DE2005565B2 - Als gedruckte schaltung ausgefuehrte schalterplatte und verfahren zur herstellung derselben - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine als gedruckte Schaltung ausgeführte, kompakt aufgebaute, durch Einstecken mit zugeordneten Anschlüssen und Schaltungen verbindbare Schalterplatte und ein Verfahren zur Herstellung derselben.

Auf zahlreichen Gebieten der Elektronik ist es üblich, Schalterplatten zur Durchführung verschiedener Operationen bzw. Arbeitsgänge zu verwenden. Die bisher verwendeten Schalterplatten besaßen jedoch beträchtliche Größe und verwendeten mechanische Tasten mit erheblichem Aufwand an Hebeln und Gestängen. Obgleich derartige Vorrichtungen ihre vorgesehene Aufgabe zu erfüllen vermögen, haben sie sich nicht unter allen Betriebsbedingungen als zufriedenstellend erwiesen, da bei den meist komplizierten mechanischen Anordnungen häufig Ermüdungsbrüche und Deformierungen auftreten und daher periodische Instandsetzung oder Austausch erforderlich sind. Zudem war nach der Einführung der Rechneranlagen und im Hinblick auf die Bestrebungen, zur Miniaturbauweise überzugehen, die Verwendung von vergleichsweise sperrigen mechanischen Schalterplatten nicht zufriedenstellend. Außerdem kennzeichen sich die mechanischen Schalterplatten häufig durch Kontaktprellen und erfordern mithin die Konstruktion von zusätzlichen Schaltungen zur Kompensierung dieses Zustands, wenn jeweils nur eine einzige Betätigung einer Schaltung gewünscht wird, beispielsweise beim Fortschalten eines Rechners durch ein Programm. Neben dem Erfordernis für die Anordnung von Kompensierschaltungen kann dieses Kontaktprellen bei den mechanischen Schalterplatten ein Sicherheitsproblem aufwerfen, da ein spezielles Kontaktsprung-Merkmal sowohl die Identifizierung einer speziellen Schalterplatte ermöglichen könnte als auch zum Abbrennen der Kontakte führen kann.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht

darin, eine als gedruckte Schaltung aulgebaute Schalterplatte zu schaffen, die besonders kompakt und in besonders dünner Bauweise ausgeführt werden kann.

Die Lösung dieser Aufgabe kennzeichnet sich erfindungsgemäß durch eine flache Grundschicht aus elektrisch isolierendem Material mit daran befestigten, Abstand voneiander besitzenden, elektrisch leitfähigen Polstern, mehrere an der Grundschicht befestigte und mit den betreffenden Polstern in elektrischem Kontakt stehende leitfähige Elemente, ein auf ausgewählte Bereiche gewisser Polster aufgebrachtes druckempfindliches Material, dessen elektrischer Widerstand sich umgekehrt mit dem auf dasselbe ausgeübten Druck ändert, eine an der Grundschicht befestigte. Abstand von den Polstern und leitfähigen Elementen besitzende Leiterschichi und eine mit der Leiterschicht in elektrischem Kontakt stehende, über dem druckempfindlichen Material liegende und damit in Kontakt stehende elektrisch leitfähige Schicht, wobei die Leiterschicht und die leitfähigen Elemente elektrisch mit den Anschlüssen und zugeordneten Schaltungen kuppelbar sind.

Durch Anlegen eines Druckes an die über dem Polster befindliche leitfähige Schicht wird der elektrische Widerstand des auf dem Polster befindlichen Materials herabgesetzt, so daß Strom zwischen der Leiterschicht und dem betreffenden, dem genannten Polster zugeordneten leitfähigen Element fließen und die zugeordnete Schaltung betätigen kann.

Durch den erfindungsgemäßen Aufbau der Schalterplatte lassen sich dicht nebeneinander angeordnete elektrische Schalter realisieren, die eine äußerst kompakte Bauweise besitzen und insbesondere sehr dünn ausgeführt werden können, wobei darüber hinaus auch keinerlei mechanische Elemente mehr vorhanden sind.

Besonders zweckmäßige Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Schalterplatte ergeben sich aus den Ansprüchen 2 bis 9.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung einer als gedruckte Schaltung aufgebaute Schalterplatte der erfindungsgemäßen Art, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß zunächst eine elektrisch leitfähige Fläche auf einer isolierenden Grundschicht ausgebildet und mit dieser verbunden wird, sodann die leitfähige Fläche selektiv abgetragen wird, um ein Muster von leitfähigen Polstern und Leitungszügen auszubilden, hierauf die durch das Abtragen gebildeten Hohlräume mit einem Isoliermaterial ausgefüllt werden, danach die Leitungszüge und die leitfähigen Polster selektiv und teilweise abgetragen werden, woraufhin die so ausgebildeten Hohlräume über den leitfähigen Polstern mit einem leitfähigen Material, dessen spezifischer Widerstand dem angelegten Druck umgekehrt proportional ist, zumindest teilweise ausgefültt werden und die verbleibenden Hohlräume über den Leitungszügen mit einem Isoliermaterial ausgefüllt werden und schließlich eine leitfähige Schicht über das leitfähige Material und die Leitungszüge aufgebracht wird, um eine elektrische Verbindung zwischen dem leitfähigen Material und den freiliegenden Leitungszügen, die beim zweitgenannten Abtragen nicht selektiv abgetragen worden sind, herzustellen.

Dieses Verfahren kann zweckmäßig noch dadurch weiter ausgestaltet werden, daß weiterhin ein elektrischer Anschluß an der isolierenden Grundschicht angebracht wird und die Kontakte des Anschlusses elektrisch mit ausgewählten Leitungszügen verbunden werden.

Auch kann das Abtragen unter Verwendung eines Photomaskenmusters und durch Säureätzung erfolgen. > Als leitfähiges Material kann zweckmäßig ein druckempfindlicher Lack verwendet werden.

Eine derart hergestellte Schalterplatte benötigt beispielsweise an ihrer Rückseite keinen zusätzlicheis Einbauraum und kann unmittelbar in zugeordnete

ίο Steckverbindungen und Schaltungen eingesteckt werden.

Durch die erfindungsgemäße Konstruktion wird auch in vorteilhafter Weise jegliches Kontaktprellen vermieden, wodurch das Verschmoren der Kontakte sowie durch Funken entstehende Hochfrequenzstörungen vermieden werden.

Auch ergibt sich der weitere besondere Vorteil, daß die Herstellungskosten sowie die Wartungskosten und der Wartungsaufwand bei einer Schalterkonstruktion nach der Erfindung auf ein bisher nicht erreichbare! Minimum gesenkt werden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen unter Hinweis auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine teilweise gebrochene Aufsicht auf eine Schalterplatte mit den Merkmalen der Erfindung,

Fig.2 eine Schnittdarstellung der Schalterpiatte längs der Linie 2-2 in Fig. 1, in Richtung der Pfeile gesehen,

F i g. 3 schematische Darstellungen der Arbeitsgänge bei der Herstellung der Schalterplatte und

Fig.4 eine Aufsicht auf die Schalterplatte bei entfernten oberen Materialschichten.
Gemäß den Zeichnungen, in denen einander gleiche oder entsprechende Teile mit jeweils gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind, weist die erfindungsgemäße Schalterplatte eine insbesondere in Fig. 1 und 2 näher dargestellte isolierende Grundschicht 10 auf, mit welcher in gitterartiger Anordnung eine Leiterschicht 12 verbunden ist, die auf beliebige bekannte Weise auf der Grundschicht 10 ausgebildet und mit einer Vielzahl von Zwischenräumen 14 versehen ist, in denen eine Anzahl von leitfähigen Polstern 16 vorgesehen ist. Diese Polster sind auf gleiche Weise wie die gitterartige Sammelschiene 12 mit der isolierenden Grundschicht 10 verbunden, beispielsweise verklebt. Mit jedem leitfähigen Polster ist jeweils ein leitfähiges Element 18 elektrisch verbunden, welches sich durch die Grundschicht 10 hindurch zu deren Unterseite und von da zu den zugeordneten Anschlüssen und nicht dargestellten Schaltungen erstreckt, bei welchen die Tastenplatte eingesetzt werden soll. Jedes der leitfähigen Elemente 18 ist auf bekannte Weise mit der Unterseite der Grundschicht 10 verbunden.

Jedes der leitfähigen Polster 16 ist mithin durch die Zwischenräume 14 von der zugehörigen Leiterschicht 12 getrennt, so daß die Polster unter Normalbedingungen von der Sammelschiene elektrisch isoliert sind. Auf die Oberseiten 28 der leitfähigen Polster 16 ist eine Schicht 20 eines druckempfindlichen Materials aufgebracht, das sich durch einen spezifischen Widerstand kennzeichnet, der sich umgekehrt wie der an das Material angelegte Druck verhält. Im allgemeinen besitzt ein dünnerer Überzug einen niedrigeren Widerstand bei einer vorgegebenen Kraft als ein dickerer Überzug, während eine größere Kontaktfläche einen niedrigeren Widerstand besitzt als eine kleinere Kontaktfläche. Der soeziiische Widerstand der Lack-

schicht hängt daher von der Fläche, der Dicke und der Giröße der Kontaktfläche ab. Wie erwähnt, können auch andere druckempfindliche Stoffe verwendet werden, beispielsweise kohlenstoffimprägnierte Gummistoffe, miit iekfähigen Teilchen imprägnierte Fasern, mit leitfähigen Stoffen oder feinverteiltem oder granuliertem Kohlenstoff imprägnierte Schaumstoffe.

Der druckempfindliche Lack 20 wird beim Ausführungsbeispiel als Schicht aufgetragen und haftet fest auf jedem der leitfähigen Polster 16. Nach dem Aufbringen der Farbe wird eine leitfähige Schicht 22 über die ganze Platte hinweg aufgebracht, wobei mindestens ein Abschnitt der Schicht 22 mit der Leiterschicht 12 in elektrischem Kontakt steht. Über die Schicht 22 wird eine Isolierschicht 24 aus Kunststoff od. dgl. Material aufgebracht, die mit der leitfähigen Schicht 22 verbunden, beispielsweise verklebt wird. Hierauf werden entsprechende Symbole 26 zur Identifizierung der Tasten der einzelnen Schalter mit den zugeordneten leitfähigen Polstern 16 fluchtend an der Isolierschicht 24 angebracht. In abgewandelter Ausführungsform braucht die Isolierschicht nicht vorgesehen zu sein, sondern können die Kennzeichnungsstücke unmittelbar auf die leitfähige Schicht 22 aufgebracht werden.

Falls es gewünscht wird, die Schalterplatte insgesamt abzuschirmen und hierdurch Sicherheit gegen unerwünschte Strahlung zu gewährleisten, kann eine nicht dargestellte Lage Isoliermaterial über die leitfähigen Elemente 18 an die Unterseite der Grundschicht 10 gelegt und kann die leitfähige Schicht 22 so erweitert werden, daß sie die Schalterplatte vollständig umschließt und die nötige Abschirmung gewährleistet.

Im Betrieb der beschriebenen, als gedruckte Schaltung ausgeführten Schalterplatte wird diese zunächst in die entsprechenden Stecker eingesteckt und mit den zugeordneten Schaltungen verbunden. Jeder der Leiter 18 gelangt hierbei in Verbindung zur nicht dargestellten zugeordneten Schaltung, wie dies für den Leiter 18' dargestellt ist, welcher der Leiterschicht 12 zugeordnet und mit dieser elektrisch verbunden ist. Wenn eine Bedienungsperson eine bestimmte der einem speziellen leitfähigen Element 18 zugeordneten Schaltungen zu aktivieren wünscht, wird die entsprechende Tastenposition gedrückt, und durch normalen Fingerdruck auf die Oberseite des betreffenden Symbols und damit auf die druckempfindliche Schicht 20 wird eine Herabsetzung des Widerstands der Schicht 20 und damit eine Herabsetzung des Widerstands zwischen der Sammelschiene 12 und dem ausgewählten, unter dem betreffenden Symbol gelegenen Polster 16 bewirkt. Der Widerstand der Schicht 20 kann ohne Druckanlegung beispielsweise etwa 200 kQ betragen und sich bei Ausübung normalen Fingerdrucks durch den Operator auf etwa 10 Ω verringern. Ein zur Verwendung bei integrierten Rechnerschaltungen zufriedenstellender Widerstandsbeieich kann zwischen 300 Ω bei gedruckter Taste und 5000 Ω bei nicht gedruckter Taste variieren. Diese Widerstandsminderung ermöglicht einen Stromfluß zwischen der Sammelschiene 12 und dem unter dem durch den Operator gewählten Symbol befindlichen leitfähigen Polster 16. Hierdurch wird auch ein Stromfluß zwischen dem Leiter 18' und dem dem ausgewählten leitfähigen Polster 16 zugeordneten Leiter 18 ermöglicht, wodurch die Funktion des Schalters erfüllt wird. Wie erwähnt, kann der spezifische Widerstand der Schicht 20 eines druckempfindlichen Materials durch die verwendete Matcrialmengc u.dgl. gesteuert werden, so daß der zur Änderung des Widerstands erforderliche Druck ebenfalls je nach dei Applikation der Schalterplatte variiert werden kann.

Fig.3 veranschaulicht eine Reihe von Fertigungs schritten bei der Herstellung einer erfindungsgemäßei Schalterplatte. Die Schnittansichten von Fig.3 sine längs der Linie 3-3 in Fig.4 geführt. Beim erster Verfahrensschritt gemäß F i g. 3 wird eine Isolierplatt« 3011 verwendet, mit welcher eine leitfähige Schicht 3Oi verbunden, beispielsweise verklebt wird. Das Verbindet

ίο kann nach einem für die Herstellung von gedruckter Schaltungen bekannten Galvanisierverfahren erfolgen Der Verfahrensschritt 2 zeigt dieselbe Isolierplatte 301 mit der leitfähigen Schicht 302, nachdem letzter« teilweise weggeätzt oder galvanisch abgetragen worder ist. Der Verfahrensschritt 3 veranschaulicht die Platt« nach Verfahrensschritt 2, nachdem die ausgeätzter Hohlräume mit einem Isoliermaterial 303, wie ζ. Β Epoxyharz, ausgefüllt worden sind.

Der Verfahrensschritt 4 zeigt eine weitere teilweis« Ausätzung der leitfähigen Schicht 302, wobei jedoch dei die Außenkante bildende Leiter 302a bei dieserr Verfahrensschritt nicht geätzt wird. Der Verfahrensschritt 5 zeigt die bei Schritt 4 entstandener Polster-Hohlräume nach dem Ausfüllen mit einen· leitfähigen Material der beschriebenen Art, desser spezifischer Widerstand sich umgekehrt proportional zu dem auf seine Oberfläche ausgübten Druck ändert. Die Tiefe des Abtragens beim Verfahrensschritt 4 wird so gesteuert, daß sich beim Schritt 5 eine solche Dicke des leitfähigen Materials 304 ergibt, welche einen Widerstand gewährleistet, wie er für die betreffenden, ir Verbindung mit dem Endprodukt verwendeten elektronischen Schaltungen gewünscht wird. Die beim Verfahrensschritt 4 über dem verbleibenden leitfähigen Material ausgebildeten Hohlräume werden mit einem Isoliermaterial, wie Epoxyharz, ausgefüllt. Dieses zurückbleibende leitfähige Material bildet schließlich die Leitungszüge zwischen den leitfähigen Polstern und dem Anschluß an der einen Kante der fertigen Schalterplatte.

Der Verfahrensschritt 6 zeigt die Aufbringung einer leitfähigen Fläche 305 über die ganze Schalterplatten-Oberfläche. Die leitfähige Fläche 305 ist elektrisch mit dem Leiter 302a verbunden und steht auch über einen durch das leitfähige Material 304 gebildeten Stromkreis mit den Leitern 302 bzw. der leitfähigen Schicht in Verbindung.

Bei einem wahlweise anwendbaren Verfahrensschritt 7 wird eine weitere Isolierschicht 308 über der Fläche 305 auf die gesamte Oberfläche aufgebracht. Die Schicht 308 enthält die identifizierenden Symbole für die unter ihr liegenden Polster oder kann zusätzlich einen weiteren Isolator bzw. eine elektrische Abschirmung für die inneren Bauteile bilden.

F i g. 4 ist eine Aufsicht auf die nach den Verfahrensschi itten gemäß Fig.3 hergestellte Schalterplatte, wobei die Polster aus dem leitfähigen Material 304 und die Leitungszüge der gedruckten Schaltung nur *u Darstellungszwecken freigelegt sind. Bei der dargestell-

ten Ausführungsform erstreckt sich der Leiter 302a um die Außenkante der Schalterplatte herum und ist elektrisch mit einem Stecker-Stift 402 verbunden. Jedes der leitfähigen Polster 304 ist einzeln mit einem eigenen Stecker-Stift verbunden, wobei die Schalterplatte so

ausgelegt ist, daß sie zur Herstellung einer Verbindung mit anderen, nicht dargestellten äußeren Schaltungen in einen Steckanschluß eingesteckt werden kann.
Die Erfindung schafft mithin eine äußerst kostenspa-

rende, als gedruckte Schaltung aufgebaute Schalterplatte, die unmittelbar durch Einstecken mit den durch sie zu betätigenden Schaltungen verbindbar ist. Die erfindungsgemäße Schalterplatte ist klein und kompakt aufgebaut, so daß die Notwendigkeit für den häufig beträchtlichen Einbau-Raum wegfällt, wie er von den derzeitigen mechanischen Schalterplatten benötigt wird. Die erfindungsgemäße Schalterplatte besitzt zudem robuste Konstruktion, so daß die Notwendigkeit für häufiges Warten oder Auswechseln fortfällt.

Selbstverständlich sind innerhalb des Rahmens der Erfindung gewisse Änderungen und Abwandlungen der dargestellten und beschriebenen Ausführungsform möglich. Beispielsweise könnte eine erfindungsgemäße Schalterplatte mit Beleuchtung der Tasten von der Rückseite der Plattenoberl'läche her ausgebildet sein, indem jedes Tastenpolster ringwulstförmig ausgebildet wird. Bei dieser Ausführungsform könnten die Tastensymbole auf eine durchsichtige oder halbdurchsichtige Lage aufgedruckt werden, wobei eine hinter der Schalterplatte angeordnete Lampe eingeschaltet werden könnte, um die Tastensymbole durch das ringwulstförmige Polster hindurch zu beleuchten.

Zusammenfassend schafft die Erfindung mithin eine Schalterplatte außerordentlich kompakter Größe und Dicke, bei welcher eine Sammelschiene normalerweisi elektrisch von jeder einzelnen einer Anzahl vor getrennten Schaltungen mittels eines druckempfindli chen Materials isoliert ist, das sich durch einer spezifischen Widerstand kennzeichnet, der sich umge kehrt mit der Größe des an dieses Material angelegter Drucks ändert. Ein elektrischer Stromkreis zwischer der Sammelschiene und einer der getrennten Schaltungen kann dadurch geschlossen werden, daß eine

ίο Bedienungsperson auf einen ausgewählten Bereich dei Schalterplatte einen Druck ausübt. Die Schalterplatte isl außerdem durch Einstecken in zugeordnete Anschlußstecker unmittelbar mit zugeordneten Schaltunger verbindbar.

Obgleich vorstehend nur eine einzige bevorzugte Ausführungsform der Erfindung dargestellt und beschrieben ist, sind dem Fachmann selbstverständlich zahlreiche Änderungen und Abwandlungen möglich, ohne daß der Rahmen der Erfindung verlassen wird. Aus diesem Grund soll die Erfindung alle innerhalb des erweiterten Schutzumfangs liegenden Änderungen und Abwandlungen, insbesondere Kombinationen und Unterkombinationen aller offenbarten Merkmale, mit einschließen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Als gedruckte Schaltung ausgeführte, kompakt aufgebaute, durch Einstecken mit zugeordneten Anschlüssen und Schaltungen verbindbare Schalterplatte, gekennzeichnet durch eine flache Grundschicht (10) aus elektrisch isolierendem Material mit daran befestigten, Abstand voneinander besitzenden, elektrisch leitfähigen Polstern (16), mehrere an der Grundschicht (10) befestigte und mit den betreffenden Polstern (16) in elektrischem Kontakt stehende leitfähige Elemente (18), ein aiii ausgewählte Bereiche gewisser Polster (16) aufgebrachtes druckempfindliches Material (20), dessen elektrischer Widerstand sich umgekehrt mit dem auf dasselbe ausgeübten Druck ändert, eine an der Gnindschicht (10) befestigte, Abstand von den Polstern (16) und leitfähigen Elementen (18) besitzende Leiterschicht (22) und eine mit der Leiterschicht (22) in elektrischem Kontakt stehende, über dem druckempfindlichen Material (20) liegende und damit in Kontakt stehende elektrisch leitfähige Schicht (22), wobei die Leiterschicht (22) und die leitfähigen Elemente (18) elektrisch mit den Anschlüssen und zugeordneten Schaltungen koppelbar sind.

2. Schalterplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das druckempfindliche Material (20) ein druckempfindlicher Lack ist.

3. Schalterplatte nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Leiter (18) ein an der Grundschicht (10) befestigtes, einer gedruckten Schaltung entsprechendes Muster aufweisen.

4. Schalterplatte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine die leitfähige Schicht (22) bedeckende und mit dieser verbundene Isolierschicht (24) vorgesehen ist.

5. Schalterplatte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Widerstand zwischen einer Sammelschiene (18') der Schalterplatte und jedem der leitfähigen Elemente (18) jeweils zwischen einem Wert von 5000 Ω ohne Druck und einem Wert von 300 Ω bei auf das druckempfindliche Material ausgeübtem Druck variabel ist.

6. Schalterplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähigen Elemente (18) an der von der Seite, an welcher die leitfähigen Polster (16) angebracht sind, abgewandten Seite an der flachen Grundschicht (10) befestigt sind.

7. Schalterplatte nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterschicht (12) gitterartige Konfiguration besitzt.

8. Schalterplatte nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundschicht(lO) aus Glas besteht.

9. Schalterplatte nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der leitfähigen Schicht (22) über bestimmten Polstern (16) ausgewählte Symbole befestigt sind.

10. Verfahren zur Herstellung einer als gedruckte Schaltung aufgebauten Schalterplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine elektrisch leitfähige Fläche auf einer isolierenden Grundschicht ausgebildet und mit dieser verbunden wird, sodann die leitfähige Fläche selektiv abgetragen wird, um ein Muster von leitfähigen Polstern und Leiiungszügen auszubilden, hierauf die durch das Abtragen gebildeten Hohlräume mit einem Isoliermaterial ausgefüllt werden, danach die Leitungszügi und die leitfähigen Polster selektiv und teilweisf abgetragen werden, daraufhin die so ausgebildeter Hohlräume über den leitfähigen Polstern mit einen leitfähigen Material, dessen spezifischer Widerstanc dem angelegten Druck umgekehrt proportional ist zumindest teilweise ausgefüllt werden und die verbleibenden Hohlräume über den Leitungszüger mit einem Isoliermaterial ausgefüllt werden unc schließlich eine leitfähige Schicht über das leitfähige Material und die Leiiungszüge aufgebracht wird, um eine elektrische Verbindung zwischen dem leitfähigen Material und den freiliegenden Leitungszügen die beim zweitgenannten Abtragen nicht selektiv abgetragen worden sind, herzustellen.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin ein elektrischer Anschluß an der isolierenden Grundschicht angebracht wird und die Kontakte des Anschlusses elektrisch mit ausgewählten Leitungszügen verbunden werden.

12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Abtragen unter Verwendung eines Phoiomaskenmusters und durch Säureätzung erfolgt.

13. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß als leitfähiges Material ein druckempfindlicher Lack verwendet wird.