DE2054976C3 - Eight-lens six-element high resolution photographic lens - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein achtlinsiges, sechsgliedriges fotografisches Objektiv hoher Auflösung, bei dem die sechs Glieder so angeordnet sind, daß die Aperturblcndc von zwei positiven Gliedern eingeschlossen wird, wobei das dem Objekt zugekehrte Glied als Bikonvexglicd ausgebildet ist und eine Kittfläche enthält, deren konkave Seite dem Objekt zugekehrt ist, während das der Aperturblende folgende Glied ein positiver Meniskus ist, dessen konkave Seite dem Bild zugekehrt ist und das Objektiv aus weiteren vier Gliedern besteht, die, in Lichtrichlung gesehen, dem positiven Meniskus folgen und so angeordnet sind, daß zwei Bikonkavlinsen zwei Bikonvexglicder einschließen, wobei das erste eingeschlossene Bikonvexglied eine Einzellinse ist und das zweite Bikonvexglied eine Kittfläche enthält, deren konkave Seite der Aperturblende zugekehrt ist.The invention relates to an eight-element, six-element high resolution photographic lens which the six members are arranged so that the Aperturblcndc enclosed by two positive members is, the member facing the object is designed as a biconvex glicd and a cemented surface contains, the concave side of which faces the object, while that of the aperture diaphragm following The link is a positive meniscus, the concave side of which is facing the image, and the lens is off there is another four limbs, which, seen in the direction of light, follow the positive meniscus and are arranged in this way are that two biconcave lenses enclose two biconvex gliders, the first including Biconvex member is a single lens and the second biconvex member contains a cemented surface, the concave Side facing the aperture diaphragm.

Die bekannten achtlinsigen Objektive mit großer Apertur und relativ großem Bildwinkel besitzen ein Auflösungsvermögen, das wesentlich unter dem theoretischen Auflösungsvermögen liegt (Theoretisches Auflösungsvermögen AV = y""'. , wobei n der Aperlurwinkel und /. die jeweils benutzte Wellenlänge ist). In der modernen Technik, z. B. bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und bei der Mikrodokumentalion sind Objektive erforderlich, die das theoretische Auflösungsvermögen erreichen. Die bisher bekanntgewordenen Objektive für diesen speziei-The known eight-lens objectives with a large aperture and a relatively large image angle have a resolution that is significantly below the theoretical resolution (theoretical resolution AV = y ""'., Where n is the aperture angle and /. The wavelength used in each case). In modern technology, e.g. B. in the manufacture of integrated circuits and in microdocumentation, objectives are required that achieve the theoretical resolution. The previously known lenses for this special

len Verwendungszweck sind entweder für eine Apertur kleiner als 0.25 korrigiert, oder ihr nutzbarer Bildwinkel ist kleiner als 2<; = 8 .len uses are either for an aperture less than 0.25 corrected, or your usable angle of view is less than 2 <; = 8.

Aufgabe der Gründung ist es. Objektive zu schaffen, die bei einer Apertur von 0,36 und einem Bildwinkel von 2.7 = 10 oder bei einer Apertur von 0,25 und einem Bildwinkel von 2., — I- das iheorciischi; Auflösungsvermögen erreichen. Außerdem wird die Forderung gestellt, daß neben einer sehr guten Korrektion der geometrisch optischen Bildfehler, wie öffnungsfehler, Bildfeldwölbung, Astigmatismus, sagittale und meridicnalc Koma, Verzeichnung, chromatische Längs- und Queraberrationen auch die Wellenaberrationen innerhalb der Rayleigh-Grenzc liegen. Ein Kriterium für die Restfehler der Wellenaberrationen ist die Delinitionshelligkeit, die für diese Objektive über 80% betragen muß.It is the task of the foundation. To create lenses those with an aperture of 0.36 and an image angle of 2.7 = 10 or with an aperture of 0.25 and an angle of view of 2., - I- das iheorciischi; Resolving power reach. In addition, the requirement is that in addition to a very good correction the geometrical optical image defects, such as aperture defects, Curvature of field, astigmatism, sagittal and meridicnalc coma, distortion, chromatic Longitudinal and transverse aberrations also the wave aberrations lie within the Rayleigh limitc. A The criterion for the residual errors of the wave aberrations is the delineation brightness, which is used for these lenses must be over 80%.

Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 gekennzeichnete Ausbildung des Objektivs gelöst.This object is achieved by the design of the objective characterized in claim 1.

Zwei den Tabellen entsprechende Beispiele sind in den Fig. 1 und 2 im Maßstab 50: J dargestellt. Die der Tabelle 1 entsprechende Fig. 1 ist für eine Apertur von 0.36 einen Bildwinkel <r2 = 10 und für einen Abbildungsmaßstabs' = —0,10, und die der Tabelle 2 entsprechende F i g. 2 ist für eine Apertur von 0,25 einen Bildwinkel 2<? = 14 und für einen Abbildungsmaßstabs' = —0,167 korrigiert und auf eine Brennweite / = 1 bezogen. Von den in Lichtrichtung gezählten Linsen IV und V muß die Summe der Radien, dci den Luftraum zwischen diesen Linsen begrenzenden Flächen, größer als 1,2/ und kleiner als 1,5/ sein, wobei / die Brennweite des Gesamtobjektivs ist.Two examples corresponding to the tables are shown in FIGS. 1 and 2 on a scale of 50: J. the Figure 1 corresponding to Table 1 is for one aperture of 0.36 an angle of view <r2 = 10 and for one Image scale '= -0.10, and that of the table 2 corresponding FIG. 2 for an aperture of 0.25 is an angle of view 2 <? = 14 and for an image scale ' = -0.167 corrected and based on a focal length / = 1. From those in the direction of light counted lenses IV and V must be the sum of the radii, dci the air space between these lenses delimiting areas, larger than 1.2 / and smaller than 1.5 /, with / being the focal length of the entire lens is.

Ferner muß die Differenz der Brechzahlen /1 der verkitteten Linsen VlI und VI, bezogen auf die Wellenlänge. /. = 546,1 nm größer als 0,08 und kleiner als 0,12 sein, und die Differenz der Abbeschen Zahlen dieser verkitteten Linsen VI und VIl muß zwischen 20 und 26 liegen. Des weiteren muß die Brechkraft der Linse VI11 größer als —1,65 7 _(; und kleiner als -1,45 7 _c sein, wobei <_/G die Brechkraft des Gesamtobjektivs ist. Schließlich muß die Summe der Brechkräfte der Linsen VI und VII zwischen 0,5 ν,·,- und 0,7 >_Ι(. liegen und die Summe der Dicken der Linsen 1 und 11 größer als 0,5 f und kleiner als 0.65/ sein.Furthermore, the difference in the refractive indices / 1 of the cemented lenses VlI and VI, based on the wavelength. /. = 546.1 nm larger than 0.08 and smaller than 0.12, and the difference in the Abbe numbers of these cemented lenses VI and VIl must be between 20 and 26. Furthermore, the refractive power of lens VI11 must be greater than -1.65 7 _(; and less than -1.45 7 _c , where < _{/ G is} the refractive power of the entire lens. Finally, the sum of the refractive powers of lenses VI and VII must be between 0.5 ν, ·, - and 0.7 > _{Ι (} . And the sum of the thicknesses of lenses 1 and 11 must be greater than 0.5 f and less than 0.65 /.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (1)

Tabelle 2Table 2 Patentanspruch:Claim: Achtlinsiges sechsgliedriges fotografisches Objektiv hoher .Auflösung, bei dem die sechs Glieder so angeordnet sind, daß die Aperturblende von zwei positiven Gliedern eingeschlossen wird, wobei das dem Objekt zugekehrte Gtied als Bikonvexglied ausgebildet ist und eine Kittfläche enthält, deren konkave Seite dem Objekt zugekehrt ist, während das der Aperturblende folgende Glied ein positiver Meniskus ist; dessen konkave Seite dem Bild zugekehrt ist und das Objektiv aus weiteren vier Gliedern besteht, die, in Lichtrichtung gesehen, dem positiven Meniskus folgen und so angeordnet sind, daß zwei Bikonkavlinsen zwei Bikonvexglieder einschließen, wobei das erste eingeschlossene Bikonvexglied eine Einzellinse ist und das zweite Bikonvexglied eine Kittfläche enthält, deren konkave Seite der Aperturblende zügekehrt ist, gekennzeichnet durch die in der nachfolgenden Tabelle 1 oder 2 enthaltenen Konslruktionswerte, wobei das Objektiv der Tabelle 1 für eine Apertur 0,36, einen Bildwinkel 2<r = 10 und einen Abbildungsmaßstab/1" = -0.1 korrigiert und auf eine Brennweite / = 1 bezogen ist und das Objektiv der Tabelle 2 für eine Apertur 0,25, einen Bildwinkel 2n = 14^J und für einen Abbildungsmaßslab p" = -0,167 korrigiert und auf eine Brennweite / = 1 bezogen ist:Eight-lens six-element photographic lens with high resolution, in which the six elements are arranged in such a way that the aperture diaphragm is enclosed by two positive elements, the element facing the object being designed as a biconvex element and containing a cemented surface, the concave side of which faces the object, while the member following the aperture stop is a positive meniscus; whose concave side is facing the image and the lens consists of four more members, which, seen in the direction of light, follow the positive meniscus and are arranged so that two biconvex lenses enclose two biconvex members, the first included biconvex member being a single lens and the second biconvex member contains a cemented surface, the concave side of which faces the aperture diaphragm, characterized by the construction values contained in the following table 1 or 2, the objective of table 1 for an aperture 0.36, an image angle 2 <r = 10 and an image scale / 1 "= -0.1 is corrected and based on a focal length / = 1 and the objective in Table 2 is corrected for an aperture 0.25, an image angle 2n = 14 ^J and for an image dimension lab p" = -0.167 and a focal length / = 1 related is: TabelleTabel 3535 RadienRadii DickenThick H₁.H ₁ . 54,854.8 - - - -- - - - 1,38341.3834 Abständedistances .. .. ' ι'ι 56.456.4 -1.1078-1.1078 J, = 0.4581J, = 0.4581 1,625221.62522 |·, =| ·, = 40,740.7 33,233.2 - 28,4096- 28,4096 J₂ =0,1451J ₂ = 0.1451 1,704511.70451 (Blenden raum)(Aperture space) 0.90020.9002 /, = 0,0458/, = 0.0458 C_-1 =C _-1 = 1,680801.68080 54,854.8 2.81612.8161 ./., = 0.1714./., = 0.1714 '5 ='5 = - 2,2702- 2.2702 U = 0,0874 U = 0.0874 'λ ='λ = 1.660381.66038 52,952.9 0.62190.6219 J₄ = 0.1947J ₄ = 0.1947 I- =I- = 30,930.9 0.65950.6595 /., = 0.2107/., = 0.2107 's ='s = 1,680801.68080 - 2.3493- 2.3493 J₅ = 0,2600J ₅ = 0.2600 '"·> ='"·> = 46,746.7 0.94370.9437 /₄ = 0.0038/ ₄ = 0.0038 'Ίο ='Ίο = 1.591561.59156 -0.4205-0.4205 </,, = 0.3329</ ,, = 0.3329 'Ίι ='Ίι = 1.693981.69398 - 2.9303- 2.9303 ί/₇ = 0.0763ί / ₇ = 0.0763 'Ί: ='Ί: = -0.4541-0.4541 /j =0,1519/ j = 0.1519 >·,, => · ,, = 1.672781.67278 19.091119.0911 </„ = 0.0359</ "= 0.0359 'Ί.1 ='Ί.1 = RadienRadii ι·, = 1,2180ι ·, = 1.2180 r, = -3,0334
,·, = -54.6607r, = -3.0334
, ·, = -54.6607 r₄ = 0.9681r ₄ = 0.9681 r₅ = 3.1137r ₅ = 3.1137 ,·„ = -1.9550, · "= -1.9550 r₇ = 0.6851r ₇ = 0.6851 r_H = 0.7507r _H = 0.7507 /ν, = -1.9667/ ν, = -1.9667 r,„ = 1.0339r, "= 1.0339 r_u = -0.7585 r _u = -0.7585 ,-,,= -3.1969, - ,, = -3.1969 ,·,., = -0.5042, ·,., = -0.5042 ,· = 3.4147, = 3.4147 Dicki-n
Ahs'ändeDicki-n
Ahs'änd ,/, =0,4201 1.68! 11 55,2, /, = 0.4201 1.68! 11 55.2 d₂ =0,1188 1.70458 29.8 d ₂ = 0.1188 1.70458 29.8 /, = 0.0663 (Blendenraum)/, = 0.0663 (aperture space) (/.,=0.1285 1.68102 55.2(/.,=0.1285 1.68102 55.2 /, = 0.0636/, = 0.0636 ί/₄ = 0.2764 1.70458 29.8ί / ₄ = 0.2764 1.70458 29.8 /., = 0.1713/., = 0.1713 c/₅ = 0.2957 1.68111 55,2c / ₅ = 0.2957 1.68111 55.2 /₄ = 0.0028/ ₄ = 0.0028 </„ = 0,3565 1,57018 55.7</ "= 0.3565 1.57018 55.7 J₇ = 0.0633 1.67765 32,0J ₇ = 0.0633 1.67765 32.0 U = 0,1244 U = 0.1244 4 = 0.1219 1,68102 55,24 = 0.1219 1.68 102 55.2