DE2013106A1 - Ionengetter-Vakuumpumpe - Google Patents

Description

Anmelderin: United States Atomic Energy Commission Washington D. G., USA

Ionenge11 er-Vakuumpumpe

Die Erfindung "betrifft mit einem Steuergitter versehene Ionengetter-Vakuumpumpen, in denen die in öinem vakuumdichten Gehäuse befindlichen Gasmoleküle durch umlaufende Elektronen ionisiert und durch sublimiertes Gettermaterial zugedeckt werden.

In Ionengetter-Vakuumpumpen werden in die Pumpe Elektronen mit solcher Energie eingeführt« dass die in der Pumpe "befindlichen Gasmoleküle durch Kollision ionisiert werden«

Die so erzeugten Gasmoleküle werden durch elektrische Felder in der Pumpe beschleunigt, so dass sie auf geeignete Pumpenflächen auftreffen und in diese eindringen« GIeich-

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zeitig wird Gettermaterial (z. B. Ti oder Ta) sublimiert oder in anderer geeigneter Weise auf diese Flächen niedergeschlagen, so dass die Ionen weiter zugedeckt werden. Das frisch niedergeschlagene Gettermaterial reagiert auch mit chemisch aktiven Gasen ohne zuvor erforderliche Ionisierung. Die Pumpwirkung beruht also auf der Überführung von Molekülen aus der Gasphase in die feste Phase.

Die ständige Versorgung mit Gettermaterial wird z. B. durch Beschuss mit den auch zur Ionisierung des Gases dienenden Elektronen zwecks Erhitzung auf die Sublimierungstemperatur sicher gestellt. Dies hat gegenüber dem auch gebräuchlichen Widerstandserhitzen, das unerwünschte thermische Entgasung der elektrischen Anschlüsse und benachbarten Teile wie z. B. Isolatoren und Abstützungen zur Folge hat, den Vorteil der thermischen Isolierung des Gettermaterials. Bei der Sublimierung durch Elektronenbeschuss bestehen jedoch einander ausschliessende Anforderungen an die jeweilige Stärke des in der Pumpe zum Einsatz gelangenden elektrischen Feldes. Einerseits soll das elektrostatische Feld möglichst niedrig sein, damit die Elektronenbahn vor Einfang an einer Elektrode möglichst lang ist. Eine lange Elektronenbahn erhöht di· Wahrscheinlichkeit der Elektronenkollision mit den Gasmolekülen. Ein niedriges Feld erlaubt aucfc eine durchschnittIi-

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ehe kinetische Energie der umlaufenden Elektronen, die dem maximalen lonisierungsquerschnitt des Gases entspricht, so dass eine grössere Wahrscheinlichkeit der Ionisierung der Gasmoleküle "bei der Kollision begründet wird. Andererseits, und hiermit unvereinbar, ist für die Erhitzung des Gettermaterials auf die Sublimierungstemperatur ein starkes, den Elektronen die erforderliche Anfangsenergie mitteilendes elektrostatisches Feld notwendig. Ein derart starkes Feld verkürzt aber die Elektronenbahn, reduziert die Ionisierung und verleiht den Elektronen eine höhere als die optimale durchschnittliche kinetische Energie.

Ungünstig und schwierig ist auch der Ersatz ausgebrannter Glühkathoden, da dabei das Vakuum im Pumpenraum unterbrochen werden muss. . .

Die Erfindung hat eine Ionengetter-Takuumpumpe zur Aufgabe, mit der eine optimale Ionisierung der Gasmoleküle und eine optimale Sublimierung des Gettermaterials unabhängig voneinander möglich ist.

Diese Aufgabe wird durch die Ionengetter-Vakuumpumpe der Erfindung, in der die in einem vakuumdichten Gehäuse befindlichen Gasmoleküle durch umlaufende Elektronen ionisiert und durch sublimiertes Gettermaterial zugedeckt werden da-

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durch gelöst, dass zwischen dem Gehäuse und einer mit einem Gettermaterial versehenen Anode ein Gitter angeordnet ist, eine Elektronenschleuder oder dergleichen Elektronen in den Raum zwischen dem Gitter und dein Gehäuse einschiebst, die dort mit den Gasmolekülen kollidieren und diese ionisieren, durch geeignete Mittel zwischen dem Gitter und dem Gehäuse ein erstes elektrostatisches Feld aufgebaut wird, das die Elektronen an das Gitter und die ionisierten Gasmoleküle an das Gehäuse zieht, und durch weitere geeignete Mittel zwischen dem Gitter und der Anode ein zweites elektrostatisches Feld aufgebaut wird, das die eingeschossenen Elektronen beschleunigt und auf das Gettermaterial schiesst, so dass dieses auf der Innenfläche des Pumpengehäuses sublimiert wird.

Bei dieser Ausbildung ist der grössere Teil der Elektronenbahn unter dem Einfluss eines verhältnismässig niedrigen elektrostatischen Felds zwischen dem Gitter und dem Pumpengehäuse. Nach Durchlauf durch das Gitter gelangen die Elektronen unter den Einfluss eines verhältnismässig hohen elektrostatischen Felds zwischen dem Gitter und der Anode. Dieses verleiht den Elektronen eine derart hohe Energie, dass sie bei Auftreffen auf das Gettermaterial dieses auf die Sublimierungstemperatur erhitzen. Es wird infolgedessen auf der Innenfläche des Pumpengehäuses sublimiert und deckt die Gasmoleküle ab.

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Da die Elektronen durch zwei voneinander unabhängige elektrostatische Felder beeinflusst werden, kann jedes feld im Hinblick auf die Optimierung in seinem Bereich ohne ungünstige Beeinflussung des Bereichs des anderen Felds eingestellt werden. Somit kann das Feld zwischen dem Pumpengehäuse und dem Gitter unabhängig im Hinblick auf die maximale Ionisierung der Gasmoleküle eingestellt werden, während das Feld zwischen dem Gitter und der Anode unabhängig im Hinblick auf die optimale Sublimierungsgeschwindigkeit eingestellt werden kann.

Nach weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird die Elektronenschleuder oder dergleichen zum Einschiessen der Elektronen in das Pumpengehäuse so angeordnet, und mit solchen, weiter unten beschriebenen Mitteln versehen, dass die Glühfadenkathode ausgewechselt werden kann, ohne das Vakuum im Pumpengehäuse zu unterbrechen.

Weitere Einzelheiten und günstige Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen und der folgenden Beschreibung anhand der Zeichnungen entnommen werden«

In den Zeichnungen zeigen

die Figur 1 im Querschnitt die Ionengetter-Valmumpumpe der Erfindung;

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die Figur 2 diese im Schnitt entlang der Schnittlinie 2-2 der Figur 1;

die Figur 3 im Querschnitt eine weitere Ausgestaltung mit zwei im Pumpeninneren angebrachten Glühkathoden.

Wie die Figur 1 im Querschnitt zeigt, enthält die Ionenge tter-Vakuumpumpe ein zum Anschluss an eine nicht gezeigte, auszupumpende Vakuumkammer am einen Ende 11 offenes Gehäuse 12. Das offene Ende 11 trägt zur Herstellung dieses Anschlusses an die Vakuumkammer einen Flansch 14·. Durch die in ein Ende des zylindrischen Gehäuses eingebaute Elektronenschleuder 31 werden Elektronen in das Innere des Gehäuses eingeschossen. Die Elektronenschleuder bildet mit der Mittelachse des Gehäuses einen Winkel, so dass der Elektroneneinschuss in tangentialer Richtung mit einer achsialen Komponenten erfolgt. Dies ist zur Erzielung einer längen Spiralbahn einer grossen Anzahl von Elektronen besonders günstig, jedoch ist, wie weiter unten ausgeführt, die achsiale Komponente hierzu nicht unbedingte Voraussetzung. Die Figur 1 zeigt als Beispiel einen typischen Winkel, während die Figur 2 die tangentiale Lage der Elektronenschleuder zum Gehäuse veranschaulicht. Die Elektronenschleuder 31 besteht aus einer in dem Schleudergehäuse 34 herausnehmbar befestigten Glühkathode, die an die Spannungsquelle 36 angeschlossen ist. Die von der Glühkathode 33 emittierten Elektronen

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werden durch, den negativ vorgespannten Fokussierbecher fokussiert. Am Einschussende der Elektronenschleuder ist die mit einer zentralen Öffnung versehene und an die einstellbare und somit den jeweils gewünschten Elektronenstrom liefernde Spannungsquelle 38 angeschlossene Beschleunigungsanode 37 befestigt. Die Elektronen werden in einer zunächst zwischen der Gehäusewand des Gehäuses 12 und einem zylindrischen Gitter 22 verlaufenden Bahn in das Gehäuse eingeschossen. Nun wird aber durch eine veränderliche Gleichstromspannungsquelle 28 zwischen dem Gehäuse 12 und dem zu diesem positiv vorgespannten Gitter 22 ein elektrostatisches Feld erzeugt und aufrechterhalten, das an beiden Gehäuseenden eine zum jeweils gegenüberliegenden Gehäuseende gerichtete achsiale Komponente aufweist. Den in das eine Gehäuseende eingeschossenen Elektronen wird daher ein zum gegenüberliegenden Ende gerichtetes Bewegungsmoment aufgezwungen, so dass sie sich kontinuierlich entlang einer spiralförmigen Kreisbahn 32 um das Gitter 22 und an diesem entlang bewegen, bis ihr Winkelmoment durch Feldasymmetrien oder durch Kollision mit Gasmolekülen verbraucht ist.

Über das offene Ende 11 des Gehäuses 12 ist ein mit diesem elektrisch verbundenes Gitter 16 gelegt. Dieses Gitter 16 erlaubt den Durchgang neutraler Gasteilchen aus der Vakuumpumpe in das Pumpengehäuse. Da das Gitter 16 in elektrischer

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Hinsicht eine kontinuierliche Fläche mit dem Pumpengehäuse "bildet, reflektiert es die Elektronen genauso, wie die Gehäusewand bei Annäherung an diese. In verschiedener, geeigneter Weise, z. B. durch Einstellung der Glühkathodenvorspannung, können die Elektronen mit einer zwischen der Potentialenergie des Gehäuses und der des zylindrischen Gitters 22 liegenden Gesamtenergie eingeschossen werden. Auf diesem mittleren Energieniveau können die Elektronen selbst bei Fehlen des Gitters 16 weder das Gehäuse erreichen, noch aus dem Feldbereich der Pumpe gelangen, obwohl sie etwas höher ausfahren als bei vorhandenem Gitter, bevor sie das Äquipotential erreichen, bei dem die gesamte achsiale kinetische Energie in Potentialenergie umgewandelt ist, so dass die Elektronen nunmehr nach unten zurück in die Pumpe reflektiert werden.

Eine Anodenelektrode 18 ist entlang der Mittelachse des Gehäuses 12 aber von diesem durch die Isolierbuchse 19 isoliert angebracht. Entlang der Anode ist ein geeignetes Gettermaterial, z, B. in Form zylindrischer Stücke aus Titan 20 befestigt. Das zylindrische Gitter 22 ist konzentrisch zum Gehäuse 12 und zur Elektrode 18 auf einer das Gitter gegen die übrigen Pumpenteile elektrisch isolierenden Befestigung 24 angebracht. Eine Abschirmung 25 umcibt diese Isolierbefestigung 24 und verhindert den Durchgang von verdampftem Get-

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termaterial auf der Befestigung. Ein über die Isolierbuchse 23 durch das Pumpengehäuse geführter Anschluss 26 verbindet das Gitter 22 mit der positiven Klemme einer veränderlichen Gleichstromspannungsquelle 28, deren negative Klemme mib dem Pumpengehäuse 12 verbunden ist. Ein zylindrischer Schild schirmt beide Isolatoren 19 und 23 gegen verdampftes Gettermaterial ab und dient gleichzeitig als Abstützung für die Isolierbefestigung 24. Eine zweite einstellbare Gleichstromspannungsquelle 29 ist mit ihrer positiven Klemme an das untere Ende der Anodenelektrode 18 gelegt, während ihr negativer Anschluss mit dem Pumpengehäuse verbunden ist.

Im Betrieb der Pumpe 10 wird durch die Spannungsquelle 28 zwischen dem zylindrischen Gitter 22 und dem zylindrischen Gehäuse 12 ein erstes elektrostatisches Feld mit radialen und achsialen, aber im wesentlichen keinen azimuthalen Komponenten aufgebaut. Die Pumpe schiesst die Elektronen mit derart ausreichendem anfänglichem Winkelmoment ein, dass der Radius ihrer Bahn nicht zu klein wird und sie nicht vom Gitter 22 eingefangen werden können. Das Vinkelmoment der um das Gitter spiralförmig kreisenden Elektronen bleibt dabei erhalten, da das Feld den Elektronen keine Drehkraft um die Pumpenachse aufzwingen kann. Die Elektronen laufen daher auf ihrer spiralförmigen Bahn weiter, bis sie ihr Winkelmoment durch Gaskollisionen oder durch Störungen der zylindrischen

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Feldsymmetrie verlieren. Die an den Enden der Pumpe bestehenden achsialen Komponenten des Feldes reflektieren dabei die Elektronen zur Mitte der Pumpe zurück. Die Elektronen laufen daher auf einer spiralförmigen Bahn um das Gitter vom einen zum anderen Ende der Pumpe und wieder zurück.

Nach dem Verlust des Winkelmoments sind die meisten Elektronen so geschwächt, dass sie durch das Gitter 22 fallen und in den Einflussbereich des durch die Gleichstromspannungsquelle 29 zwischen dem Gitter 22 und der Anode 18 aufgebauten, verhältnismässig starken elektrostatischen Felds gelangen, das sie beschleunigt, so dass sie auf das Gettermaterial 20 der Anode 18 auftreffen und es erhitzen. Durch entsprechende Einstellung der Beschleunigungsspannung 29 kann die Sublimation unabhängig auf den jeweiligen Sollwert eingestellt werden.

Für eine möglichst hohe Ionenerzeugung muss die durchschnittliche kinetische Energie der Elektronen der maximalen Ionisierung der anwesenden trägen Gase entsprechen. Der Ionisierungsquerschnitt der Gase beginnt dabei an einem bestimmten Schwellenwert kinetischer Elektronenenergie, steigt rasch auf einen Höchstwert an und nimmt dann langsam mit steigender kinetischer Elektronenenergie ab. Liegt daher die durchschnittliche kinetische Elektronenenergie über oder unter

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L. dem maximalen Ionisierungsquerschnitt entsprechenden ,Wert, so kann der durchschnittliche Querschnitt erheblich unter dem Maximum liegen. In bekannten Ionengetterpumpen erfüllen ein- und dieselben Elektronen die doppelte Funktion sowohl der Ionisierung als auch der Sublimierung· Da für die erforderliche Sublimierungstemperatur eine hohe Spannung an die Anode gelegt werden muss, liegt hier die durchschnittliche kinetische Elektronenenergie erheblich über dem dem maximalen Ionisierungsquerschnitt entsprechenden Wert· Diese Pumpen erzeugen daher eine weitaus geringere Ionisit/ung als das mögliche Maximum. Versucht man in diesen bekannten Pumpen die Anodenspannung soweit zu verringern, dass die Elektronen die optimale durchschnittliche kinetische Energie erhalten, so steht infolge der geringeren Sublimierung weniger Gettermaterial für die Verbindung mit. dem aktiven Gas zur Verfügung, so dass die Pumpgeschwindigkeit des aktiven Gases entsprechend geringer ist. Aber auch die Pumpgeschwindigkeit des trägen Gases ist trotz höherer Ionisierung niedriger, da die tragen Gase zur dauernden Entfernung sowohl ionisiert als auch durch das sublimierte Gettermaterial zugedeckt werden müssen.

Demgegenüber wird erfindungsgemäss das zylindrische Gitter 22 auf einer geeigneten, den Elektronen ihre optimale durchschnittliche kinetische Energie entsprechend der maximalen Ionisierung erteilenden Spannung Vp gehalten, Die richtige

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Gitterspannung kann experimentell bestimmt werden. In der Praxis kann die Pumpe mehr als ein träges Gas enthalten, z. B. Helium, Argon und Methan. In diesem Falle ist es durchaus möglich, und u. U. günstig, eine Optimierung der Pumpenleistung für jedes Gas getrennt und in einer bestimmten Reihenfolge vorzunehmen. Als Richtlinie zur Variierung der verschiedenen Parameter kann dabei die folgende, angenäherte Gleichung dienen:

~T - Ε*

worin V~ die Gitterspannung des Gitters 22, R der Radius des Pumpengehäuses 12, r der Radius des Gitters 22, T der durchschnittliche Sollwert der kinetischen Elektronenenergie, E . die gesamte Elektronenenergie und β die elektronische Ladung ist.

Die Anode 18 wird auf der für die gewünschte Sublimierungsgeschwindigkeit erforderlichen variablen Spannung gehalten. Durch das elektrostatische Feld zwischen dem Gehäuse und dem Gitter 22 wird eine Entkopplung von Gitter und Anode erreicht, Damit wird der Sublimierungsvorgang von der für die maximale Ionisierung erforderlichen Elektronenbahn getrennt, obwohl die Elektronen auch hier die doppelte Funktion der Ionisierung und der Sublimierung erfüllen. Der Einsatz getrennter

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elektrischer Felder macht es ausserdem möglich, auf der Anode eine grosse Menge Gettermaterial anzubringen, ohne wie in 'bekannten Ionengetterpumpen mit nur einem elektrischen Feld den Durchmesser der Anode vergrössern zu müssen und damit die Bahnlänge der umlaufenden Elektronen zu verkürzen. Eine weitere Verkürzung der Umlaufbahn in bekannten Pumpen wird durch die Verstärkung des elektrischen Felds verursacht, die wiederum zur Abgabe der erhöhten Leistung zur Aufheizung der grösseren Gettermenge erforderlich ist. Da erfindungsgemäss die Bedingungen der längen Elektronenbahnen und der Sublimierung getrennt sind, kann auf der Anode eine grosse Gettermenge angebracht und die Lebensdauer der Pumpe damit erheblich verlängert werden, ohne die Pumpgeschwindigkeit zu beeinträchtigen.

Für den Austausch der Glühkathode 33 der Elektronenschleuder 31 ist durch die Wand des Schleudergehäuses 34- ein Ventil geführt, und in derselben befestigt. Das Ventil 41 enthält einen mit der Mittelachse des Schleudergehäuses fluchtenden Durchlass 40, durch den die Kathode 33» der Fokussierbecher 35 und die Anode 37 geführt sind und durch den Stellbalg 46 in eine beliebige Lage zur Einlassöffnung 39 der Pumpe gebracht werden können. Die Kathode 33, der Fokussierbecher und die Anode 37 sind auf der Isolierbuchse 47 angeordnet, die ihrerseits auf dem Balg 46 befestigt ist. Durch die

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Buchse sind auch die Anschlüsse an die geeignete Spannungsquelle geführt. Brennt die Glühkathode 33 durch, so wird der Balg 46 zurückgezogen, das Ventil 41 geschlossen und das Pumpengehäuse damit abgedichtet, wobei der Ventilsitz die Öffnung 40 abdeckt. Die Kathode kann nun herausgenommen und ohne Beeinträchtigung des Vakuums ersetzt werden. Die Anordnung ermöglicht auch die Verstellung des Abstands zwischen Kathode 33 und Anode 37- Nach dem Austausch der Kathode 33 ψ kann das Schleudergehäuse vor dem öffnen des Ventils 41 und dem Ausziehen des Balgs 46 über die Öffnung 42 ausgepumpt werden. Das Ventil 42 ist entweder ein sehr kleines Ventil oder ein Abquetschrohr. Die Anordnung bedeutet eine weitere Verlängerung der Pumpe.

Durch die Kühlschlangen 45 wird das Gehäuse so stark gekühlt, dass eine nennenswerte Gasdesorption vor allem am Pumpengehäuse selbst nicht stattfindet.

In der erläuterten Anordnung laufen die Elektronen in einer langen Spiralbahn und die Elektronenschleuder verleiht ihnen eine achsiale Komponente; ferner ist die Elektronenschleuder zur besseren Isolierung ausserhalb vom Gehäuse 12 angebracht. Ein zufriedenstellender Pumpenbetrieb ist aber auch mit der Ausbildung der Figur 3 möglich. Hier sind zwei Glühkathoden 50 im unteren Ende des Pumpengehäuses befestigt und abgedichtet; ihre Vorspannung ist negativ zu dem Raumpotential» das

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sonst an der Kathodenstelle herrschen würde und positiv zu dem Gehäuse 10. Auch "bei dieser Ausbildung wird den Elektronen eine spiralförmige Bahn aufgezwungen, da die Kathoden 50 nahe dem Ende des Gehäuses angebracht sind, wo das Feld zwischen Gitter und Gehäuse eine achsiale Komponente besitzt und daher den Elektronen ein achsiales Bewegungsmoment aufzwingt .

In weiterer Ausgestaltung erfolgt z. B. der Elarfcroneneinschuss im der Anordnung der Figur 1 in der ir ar Figur 3 gezeigten Weise; hierzu wird die Anode 37 und der Fokussierbecher 35 weggelassen, während die Kathode 33 an einer Stelle i» GeJiätise 12 angeordnet w:?.r-d_? an der das positive Potential des ersten, elektrostatischen Felds als Anode wirkt und die Elektronen, von der Kathode 33 abzieht.

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Claims (9)

1. Jt

   Patentansprüche

   l^Ionengetter-Vakuumpumpe, in der die in einem vakuumdichten Gehäuse "befindlichen Gasmoleküle durch umlaufende Elektronen ionisiert und durch sublimiertes Gettermaterial zugedeckt werden, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Gehäuse (12) und einer mit einem Gettermaterial (20) versehene Anode (18) ein Gitter (22) angeordnet ist, eine Elektronenschleuder oder dergleichen Elektronen in den Raum zwischen

   ψ dem Gitter und dem Gehäuse einschiesst, die dort mit den Gasmolekülen kollidieren und diese ionisieren, durch geeignete Mittel zwischen dem Gitter und dem Gehäuse ein erstes elektrostatisches Feld aufgebaut wird, das die Elektronen an das
   Gitter und die ionisierten Gasmoleküle an das Gehäuse zieht, und durch weitere geeignete Mittel zwischen dem Gitter und der Anode ein zweites elektrostatisches Feld aufgebaut wird, das die eingeschossenen Elektronen beschleunigt und auf das Gettermaterial schiesst, so dass dieses auf der Innenfläche

   fc des Pumpengehäuses sublimiert wird.

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2. 2. Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Anspruch 1, gekennzeichnet durch Mittel zur Einstellung der anfänglichen kinetischen Energie der Elektronen und Mittel zur Anpassung des ersten elektrostatischen Felds an ein Niveau, das die kinetische Energie der Elektronen auf eine dem maximalen Ionisierungsquerschnitt der Gasmoleküle entsprechende Höhe einstellt.
3. 3· Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste elektrostatische Feld auf einem unter dem zweiten elektrostatischen Feld liegenden Potentialgefälle gehalten wird und Mittel zur Einstellung des zweiten Felds auf die der optimalen Sublimierung des Gettermaterials durch die Elektronen entsprechende Höhe vorgesehen sind.
4. 4. Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste elektrostatische Feld mit einer zylindrischen Symmetrie um das Gitter mit einer langgestreckten, radialen, die Elektronen zum Gitter und die ionisierten Gasmoleküle zur Gehäusewand hinziehenden Mittelzone und einer die Elektronen zu dieser Mittelzone hinziehenden, an dieser anliegenden Endzone mit radialen und achsialen Komponenten aufgebaut wird.

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5. 5. Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse zylindrisch ist und die Elektronenschleuder so angeordnet ist, dass die Elektronen in tangentialer und teilweise achsialer Richtung in das Gehäuseinnere eingeschossen werden.
6. 6. Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Ansprüchen 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenschleuder ausserhalb vom Gehäuse (12) angeordnet ist,
7. 7. Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Ansprüchen 1-5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenschleuder eine herausnehmbare Glühkathode (33) sowie Mittel zum Abdichten des Pumpengehäuses zur Herausnahme der Glühkathode enthält.
8. 8. Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, dass die Abdichtung aus einem Ventil (41) besteht.
9. 9. Ionengetter-Vakuumpumpe gemäss Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass das die Glühkathode enthaltende Gehäuse über eine Ventilöffnung (42) ausgepumpt werden kann.

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