference point.

Die auf die Auftreffzonen auf dem Kristall aufgebrachten Ladungen haben stets das gleiche Vorzeichen, und ihre Änderungen können von dem Wert 0 bis zu einem Maximalwert gehen; sie lassen sich jedoch als die Summe von zwei gelrennt aufgebrachten Ladungen betrachten, nämlich zeitlich kontinuierlich aufgebrachte negative Ladungen und dem Aufbringen einer reinen Wechselgröße. die durch positive und negative Werte gehl.The charges applied to the impact zones on the crystal always have the same sign, and their changes can go from the value 0 to a maximum value; however, they can as the sum of two continuously applied charges, namely continuously over time applied negative charges and the application of a pure alternating quantity. the by positive and negative values are correct.

Die aufgebrachte negative Gleichgroße kann bei Untersuchung der Wirkungsweise vernachlässigt werden, denn ihre Wirkung beschränkt sich daraul. eine Raumwelle zu erzeugen, die sich senkrecht zu der Oberfläche des Kristalls bewegt und an der entgegengesetzten Flüche auflrifft, an der sie, falls erlor-The applied negative equivalency can be neglected when examining the mode of action because their effect is limited to that. to generate a space wave that is perpendicular to moves on the surface of the crystal and hits the opposite curse where it, if erupted,

derlicli. absorbiert werden kann. Die in Form einer Wechselgröße aufgebrachten Ladungen, die die nutzbare Erscheinung darstellen, erzeugen dagegen in jeder Auftreilzone eine mechanische Spannung piezoelektrischen Ursprungs, die prinzipiell zu dem glei-derlicli. can be absorbed. The charges applied in the form of an alternating quantity, the usable Represent appearance, on the other hand, generate a mechanical tension piezoelectric in each splitting zone Origin, which in principle belong to the same

dien Ergebnis führt wie im Fall der zuvor beschriebenen bekannten elektrischen I eitimgen.The result is as in the case of the one previously described known electrical timings.

Aus dem gleichen Grund wie dort ist es zur Verbesserung des Wirkungsgrads iTwinscht. die Wirkungen der elektrischen Felder in jeder Auitrefl/oiieFor the same reason as there it is for improvement the efficiency iTwinscht. the effects of the electric fields in each auitrefl / oiie

zu addieren, was bei einer gegebenen elektrischen ModiihitionMiequcn/ dazu fiilul. die /onen in Abständen anzuc-idiicn. die Vielfache der Wellenlänge der mechanischen Welle in dein Mak'tin! sind, so daß die entsprechenden mechanischen Spannungento add up what is at a given electrical ModiihitionMiequcn / to fiilul. die / ons at intervals to c-idiicn. the multiple of the wavelength the mechanical wave in your mak'tin! are so that the corresponding mechanical stresses

in Phase sind. Im Gegensatz /u dir Began/uiig der Bandbreite, die sich daiatis bei den bekannten Vorrichtungen ergibt, läßt sich aber diese Bedingung bei der dargestellten Vorrichtung durch Einstellung der den Konzeiilralions- uiul Ableukeleklroilcii 13 und 14 zugelührlen elektrischen Spannungen leicht erfüllen, weil dadurch der Abstand der AiiftreflVonen nach den Gesetzen der Elektronenoptik leicht verändert werden kann. Daraus eruibl sich die Möülidiki-iiare in phase. In contrast / u you began / uiig the Bandwidth, which daiatis with the known devices results, but this condition can be achieved in the device shown by setting the den Konzeiilralions- uiul Ableukeleklroilcii 13 and 14 easily meet the supplied electrical voltages, because it reduces the distance between the meeting points can easily be changed according to the laws of electron optics. The Möülidiki-ii can be derived from this

einer beträchtlichen Erweiterung des Bereichs der Eingangsfrequenzen bei denen der Wandler mit gutem Wirkungsgrad arbeilet.a considerable expansion of the field of Input frequencies at which the converter works with good efficiency.

Es ist andererseits auch leicht möglich, durch Einstellung der diesen Elektroden zugeführten elektrischen Spannungen die Lage der Gesamtheit der Auftrcffzoncn des Elektronenstrahls entlang dem Stab zu verandern, damit für bestimmte Anwendungsfälle Voreilungs- oder Nacheilungseffekte bei der Ausbildung der nutzbaren Spannungen erhalten werden.On the other hand, it is also easily possible by adjusting the electrical power supplied to these electrodes Stresses increase the position of all the areas of application of the electron beam along the rod change, so that lead or lag effects in training for certain applications of the usable voltages can be obtained.

Fig.2 zeigt eine andere Ausführungsform, bei der das Abfließen der durch den Elektronenstrahl auf dem piezoelektrischen Block aufgebrachten statischen elektrischen Ladungen auf andere Weise als mit Hilfe der Sekundäremission in Verbindung mit einer Fangelektrode erreicht wird, wie es bei der Ausführungsform von F i g. 1 der Fall ist. Das Gitter 6 von Fig. 1 ist fortgelassen, und eine sehr dünne leitende Schicht 10 mit großem spezifischem Widerstand ist auf den Block aufgebracht und in bezug auf die Katode 1 auf ein positives Gleichpotential gebracht. Bei gewissen Varianten ist diese Schicht mit dem positiven Pol der Gleichspannungsquelle verbunden. Unter diesen Bedinungen können die von den Elektronenstrahlen auf den piezoelektrischen Block 7 aufgebrachten Ladungen abfließen, und die Ausbreitung der mechanischen Wellen kann stattfinden. Fig.2 shows another embodiment in which the drainage of the static applied by the electron beam on the piezoelectric block electrical charges in other ways than with the help of secondary emission in connection with a collecting electrode is achieved, as is the case with the embodiment of FIG. 1 is the case. The grid 6 of Fig. 1 is omitted, and a very thin one conductive layer 10 with high resistivity is deposited on the block and with respect to the cathode 1 brought to a positive DC potential. This layer is included in certain variants connected to the positive pole of the DC voltage source. Under these conditions, the the electron beams applied to the piezoelectric block 7, and the charges Propagation of mechanical waves can take place.

F i g. 3 zeigt eine andere Ausführungsform der Vorrichtung, die insbesondere für sehr hohe Frequenzen geeignet ist. Die Modulationsclektrode4 bildet einen Teil eines Rcsonanzhohlraums 11 derart, wie sie im Höchstfrequenzbereich verwendet wird. Die Elektroncnemissionskatode 1 und die Modulationselektrode 3 sind einander gegenüber in dem Teil des Hohlraums angebracht, in welchem das elektrische Wechsclfeld am stärksten ist.F i g. 3 shows another embodiment of the device, which is particularly suitable for very high frequencies suitable is. The Modulationsclektrode4 forms part of a resonance cavity 11 of the type used in the ultra-high frequency range. The electron emission cathode 1 and the modulation electrode 3 are opposite to each other in the part of the cavity in which the alternating electric field is strongest.

F i g. 4 zeigt eine abgeänderte Ausführung, bei der ίο die Katode 1 von dem Hohlraum getrennt ist, durch den der Elektronenstrahl hindurchgeht, der darin eine Geschwindigkeitsmodulation erfährt. Es ist aus der Thcrorie der Elektronenröhren bekannt, daß diese Modulation nach dem Durchlaufen eines bets stimmen Wegs oder Laufraums 20 eine Dichtemodulation des Elektronenstrahls in Form von Eloktronenpakcten mit großer Dichte verursacht.F i g. 4 shows a modified embodiment in which the cathode 1 is separated from the cavity by which the electron beam passes through and undergoes velocity modulation in it. It's over The theory of electronic tubes known that this modulation after passing through a bed If the path or running space 20 is correct a density modulation of the electron beam in the form of electron packets caused with great density.

In diesem Abschnitt des Elektronenstrahls ist der Block aus piezoelektrischem Material angeordnet,
ao Bei dem Ausführungsbeispiel von Fig.4 ist der Film 10 durch eine Spannungsquelle 32 auf ein positives Potential gegenüber der Elektrode 4 gebracht. Diese Spanrtungsquelle ist aber für einen einwandfreien Betrieb der in Fig.4 gezeigten Vorrichtung »5 nicht unbedingt notwendig. Die Vorrichtung kann auch dann arbeiten, wenn der Film 10 mit dem Pluspol der Spannungsquelle 30 verbunden ist. In diesem nicht dargestellten Fall erstreckt sich der Laufraum 20 bis zu dem Film 10.The block of piezoelectric material is arranged in this section of the electron beam,
In the embodiment of FIG. 4, the film 10 is brought to a positive potential with respect to the electrode 4 by a voltage source 32. However, this voltage source is not absolutely necessary for proper operation of the device shown in FIG. The device can also operate when the film 10 is connected to the positive pole of the voltage source 30. In this case, which is not shown, the running space 20 extends as far as the film 10.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (6)

ι 2 gebracht ist und auf ein in bezug auf die Eiektro-Patentansprüche: ncnquelle (1) positives Potential gebracht ist.ι 2 is brought and with respect to the electric patent claims: ncnquelle (1) is brought positive potential. 1. Vorrichtung zur Umwandlung einer elektrischen Wechselgrößc in eine mechanische Größe, 5 1. Device for converting an electrical alternating quantity into a mechanical quantity, 5 die sich in einem piezoelektrischen Festkörperwhich is in a piezoelectric solid ausbreitet, mit einer Elektronenquelle, die einenspreads, with an electron source, the one auf den Festkörper auftretenden Elektronen- Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung strahl emittiert, einer ersten Elcktrodengruppe zur Umwandlung einer elektrischen Wechselgröße in zur Modulation des Elektronenstrahls mit Hilfe io eine mechanische Größe, die sich in einem piezoclekder elektrischen Wechselgröße, einer zweiten irischen Festkörper ausbreitet, mit einer Elektronen-Elekirodengruppe zur Konzentration und Ablen- quelle, die einen auf den Festkörper auftreffenden kung des Elektronenstrahls und mit einer Ein- Elektronenstrahl emitl.ert, einer ersten Elcktrodenrichtung, weiche das Potential an der Fläche des gruppe zur Modulation des Elektronenstrahls mit piezoelektrischen Festkörpers, an der der Elek- 15 Hilfe der elektrischen Wechselgröße, einer zweiten tronenstrahl auftrifft, auf einen Wert festlegt, der Elektrodengruppe zur Konzentration und Ablenkung von der Intensität des Elektronenstrahls abhängt, des Elektronenstrahls und mit einer Einrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß im Weg welche das Potential an der Fläche des piczoelcktrides Elektron..,Strahls zu dem piezoelektrischen sehen Festkörpers, an der der Elektronenstrahl aufFestkörper (7) eine dritte Elektrodengruppe (4) 20 trifft, auf einen Wert festlegt, der von der Intensität angeordnet ist, die parallele Schlitze (5) aufweist, des Elektronenstrahls abhängt.Electrons occurring on the solid body The invention relates to a device emitted beam, a first electrode group for converting an alternating electrical quantity into to modulate the electron beam with the help of a mechanical quantity that is contained in a piezoclekder alternating electrical quantity, spreading from a second Irish solid, with an electron-Elekirodengruppe for the concentration and deflection source that hits the solid effect of the electron beam and emitl.ert with a single electron beam, a first electrode direction, soften the potential on the surface of the group for modulating the electron beam piezoelectric solid, on which the elec- tric alternating quantity, a second The electron beam hits a value, the electrode group for concentration and deflection depends on the intensity of the electron beam, of the electron beam and with a device, characterized in that in the way which the potential on the surface of the piczoelcktrides Electron .., beam to the piezoelectric see solid, at which the electron beam to solid (7) hits a third group of electrodes (4) 20, sets a value that depends on the intensity is arranged, which has parallel slits (5), depends on the electron beam. welche den Elektronenstrahl in mehrere ge- In der USA.-Patentschrift 2941 IIO ist eine elek-which the electron beam in several trennte Teilstrahlen aufteilen. troakustische Verzögerungsleitung beschrieben, beisplit separated partial beams. troacoustic delay line described at 2. Vorrichtung nach Anspruch I, dadurch ge- der die sich in einem piezoelektrischen Festkörper kennzeichnet, daß die erste Ekklrodengruppe (3) 25 ausbreitenden Ultrnschallweilen durch einen mit dem wenigstens eine Elektrode enthält, die einen Be- elektrischen Signal modulierten Elektronenstrahl erstandteil eines Hochfrequenz-Resonanzhohl- zeugt werden, der auf eine Elektrode eines an dem raums (11) bildet. piezoelektrischen Festkörper angebrachten Elektro-2. Device according to claim I, characterized in that it is located in a piezoelectric solid indicates that the first Ekklrodengruppe (3) 25 spreading ultrasonic waves through a with the Contains at least one electrode which is part of an electron beam modulated electrical signal of a high-frequency resonance hollow, which is applied to an electrode of the space (11) forms. piezoelectric solid-state attached electrical 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge- denpaares auftrifft. Die andere Elektrode des Elekkennzeichnet, daß die Elektronenquelle (1) durch 30 trodenpaares ist an eine hohe Gleichspannung gelegt, den gegenüberliegenden Teil ües Resonanzhohl- und die beiden Elektroden sind miteinander über raums (II) gebildet ist, welcher der einen Be- einen großen Widerstand verbunden. Beim Auftrefstandteil des Resonanzhohlraams bildenden fen des Elektronenstrahls auf die eine Elektrode Elektrode der ersten Elektrodengruppe (3) ge- fließt über diesen Widerstand ein Strom, der in gleigenüberliegt. 35 eher Weise wie der Elektronenstrahl moduliert ist,3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the pair impinges. The other electrode of the electrode indicates that the electron source (1) is connected to a high DC voltage through 30 pairs of electrodes, the opposite part of the resonance cavity and the two electrodes are formed with each other over space (II), one of which has a large resistance connected. At the point where the electron beam strikes the one electrode electrode of the first electrode group (3) and forms part of the resonance cavity, a current flows through this resistor which is superimposed. 35 rather the way the electron beam is modulated, 4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge- und die dadurch zwischen den beiden Elektroden kennzeichnet, daß die Elektronenquelle (I) von entstehende Spannung erzeugt hi dem piezoelektridem Rcsonanzhohlraum (II) getrennt ist und in sehen Festkörper mechanische Wellen, die sich in bezug auf diesen auf der Seile liegt, die der Seile dem Festkörper zu einem als Ausgangswandler dieentgegengcsetzt ist, auf der der piezoelektrische 40 nenden Elektrodenpaar hin ausbreiten. Die Verzöge Festkörper (7) angeordnet ist, und daß ein Lauf- rungszeit entspricht der Laufzeit zwischen dem vom raum (20) für die Elektronen des Elektronen- Elektronenstrahl getroffenen Elektrodenpaar und Strahls im Weg des Elektronenstrahls von dem dem Ausgangswandler. Zur Erzielung unterschiedli-Rcsonanzhohlraum zu dem Festkörper vorgese- eher Verzögerungszei'en sind entlang dem piezoelekhcn ist. 45 frischen Festkörper mehrere Elcktrodcipaare in vcr-4. Apparatus according to claim 2, thereby ge and thereby between the two electrodes indicates that the electron source (I) is generated by the resulting voltage hi the piezoelectridem Rcsonanzhohlraum (II) is separated and see solid mechanical waves, which are in in relation to this lies on the ropes, which the ropes oppose to the solid to an output transducer is on which the piezoelectric 40 nenden electrode pair spread out. The delays solids (7) is arranged, and that a running time corresponds to the running time between that of space (20) for the electrons of the electron-electron beam hit pair of electrodes and Beam in the path of the electron beam from that of the output transducer. To achieve different resonance cavity rather delay lines are provided for the solid body along the piezoelectric element is. 45 fresh solid several Elcktrodcipaare in vcr- 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 schicdencn Abständen von dem Ausgangswandler bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die parallelen angeordnet, und es sind Ahlenkcinriclilungen vorge-Schlilze (5) im wesentlichen senkrecht zu der sehen, die den Elektronenstrahl wahlweise auf eines Aiishreitungsriehlung des Elektronenstrahls ge- de- Elektrodenpaare richten.5. Device according to one of claims 1 schicdencn distances from the output transducer to 4, characterized in that the parallel arranged, and there are Ahlenkcinriclilungen vor-Schlilze (5) substantially perpendicular to the view that the electron beam is selectively aimed at Align the alignment of the electron beam with the pairs of electrodes. richtet sind. 50 Diese bekannte Vorrichtung weist einen sehr ge-are directed. 50 This known device has a very 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche I ringen Wirkungsgrad auf. weil der Elektronenstrahl bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Material nur auf eine einzige Stelle des piezoelektrischen Festdes piezoelektrischen Festkörpers (7) die Eigen- körpers gerichtet wird, die außerdem in der Ausbrcischaft der Sekundärelcktronenemission aufweist, lungsrichlung der Ultraschallwellen eine möglichst daß die Einrichtung zur Festlegung des Potentials 55 geringe Ausdehnung haben muß, damit die Ultraan der Aul'trel'fläche des Elektronenstrahls eine schallwelle das elektrische Signal naturgetreu nachvicrle I'lektrodeiigruppc (6) aufweist, die in un- bildet. 6. Device according to one of claims I wrestle efficiency. because the electron beam up to 5, characterized in that the material is directed only to a single point of the piezoelectric solid Determination of the potential 55 must have a small expansion so that the ultrasound on the outer surface of the electron beam has a sound wave, the electrical signal true to nature according to the electrical signal group (6), which forms in un- .