DE2059116C3 - Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes

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DE2059116C3 DE19702059116 DE2059116A DE2059116C3 DE 2059116 C3 DE2059116 C3 DE 2059116C3 DE 19702059116 DE19702059116 DE 19702059116 DE 2059116 A DE2059116 A DE 2059116A DE 2059116 C3 DE2059116 C3 DE 2059116C3
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Description

i-Über-
1. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes oder einer integrierten Halbleiterschaltung, bei dem auf ein Substrat aus elektrisch isolierendem Material unter Verwendung von Masken eine Halbleiterschicht in Form von Inseln nur auf vorgegebene Bereiche des Substrates
aufgebracht wird, dadurch gekennzeich-io Halbleitermaterial erhabene
net, daß zunächst auf das isolierende Substrat daß in den unmaskierten Zonen erhabene
(2) eine elektrisch isolierende Zwischenschicht gänge entstehen.
(3) und darauf eine Auflage (4) aufgebracht wird. Der Erfindung hegt ,^Aufgab daß anschließend über den vorgegebenen Berei- seits die durch ι
chen Teile der Zwischenschicht (3) und der Auf- ^ nung bewirkten, ;cr,i;PrPnHPn
lage (4) entfernt werden, so daß die Teilschichten wohl im Halbleitermaterial als auch imisolierenden (8) und (7) entstehen, daß auf die freigelegten,
vorgegebenen Bereiche des Substrates (2) die
Halbleiterschicht (12) aufgebracht wird und daß
die so-
Substrat auftreten könnten, zu vermeiden und andererseits zugleich mit der Herstellung von Inseln
na.».««:.*.-.,,«.! μ UUiBCu1^1U w..u u.,u «-« aus Halbleitermaterial auch die Z^chcnräurne mit schließlich die Teilschicht(en) (8) der Auflage (4) ,. elektrisch isolierendem Material auszu ullen s daß
bei der Verbindung der einzelnen Halbleiterbauelemente auf den Inseln durch Leiterbahnen keine Stufen zu überwinden sind.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes gelöst, das erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß zunächst auf das isolierende Substrat eine elektrisch isolierende Zwischenschicht und darauf eine Auflage
,. vC„a„,c„ „α... t,„tl„ u.. ™.aF,u...v. aufgebracht wird, daß anschließend über den vorgebis 3, dadi.-ϊπ gekennzeichnet, daß die Zwischen- 30 gebenen Bereichen Teile der Zwischenschicht und schicht (7) aus Siliziumnitrid Si3N4 besteht. der Auflage entfernt werden, so_ daß_die_Te_.ls_chich-
5. Verfahren nach eir ;m der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflage
zusammen mit dem darauf befindlichen Halbleitermaterial (13) entfernt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (2) aus Spinell besteht.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (2) aus Saphir besteht.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1
aus Siliziumdioxid SiO., besteht.
bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflage aus einem Metallfilm besteht.
ten entstehen, daß auf die freigelegten, vorgegebenen Bereiche des Substrates die Halbleiterschicht aufgebracht wird und daß schließlich die Teilschicht(en)
Ö^Verfähren'Vach dnenT der Ansprüche 1 35 der Auflage zusammen mit dem darauf befindlichen
Halbleitermaterial entfernt werden.
Die Halbleiterinseln können auf das Substrat beispielsweise durch Abscheidung aus einer gasförmigen Halbleiterverbindung, durch Aufdampfen im Vakuum oder auch durch Kathodenzerstäubung aufge-
bracht werden. Zu diesem Zweck wird das Substrat
mit einer entsprechenden Maske versehen, die bei den zum Aufwachsen notwendigen Temperaturen
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur und gegebenenfalls auch gegen dabei verwendete ag-Herstellung eines Halbleiterbauelementes oder einer 45 gressive Gase resistent ist
integrierten Halbleiterschaltung, bei dem auf ein Substrat aus elektrisch isolierendem Material unter Verwendung von Masken eine Halbleiterschicht in Form von Inseln nur auf vorgegebene Bereiche des Substrates aufgebracht wird.
In der französischen Patentschrift 1 524 854 ist ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung beschrieben, bei dem auf ein elektrisch isolierendes Substrat, das beispielsweise aus Saphir besteht, zu-
Das Substrat besteht vorzugsweise aus einem einkristallinen Isolator.
Wie aus der Figur ersichtlich ist, wird auf ein Substrat 2 aus elektrisch isolierendem Material, z. B. Spinell oder Saphir, eine elektrisch isolierende Zwischenschicht 3 aufgebracht. Vorzugsweise besteht diese Zwischenschicht 3 aus Siliziumnitrid Si3N,. Eine solche Zwischenschicht aus Si1N4 weist den Vorteil auf, daß sie an der Oberfläche des Substra-
tiächst ganzflächig eine Halbleiterschicht aufgebracht 55 tes 2 gut haftet. Auf die Zwischenschicht 3 wird eine
wird. Ein solcher Verfahrensschritt bewirkt infolge Auflage 4 aufgebracht^ Vorzugsweise^ besteht diese
Unterschiedlicher thermischer Ausdehnungen sowohl ' " ' "'" ' J w * J - "·"- u~ in dem Halbleitermaterial als auch in dem isolieren
den Substrat unzulässige mechanische Spannungen,
Auflage 4 aus Siliziumdioxid. Mit der Hilfe von photolithographisehen Verfahrensschritten werden in der aus der Figur ersichtlichen Weise Teile der Auflage 4
die zur Zerstörung des Substrates führen können. 60 und der darunter befindlichen Zwischenschicht 3 entin der Veröffentlichung »Journal of Applied Phy- fernt, so daß die Teilschichten 7 und 8 entstehen. Dadurch werden vorgegebene Bereiche des Substrates freigelegt, auf denen jeweils eine Insel aus HaIb-
gg, j
leitermaterial vorzugsweise epitaxial aufwachsen soll, i f di b Bih
sics, Vol. 36, Nr. 9, September 1965, S. 2700 bis ist ein Verfahren beschrieben, bei dem nut auf Teile der Oberfläche eines elektrisch isolierenden
Substrates aus Alpha-Aluminiumoxid (Single-Crystal 65 Anschließend wird auf die vorgegebenen Bereiche
Sapphire), unter der Verwendung einer Molybdän- des Substrates die Halbleiterschicht 12 aufgebracht.
Maske Silizium aufgebracht wird. Durch diese Maß- Dabei wird im allgemeinen auch auf den Teilschich-
nahme wird erreicht, daß Deformationen, wie sie bei ten 8 polykristallines Halbleitermaterial 13 abge-
schieden. In einem anschließenden Ätzprozeß werden die Teilschichten 8 und 13 entfernt. Das verwendete Ätzmittel greift die Schichten 7 und 12 nicht an. Man erhält somit eine plane Oberfläche des Schichtaufbaus, so daß bei der Verbindung von einzelnen Halbleiterbauelementen, die auf einzelnen Inseln hergestellt sind, durch Leiterbahnen vorteilhafterweise keine Stufen zu überwinden sind.
In dem Ausführungsbeispiel ist angenommen, daß auch auf den Maskenteilen Halbleitermaterial 13 abgeschieden wird. Die Versuchsbedingungen können jedoch auch so geführt werden, daß zur Herstellung der Inseln 12 das Halbleitermaterial nur auf den freien, vorgegebenen Bereichen des Substrates 2 abgeschieden wird. Damit entfallen die dargestellten Halbleiterteile 13, und ein anschließender Ätzvorgang bezieht sich nur auf die Maskenteile 8.
Lm Ausführungsbeispiel wurde die Herstellung eines Bauelementes, beispielsweise einer Diode, eines Transistors oder eines Feldeffekt-Transistors mit dem Verfahren nach der Erfindung erläutert. Es können jedoch nach diesem Verfahren auch Leiterbahnen oder Widerstände aus vorzugsweise dotiertem Halbleitermaterial in einer integrierten Schaltung auf einem Substrat aus elektrisch isolierendem Material hergestellt werden.
Die Auflage 8 kann auch bei einer Weiterbildung der Erfindung aus einem Metallfilm bestehen, der nach der Inselbildung entfernt wird.
Beim epitaxialen Abscheiden von Halbleiterschichten auf einem Isolator durch Aufdampfen im Hochvakuum oder Ultrahochvakuum sind verhältnismäßig hohe Temperaturen des Isolators erforderlich, die im allgemeinen durch Strahlungsheizung erzielt werden. Das Erreichen dieser hohen Temperaturen wird durch den erwähnten Metallfilm wesentlich erleichtert, weil er im Gegensatz zum Isolator die Wärmestrahlung zum größten Teil absorbiert.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. 2059 Md
    Patentansprüche:
    der giwizflBchigen Abscheidung von Siliziumfilmen auf Alpha-Aluminiumoxid auftreten, vermieden bzw. verringert werden. . .. ..„.,, .
    In der schweizerischen Patentschrift 418466 ist ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung beschrieben, bei dem ebenfalls mit der Hilfe Maske aus Metall, Halbleiterschichten auf
    eiüern liutetraf aus' Silizium abgeschieden werden. Die Metall-Maske wird dabei zusammen mit dem
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