DE20116416U1 - Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten mit Seitenblenden - Google Patents

Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten mit Seitenblenden

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Description

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Claims (27)

1. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten, dadurch ge­ kennzeichnet, daß sie einen oder mehrere Emitter (1) zur Emission elektromagnetischer Wellen (6) im Wellenlängen­ bereich von 200 nm bis 10000 nm, einen oder mehrere Re­ flektoren (2) zur direkten und/oder indirekten Ausrich­ tung der von dem oder den Emittern (1) abgegebenen elek­ tromagnetischen Strahlung (6) auf ein zu erwärmendes Substrat (5) und eine oder mehrere starre oder verstell­ bare Blenden (3) für die von dem oder den Emittern (1) und/oder dem oder den Reflektoren (2) gegebenenfalls in Richtung des zu erwärmenden Substrates (5) abgegebene elektromagnetische Strahlung (6), umfaßt.
2. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach An­ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die in Richtung des oder der Emitter (1) und/oder in Richtung des oder der Reflektoren (2) weisenden Abschnitte der Blenden (3) eine glatte oder konvex oder konkav oder po­ lygonal gewölbte und eine zumindest abschnittsweise glänzende oder verspiegelte Oberfläche aufweisen, um die von dem oder den Emittern (1) und/oder von dem oder den Reflektoren (2) und/oder von der oder den Blenden (3) abgestrahlte Streustrahlung einzufangen und unmittelbar oder mittelbar über einen oder mehrere Reflektoren (2) und/oder weitere Blenden (3) auf das zu erwärmende Sub­ strat (5) in einem hinsichtlich der Energieverteilung weitgehendst homogenen Strahl zu bündeln.
3. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die frei wählbare oder fest einstell­ bare Breite des erzeugten, hinsichtlich der Energiever­ teilung weitgehendst homogenen Strahles im Bereich von 0,1 mm bis 150 mm, vorzugsweise im Bereich von 1 mm bis 100 mm, insbesondere im Bereich von 4 mm bis 60 mm liegt, während die frei wählbare oder fest einstellbare Länge des erzeugten, hinsichtlich der Energieverteilung weitgehendst homogenen Strahles im Bereich von 0,1 mm bis 10 m, vorzugsweise im Bereich von 10 mm bis 8 m, insbesondere im Bereich von 20 mm bis 6 m, liegt.
4. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach An­ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die eine oder meh­ reren Blenden (3) hinsichtlich ihrer Lage und/oder Aus­ richtung derart verstellbar ausgestaltet sind, daß sie zumindest etwas in den Strahlengang (7) zwischen dem oder den Reflektoren (2) und dem zu erwärmenden Substrat (5) hineinragen.
5. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die mindestens eine Blende (3) ver­ schiebbar und/oder verschwenkbar ist, wobei durch die Verstellung der Querschnitt des Strahlenganges (7) vari­ iert wird.
6. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Verstellung der mindestens einen Blende (3) mechanisch und/oder elektrisch und/oder hy­ draulisch und/oder pneumatisch erfolgt.
7. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur Regelung der Durchlaßbreite des Strahlenganges (7) in Längsrichtung des Strahlenganges (7) zwei oder mehrere Blenden (3) hintereinander ange­ ordnet sind, wobei diese Blenden (3) abhängig oder unab­ hängig voneinander verstellbar sind, und wobei der Strahlendurchlaß vorzugsweise beidseitig durch paarweise vorhandene Blenden (3) begrenzt wird.
8. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Verstellung von paarweise vorhan­ denen Blenden (3) synchron oder asynchron für jeweils mindestens ein Paar gegenüberliegender Blenden (3) er­ folgt.
9. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine oder mehrere Blenden (3) eine va­ riable Geometrie aufweisen.
10. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Blenden (3) derart zumindest etwas innerhalb des oder der Strahlengänge (7) des oder der Reflektoren (2) starr oder hinsichtlich ihrer Positio­ nierung und/oder Ausrichtung verstellbar vorgesehen sind, daß zumindest ein Teil der von dem oder den Emit­ tern (1) abgegebenen Strahlung (6) auf seinem Weg zu dem zu erwärmenden Substrat (5) Mehrfachreflexionen an der oder den Blenden (3) und/oder zwischen den Blenden (3) und/oder zwischen der oder den Blenden (3) und dem oder den Reflektoren (2) erfährt.
11. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß einer oder mehrere der Reflektoren (2) als Polygonzüge ausgebildet sind und somit jeweils einen polygonalen Querschnitt aufweisen.
12. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß einer oder mehrere der Reflektoren (2) eine verstellbare Geometrie aufweisen.
13. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß einer oder mehrere Reflektoren (2) hinsichtlich ihrer Lage und/oder Ausrichtung verstellbar sind, wobei die Verstellung mechanisch und/oder elek­ trisch und/oder hydraulisch und/oder pneumatisch er­ folgt.
14. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Farbtemperatur des oder der Emit­ ter (1) mindestens 2300 Grad Kelvin beträgt.
15. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der mindestens eine Emitter (1) über Steckverbindungen fixiert ist und an seinen Aufnahme­ punkten hinsichtlich seiner Lage und/oder seiner Aus­ richtung verstellt werden kann.
16. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der mindestens eine Emitter (1) in der Neigung und/oder in der Horizontalen und/oder in der Vertikalen und/oder parallel zu seiner Längsachse ver­ stellbar ausgeführt ist.
17. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der mindestens eine Emitter (1) eine thermosensitive Abschaltung aufweist.
18. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß im Strahlengang (7) ein oder mehrere Strahlenteiler angebracht sind.
19. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß sie einen oder mehrere auf das zu er­ wärmende Substrat (5) gerichtete Luftkanäle zur Zufüh­ rung von Frischluft und/oder temperierter Luft und/oder eines anderen gasförmigen, temperierten Mediums umfaßt, um das zu erwärmende Substrat (5) hiermit zu temperieren und/oder um eine Trocknung des Substrates (5) zu unter­ stützen.
20. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß sie einen oder mehrere Luftkanäle zur Abfuhr der zuvor zugeführten Frischluft, temperierten Luft oder gasförmigen, temperierten Mediums und/oder zur Abfuhr eines die erfindungsgemäße Vorrichtung durchströ­ menden gasförmigen Kühlmittels umfaßt.
21. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Volumen und/oder die Strömungsge­ schwindigkeit und/oder die Temperatur des durch den oder die Luftkanäle zu- oder abgeführten Stromes an gasförmi­ gem Medium regelbar oder steuerbar sind.
22. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß in den Luftkanal gegebenenfalls über eine Düse mit starrem oder regulierbarem Querschnitt Frischluft oder temperierte Frischluft und/oder durch den Prozeß temperierte Luft einströmt.
23. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Erwärmung von Sub­ straten (5) gegenüber dem zu erwärmenden Substrat (5) hinsichtlich ihrer Position und/oder Ausrichtung verän­ derbar vorgesehen ist.
24. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Substrat (5) gegenüber der Vor­ richtung zur Erwärmung von Substraten (5) hinsichtlich seiner Position und/oder Ausrichtung veränderbar ist.
25. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der oder die Emitter (1) derart ge­ steuert oder geregelt sind, daß sie nicht kontinuier­ lich, sondern in Abhängigkeit von dem Erreichen einer zur Bestrahlung geeigneten Position des Substrates (5) und/oder der Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten (5), getaktet elektromagnetische Wellen emittieren.
26. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß jeder Reflektor (2) und/oder jede Blende (3) über eine oder mehrere Kühlrippen (4) und/oder eine oder mehrere Aussparungen (8) zur Durchleitung eines flüssigen oder gasförmigen Kühlmit­ tels umfaßt.
27. Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Strahlungsleistung jedes Emitters (1) in Abhängigkeit von der Oberflächentemperatur des Substrates (5) steuerbar und/oder regelbar ist.
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