DE20106831U1 - Vorrichtung zur Feinpositionierung - Google Patents

Vorrichtung zur Feinpositionierung

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    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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    • G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G—PHYSICS
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    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Claims (10)

1. Vorrichtung zur Feinpositionierung mit einem Doppelparallelfeder-Element, das einen Rahmen, zwei Seitenbalken und einen Mittelbalken aufweist, wobei der Mittelbalken über mindestens je zwei Biegesteege beweglich an den Seitenbalken befestigt ist, die über mindestens je zwei weitere Biegestege beweglich an dem Rahmen befestigt sind, dadurch gekennzeichnet, dass ein Antriebselement vorgesehen ist, das über einen Hebelmechanismus den Mittelbalken bewegt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Doppelparallelfeder-Element einstückig gefertigt ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ein Federelement und/oder ein Dämpfungselement aufweist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebselement mindestens ein Piezoelement beinhaltet.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das der Hebelmechanismus mindestens ein Gelenk beinhaltet.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das der Hebelmechanismus ein Kreuzfedergelenk beinhaltet.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Hebelmechanismus eine Übersetzung von 1 zu 5 aufweist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebselement primär eine im Wesentlichen senkrecht zum Mittelbalken angeordnet ist.
9. Autofokussystem, dadurch gekennzeichnet, dass das Autofokussystem eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, beinhaltet.
10. Koordinaten-Meßgerät, dadurch gekennzeichnet, dass das Koordinaten-Meßgerät eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, beinhaltet.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10248426A1 (de) * 2002-10-17 2004-05-06 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Linearschrittmotor
DE102011121928B4 (de) * 2011-08-01 2015-03-05 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Anordnung zum Betreiben eines dynamischen Nanofokussiersystems
EP3428708A1 (de) * 2017-07-10 2019-01-16 FZMB GmbH Forschungszentrum für Medizintechnik und Biotechnologie Vorrichtung zur bewegung eines optischen elements entlang der optischen achse eines mikroskops

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10248426A1 (de) * 2002-10-17 2004-05-06 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Linearschrittmotor
DE102011121928B4 (de) * 2011-08-01 2015-03-05 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Anordnung zum Betreiben eines dynamischen Nanofokussiersystems
US9557518B2 (en) 2011-08-01 2017-01-31 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Method and arrangement for operating a dynamic nano focusing system
EP3428708A1 (de) * 2017-07-10 2019-01-16 FZMB GmbH Forschungszentrum für Medizintechnik und Biotechnologie Vorrichtung zur bewegung eines optischen elements entlang der optischen achse eines mikroskops

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