DE19955187B4 - Procedure for leak detection - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Leckdetektion in Über- beziehungsweise Unterdruckeinrichtungen mittels Messungen von Gasanteilsänderungen, insbesondere mittels eines Sensors zur Erfassung des Gaspartialdrucks, wobei der Sensor ein miniaturisiert ausgeführter und in ein eigenes Gehäuse integrierter Sauerstoffsensor ist, mit folgenden Schritten:
a. Erfassen des Anstiegs des Sauerstoffanteils in der Umgebung der Über- beziehungsweise Unterdruckeinrichtungen;
b. Bei Nachweis des Anstiegs des Sauerstoffanteils Abdecken der leckverdächtigen Stellen nacheinander mit mit einer Testflüssigkeit getränktem Gewebe;
c. Erfassen des Sauerstoffanteils und Anzeige eines Lecks falls sich der Sauerstoffanteil ändert.Method for detecting leaks in overpressure or underpressure devices by means of measurements of gas component changes, in particular by means of a sensor for detecting the gas partial pressure, the sensor being a miniaturized oxygen sensor integrated in a separate housing, comprising the following steps:
a. Detecting the increase in the oxygen content in the vicinity of the overpressure or vacuum devices;
b. Upon detection of the increase in the oxygen content Covering the suspected leak sites successively with tissue soaked with a test liquid;
c. Detecting the oxygen content and indicating a leak if the oxygen content changes.

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Leckdetektion in Über- beziehungsweise Unterdruckeinrichtungen mittels Messungen von Gasanteilsänderungen, insbesondere mittels eines Sensors zur Erfassung des Gaspartialdrucks, wobei der Sensor ein miniaturisiert ausgeführter und in ein eigenes Gehäuse integrierter Sauerstoffsensor ist.The The present invention relates to a method for leak detection in over- or Negative pressure devices by means of measurements of gas component changes, in particular by means of a sensor for detecting the gas partial pressure, wherein the sensor is a miniaturized executed and integrated in a separate housing Oxygen sensor is.

Es ist bekannt, daß keine Vakuumapparatur oder -anlage absolut vakuumdicht ist. Sie braucht es prinzipiell auch nicht zu sein, da es lediglich darauf ankommt, daß die Leckrate entsprechend gering ist und so auf den benötigten Arbeitsdruck, Gashaushalt und Enddruck im Vakuumbehälter ohne Einfluß bleibt. Daraus folgt, daß die Forderungen hinsichtlich der Dichtheit einer Apparatur um so strenger werden, je niedriger der verlangte Druck ist (Zeitschrift ”Grundlagen der Vakuumtechnik, Berechnungen und Tabellen” der Leybold AG, Jahrgang 09/97, Kat.-Nr. 1 9989, S. 63–68).It is known that no Vacuum apparatus or plant is absolutely vacuum-tight. she needs in principle, not to be, because it only matters that the Leak rate is correspondingly low and so on the required working pressure, Gas budget and final pressure in the vacuum tank remains without influence. It follows that the Demands regarding the tightness of an apparatus the more stringent become, the lower the pressure demanded is (magazine "bases of vacuum technology, calculations and tables "of Leybold AG, vintage 09/97, cat.-no. 1 9989, pp. 63-68).

Es ist weiterhin bekannt, daß trotz sorgfältiger Prüfung der einzelnen Bauelemente auch nach dem Zusammenbau in der Apparatur Lecks vorhanden sein können, sei es, dass Dichtungen schlecht sitzen oder Dichtflächen beschädigt sind. Die zum Prüfen einer Apparatur verwendeten Verfahren und Geräte hängen von der Größe der Lecks bzw. von der angestrebten Dichtheit ab.It is still known that despite careful exam the individual components even after assembly in the apparatus Leaks may be present it may be that seals sit badly or sealing surfaces are damaged. The for testing The process and equipment used in an apparatus depend on the size of the leaks or from the desired tightness.

Es ist außerdem bekannt, daß für Dichtheitsprüfungen spezielle Lecksuchgeräte in Gebrauch sind. Diese sind beispielsweise bei Unterdrucksystemen der Hochfrequenzvakuumprüfer, das Halogenlecksuchgerät und das Heliumlecksuchgerät.It is also known that for leak testing special Leak detectors are in use. These are for example in vacuum systems the high-frequency vacuum tester, the halogen leak detector and the helium leak detector.

Der Hochfrequenzvakuumprüfer besteht aus einem Handgerät mit bürstenförmiger HF-Elektrode und einem Netzgerät. Zur Lecksuche werden die leckverdächtigen Stellen mit der Elektrode des Hochfrequenzvakuumprüfers abgetastet. Bei Vorhandensein einer Undichtigkeit schlägt ein Funke zum Leck (z. B. Pore) über, an dem sich eine hell leuchtende Entladungsbahn zeigt. Nachteile dieser Methode sind, daß sie nur für Glas- oder Kunststoffapparaturen verwendet werden können, daß kleine Poren durch Funkenbildung vergrößert werden können, und daß dünne Stellen in der Apparatur durch die Sprühentladung des Vakuumprüfers durchschlagen werden. Ursprünglich dichte Apparaturen werden auf diese Weise undicht.Of the High-frequency vacuum tester consists of a hand-held device with brush-shaped HF electrode and a power supply. For leak detection, the areas suspected of being leaks with the electrode the high-frequency vacuum tester sampled. In the presence of a leak, a spark strikes to the leak (eg pore) over, where there is a bright discharge lane. disadvantage of this method are that they only for Glass or plastic equipment can be used that small Pores are increased by sparking can, and that thin spots in the apparatus by the spray discharge of the vacuum tester be penetrated. Originally Dense equipment will leak in this way.

Beim Halogenlecksuchgerät wird primär der Effekt ausgenutzt, daß chlorhaltige, gasförmige Verbindungen (z. B. Frigen®, Freon® oder Kaltron®) die Emission von Alkali-Ionen aus einer heißen Platinoberfläche beeinflussen (Langmuir-Taylor-Effekt). Kommt demnach ein derartiges Gas mit einer auf etwa 800°C geheizten Platin-Anode in Berührung, so fließt ein positiver Ionenstrom zur gegenüberliegenden kalten Elektrode. Ein wesentlicher Nachteil dieser Methode ist, daß die zur Leckdetektion verwendeten Gase umweltschädlich und relativ teuer sind.When halogen leak detector of the effect is utilized primarily in that chlorine-containing gaseous compounds (eg. As Freon ®, Freon ® or Kaltron ®), the emission of alkali metal ions from a hot platinum surface influence (Langmuir-Taylor effect). Accordingly, if such a gas comes into contact with a platinum anode heated to about 800 ° C., a positive ion current flows to the opposite cold electrode. A major disadvantage of this method is that the gases used for leak detection are harmful to the environment and relatively expensive.

Das Heliumlecksuchgerät verwendet Helium als Detektionsgas, das von außen auf einen zu untersuchenden Vakuumrezipienten gesprüht wird. Das durch ein vorhandenes Leck eindringende Prüfgas wird mit Hilfe eines Massenspektrometers nachgewiesen. Nachteil dieses Verfahrens ist neben dem hohen Anschaffungspreis der verhältnismäßig komplexe und sperrige Aufbau.The Helium leak detector uses helium as a detection gas, which from the outside on a to be examined Vacuum recipient sprayed becomes. The penetrating through an existing leak test gas is detected by means of a mass spectrometer. Disadvantage of this Procedure is in addition to the high purchase price of the relatively complex and bulky construction.

Die DE 43 25 419 A1 zeigt eine Vorrichtung, bei der ein Zinnoxid-Gassensor in einer Vakuumapparatur eingebaut ist. Ein Prüfgas, beispielsweise Formiergas, strömt durch ein eventuell vorhandenes Leck in die Apparatur hinein und wird von dem Sensor gemessen.The DE 43 25 419 A1 shows an apparatus in which a tin oxide gas sensor is installed in a vacuum apparatus. A test gas, such as forming gas, flows through any leak into the apparatus and is measured by the sensor.

Die GB 2 181 259 A zeigt ein Vakuum-Rohrleitungssystem mit einem fest daran angebauten Sensor, mit dem der Sauerstoffgehalt in dem durch das Rohrleitungssystem strömenden Inertgas zeitabhängig gemessen werden kann.The GB 2 181 259 A shows a vacuum piping system with a permanently attached sensor, with which the oxygen content in the flowing through the piping system inert gas can be measured time-dependent.

Die US 4 890 559 A zeigt einen Leckdetektor für einen Kühlschrank. Ein Sauerstoffsensor ist dabei fest in den Auspufftrakt des Kühlschrankkompressors angebracht und erkennt einen Lufteinbruch in den Kühlkreislauf. Der Sensor ist für die Erkennung eines relativ hohen Sauerstoffgehaltes ausgelegtThe US 4,890,559 A shows a leak detector for a refrigerator. An oxygen sensor is firmly attached to the exhaust tract of the refrigerator compressor and detects an air leak in the cooling circuit. The sensor is designed to detect a relatively high oxygen content

Der vorliegenden Erfindung liegt das Problem zu Grunde, mit einem möglichst einfachen System bei beliebigen Vakuumrezipienten mit beliebigen Prüfgasen eine Leckdetektion durchzuführen.Of the present invention is based on the problem, with a possible simple system for any vacuum recipients with any test gases one Perform leak detection.

Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Leckdetektion in Über- beziehungsweise Unterdruckeinrichtungen mittels Messungen von Gasanteilsänderungen, insbesondere mittels eines Sensors zur Erfassung des Gaspartialdrucks, wobei der Sensor ein miniaturisiert ausgeführter und in ein eigenes Gehäuse integrierter Sauerstoffsensor ist, mit folgenden Schritten:

  • a. Erfassen des Anstiegs des Sauerstoffanteils in der Umgebung der Über beziehungsweise Unterdruckeinrichtungen;
  • b. Bei Nachweis des Anstiegs des Sauerstoffanteils Abdecken der leckverdächtigen Stellen nacheinander mit mit einer Testflüssigkeit getränktem Gewebe;
  • c. Erfassen des Sauerstoffanteils und Anzeige eines Lecks falls sich der Sauerstoffanteil ändert.
The object underlying the present invention is achieved by a method for detecting leaks in overpressure or underpressure devices by means of measurements of gas component changes, in particular by means of a sensor for detecting the gas partial pressure, wherein the sensor is a miniaturized executed and integrated into a separate housing oxygen sensor, with the following steps :
  • a. Detecting the increase of the oxygen content in the vicinity of the overpressure devices;
  • b. Upon detection of the increase in the oxygen content Covering the suspected leak sites successively with tissue soaked with a test liquid;
  • c. Detecting the oxygen content and indicating a leak if the oxygen content changes.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird der Sauerstoffpartialdruck mit Hilfe von Prüfgasen gemessen.According to an advantageous embodiment In the process according to the invention, the oxygen partial pressure is measured with the aid of test gases.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden zur Detektion des Lecks Sauerstoffsensoren auf der Basis von Festkörperelektrolyten und/oder Halbleiter verwendet.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention are used to detect the leak oxygen sensors on the base of solid state electrolytes and / or semiconductors.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens kann aus der Bestimmung der prozentualen Veränderung des Sensorsignals, also des Sauerstoffanteils, die absolute Leckrate bestimmt werden.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention can be determined from the determination of the percentage change of the sensor signal, So the oxygen content, the absolute leak rate are determined.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird simultan und mit dem gleichen Sensor, der zur Detektion eines Lecks eingesetzt wird, auch der Gesamtdruck in einer Über- bzw. Unterdruckeinrichtung bestimmt.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention is simultaneously and with the same sensor used to detect a Leaks is used, including the total pressure in an over- or Vacuum device determined.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden Prüfgase eingesetzt, die zum Ansteigen beziehungsweise Abfallen des Sauerstoffanteils führen.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention become test gases used, the increase or decrease of the oxygen content to lead.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden brennbare Prüfgase verwendet, die den Sauerstoffpartialdruck senken.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention become flammable test gases used, which lower the oxygen partial pressure.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden nicht brennbare Prüfgase verwendet, die den Sauerstoffpartialdruck senken oder heben.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention become non-flammable test gases used, which lower or raise the oxygen partial pressure.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden Gassensoren bei hohen Umgebungstemperaturen verwendet.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention Gas sensors are used at high ambient temperatures.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden Gassensoren bei chemisch aggressiven Umgebungstemperaturen verwendet.According to one further advantageous embodiment the method according to the invention become gas sensors in chemically aggressive ambient temperatures used.

1 zeigt beispielhaft eine Anordnung des Systems als mobiles Handgerät für Astronauten für die Lecksuche auf der internationalen Raumstation. Der Sensor ➀ ist dabei in ein Sensorgehäuse ➁ integriert. Tritt in einem in den Weltraum mündenden Leitungsstrang ➂ ein Leck auf, so macht sich dies in einem Anstieg des Sauerstoffanteils in der Umgebung der Rohrmüdung ➃ bemerkbar. Dieser Anstieg kann mit dem Sensor registriert werden. In einem zweiten Schritt werden die leckverdächtigen Stellen nacheinander mit einem, mit einer Testflüssigkeit getränkten Gewebe ➄ abgedeckt. An der Stelle des Lecks gelangt die Testflüssigkeit in den Weltraum, wo sie verdampft. Das jetzt gasförmige Testmedium ändert den Sauerstoffanteil im Leitungsstang und damit auch in der Umgebung des Sensors, was von diesem registriert wird. Somit ist eine genaue Lokalisation des Lecks möglich. 1 shows an example of an arrangement of the system as a mobile handset for astronauts for leak detection on the international space station. The sensor ➀ is in a sensor housing ➁ integrated. Occurs in a wiring harness opening into space ➂ a leak, this results in an increase in the oxygen content in the vicinity of the tube fatigue ➃ noticeable. This increase can be registered with the sensor. In a second step, the areas suspected to be leaking become one after the other with a tissue soaked with a test liquid ➄ covered. At the point of the leak, the test fluid enters space, where it evaporates. The now gaseous test medium changes the oxygen content in the cable stem and thus also in the environment of the sensor, which is registered by the sensor. Thus, a precise localization of the leak is possible.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen darin, daß durch die Verwendung von Gassensoren Lecks nicht nur bei Glas- oder Kunststoffvakuumrezipienten sondern auch bei aus anderen Materialien hergestellten Apparaturen detektiert werden können. Zusätzlich müssen zur Leckprüfung keine teuren und häufig auch toxischen Spezialgase wie z. B. Frigen®, Freon®, Kaltron® oder Helium verwendet werden. Ein weiterer Vorteil besteht in der miniaturisierten Ausführung des Sensorelements, das ein miniaturisiertes und mobil einsetzbares Gesamtsystem ermöglicht.The advantages achieved by the invention are that can be detected by the use of gas sensors leaks not only in glass or plastic vacuum recipients but also in apparatuses made of other materials. In addition to leak testing no expensive and often toxic special gases such. As Freon ®, Freon ®, Kaltron ® or helium are used. Another advantage is the miniaturized design of the sensor element, which allows a miniaturized and mobile deployable overall system.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist in Patentanspruch 5 gegeben. Diese Weiterbildung nach Patentanspruch 5 ermöglicht es, neben der Detektion von Lecks simultan den im Vakuumrezipienten herrschenden Gesamtdruck zu bestimmen, wenn das Sensorelement fest in eine Vakuumkammer installiert ist.A Another advantageous embodiment of the invention is in claim 5 given. This development according to claim 5 makes it possible, in addition the detection of leaks simultaneously the prevailing in the vacuum recipient Total pressure to be determined when the sensor element firmly into a vacuum chamber is installed.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist in den Patentansprüchen 9 und 10 gegeben. Die Weiterbildung nach diesen Patentansprüchen ermöglicht es, das Sensorsystem wegen seiner funktionalen Eigenschaften sowohl bei hohen Temperaturen als auch in chemisch aggressiven Umgebungsbedingungen einzusetzen.A further advantageous embodiment of the invention is in the claims 9 and 10 given. The development according to these claims makes it possible the sensor system because of its functional properties both at high temperatures as well as in chemically aggressive environmental conditions use.

Funktionsweisefunctionality

Am Beispiel eines Sauerstoffsensors auf Festkörperelektrolytbasis soll die Funktionsweise des erfundenen Lecksuchgeräts erläutert werden.At the Example of a solid state electrolyte based oxygen sensor is the Functioning of the invented leak detector will be explained.

Ein mögliches Prinzip beruht darauf, daß Sauerstoffsensoren auf Festkörperelektrolytbasis einerseits den Sauerstoffpartialdruck messen und andererseits eine so hohe Oberflächentemperatur aufweisen, daß brennbare Prüfgase (z. B. Isopropanol) sofort mit dem Sauerstoff in der Umgebung des Sensorelements reagieren, d. h. den Sauerstoffpartialdruck senken. Wird das Sensorelement in einem Vakuumrezipienten integriert und die Kammer von außen mit einem brennbaren Prüfgas besprüht, wird bei vorhandenem Leck Prüfgas eingesaugt und verursacht ein Absinken des Sauerstoffpartialdrucks am Sensorelement. Das Absinken des Sensorsignals zeigt dann ein Leck an. Die prozentuale Änderung des Sensorsignals kann zusätzlich als Maß für die Leckrate verwendet werden. Der Vorteil bei der Verwendung von brennbaren Prüfgasen ist, daß durch die „Verbrennung” eine sehr hohe Signaländerung erzielt wird.One potential Principle is based on the fact that oxygen sensors on a solid electrolyte basis on the one hand measure the oxygen partial pressure and on the other hand a so high surface temperature have that combustible Test gases (For example, isopropanol) immediately with the oxygen in the environment of Sensor element react, d. H. lower the oxygen partial pressure. If the sensor element integrated in a vacuum recipient and the chamber from the outside with a combustible test gas sprayed, will be test gas if there is a leak sucked in and causes a drop in the oxygen partial pressure on the sensor element. The drop of the sensor signal then indicates Leak. The percentage change of the Sensor signal can additionally as a measure of the leak rate be used. The advantage of using flammable test gases is that by the "burning" a very achieved high signal change becomes.

Ein weitere Möglichkeit beruht darauf, daß auch nicht brennbare Prüfgase, z. B. Helium, Stickstoff oder Sauerstoff die Sauerstoffkonzentration im Vakuumrezipienten verringern bzw. erhöhen, wenn sie durch ein Leck eindringen. Die Änderung des Sensorsignals zeigt dann, wie beim ersten Meßprinzip ein Leck an. Die prozentuale Änderung des Sensorsignals kann auch hier zusätzlich als Maß für die Leckrate verwendet werden.One another possibility based on that as well non-flammable test gases, z. For example, helium, nitrogen or oxygen, the oxygen concentration reduce or increase in the vacuum recipient when they leak penetration. The change of the sensor signal then indicates a leak, as in the first measuring principle. The percentage change The sensor signal can also be used here as a measure of the leak rate be used.

Während bei den ersten beiden Meßprinzipien das Sensorelement im Vakuumrezipienten installiert ist, kann der Gassensor auch als Schnüffler (Handgerät) verwendet werden. Dabei wird die zu prüfende Apparatur unter geringem Überdruck mit einem Prüfgas gefüllt, so daß das Prüfgas durch Leckstellen nach außen dringt und außerhalb des Vakuumrezipienten nachgewiesen wird.While at the first two measuring principles the sensor element is installed in the vacuum recipient, the Gas sensor also used as a sniffer (handheld device) become. In the process, the to be tested Apparatus under low pressure with a test gas filled, so that Test gas by leaks to the outside penetrates and outside the vacuum recipient is detected.

Unabhängig von der Detektion eines Lecks kann mit einem derartigen Sauerstoffsensor auf Festkörperelektrolytbasis auch simultan der Gesamtdruck in einem Vakuumrezipienten gemessen werden und als weiterer Anhaltspunkt für die Leckrate dienen. Dies ist möglich, da das Sensorelement auf konstanter Temperatur gehalten werden muß. Die dafür notwendige Heizleistung steigt mit zunehmendem Gesamtdruck an, da die konvektiven Wärmeverluste des Sensorelements ebenfalls steigen.Independent of the detection of a leak can be done with such an oxygen sensor on a solid electrolyte basis also simultaneously measured the total pressure in a vacuum recipient and serve as a further indication of the leak rate. This is possible, because the sensor element must be kept at a constant temperature. The necessary Heating power increases with increasing total pressure, as the convective heat loss of the sensor element also rise.

Claims (10)

Verfahren zur Leckdetektion in Über- beziehungsweise Unterdruckeinrichtungen mittels Messungen von Gasanteilsänderungen, insbesondere mittels eines Sensors zur Erfassung des Gaspartialdrucks, wobei der Sensor ein miniaturisiert ausgeführter und in ein eigenes Gehäuse integrierter Sauerstoffsensor ist, mit folgenden Schritten: a. Erfassen des Anstiegs des Sauerstoffanteils in der Umgebung der Über- beziehungsweise Unterdruckeinrichtungen; b. Bei Nachweis des Anstiegs des Sauerstoffanteils Abdecken der leckverdächtigen Stellen nacheinander mit mit einer Testflüssigkeit getränktem Gewebe; c. Erfassen des Sauerstoffanteils und Anzeige eines Lecks falls sich der Sauerstoffanteil ändert.Method for leak detection in over- or Negative pressure devices by means of measurements of gas component changes, in particular by means of a sensor for detecting the gas partial pressure, wherein the sensor is a miniaturized executed and integrated in a separate housing Oxygen sensor is, with the following steps: a. To capture the increase in the oxygen content in the environment of the over- or Vacuum means; b. Cover for evidence of increase in oxygen content the leak suspect Placing in succession tissue impregnated with a test fluid; c. Detecting the oxygen content and indicating a leak if it is the oxygen content changes. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Sauerstoffpartialdruck mit Hilfe von Prüfgasen gemessen wird.Method according to claim 1, characterized in that that the oxygen partial pressure is measured with the aid of test gases. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Detektion des Lecks Sauerstoffsensoren auf der Basis von Festkörperelektrolyten und/oder Halbleiter verwendet werden.Method according to claim 1 or 2, characterized that for the detection of the leak oxygen sensors based on Solid electrolyte and / or semiconductors are used. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass aus der Bestimmung der prozentualen Veränderung des Sensorsignals, also des Sauerstoffanteils, die absolute Leckrate bestimmt werden kann.Method according to one of claims 1 to 3, characterized that from the determination of the percentage change of the sensor signal, ie of the oxygen content, the absolute leak rate can be determined. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass simultan und mit dem gleichen Sensor, der zur Detektion eines Lecks eingesetzt wird, auch der Gesamtdruck in einer Über- bzw. Unterdruckeinrichtung bestimmt wird.Method according to one of claims 1 to 4, characterized that simultaneously and with the same sensor used to detect a Leaks is used, including the total pressure in an over- or Vacuum device is determined. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass Prüfgase eingesetzt werden, die zum Ansteigen beziehungsweise Abfallen des Sauerstoffanteils führen.Method according to one of claims 1 to 5, characterized that test gases are used, the rise or fall of the Oxygen content lead. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass brennbare Prüfgase verwendet werden, die den Sauerstoffpartialdruck senken.Method according to one of claims 1 to 6, characterized that uses flammable test gases which lower the oxygen partial pressure. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass nicht brennbare Prüfgase verwendet werden, die den Sauerstoffpartialdruck senken oder heben.Method according to one of claims 1 to 6, characterized that non-flammable test gases used, which lower or raise the oxygen partial pressure. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass Gassensoren bei hohen Umgebungstemperaturen verwendet werden.Method according to one of claims 1 to 8, characterized that gas sensors are used at high ambient temperatures. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass Gassensoren bei chemisch aggressiven Umgebungsbedingungen verwendet werden.Method according to one of claims 1 to 9, characterized that gas sensors used in chemically aggressive environmental conditions become.
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