DE20305869U1 - Druckmeßumformer - Google Patents
DruckmeßumformerInfo
- Publication number
- DE20305869U1 DE20305869U1 DE20305869U DE20305869U DE20305869U1 DE 20305869 U1 DE20305869 U1 DE 20305869U1 DE 20305869 U DE20305869 U DE 20305869U DE 20305869 U DE20305869 U DE 20305869U DE 20305869 U1 DE20305869 U1 DE 20305869U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- insert
- pressure transmitter
- recess
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title abstract description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0618—Overload protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0663—Flame protection; Flame barriers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
EH608-DE 10.04.2003
Die Erfindung betrifft einen Druckmeßumformer mit einem metallischen Sensorgehäuse in dem ein Einsatz eingeordnet ist. In dem Einsatz befindet sich ein Drucksensor und ein dem Drucksensor vorgeschalteter Druckmittler. An das metallische Sensorgehäuse schließt ein Prozeßanschluß an, durch den hindurch ein zu messender Druck dem Druckmittler zuführbar ist.
In der Druckmeßtechnik wird zwischen Differenz-, Absolut- und Relativdruckmeßumformern unterschieden. Differenzdruckmeßumformer dienen der Messung der Differenz zwischen zwei verschiedenen Drücken. Bei Absolutdruckmeßumformern wird ein zu messender Druck absolut, d.h. als Druckunterschied gegenüber einem Vakuum erfaßt. Mit einem Relativdruckmeßumformer wird ein zu messender Druck in Form eines Druckunterschiedes gegenüber einem Referenzdruck aufgenommen. Der Referenzdruck ist in der Regel ein Umgebungsdruck der dort herrscht, wo sich der Relativdruckmeßumformer befindet. Bei den meisten Anwendungen ist dies der Atmosphärendruck am Einsatzort. Wird der Sensor jedoch z.B. in einem unter Über- oder Unterdruck stehenden Raum eingesetzt, so ist der Referenzdruck der Rauminnendruck.
Druckmeßumformer werden in einer Vielzahl von Industriezweigen zur Erfassung von Drücken eingesetzt. Je nach Anwendung gilt es dabei unter Umständen sehr hohe Drücke, z.B. Drücke von bis zu 70 Mpa (700 bar) zur erfassen.
In der US-A 4,970,898 ist ein Druckmeßumformer beschrieben, mit
- einem metallischen Sensorgehäuse,
- einem metallischen Sensorgehäuse,
- einem in einer zylindrischen Ausnehmung im Sensorgehäuse. aj}g,eord.Ciete/i Eiosaiz, .·· .··. ; : .:
EH608-DE 10.04.2003
- in dem ein Drucksensor und ein dem Drucksensor vorgeschalteter Druckmittler angeordnet sind, und
- einem Prozeßanschluß,
- durch den hindurch ein zu messender Druck dem Druckmittler zuführbar ist.
Das metallische Sensorgehäuse bildet eine beidseits offene Manschette. Eine mechanische Abstützung des Einsatzes ist durch das Sensorgegehäuse nicht gegeben. Ein auf den Druckmittler einwirkender Druck wirkt auf den Einsatz und ein eventuell auftretender Überdruck kann den Einsatz aus dem Sensorgehäuse herausdrücken. Dies birgt insb. bei hohen Drücken erhebliche Gefahren.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung einen Druckmeßumformer anzugeben, der zur Messung von hohen Drücken einsetzbar ist.
Hierzu besteht die Erfindung in einem Druckmeßumformer mit
- einem metallischen Sensorgehäuse,
- einem in einer topfförmigen Ausnehmung im Sensorgehäuse angeordneten Einsatz,
- in dem ein Drucksensor und ein dem Drucksensor vorgeschalteter Druckmittler angeordnet sind, und
- einem Prozeßanschluß,
- durch den hindurch ein zu messender Druck dem Druckmittler zuführbar ist,
- der mit dem Sensorgehäuse durch eine Schweißung verbunden ist, wobei
- das Sensorgehäuse und der Prozeßanschluß an deren einander zugewandten Enden Ausnehmungen aufweisen, die zusammen eine Kammer bilden, und
- die Kammer im Bereich der Schweißung eine gekrümmte Mantelfläche au.fw.ejst. ..
EH608-DE 10.04.2003
Gemäß einer Weiterbildung ragt der Einsatz in die Kammer hinein und der Druckmittler ist in der Kammer von einer Trennmembran abgeschlossen.
Gemäß einer Weiterbildung liegt die Trennmembran in einer Ebene, die gegenüber einer Ebene, in der sich die Schweißung befindet, versetzt ist.
Gemäß einer Weiterbildung
- ist die topfförmige Ausnehmung von einem Boden abgeschlossen, der mit einer abgerundeten
Mantelfläche an einen zylindrischen Abschnitt der Ausnehmung angrenzt, und
- der Einsatz liegt mit einer formgleichen abgerundeten Mantelfläche an der Mantelfläche der Ausnehmung an.
Gemäß einer Ausgestaltung ist der Einsatz paßgenau in die Ausnehmung eingesetzt, und ein zwischen dem Einsatz und der Ausnehmung bestehender Spalt dient als Flammendurchschlagsperre.
Gemäß einer Ausgestaltung weist der Druckmittler einen Druckmittlerkanal auf, der vom Drucksensor zur Trennmembran führt. In dem Druckmittlerkanal ist ein Füllstift vorgesehen, und ein zwischen dem Druckmittlerkanal und dem Füllstift bestehender Spalt dient als Flammendurchschlagsperre.
Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, daß
der erfindungsgemäße Druckmeßumformer zur Erfassung von hohen Drücken einsetzbar ist.
Der Einsatz liegt an dem Boden der topfförmigen Ausnehmung auf. Hierdurch wird der Einsatz abgestützt. Auch bei sehr hohen über den Prozeßanschluß zugeführten Drücken oder Überdrücken wird dadurch verhindert, daß der
Einsatz aus dem Sensorgehäuse heraustreten kann
EH608-DE 10.04.2003
Die abgerundete Form der Mantelfläche, die an den zylindrischen Abschnitt der Ausnehmung angrenzt erhöht die mechanische Stabilität bei gleicher Bodendicke zusätzlich.
Das gleiche gilt für die gekrümmten Mantelflächen im Bereich der Schweißung. Auch durch sie wird die mechanische Stabilität der Verbindung erheblich gesteigert.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß der erfindungsgemäße Druckmeßumformer auch in explosionsgefährdeten Bereichen einsetzbar ist, da die Spalte zwischen der Ausnehmung und dem Einsatz und zwischen dem Druckmittlerkanal und dem Stift als Flammendurchschlagsperre ausgebildet sind.
Die Erfindung und weitere Vorteile werden nun anhand der Figur der Zeichnung, in der ein Ausführungsbeispiel dargestellt ist, näher erläutert.
Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch einen Druckmeßumformer.
In Fig. 1 ist ein Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Druckmeßumformer dargestellt. Der Druckmeßumformer weist ein metallisches Sensorgehäuse 1 auf. Das Sensorgehäuse 1 hat im Wesentlichen die Form eines Vollzylinders mit einer topfförmigen von einem Boden 3 einseitig endseitig abgeschlossenen Ausnehmung 5. In der Ausnehmung 5 ist ein Einsatz 7 angeordnet, der die Ausnehmung 5 vollständig ausfüllt. In dem Einsatz 7 sind ein Drucksensor 9 und ein dem Drucksensor 9 vorgeschalteter Druckmittler 11 angeordnet. Der Drucksensor 9 ist z.B. ein Halbleitersensor, z.B. ein Polysiliziumsensor. Er befindet sich in einer zentrischen Ausnehmung des Einsatzes 7, die an den Boden 3 angrenzt. Elektrische Anschlußleitungen des Drucksensors 9 sind durch den Boden 3 hindurchgeführt. Wird der Druckmeßumformer zur Erfassung eines Relativdrucks eingesetzt, so wird ein Referenzdruck, auf den
EH608-DE 10.04.2003
der zu messende Druck &rgr; zu beziehen ist durch eine Referenzdruckzuleitung 13 durch den Boden 3 hindurch dem Drucksensor 9 zugeführt. Der Druckmittler 11 umfaßt einen Druckmittlerkanal 15, der vom Drucksensor 9 zu einer Kammer 17 führt. Die Kammer 17 befindet sich an einer dem Boden 3 gegenüberliegenden Seite des Einsatzes 7 und ist von einer Trennmembran 19 frontbündig abgeschlossen. Die Kammer 17 und der Druckmittlerkanal 15 sind mit einer möglichst inkompressiblen Flüssigkeit, z.B. einem Silikonöl, gefüllt. Ein auf die Trennmembran 19 einwirkender Druck &rgr; bewirkt eine Auslenkung der Trennmembran 19 und wird durch die Flüssigkeit auf den Drucksensor 9 übertragen.
In dem Druckmittlerkanal 15 ist ein Füllstift 20, z.B. ein metallischer Stift, vorgesehen, der den Druckmittlerkanal 15 nahezu vollständig ausfüllt. Ein verbleibender zwischen dem Druckmittlerkanal 15 und dem Füllstift 20 bestehender Spalt dient als Flammendurchschlagsperre. Derartige Flammendruchschlagsperren sind für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen erforderlich. Sie verhindern, daß ein im Inneren des Druckmeßumformers, z.B. durch einen Defekt oder Kurzschluß, entstehender Funke nach außen treten kann.
Weiter umfaßt der Druckmeßumformer einen Prozeßanschluß 21, durch den hindurch ein zu messender Druck &rgr; dem Druckmittler 9 zuführbar ist.
Das Sensorgehäuse 1 und der Prozeßanschluß 21 weisen an deren einander zugewandten Enden Ausnehmungen 23, 25 auf, die zusammen eine Kammer 27 bilden. Dabei liegt das Sensorgehäuse 1 in dem dargestellten Ausführungsbeispiel mit einer ringscheibenförmigen Stirnfläche auf dem Prozeßanschluß 21 auf. Der Prozeßanschluß 21 ist mit dem Sensorgehäuse 1 durch eine Schweißung 29 verbunden. Die Schweißung 29 erfolgt beispielsweise durch eine von außen vorzunehmende Elektronenstrahlschweißung und befindet sich dort, wo die Stirnflächen
aufeinander liegen. Die Ka.mm.er.2J waist jro Bereich der Schweißung 29 eine :' : :..* · :: : .*:::.. ···*. ···. \.· · · ': : :&Lgr;:: ::: !!!! '' '' '
EH608-DE 10.04.2003
gekrümmte Mantelfläche 31 auf. Dies bietet den Vorteil, daß dadurch die mechanische Stabilität der Verbindung deutlich erhöht wird. Der Prozeßanschluß 21 weist eine zentrale axiale durchgehende Bohrung 31 auf, die in die Kammer 27 mündet.
5
5
Der Einsatz 7 ragt in die Kammer 27 hinein und der Druckmittler 11 ist in der Kammer 27 von der Trennmembran 19 abgeschlossen. Vorzugsweise liegt die Trennmembran 19 in einer Ebene, die gegenüber einer Ebene in der sich die Schweißung 29 befindet versetzt ist. Dies bietet den Vorteil, daß die Trennmembran 19 vor den durch die Schweißung 29 verursachten Belastungen geschützt ist.
Vorzugsweise grenzt der Boden 3, der die topfförmige Ausnehmung 5 abschließt, mit einer abgerundeten Mantelfläche 33 an einen zylindrischen Abschnitt 35 der Ausnehmung 5 an, und der Einsatz 7 liegt mit einer formgleichen abgerundeten Mantelfläche an der Mantelfläche 33 der Ausnehmung 5 an. Die abgerundetet Form bietet den Vorteil, daß dadurch die mechanische Stabilität erhöht wird, und der Einsatz 7 und der darin befindliche Drucksensor 9 optimal abgestützt werden.
Der Einsatz 7 ist vorzugsweise paßgenau in die Ausnehmung 5 eingesetzt, und ein zwischen dem Einsatz 7 und der Ausnehmung 5 bestehender Spalt dient als Flammendurchschlagsperre. Derartige Flammendruchschlagsperren sind für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen erforderlich. Sie verhindern, daß ein im Inneren des Druckmeßumformers, z.B. durch einen Defekt oder Kurzschluß, entstehender Funke nach außen treten kann.
Dort wo der Spalt in die Kammer 27 mündet, ist der Einsatz 7 mit dem Sensorgehäuse 1 verbunden. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist hierfür eine Schweißnaht 37 vorgesehen, die den Einsatz 7 in der Ausnehmung fixiert und den Spalt zwischen dem Einsatz 7 und dem Sensorgehäuse 1 abdichtet.
Claims (6)
1. Druckmeßumformer mit
- einem metallischen Sensorgehäuse (1),
- einem in einer topfförmigen Ausnehmung (5) im Sensorgehäuse (1) angeordneten Einsatz (7),
- in dem ein Drucksensor (9) und ein dem Drucksensor (9) vorgeschalteter Druckmittler (11) angeordnet sind, und
- einem Prozeßanschluß (21),
- durch den hindurch ein zu messender Druck (p) dem Druckmittler (11) zuführbar ist,
- der mit dem Sensorgehäuse (1) durch eine Schweißung (29) verbunden ist, wobei
- das Sensorgehäuse (1) und der Prozeßanschluß (21) an deren einander zugewandten Enden Ausnehmungen (23, 25) aufweisen, die zusammen eine Kammer (27) bilden, und
- die Kammer (27) im Bereich der Schweißung (29) eine gekrümmte Mantelfläche (31) aufweist.
2. Druckmeßumformer nach Anspruch 1, bei dem der Einsatz (7) in die Kammer (27) hinein ragt und der Druckmittler (11) in der Kammer (27) von einer Trennmembran (19) abgeschlossen ist.
3. Druckmeßumformer nach Anspruch 2, bei dem die Trennmembran (19) in einer Ebene liegt, die gegenüber einer Ebene, in der sich die Schweißung (29) befindet, versetzt ist.
4. Druckmeßumformer nach Anspruch 1, bei dem
- die topfförmige Ausnehmung (5) von einem Boden (3) abgeschlossen ist, der mit einer abgerundeten Mantelfläche (33) an einen zylindrischen Abschnitt (35) der Ausnehmung (5) angrenzt, und
- der Einsatz (7) mit einer formgleichen abgerundeten Mantelfläche an der Mantelfläche (33) der Ausnehmung (5) anliegt.
5. Druckmeßumformer nach Anspruch 1, bei dem der Einsatz (7) paßgenau in die Ausnehmung (5) eingesetzt ist, und ein zwischen dem Einsatz (7) und der Ausnehmung (5) bestehender Spalt als Flammendurchschlagsperre dient.
6. Druckmeßumformer nach Anspruch 1, bei dem
- der Druckmittler (11) einen Druckmittlerkanal (15) aufweist,
- der vom Drucksensor (9) zur Trennmembran (19) führt,
- in dem Druckmittlerkanal (15) ein Füllstift (20) vorgesehen ist, und
- ein zwischen dem Druckmittlerkanal (15) und dem Füllstift (20) bestehender Spalt als Flammendurchschlagsperre dient.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE20305869U DE20305869U1 (de) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | Druckmeßumformer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE20305869U DE20305869U1 (de) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | Druckmeßumformer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE20305869U1 true DE20305869U1 (de) | 2003-06-18 |
Family
ID=7981462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE20305869U Expired - Lifetime DE20305869U1 (de) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | Druckmeßumformer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE20305869U1 (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10341659A1 (de) * | 2003-09-08 | 2005-04-07 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmittler |
DE102004051219A1 (de) * | 2004-10-20 | 2006-05-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmessaufnehmer |
DE102006040545A1 (de) * | 2006-08-30 | 2008-03-27 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckaufnehmer mit Druckmittler |
DE102007056844A1 (de) | 2007-11-23 | 2009-06-10 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Membranbett für einen Druckmittler, Druckmittler mit einem solchen Membranbett sowie Drucksensor mit einem solchen Druckmittler |
EP3193148A1 (de) * | 2016-08-18 | 2017-07-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Drucksensor |
DE102017129792A1 (de) | 2017-12-13 | 2019-06-13 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Modul-Baukasten zur Herstellung von Druckmessaufnehmern |
DE102021122032A1 (de) | 2021-08-25 | 2023-03-02 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckmessaufnehmer |
WO2023110309A1 (de) * | 2021-12-15 | 2023-06-22 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckmessaufnehmer und differenzdruckmessaufnehmer |
-
2003
- 2003-04-10 DE DE20305869U patent/DE20305869U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10341659A1 (de) * | 2003-09-08 | 2005-04-07 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmittler |
DE102004051219A1 (de) * | 2004-10-20 | 2006-05-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmessaufnehmer |
DE102004051219B4 (de) * | 2004-10-20 | 2013-03-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmessaufnehmer |
DE102006040545A1 (de) * | 2006-08-30 | 2008-03-27 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckaufnehmer mit Druckmittler |
DE102006040545B4 (de) * | 2006-08-30 | 2009-10-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckaufnehmer mit Druckmittler |
DE102007056844A1 (de) | 2007-11-23 | 2009-06-10 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Membranbett für einen Druckmittler, Druckmittler mit einem solchen Membranbett sowie Drucksensor mit einem solchen Druckmittler |
EP3193148A1 (de) * | 2016-08-18 | 2017-07-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Drucksensor |
DE102017129792A1 (de) | 2017-12-13 | 2019-06-13 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Modul-Baukasten zur Herstellung von Druckmessaufnehmern |
WO2019115111A1 (de) | 2017-12-13 | 2019-06-20 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Modul-baukasten zur herstellung von druckmessaufnehmern |
DE102021122032A1 (de) | 2021-08-25 | 2023-03-02 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckmessaufnehmer |
WO2023110309A1 (de) * | 2021-12-15 | 2023-06-22 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckmessaufnehmer und differenzdruckmessaufnehmer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1128172B1 (de) | Drucksensor | |
EP2678653B1 (de) | Keramische druckmesszelle | |
EP1269135B1 (de) | Drucksensormodul | |
EP2097727B1 (de) | Verfahren zur prägung einer trennmembran eines druckmittlers | |
DE10031135A1 (de) | Druckmeßvorrichtung | |
DE20305869U1 (de) | Druckmeßumformer | |
DE19608310C1 (de) | Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem | |
DE2640235A1 (de) | Differenzdruck-messeinrichtung | |
EP0756699A1 (de) | Piezoresistiver drucksensor oder druckaufnehmer | |
DE102016008508A1 (de) | Differenzdruckwandleranordnung mit Überdruckschutz | |
DE10162044B4 (de) | Druckmessaufnehmer | |
EP1325294B1 (de) | Membran druckmessaufnehmer mit dichtung mit federring gegen verformung | |
EP1039284A1 (de) | Kapazitiver Drucksensor bzw. kapazitiver Differenzdrucksensoren | |
DE19949831A1 (de) | Membrandruckmittler | |
EP3853573A1 (de) | Druckmesseinrichtung | |
CH394637A (de) | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Messwandlers | |
DE10031129A1 (de) | Überlastfester Drucksensor | |
DE10043630A1 (de) | Druckmeßzelle | |
DE102016109645A1 (de) | Drucksensorelement und kapazitiver Drucksensor | |
DE10332284A1 (de) | Drucksensorelement mit integrierter Dichtfläche | |
DE102010043824B4 (de) | Druckmessumformer | |
DE2448629B2 (de) | Differenzdruck-Meßzelle | |
DE10228618B4 (de) | Druckmeßeinheit | |
WO2022128402A1 (de) | Druckmessaufnehmer zur bestimmung eines relativdrucks | |
WO2022128398A1 (de) | Verfahren zur druck- und gasdichten trennung von einem ersten und einem zweiten hydraulischen pfad in einem differenzdrucksensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20030724 |
|
R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 20060504 |
|
R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20090506 |
|
R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20110510 |
|
R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |