DE19953190C2 - Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels - Google Patents
Sensoranordnung zur Erfassung eines DrehwinkelsInfo
- Publication number
- DE19953190C2 DE19953190C2 DE1999153190 DE19953190A DE19953190C2 DE 19953190 C2 DE19953190 C2 DE 19953190C2 DE 1999153190 DE1999153190 DE 1999153190 DE 19953190 A DE19953190 A DE 19953190A DE 19953190 C2 DE19953190 C2 DE 19953190C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sensor
- sensor arrangement
- arrangement according
- gmi
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Erfassung
eines Drehwinkels eines rotierenden Teils, insbesondere zur
Erfassung sowohl des inkrementellen als auch des absoluten
Drehwinkels.
Es ist aus der DE 195 43 562 A1 eine Anordnung zur
berührungslosen Drehwinkelerfassung bekannt, bei der eine
drehbare Welle an ihrem Ende einen Dauermagneten als
mitdrehendes Teil trägt. Die magnetischen Feldlinien des
Magneten verlaufen hierbei durch ein Gehäuseteil, das eine
ortsfeste Sensoranordnung, bestehend aus zwei gegeneinander
um 90° versetzten Hallsensoren, trägt. Die
Richtungskomponenten der Feldlinien verursachen bei der
bekannten Anordnung spezifische Ausgangssignale der beiden
Hallsensoren, wodurch sowohl die absolute Drehlage als auch
eine
Änderung der Drehlage um eine beliebige Winkeländerung
mit einer elektronischen Schaltung ausgewertet werden
kann.
Beispielsweise werden für wichtige elektronische Systeme
in einem Kraftfahrzeug kleine und kompaktbauende inkre
mentelle Winkelsensor benötigt. Zum Beispiel zur Erfas
sung des auf eine Lenkradachse eines Kraftfahrzeuges wir
kenden Drehmomentes während der Drehung des Lenkrades
müssen sehr kleine Winkeländerungen in beiden Drehrich
tungen des Lenkrades gemessen werden. Für eine Vielzahl
von elektronisch kommutierten Motoren wird ein inkremen
teller oder auch oft ein absoluter Winkelwert benötigt,
um den Motor auf die Phasenein- bzw. Phasenausschaltwin
kel optimal einzustellen oder auch in einen vorbestimmten
Winkel zu stellen.
Viele solcher kompaktbauenden Kommutierungs-Winkel
sensoren basieren auf den eingangs erwähnten Hallelemen
ten oder -schaltern, die von einem magnetischen Impuls
ring angesteuert werden und so ein digitales Winkelinkre
ment oder mit zwei Sensoren auch zwei um 90° verschobene
Rechtecksignale zu gewinnen, aus denen dann sowohl die
Drehrichtung als auch eine vierfache Auflösung, gegenüber
dem Einzelsensor, ableitbar ist. Der Nachteil dieser be
kannten Ausführung besteht vor allem darin, dass pro Ka
nal ein Sensor und eine Leitung benötigt wird und die ab
solute Genauigkeit stark vom Impulsring abhängt. Da rüber
hinaus wirken sich die mechanischen Positionstoleranzen
zwischen dem Magneten und dem Impulsrad als drehendes
Element negativ auf die Genauigkeit aus.
Für unkritische Umweltbedingungen werden oftmals auch in
krementale optische Zweikanallösungen verwendet, die bei
spielsweise zwischen 16 bis 18000 Inkremente pro Umdre
hung liefern können. Der Nachteil der optischen Sensoren
liegt in der Verschmutzung oder auch Betauung der optischen
Strecke sowie in der Degradation der Leuchtdioden.
Im JP-Abstract zur JP 62-21 5880 A2 wird ein
magnetostriktiver Draht beschrieben, in dem bei angelegtem
magnetischen Feld eine Spannung entsteht. Hier wird nicht
das Magnetfeld gemessen, sondern der Draht reagiert mit
Dehnung auf das angelegte Magnetfeld. Der Draht ist in einem
Zickzackmuster angeordnet. Hinweise auf eine sternförmige
Ausbildung und eine Verwendung bei anderen Meßprinzipien
finden sich nicht.
In der DE 195 32 674 C1 ist ein unter Verwendung von Giant-
Magneto-Widerstandsmaterialien mit isotropen
magnetoresistiven Effekt (GMR-Sensor) arbeitender
Drehwinkelgeber beschrieben. Hier sind zwei unter einem
vorgegebenen Winkel angeordnete Halbbrücken miteinander
verschaltet. Auch hier sind keine Hinweise auf eine
sternförmige Anordnung und auf das Messprinzip des GMI-
Sensors gegeben.
Im JP-Abstract zu JP 9-126711 A2 wird eine Sensoranordnung
zur Erfassung eines Drehwinkels beschrieben, die einen auf
einem drehenden Teil angeordneten Magneten und einem
ortsfesten magnetfeldempfindlichen MI-Sensor, bei dem unter
Ausnutzung des Magneto-Impedanz-Effekts in einer Leiterbahn
eine Impedanzänderung auftritt, aufweist. Hinweise auf eine
besondere Anordnung der Leiterbahnen und der damit
verbundenen Verbesserungen sind nicht zu entnehmen.
Die erfindungsgemäße Sensoranordnung zur Erfassung eines
Drehwinkels unter Verwendung eines GMI-Sensors mit den
Merkmalen des Anspruchs 1, bei dem die Leiterbahnen des GMI-
Sensors Mäandersegmente bildet und in der beanspruchten
Weise sternförmig geführt sind hat den Vorteil, daß sie auf
einfache Weise durch eine leichte Variation der
geometrischen Anordnung an verschiedene Meßbereiche
anpassbar ist. Der Winkel kann dabei inkremental und auch
absolut berührungslos abgegriffen werden. Ein guter
Nullpunkt und eine gute Temperaturstabilität ist bei diesem
Messprinzip ebenfalls gegeben, wobei nur eine einfache
Auswerteschaltung und ein Zweidrahtanschluß für die
Leiterbahnen notwendig ist.
Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen
Sensoranordnung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Insbesondere für eine absolute Erfassung der Winkellage ist
es vorteilhaft, wenn mindestens ein Mäandersegment eine
relativ zu den anderen größere Länge aufweist, da die
absolute Größe der Impedanzänderung abhängig ist von der
Länge des jeweils zum Impedanzsprung führenden
Mändersegments. Somit kann neben der genauen
Inkrementposition auch eine absolute Kodierung des
Inkrements auf dem Drehkreis über die Länge des jeweiligen
Mäandersegments festgelegt werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der
Zeichnung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipansicht einer rotierenden Welle
mit einem Magneten und einem GMI-Sensor in einem Ge
häuse in Schnittansicht;
Fig. 2 drei Beispiele einer mäanderförmigen Anord
nung von Leiterbahnen zur Auswertung von Impedanz
sprüngen durch die Drehung des Magneten und
Fig. 3 ein Diagramm der resultierenden Impedanz in
Abhängigkeit vom Drehwinkel des drehenden Teils.
In Fig. 1 ist eine rotierende Welle 1 als sich um den
Winkel α drehendes Teil gezeigt, auf der ein Permanentma
gnet 2 in der dargestellten Richtung des Nord- und des
Südpols N bzw. S angeordnet ist. Feldlinien 3 des Magneten
2 schneiden dabei eine Sensoranordnung 4, die in einem
Gehäuse 5 angeordnet ist. Die Sensoranordnung 4 besteht
aus einem GMI-Sensor 5 und einer hier nicht näher erläu
terten, an sich bekannten Auswerteschaltung 6.
Aus Fig. 2 sind drei mögliche geometrische Anordnungen
des GMI-Sensors 5 ersichtlich, wobei der GMI-Sensor 5 aus
einem amorphen Draht 7, bzw. einer Leiterbahn in Dünn
schichttechnik auf einem Siliziumsubstrat, besteht, der
in bestimmten Mäandersegmenten zwischen Bondpunkten 8 und
9 positioniert ist. Hierdurch entsteht eine sternförmige
Mäanderanordnung, deren Segmente in der linken Darstel
lung in einem 90° Abstand auf dem Drehkreis verteilt
sind; im mittleren beträgt der Abstand 60° und im rechten
Teil 30°.
Während einer Drehung des drehenden Teils 1 nach der
Fig. 1 um den Winkel α erhält man bei bestimmten Ausrich
tungen des Permanentmagneten 2 während der Drehung einen
auswertbaren Impedanzsprung im Draht 7, welcher mit An
schlussdrähten 10 und 11 an die Auswerteschaltung 6 ange
schlossen ist. In einem Diagramm nach Fig. 3 ist die Im
pedanz des Drahtes 7 (Kurve 12) in Abhängigkeit von dem
Drehwinkel α des drehenden Teils 1 dargestellt. Die Impe
danzsprünge treten hierbei jeweils in einem 45° Abstand
auf. Der Draht des GMI-Sensors 5 ist die beschriebene
Messung unter 50°, 95° und 140° angebracht. Somit ergeben
sich drei Impedanzsprünge bei 50° bzw. 230°, 95° bzw.
275° und 140° bzw. 320°. Da in Richtung 5° kein Draht an
gebracht ist, fehlt hier der Impedanzsprung bei 5° bzw.
bei 185°.
Claims (7)
1. Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels, mit
mindestens einem auf einem drehenden Teil (1) angeordneten Magneten (2) und mit mindestens eines ortsfesten magnetfeldempfindlichen Sensor (5) wobei der
mindestens eine magnetfeldempfindliche Sensor ein GMI-Sensor (5) ist, bei dem unter Ausnutzung des Giant Magneto Impedance Effekts in einer Leiterbahn (7) eine Impedanzänderung auftritt, wenn sich die Feldstärke des magnetischen Feldes im Bereich des GMI-Sensors (5) ändert, wobei
die Leiterbahn (7) des GMI-Sensors (5) Mäandersegmente bildet, die jeweils vom Bereich der Drehachse des drehenden Teils (1) mindestens einmal sternförmig zu einem in einem vorgegebenen Abstand liegenden Punkt (9) geführt sind und wobei
bei einer Vielzahl von Mäandersegmenten diese über den Drehkreis des drehenden Teils (1) so verteilt sind, dass sich im GMI-Sensor (5) ein inkrementaler Winkelimpuls durch die Impedanzänderung aufgrund einer Drehung des drehbaren Teils (1) mit dem Magneten (2) ergibt.
mindestens einem auf einem drehenden Teil (1) angeordneten Magneten (2) und mit mindestens eines ortsfesten magnetfeldempfindlichen Sensor (5) wobei der
mindestens eine magnetfeldempfindliche Sensor ein GMI-Sensor (5) ist, bei dem unter Ausnutzung des Giant Magneto Impedance Effekts in einer Leiterbahn (7) eine Impedanzänderung auftritt, wenn sich die Feldstärke des magnetischen Feldes im Bereich des GMI-Sensors (5) ändert, wobei
die Leiterbahn (7) des GMI-Sensors (5) Mäandersegmente bildet, die jeweils vom Bereich der Drehachse des drehenden Teils (1) mindestens einmal sternförmig zu einem in einem vorgegebenen Abstand liegenden Punkt (9) geführt sind und wobei
bei einer Vielzahl von Mäandersegmenten diese über den Drehkreis des drehenden Teils (1) so verteilt sind, dass sich im GMI-Sensor (5) ein inkrementaler Winkelimpuls durch die Impedanzänderung aufgrund einer Drehung des drehbaren Teils (1) mit dem Magneten (2) ergibt.
2. Sensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
die sternförmigen Mäandersegmente über den Drehkreis in einem
Winkelabstand von 180°, 90°, 45° oder in einem sonstigen mit
einem vielfachen Teiler verkleinerten Winkelabstand verteilt
sind.
3. Sensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
die sternförmigen Mäandersegmente über den Drehkreis in einem
Winkelabstand von 120°, 60°, 30° oder in einem sonstigen mit
einem vielfachen Teiler verkleinerten Winkelabstand verteilt
sind.
4. Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens eines der sternförmigen Mäandersegmente eine
relativ zu den anderen größere Länge aufweist.
5. Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
zusätzlich zu den in einem regelmäßigen Winkelabstand
angeordneten sternförmigen Mäandersegmente weitere einzelne
Mäandersegmente auf dem Drehkreis des drehbaren Teils (1)
angeordnet sind.
6. Sensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
der GMI-Sensor (5) aus einem amorphen Draht (7) aufgebaut ist.
7. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, dass
der GMI-Sensor (5) aus einer amorphen Leiterbahn (7) aufgebaut
ist, die in Dünnschichttechnik auf einem Substrat angebracht
ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999153190 DE19953190C2 (de) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999153190 DE19953190C2 (de) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19953190A1 DE19953190A1 (de) | 2001-05-23 |
DE19953190C2 true DE19953190C2 (de) | 2002-11-07 |
Family
ID=7927961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1999153190 Expired - Fee Related DE19953190C2 (de) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19953190C2 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005057623B3 (de) * | 2005-12-02 | 2007-05-10 | Keiper Gmbh & Co.Kg | Fahrzeugsitz, insbesondere Kraftfahrzeugsitz |
CN103018688A (zh) * | 2012-12-06 | 2013-04-03 | 电子科技大学 | 一种gmi和gmr相结合的磁敏传感器件 |
CN106950518A (zh) * | 2017-03-07 | 2017-07-14 | 中电海康集团有限公司 | 铁磁共振的测试装置和方法 |
CN105455806B (zh) * | 2015-11-11 | 2019-03-29 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于gmi效应的脑磁信号探头、传感器及采集*** |
DE102017123772A1 (de) | 2017-10-12 | 2019-04-18 | Paul Tutzu | Elektromagnetisches Messsystem für die Erfassung von Länge und Winkel basierend auf dem Magnetoimpedanzeffekt |
US11512982B2 (en) | 2017-10-12 | 2022-11-29 | Victor Vasiloiu | Electromagnetic measuring system for detecting length and angle on the basis of the magnetoimpedance effect |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6433533B1 (en) * | 1999-03-03 | 2002-08-13 | Sardis Technologies Llc | Giant magneto-impedance(GMI) spin rate sensor |
ITTO20010730A1 (it) | 2001-07-24 | 2003-01-24 | Campagnolo Srl | Trasduttore di grandezze angolari. |
DE10155423B4 (de) * | 2001-11-12 | 2006-03-02 | Siemens Ag | Verfahren zur homogenen Magnetisierung eines austauschgekoppelten Schichtsystems eines magneto-resistiven Bauelements, insbesondere eines Sensor-oder Logikelements |
DE10155424B4 (de) * | 2001-11-12 | 2010-04-29 | Qimonda Ag | Verfahren zur homogenen Magnetisierung eines austauschgekoppelten Schichtsystems einer digitalen magnetischen Speicherzelleneinrichtung |
GB2391315A (en) * | 2002-07-26 | 2004-02-04 | Innovision Res & Tech Plc | Detection apparatus and detectable component |
DE102007047839A1 (de) | 2007-11-21 | 2009-09-10 | Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg | Messgerät |
DE102019208117A1 (de) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensor- und/oder Wandlervorrichtung und Verfahren zum Sensieren oder Wandeln einer Krafteinwirkung auf ein Sensierteil |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62215880A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-22 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気感応素子 |
DE3609006A1 (de) * | 1986-03-18 | 1987-09-24 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Magnetfeldsensor |
DE19543562A1 (de) * | 1994-11-22 | 1996-05-23 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung eines drehbaren Elements |
DE19532674C1 (de) * | 1995-09-05 | 1996-11-07 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien |
JPH09126711A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 磁気式角度検出装置 |
-
1999
- 1999-11-05 DE DE1999153190 patent/DE19953190C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62215880A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-22 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気感応素子 |
DE3609006A1 (de) * | 1986-03-18 | 1987-09-24 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Magnetfeldsensor |
DE19543562A1 (de) * | 1994-11-22 | 1996-05-23 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung eines drehbaren Elements |
DE19532674C1 (de) * | 1995-09-05 | 1996-11-07 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien |
JPH09126711A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 磁気式角度検出装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005057623B3 (de) * | 2005-12-02 | 2007-05-10 | Keiper Gmbh & Co.Kg | Fahrzeugsitz, insbesondere Kraftfahrzeugsitz |
CN103018688A (zh) * | 2012-12-06 | 2013-04-03 | 电子科技大学 | 一种gmi和gmr相结合的磁敏传感器件 |
CN105455806B (zh) * | 2015-11-11 | 2019-03-29 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于gmi效应的脑磁信号探头、传感器及采集*** |
CN106950518A (zh) * | 2017-03-07 | 2017-07-14 | 中电海康集团有限公司 | 铁磁共振的测试装置和方法 |
DE102017123772A1 (de) | 2017-10-12 | 2019-04-18 | Paul Tutzu | Elektromagnetisches Messsystem für die Erfassung von Länge und Winkel basierend auf dem Magnetoimpedanzeffekt |
DE102017123772B4 (de) | 2017-10-12 | 2019-06-19 | Paul Tutzu | Elektromagnetisches Messsystem für die Erfassung von Länge und Winkel basierend auf dem Magnetoimpedanzeffekt |
CN111492206A (zh) * | 2017-10-12 | 2020-08-04 | 维克多·瓦西洛尤 | 基于磁阻效应的用于距离或角度测量的电磁测量*** |
US11512982B2 (en) | 2017-10-12 | 2022-11-29 | Victor Vasiloiu | Electromagnetic measuring system for detecting length and angle on the basis of the magnetoimpedance effect |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19953190A1 (de) | 2001-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0997706B1 (de) | Anordnung zur Messung einer relativen linearen Position | |
DE3821083C2 (de) | ||
EP0893668B1 (de) | Winkelsensor | |
DE19953190C2 (de) | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels | |
DE19818799C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Winkeln | |
EP2225142B1 (de) | Absolut messende lenkwinkelsensoranordnung | |
EP1975569B1 (de) | Messeinrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels mit in einer Ausnehmung des Magneten angeordnetem magnetempfindlichen Element | |
DE19543564A1 (de) | Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung eines drehbaren Elements | |
DE19630764A1 (de) | Meßvorrichtung zur berührungslosen Erfassung einer Relativbewegung | |
WO2002016879A1 (de) | Verfahren zur korrektur eines phasenwinkels bei der abtastung einer codespur | |
EP2620752A2 (de) | Magnetfeldsensor | |
DE10160450A1 (de) | Anordnung zum Detektieren der Bewegung eines Encoders | |
DE19601242A1 (de) | Versatz-Erfassungseinrichtung | |
DE10052148B4 (de) | Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer | |
EP2101157A2 (de) | Magnetischer Drehwinkelsensor | |
EP1260787A1 (de) | Winkelaufnehmer mit magnetoresistiven Sensorelementen | |
DE10320057A1 (de) | Redundant ausgeführter Winkelaufnehmer mit Hall-Effekt-Elementen | |
DE60023379T2 (de) | Drehsensor | |
DE102004063245B4 (de) | Magnetischer Detektor | |
EP1998147B1 (de) | Messeinrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels mit radial polarisiertem Magneten | |
EP1204843A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur winkelmessung | |
EP2446288B1 (de) | Hybrid-sensoranordnung | |
DE4213507C2 (de) | Vorrichtung zum berührungslosen Messen der axialen Lage eines rotierenden Körpers | |
DE19632656A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Lage oder der Drehstellung eines Gegenstandes | |
WO2011144313A1 (de) | Magnetfeldsensor für einen positionsgeber |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |