DE2038963B2 - Spektrometer zur schnellen periodischen abtastung einer oberflaeche - Google Patents

Spektrometer zur schnellen periodischen abtastung einer oberflaeche

Info

Publication number
DE2038963B2
DE2038963B2 DE19702038963 DE2038963A DE2038963B2 DE 2038963 B2 DE2038963 B2 DE 2038963B2 DE 19702038963 DE19702038963 DE 19702038963 DE 2038963 A DE2038963 A DE 2038963A DE 2038963 B2 DE2038963 B2 DE 2038963B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
exit
spectrum
slit
arrangement according
spectrometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19702038963
Other languages
English (en)
Other versions
DE2038963A1 (de
Inventor
Peter Gordon Palos Verdes Peninsula Calif White (V St A)
Original Assignee
TRW Ine , Redondo Beach, Calif (V St A )
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TRW Ine , Redondo Beach, Calif (V St A ) filed Critical TRW Ine , Redondo Beach, Calif (V St A )
Publication of DE2038963A1 publication Critical patent/DE2038963A1/de
Publication of DE2038963B2 publication Critical patent/DE2038963B2/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0208Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0235Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using means for replacing an element by another, for replacing a filter or a grating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/04Slit arrangements slit adjustment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J2003/1226Interference filters
    • G01J2003/123Indexed discrete filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Spektrometer zur •chnellen periodischen Abtastung einer Oberfläche mit einer Antriebseinrichtung zur Relativbewegung des Spektrums gegenüber einem Austrittsspalt und einem hierzu benachbart angeordneten elektrooptischen Wandler.
Es sind bereits Spektrometer der erwähnten Art bekannt (»Applied Optics«, Bd. 6 [1967], Nr. 5, Seiten 885 bis 891), welche zur Erfassung des Absorptionsspektrums einer Gasentladung dienen, wobei zum Entladungszeitpunkt der Entladungsstrom durch eine Magnetwicklung geführt wird, die einen Abtastspiegel vor dem Austrittsspalt in eine rasche Drehung oder Schwingung versetzt. Hierbei wird jedoch nur eine einzige Abtastung vorgenommen, die für den angegebenen Zweck auch völlig ausreicht.
Die vorliegende Erfindung stellt sich demgegenüber die Aufgabe der Schaffung eines Spektrometer zur Durchführung einer schnell hintereinander erfolgenden periodischen Abtastung über »ehr lange Zeiträume, insbesondere zur Abtastung von Teilen der Erdoberfläche, z. B. einer größeren Wasserfläche. Um die hierbei auf einen Aufzeichnungsträger übertragenen Informationen hinterher eindeutig aus* werten zu können, insbesondere um festzustellen, wo ein Spektrum beginnt und wo es endet, sind Markierungen erforderlich, wobei aus dem Abstand zweier einander entsprechender Markierungen die Länge des jeweils auf dem Aufzeichnungsträger aufgelösten Spektrums bestimmt werden kann. Zwar
sind derartige Markierungen theoretisch nicht erforderlich, wenn der Aufzeichnungsträger mit genau konstanter Geschwindigkeit läuft, jedoch 'äßt sich dies praktisch nicht realisieren.
Durch die im Anspruch 1 gekennzeichnete Erfindung wird ein Spektrometer geschaffen, welches die oben erläuterte Problemstellung löst und auch bei aicht mil: konstanter Geschwindigkeit laufendem Aufzeichnungsträger dem Auswertungsspektrum Markierungen überlagert, aus denen eindeutig die Länge jedes Spektrums aus der Vielzahl der auf dem Aufzeichnungsträger enthaltenen Spektren bestimmt werden kann. ETeicbt wird dies dadurch, daß eine parallel zur Spektralebene verlaufende und zumindest einen Austrittsspalt in Form eines radialen Schlitzes
ao aufweisende rotierende Scheibe vorgesehen ist, welche in einem festen Winkelabstand zum Austrittsspalt zumindest einen weiteren, durch ein Filter lediglich für einen Teilwellenlängenbeireich des Spektrums durchlässigen Markierungsaustrittsspalt aufweist.
Verbindet man bei einer derartigen Anordnung den elektrooptischen Wandler beispielsweise mit einem Registrierstreifen-Aufzeichnungsgerät so erhält man abwechselnd einen das jeweilige Spektrum darstellenden Kurvenzug, einen einem Teilspektrum entsprechenden Kurvenzug, welcher der von dem Filter durchgelassenen Strahlung eriüpricht, einen weiteren, wiederum dem vollen Spektrum entsprechenden Kurvenzug usw. Danrt ist jeder das volle Spektrum darstellende Kur.cnzug durch zwei Kurvenzüge beidseitig begrenzt, die lediglich das Teilspektrum darstellen. Auf diese Weise ist es möglich, den Anfang und das Ende des das volle Spektrum darstellenden Kurvenzuges festzulegen ohne Rücksicht auf die jeweilige Vorschubgeschwindigkeit des Aufzeichnungsträgers. Verlangsamt sich beispielsweise die Vorschubgeschwindigkeit des Aufzeichnungsträgers von einer ersten zu einer zweiten A.btastung, so Hegen demgemäß die beiden das Teilspektrum darstellenden Kurvenzüge näher beisammen, so daß damit entsprechende Markierungen geschaffen sind, welche ein Auswertegerät stets automatisch richtig zu steuern vermögen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Spektrometer in Strahleingangdarstellung sowie in Blockschaltbilddarstellung,
SS F i g. 2 einen Schnitt längs der Linie 2-2 von Fig.1,
Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie 3*3 von il
g,
Fig.4 einen Ausschnitt aus Fig»3 in demgegenüber vergrößerter Darstellung,
F i g. 5 ein Beispiel einer mit dom Spektrometer gemäß Fig. 1 bis 4 erzielbaren spektralen Registrierkurve.
Das in der Zeichnung veranschaulichte Ausführungsbeispiel des effindungsge:mäßen Spektrometer» ist als Autokollünations-Gitterspektronieter mit linearer Dispersion ausgebildet. Die auszuwertende Strahlung verläuft durch eine Spaltlinse 28
sowie einen Eintrittsspalt 30 zu einom Kallimationsspiegel 36, von dem ein parallelisierles Lichtstrahlenbündel B auf ein Gitter 14 reflektiert wird, Von dem als Reflexionsgitter ausgebildeten (.litter 14 gelangt die Strahlung, gegenüber dem Strahlenbündel B winklig versetzt, wieder zurück zu dem Kollimatorspiegel 36 und wird von diesem auf eine rotierende Scheibe 38 fokussiert, welche in di;r Spektralebene liegt.
Die Scheibe 38 ist in äquidistanttsn Winkelabständen mit Austrittsspalten 20 und Markierungsnustrittssspalten 20' versehen, von denen diie letzteren durch je zwei Fiterplatten bzw. Filter 44, 46 quer zur Spaltlängsrichtung unterteil' sind. Die Filter 44, 46 sind lediglich für je einen schmalen We'lenlängenbereich mit Duichlässigkeits;maximum etwa am Anfang sowie am Ende des abzutastenden Spektralbereiches durchlässig. In Fig. 5 sind der Anfang sowie das Ende des abzutastenden ilpektralbereiches mit Pl und P 2 bezeichnet. Die Filter 44, 46 sind •— wie sich insbesondere aus F i g. 4 ergibt — austauschbar auf der Scheibe 38 angebracht. Zusätzlich ist einer der Anstrittsspalte 29 von einer Polarisationsfilterplatte 48 überdeckt, wobei in Umfangsrichtung der Scheibe 38 auf diesen letztgenannten Spalt 20 ein von Filtern 44, 46 überdeckter Markierungsaustrittsspalt 20' und danach ein gegenüber den übrigen Austrittsspalten wesentHch verbreiterter Austrittsspalt 20 a folgen.
Die Scheibe 38 ist durch einen Elektromotor 22 angetrieben. Entgegen der Einfallsrichtung der Strahlung ist gegenüber der Scheibe 38 eine Photozelle 24 angeordnet, die mit einem Registrierstreifen-Aufzeichnungsgerät 26 verbunden ist.
Im Betrieb wird die Scheibe 38 von dem Motor 22 in Drehung versetzt, wobei die Drehzahl nicht notwendigerweise konstant und nicht notwendigerweise mit 6"Λ Abtastgeschwindigkeit des Spektrometer gegenüber der Strahlungsquelle synchronisiert zu sein braucht. Man erhält alsdann auf einem von dem Aufzeichnungsgerät 26 gelieferten Registrierstreifen 40 bei jedem Vorbeilaufen eines Austrittsspaltes 20 vor der Photozelle 24 einen dem gesamten abgetasteten Spektralbereich entsprechenden Kurvenzug 42. Jeder dieser Kurvenzüge 42 ist durch zwei nadelartige schmale Registrierkurven 44 a, 46 a getrennt, welche beim Vorbeilaufen des auf den Austrittsspalt 20 folgenden Mtrkierungsaustrittsspaltes 20' wegen des eng begrenzten spektralen Durchlässigkeitsbereiches der Filter 44,46 entstehen. Danach folgen abwechselnd wiederum ein Kurvenzug 42, die beiden Registrierkurven 44«, 46 a, ein weiterer kurvenzug 42 usw.
Wegen des schmalen Durchlässigkeitsbereiches der Filter 44, 46 ergeben die Registrierkurven 44 α, 46 a ziemlich scharfe Eichmarkierungen, wobei der Abstand der Intensitätmaxima der Registrierkurven 44β, 46α direkt proportional der jeweiligen Länge
ίο des Kurvenzuges 42 ist. Die Länge des Kurvenzuges 42 ist infolge unterschiedlicher Abtastgeschwindigkeiten, beispielsweise Fluggeschwindigkeiten bei der kartographischen Aufnahme einer Meeresoberfläche, sowie infolge Drehzahlschwankungen des Motors 22
nicht konstant, jedoch kann auch bei derartigen Schwankungen jeder Stelle irgendeines der Kurvenzüge 42 auf dem Registrierstreifen eine bestimmte Spektrallinie zugeordnet werden, da das Gitter 14 ekie lineare Dispersion hat und die Abstände eines
ao Paares von RegistrierL* ^ven 44 α, 46 α gegenüber den Abständen eines benachbarten Paares ausgemittelt werden können. Auf diese Weise ist eine vollautomatische Auswertung möglich, die gegenüber veränderten Abtastgeschwindigkeiten invariant ist.
as Zur besseren Darstellung ist in F i g. 3 noch die Spektralebene bzw. Bildebene I durch einen gestrichelten rechteckigen Bereich veranschaulicht, wobei die innerhalb des Rechteckbereiches gezeigten gestrichelten Geraden den Spektrallinien entsprechen.
An der Abtaststelle verläuft jeder Spalt 20 bzw. 20' bzw. 20 a parallel zu den Spektrallinien.
Das Polarisationsfilter 48 ermöglicht eine Auswertung der Strahlung hinsichtlich zusätzlicher Parameter, welche sich aus dem Verhältnis der Intensitäten von senkrecht polarisierter Strahlung ergeben. Man erhält hierbei einen Kurvenzug ähnlich den Kurvenzügen 42 (in F i g. 5 nicht veranschaulicht), wobei dieser durch das Polarisationsfilter 48 hervorgerufene Kurvenzug durch einen weiteren Kurvenzug identifiziert werden kann, der durch den verbreiterten Austrittsspalt 20 a hervorgerufen wird (letzterer Kurvenzug ebenfalls in F i g. 5 nicht besonders veranschaulicht). Der durch den verbreiterten Austrittsspalt 20 a hervorgerufene Kurvenzug weist ein wesentlich geringeres Auflösungsvermögen als die durch die Austrittsspalte 20 verursachten Kurvenzüge 42 auf, so daß auf diese Weise eine eindeutige Identifizierung des durch das Polarisationsfilter 48 verursachten Kurvenzuges möglich ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:
1. Spektrometer zur schnellen periodischen Abtastung einer Oberfläche mit einer Antriebseinrichtung zur Relativbewegung des Spektrums gegenüber einem Austrittsspalt und einem hierzu benachbart angeordneten elektrooptischen Wandler, dadurch gekennzeichnet, daß eine parallel zur Spektralebene verlaufende und zumindest einen Austrittsspalt (20) in Form eines radialen Schlitzes aufweisende rotierende Scheibe (38) vorgesehen ist, welche in einem festen Winkelabstand zum Austrittsspalt (20) zumindest einen weiteren, durch ein Filter (44) lediglich für einen Teilwellenlängenbereich des Spektrums durchlässigen Markierungsaustrittüspalt (20') aufweist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch Anbringung von zwei Filtern (44, 46) vor einem Markierungsaustrittsspalt (20') dieser für mehr als einen schmalen Wellenlängenbereich durchlässig ist
3. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchlässigkeitsmaxima der beiden Filter (44,46) etwa dem Anfang sowie dem Ende des abzutastenden Spekiralbereicnes (P 1, P 2) entsprechen.
4. Anordnung nach einerr der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterplatten (-W, 46) austauschbar angebracht sind.
5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet daß an der rotierenden Scheibe (38) der Anzahl der Austrittsspalte (20) entsprechende, hierzu je um den halben Abstandswinkel der Austrittsspalte (20) versetzte Markierungsaustrittsspalte (20 ) vorgesehen sind.
DE19702038963 1969-12-29 1970-08-05 Spektrometer zur schnellen periodischen abtastung einer oberflaeche Pending DE2038963B2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US88838569A 1969-12-29 1969-12-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2038963A1 DE2038963A1 (de) 1971-07-08
DE2038963B2 true DE2038963B2 (de) 1972-03-23

Family

ID=25393090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19702038963 Pending DE2038963B2 (de) 1969-12-29 1970-08-05 Spektrometer zur schnellen periodischen abtastung einer oberflaeche

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3700331A (de)
DE (1) DE2038963B2 (de)
FR (1) FR2071758A5 (de)
GB (1) GB1273484A (de)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3922092A (en) * 1973-12-06 1975-11-25 Den Bosch Francois J G Van Monochromator and light dispersing apparatus
US3973849A (en) * 1975-06-16 1976-08-10 International Business Machines Corporation Self-calibratable spectrum analyzer
DE2726606A1 (de) * 1977-06-13 1978-12-21 Max Planck Gesellschaft Medizinisches spektralfotometer
SE8107809L (sv) * 1981-12-28 1983-06-29 Lkb Biochrom Ltd Fotometer
EP0154195A3 (de) * 1984-02-10 1986-04-30 Fuji Photo Film Co., Ltd. Mikrofilmlesegerät
SU1518732A1 (ru) * 1985-03-11 1989-10-30 Специальное конструкторское бюро средств аналитической техники Коррел ционный газоанализатор
US5020909A (en) * 1990-03-02 1991-06-04 Landa Issac J "In-line" spectral reference method for spectrometers
US5285254A (en) * 1991-03-25 1994-02-08 Richard J De Sa Rapid-scanning monochromator with moving intermediate slit
US8059272B2 (en) * 2004-09-18 2011-11-15 École Polytechnique Fédérale de Lausanne Time-resolved spectroscopic measurement apparatus
CN110285883B (zh) * 2019-06-27 2020-09-01 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种可旋转电动狭缝
CN112945867B (zh) * 2021-02-03 2023-07-07 中国测试技术研究院 反射式灰阶测试卡测量***及方法

Also Published As

Publication number Publication date
FR2071758A5 (de) 1971-09-17
GB1273484A (en) 1972-05-10
US3700331A (en) 1972-10-24
DE2038963A1 (de) 1971-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1754032B1 (de) Echelle-spektrometer mit verbesserter detektorausnutzung durch die verwendung zweier spektrometeranordnungen
EP1783468A2 (de) Verfahren zur Auswertung von Echelle-Spektren
DE2731775A1 (de) Interferenzfiltermonochromator
DE2038963B2 (de) Spektrometer zur schnellen periodischen abtastung einer oberflaeche
DE2152510B2 (de) Verfahren zum Nachweisen von Oberflachenfehlern und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens
DE2433682A1 (de) Vorrichtung zur ueberwachung einer materialbahn oder einer sonstigen abtastebene
DE1813986A1 (de) Gitterspektrometer
DE3339006A1 (de) Schlitzmechanismus zur verwendung in einem monochromator
DE2056112A1 (de) Selbsttätiger Abtastmonochromator
DE1296817B (de) Vorrichtung fuer den Wechsel der Gitter in Spektralphotometern
DE2342737B2 (de) Vorrichtung zum abtasten eines sich drehenden scheibenfoermigen aufzeichnungstraegers
EP0417042A1 (de) Photoelektrische Abtastvorrichtung
EP0593961A1 (de) Optischer Strahlteiler, insbesondere für einen Laserstrahl
DE2038963C (de) Spektrometer zur schnellen periodischen Abtastung einer Oberflache
DE1078345B (de) Spektrometer
DE1447246C3 (de) Spektrometer
DE2604666A1 (de) Monochromator zur nutzung zweier wellenlaengen
DE670322C (de) Vorrichtung zur Aufnahme von Roentgen- und Kathodenstrahldiagrammen von Einkristallen
DE3102684C2 (de)
DE2042229B2 (de) Mehrstufige, steuerbare Lichtstrahlablenkvorrichtung
DE2449259B2 (de) Optische orientierungseinrichtung
DE2402405C3 (de) Photolumineszenz-Spektralphotometer
EP3226064A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur erzeugung eines lichtstrahls
DE1926979A1 (de) Verfahren zur Pruefung von Anschliffflaechen eines Werkstueckes,insbesondere einer Rasierklinge
DE10253058A1 (de) Hochempfindliche Spektrometeranordnung