DE19931914A1

DE19931914A1 - Keramikelektronikteil

Info

Publication number: DE19931914A1
Application number: DE19931914A
Authority: DE
Inventors: Tatsuo Haratani; Yasunobu Yoneda; Kyoshin Asakura
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-07-27
Filing date: 1999-07-08
Publication date: 2000-02-10
Anticipated expiration: 2019-07-09
Also published as: FR2781601A1; US6278602B1; FR2781601B1; JP2000049033A; JP3259686B2; US20010032383A1; US6769159B2; DE19931914B4

Abstract

Ein Keramikelektronikteil umfaßt eine Mehrzahl von inneren Elektroden in einem gesinterten Keramikpreßkörper, die über eine Keramikschicht überlagert sind. Die freien Enden der inneren Elektroden sind derart gebildet, daß dieselben eine keilförmige Querschnittsform aufweisen, wobei die Länge L des Keils und die innere Dicke t der Elektrode an der Basis des Keils die Beziehung L > 2t derart erfüllen, daß keine Gefahr des Erzeugens eines Zwischenschichtablösens oder einer Delaminierung in den Keramikschichten auftritt.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Keramikelek tronikteil, wie z. B. einen laminierten Kondensator, und auf ein Verfahren zum Erzeugen eines Keramikelektronikteils. Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf ein Keramikelektro nikteil mit einer verbesserten Form der lateralen Kanten der inneren Elektroden desselben und auf ein Verfahren zum Er zeugen desselben.

Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht, die ein Ausführungsbei spiel eines herkömmlichen laminierten Kondensators zeigt. Der laminierte Kondensator 51 weist einen gesinterten Kera mikpreßkörper 52 auf, der eine dielektrische Keramik auf weist. Eine Mehrzahl von inneren Elektroden 53a bis 53d ist in dem gesinterten Keramikpreßkörper 52 derart gebildet, daß dieselben in der Dickenrichtung über jeweilige Keramik schichten überlagert sind. Die inneren Elektroden 53a, 53c erstrecken sich zu der Endfläche 52a, und die inneren Elek troden 53b, 53d erstrecken sich zu der Endfläche 52b. Äußere Elektroden 54, 55 bedecken die Endflächen 52a bzw. 52b.

Der gesinterte Keramikpreßkörper 52, der bei dem oben er wähnten laminierten Kondensator 51 verwendet werden soll, wird durch das Verfahren erzeugt, das im folgenden beschrie ben ist. Eine Mehrzahl von Keramikgrünlagen (Keramikgrün schichten), die innere Elektroden 53a bis 53d aufweisen, die auf dieselben gedruckt sind, werden mit einer wahlfreien An zahl von nicht-bedruckten Keramikgrünlagen zusammenlami niert, die auf der oberen und der unteren Oberfläche des Preßkörpers positioniert sind, um ein laminiertes Erzeugnis zu erhalten. Eine leitfähige Paste wird verwendet, um die inneren Elektroden zu bilden. Nachdem das laminierte Erzeug nis in der Dickenrichtung gepreßt wurde, wird dasselbe ge brannt.

Da die inneren Elektroden 53a-53d durch Brennen der ge druckten leitfähigen Paste gebildet sind, weisen dieselben eine im wesentlichen homogene Dicke auf. Die Spitze (eine laterale Kante) der inneren Elektrode 53a, d. h. der Teil, der in dem Kreis in Fig. 6 gezeigt ist, ist in einer ver größerten Ansicht von Fig. 7A gezeigt.

Wie aus Fig. 7A offensichtlich ist, besitzt die innere Elek trode 53a bis zu der Spitze im wesentlichen eine homogene Dicke. Wie in Fig. 7B gezeigt, kann bei einigen Fällen die Spitze der inneren Elektrode 53a eine leichte Rundung auf weisen.

Aufgrund der oben erwähnten Form der inneren Elektrode tritt jedoch manchmal, wenn der gesinterte Keramikkörper 52 gebil det wird, ein Abschälen oder Ablösen zwischen den Keramik schichten oder das Phänomen, das Delaminierung genannt wird, auf. Dies kann der Tatsache zugeordnet werden, daß, wenn das laminierte Erzeugnis vor dem Brennen gepreßt wird, Ab schnitte, bei denen die inneren Elektroden existieren, stark in der Dickenrichtung zusammengedrückt werden, um eine höhe re Dichte zu besitzen, während Abschnitte, bei denen die inneren Elektroden nicht existieren, ungenügend zusammenge drückt werden. Als ein Resultat variiert die Dichte der Ab schnitte B, C und D, die in Fig. 7A gezeigt sind, vor dem Brennen in dar Reihenfolge B < D < C. Diese Variation be wirkt eine Delaminierung oder ein Zwischenschichtablösen in dem gesinterten Preßkörper. Insbesondere ist bei dem Fall einer inneren Elektrode mit einer Dicke von 3 µm oder mehr (was für eine hohe Zuverlässigkeit verwendet wird) dieses Phänomen sehr stark bemerkbar.

Ein Verfahren zum Lindern der Reduktion der Dichte in dem Teil, der als C in Fig. 7A gezeigt ist, ist in der nicht geprüften Japanischen Patentveröffentlichung Nr. 8-58259 offenbart. Diese Veröffentlichung schlägt ein Verfahren zum Drucken einer leitfähigen Paste unter Verwendung einer speziellen Siebdruckplatte vor, wobei die Dicke der inneren Elektrode in der Nähe des äußeren Rands derselben dünner als in anderen Teilen ist. Die Querschnittsform einer inneren Elektrode, die gemäß diesem Verfahren gebildet wird, ist in Fig. 8 gezeigt. In der nähe des äußeren Randes der inneren Elektrode 56, die in Fig. 8 gezeigt ist, ist die innere Elektrode 56 als ein Resultat der Anwesenheit einer Stufe 56a in dem Teil 56b dünner.

Selbst bei dem gesinterten Preßkörper, der durch das Verfah ren erhalten wird, das in dem offiziellen Amtsblatt der nicht-geprüften Japanischen Veröffentlichung Nr. 8-58259 offenbart ist, wird jedoch die Delaminierung und das Zwi schenschichtablösen nicht zufriedenstellend verhindert, und eine weitere Verbesserung ist wünschenswert.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Keramikelektronikteil und ein Verfahren zum Erzeugen eines Elektronikteils zu schaffen, bei denen die Delaminierung und das Zwischenschichtablösephänomen reduziert sind.

Diese Aufgabe wird durch ein Keramikelektronikteil gemäß An spruch 1 und ein Verfahren zum Erzeugen eines Elektronik teils gemäß Anspruch 10 gelöst.

Ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Kera mikelektronikteil, das einen gesinterten Keramikpreßkörper und eine Mehrzahl von inneren Elektroden in dem gesinterten Keramikpreßkörper aufweist, wobei mindestens eine laterale Kante von mindestens einer der inneren Elektroden eine keil förmige Querschnittsform aufweist, wobei die Länge L des Keils und die Dicke t der inneren Elektrode an der Basis des Keils die Beziehung L < 2t erfüllen.

Da die laterale Kante der inneren Elektrode derart gebildet ist, so daß dieselbe eine keilförmige Querschnittsform auf weist, wobei die Länge L des Keils und die Dicke der inneren Elektrode an der Basis des Keils die Beziehung L < 2t erfül len, kann eine Delaminierung oder das Zwischenschichtablösen in dem gesinterten Keramikpreßkörper effektiv eingeschränkt werden. Insbesondere kann, sogar bei dem Fall, bei dem die Dicke der inneren Elektroden auf 3 µm oder mehr erhöht wird, da die laterale Kante die oben erwähnte Keilform aufweist, eine Erzeugung einer Delaminierung effektiv eingeschränkt werden. Daher kann ein Keramikelektronikteil mit einer aus gezeichneten Zuverlässigkeit vorgesehen werden, und die Pro duktionsausbeute kann verbessert werden.

Bei einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind die inneren Elektroden und der gesinterte Keramikpreßkörper der art ausgewählt, daß das Zusammenziehverhältnis (Kontrak tionsverhältnis) des Keramikmaterials, das den gesinterten Preßkörper bildet, durch Brennen größer ist als das Zu sammenziehverhältnis des Materials, das die inneren Elektro den bildet. Da die Materialien derart ausgewählt sind, daß das Zusammenziehverhältnis der Keramik durch Brennen größer als das Zusammenziehverhältnis der inneren Elektroden ist, können die lateralen Kanten der inneren Elektroden sicher die oben erwähnte keilförmige Querschnittsform nach dem Brennen aufweisen.

Bei einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind die lateralen Kanten der inneren Elektroden derart gebildet, so daß dieselben eine keilförmige Querschnittsform aufweisen, wobei die Länge L des Keils und die Dicke der inneren Elek trode t an dem Basisteil des Keils L < 2t erfüllen. Da die lateralen Kanten der inneren Elektroden derart gebildet sind, so daß dieselben eine keilförmige Querschnittsform aufweisen, und dieselben die Beziehung L < 2t erfüllen, kann eine Delaminierung sogar an den Seitenflächen des gesinter ten Keramikpreßkörpers sicher verhindert werden.

Bei einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht der gesinterte Keramikpreßkörper aus einer dielektrischen Keramik, und die Mehrzahl der inneren Elektroden werden über eine gesinterte Keramikpreßkörperschicht in der Dickenrich tung des gesinterten Keramikpreßkörpers laminiert, um einen laminierten Kondensator vorzusehen. Da der gesinterte Kera mikpreßkörper aus dielektrischer Keramik besteht, und die Mehrzahl der inneren Elektroden über eine gesinterte Keramikpreßkörperschicht laminiert werden, kann ein lami nierter Kondensator mit einer ausgezeichneten Zuverlässig keit ohne das Risiko des Erzeugens einer Delaminierung in dem gesinterten Keramikpreßkörper gemäß der vorliegenden Erfindung mit einer hohen Ausbeute vorgesehen werden.

Bei einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung liegt die Dicke der inneren Elektroden in einem Bereich von 3 bis 20 µm. Mit einer Dicke von 3 µm oder größer können die inneren Elektroden selbst und die Verbindung zwischen den inneren Elektroden und den äußeren Elektroden zuverlässiger sein, und die Stromkapazität kann im Vergleich zu einem Fall mit weniger als 3 µm größer sein. Bezüglich der oberen Grenze der Dicke der inneren Elektrode sind 20 µm oder weni ger, wie oben hinsichtlich einer kleinen Größe erwähnt, vor zuziehen.

Gemäß dem fünften Aspekt eines Keramikelektronikteils der vorliegenden Erfindung kann, da die Dicke der inneren Elek troden 3 µm oder größer ist, ein laminiertes Elektronikteil mit einer hohen Zuverlässigkeit der inneren Elektroden selbst und der Verbindung zwischen den inneren Elektroden und den äußeren Elektroden und einer großen Stromkapazität erhalten werden.

Ein sechster Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Her stellungsverfahren eines Keramikelektronikteils mit einer Mehrzahl von inneren Elektroden, die in einem gesinterten Keramikpreßkörper angeordnet sind, wobei das Verfahren das Laminieren einer Mehrzahl von Keramikgrünlagen aufeinander, wobei mindestens einige der Keramikgrünlagen eine leitfähige Paste auf einer Oberfläche derselben aufweisen, derart, daß die leitfähige Paste zwischen zwei benachbarten Keramikgrün lagen positioniert ist, und das Brennen des laminierten Er zeugnisses aufweist, um das Elektronikteil zu erhalten, wo bei das Zusammenziehverhältnis des Keramikmaterials, das die Keramikgrünlagen bildet, größer als das Zusammenziehverhält nis der leitfähigen Paste ist.

Da Keramik und eine leitfähige Paste, wobei das Zusammen ziehverhältnis der Keramik durch Brennen größer als das Zusammenziehverhältnis der inneren Elektroden ist, als das Material der Keramikgrünblätter und der leitfähigen Paste beim Erhalten eines gesinterten Keramikpreßkörpers verwendet werden, kann, nach dem Erhalten eines laminierten Erzeugnis ses durch Laminieren einer Mehrzahl von Keramikgrünlagen mit einer leitfähigen Paste zum Vorsehen der inneren Elektroden, die auf Keramikgrünlagen gedruckt und nicht-gedruckt sind, durch Brennen des laminierten Erzeugnisses ein Keramikelek tronikteil, wobei die inneren Elektroden eine keilförmige Querschnittsform gemäß der vorliegenden Erfindung aufweisen, ohne weiteres und sicher vorgesehen werden.

Insbesondere kann gemäß dem Herstellungsverfahren des fünf ten Aspekts ein Keramikelektronikteil gemäß der vorliegenden Erfindung bei einem Verfahren, das ansonsten gleich dem her kömmlichen Herstellungsverfahren ist, vorgesehen werden, in dem das Material zum Vorsehen der inneren Elektroden und die leitfähige Paste ausgewählt werden, ohne die Notwendigkeit einer Aufspannvorrichtung, wie z. B. einer speziellen Sieb druckplatte oder dergleichen. Daher kann ein sehr zuver lässiges Keramikelektronikteil ohne eine Erhöhung der Kosten des Keramikelektronikteils vorgesehen werden.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A eine Seitenquerschnittsansicht eines laminierten Kondensators als ein Keramikelektronikteil gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 1B eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht des Teils, der durch den Kreis E in Fig. 1A gezeigt ist;

Fig. 2 eine Querschnittsansicht, die entlang der Linie II-II von Fig. 1 vorgenommen ist;

Fig. 3 eine schematische Querschnittsansicht zum Erklären des Betriebs eines Keramikelektronikteils gemäß der vorliegenden Erfindung und ein laminiertes Ke ramikerzeugnis vor dem Brennen;

Fig. 4 eine schematische Teilquerschnittsansicht zum Er klären des gesinterten Preßkörpers, der durch Brennen des laminierten Erzeugnisses, das in Fig. 3 gezeigt ist, erhalten wird;

Fig. 5 eine Mikroskopaufnahme zum Erklären der Form der lateralen Kante der inneren Elektrode des lami nierten Kondensators, der bei einem zweiten Aus führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung erhal ten wird;

Fig. 6 eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel eines herkömmlichen laminierten Kondensators zeigt;

Fig. 7A und 7B vergrößerte Teilquerschnittsansichten zum Erklären der Form der lateralen Kante der inneren Elektrode bei dem herkömmlichen laminierten Kondensator; und

Fig. 8 eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht zum Er klären der Form der lateralen Kante der inneren Elektrode eines herkömmlichen laminierten Konden sators.

Fig. 1A ist eine Seitenquerschnittsansicht eines Keramik elektronikteils gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, und Fig. 1B ist eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht des Teils, der durch den Kreis E in Fig. 1A gezeigt ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist das Keramikelektronikteil ein Kondensator.

Ein laminierter Kondensator 1 weist einen gesinterten Kera mikpreßkörper 2 auf, der eine dielektrische Keramik auf weist. Eine Mehrzahl von inneren Elektroden 3 bis 6 sind in dem gesinterten Keramikpreßkörper 2 derart gebildet, daß dieselben in der Dickenrichtung über jeweilige Keramik schichten überlagert sind. Die inneren Elektroden 3, 5 er strecken sich zu einer Endfläche 2a des gesinterten Keramik preßkörpers 2, und die inneren Elektroden 4, 6 erstrecken sich zu einer Endfläche 2b. Äußere Elektroden 7, 8 sind ge bildet, um die Endflächen 2a bzw. 2b zu bedecken, mit dem Resultat, daß die äußere Elektrode 7 mit den inneren Elek troden 3 und 5 elektrisch gekoppelt ist und die äußere Elek trode 8 mit den inneren Elektroden 4 und 6 elektrisch ge koppelt ist.

Die äußeren lateralen Keile W (auf die manchmal als "Ränder" oder "freie Kanten" hierin Bezug genommen wird) der inneren Elektroden 3 bis 6, ausgenommen der Kanten, die sich zu den Endflächen 2a, 2b erstrecken, weisen eine keilförmige Quer schnittsform, die am besten in Fig. 1B gezeigt ist, auf. Die Form der Keile W erfüllt vorzugsweise die Beziehung L < 2t, wobei L die Länge des Keils (Fig. 1B) und t die Dicke der inneren Elektrode an der Basis des Keils ist. Wie in den experimentellen Resultaten gezeigt, die im folgenden erör tert sind, werden die Fälle der Delaminierung und des Zwi schenschichtablösens effektiv eingeschränkt, wenn dieses Verhältnis erfüllt wird.

Um eine keilförmige Querschnittsform zu realisieren, die die Beziehung L < 2t erfüllt, können die Materialien, die für die inneren Elektroden und den gesinterten Keramikpreßkörper verwendet werden, derart ausgewählt werden, daß das Zusam menziehverhältnis der Keramik während des Brennens größer als das Zusammenziehverhältnis der inneren Elektroden wäh rend des Brennens ist. Dies wird unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 4 erklärt.

Fig. 3 stellt schematisch die Beziehung zwischen den inneren Elektroden und den Keramikgrünlagen in dem laminierten Kera mikerzeugnis vor dem Sintern dar. Das laminierte Erzeugnis 11 weist Keramikgrünlagen 12 bis 14 auf, die mit den inneren Elektroden 3, 4, die zwischen denselben positioniert sind, zusammenlaminiert sind. Die inneren Elektroden 3, 4 sind durch Drucken einer leitfähigen Paste auf die obere Oberflä che der Keramikgrünlage 13 bzw. 14 gebildet.

Wenn das laminierte Erzeugnis 11 in der Dickenrichtung des selben (vertikal in Fig. 3) zusammengedrückt wird, kann das laminierte Erzeugnis ausreichend in den Bereichen zusammen gedrückt werden, in denen die inneren Elektroden 3, 4 lami niert werden. Ein ausreichendes Zusammendrücken wird jedoch nicht in den Bereichen angewendet, die durch die Pfeile G und H in Fig. 3 gezeigt sind. Daher existiert ein Abschnitt des Keramikmaterials, der eine niedrige Dichte aufweist, außerhalb der Spitzen 3a, 4a der inneren Elektroden 3, 4.

Wenn das laminierte Erzeugnis 11 jedoch gebrannt wird, ist das Zusammenziehverhältnis der Keramik größer als das Zusam menziehverhältnis der inneren Elektroden 3, 4. Daher dehnt sich die Keramik, wie in Fig. 4 gezeigt, aus, um die Spitzen 3a, 4a der inneren Elektroden 3, 4 zu verformen, so daß die selben eine keilförmige Querschnittsform aufweisen. Als ein Resultat wird die Keramik in der Nähe der Spitzen 3a, 4a der inneren Elektroden 3, 4 dicht gesintert, so daß das Auftre ten des Zwischenschichtablösens und der Delaminierung redu ziert wird.

Es gibt viele Wege, um die vorhergehenden Zusammenziehver hältnisse zu erreichen. Beispielsweise, und nicht begren zend, können zwei weitere Verfahren verwendet werden: (1) das Verwenden einer leitfähigen Paste mit einem niedrigen Verhältnis eines Binders, der nach dem Brennen verstreut werden soll, und einem hohen Verhältnis von Metallpulvern für die inneren Elektroden, und (2) das Hinzufügen eines hohen Schmelzpunktes, wie z. B. Ni, Mo und W, zu einer leit fähigen Paste, die verwendet wird, um die inneren Elektroden zu bilden.

Ein nicht-begrenzendes Beispiel des ersten Verfahrens ver wendet eine Niedertemperatursinterkeramik (CaZrO₃ + Glas material) und eine leitfähige Paste, die etwa 2 bis 5 Ge wichtsprozent eines organischen Binders aufweist, der bezüg lich 100 Gewichtsprozent von Metallpulvern enthalten ist. Bei einem nicht-begrenzenden Beispiel des zweiten Verfahrens wird ein Metall mit einem hohen Schmelzpunkt zu den inneren Elektroden hinzugefügt. Beispielsweise können, wenn eine Niedertemperatursinterkeramik (CaZrO₃ + Glasmaterial) als das Keramikmaterial verwendet wird, und eine leitfähige Paste, die hauptsächlich Cu mit einem Schmelzpunkt von 1083°C enthält, verwendet wird, etwa 0,5 bis 10 Gewichts prozent mindestens eines Elements, das aus einer Gruppe von Elementen ausgewählt ist, die einen vergleichsweise hohen Schmelzpunkt bezüglich Cu aufweisen, wie z. B. Ni, Mo, W oder dergleichen, bezüglich der 100 Gewichtsprozent von Cu hinzugefügt werden.

Die Zusammensetzung der inneren Elektroden, wie oben er wähnt, muß gemäß dem Zusammenziehverhältnis der Keramik, die verwendet werden soll, eingestellt werden, und folglich kann jede geeignete Zusammensetzung verwendet werden.

Ein Herstellungsverfahren eines Keramikelektronikteils gemäß der vorliegenden Erfindung und die Effekte der vorliegenden Erfindung sind im folgenden unter Bezugnahme auf konkrete experimentelle Beispiele beschrieben.

Experimentelles Beispiel 1

Um einen gesinterten Keramikkörper 2 zu erhalten, wird eine rechteckförmige Keramikgrünlage mit einem Keramikschlamm gebildet, der hauptsächlich Niedertemperatursinterkeramik (CaZrO₃ + Glasmaterial) Pulver enthält. Um die inneren Elek troden 3 bis 6 auf der Keramikgrünlage zu bilden, wird eine leitfähige Paste mit einem Zusammensetzungsverhältnis von 100 Gewichtsprozent von Cu-Pulvern mit einer Durchschnitts partikelgröße von 1,0 µm und 3 Gewichtsprozent eines organi schen Binders auf die Keramikgrünlagen siebgedruckt. Danach wird eine Mehrzahl der Keramikgrünlagen, auf denen die leit fähige Paste aufgedruckt ist, zusammenlaminiert, und nicht- bedruckte Keramikgrünlagen werden oberhalb und unterhalb der vorhergehenden Gruppe von Lagen laminiert. Das gesamte Lami nat wird in der Dickenrichtung gepreßt, um ein laminiertes Erzeugnis zu erhalten. Das laminierte Erzeugnis wird bei 1000°C gebrannt, um einen gesinterten Keramikpreßkörper 2 mit einer Größe von 1,6 × 0,8 × 0,8 mm zu erhalten. Die An zahl der Laminierungen von inneren Elektroden ist 4.

Durch Anbringen einer leitfähigen Paste an gegenüberliegen den Endflächen des erhaltenen gesinterten Keramikpreßkörpers 2 und durch Brennen werden äußere Elektroden 7, 8 gebildet, um einen laminierten Kondensator 1 zu erhalten. Die Bildung der äußeren Elektroden 7, 8 kann auf die gleiche Art und Weise wie das Brennen des laminierten Erzeugnisses durchge führt werden.

Die Enddicke der inneren Elektroden nach dem Brennen in dem laminierten Kondensator dieses Ausführungsbeispiels ist 3 µm. Das heißt t = 3 µm. Aus der Beobachtung der lateralen Kanten der inneren Elektroden nach dem Schneiden des erhal tenen gesinterten Preßkörpers wird bestimmt, daß die latera len Kanten eine Keilform und L = 10 µm aufweisen.

Experimentelles Beispiel

Unter Verwendung des gleichen Verfahrens, das oben beschrie ben ist, wird ein zweiter laminierter Kondensator mit einer Enddicke von 10 µm des Mittelteils der inneren Elektroden erzeugt. Aus der Beobachtung der lateralen Kanten der inne ren Elektrode nach dem Schneiden des erhaltenen gesinterten Preßkörpers wird bestimmt, daß die lateralen Kanten der inneren Elektroden eine Keilform aufweisen, wie es in der Mikroskopaufnahme von Fig. 5 gezeigt ist. Bei diesem Fall sind die Abmessungen der Keilform t = 10 µm und L = 25 µm.

Experimentelle Vergleichsbeispiele

Mehrere Vergleichsbeispiele 1, 2, 3, 4 werden vorbereitet, um die Merkmale der vorliegenden Erfindung mit anderen Strukturen zu vergleichen.

Vergleichsbeispiel 1

Ein laminierter Kondensator wird auf die gleiche Art und Weise wie bei dem experimentellen Beispiel 1 erhalten, mit der Ausnahme, daß die inneren Elektroden mit einem Zusam mensetzungsverhältnis von 10 Gewichtsprozent eines organi schen Binders bezüglich 100 Gewichtsprozent von Cu-Pulvern mit einer Durchschnittspartikelgröße von 1,0 µm verwendet werden. Bei diesem Fall ist die Enddicke der inneren Elek trode 3 µm, und aus der Beobachtung der lateralen Kanten der inneren Elektroden nach dem Schneiden des erhaltenen gesin terten Preßkörpers wird bestimmt, daß die Dicke der inneren Elektroden etwa durchgehend einschließlich der äußeren la teralen Kanten derselben 3 µm ist.

Vergleichsbeispiel 2

Ein laminierter Kondensator wird auf die gleiche Art und Weise wie bei dem Vergleichsbeispiel 1 erhalten, mit der Ausnahme, daß die Dicke der inneren Elektroden 10 µm ist. Der erhaltene gesinterte Preßkörper wird geschnitten, um die lateralen Kanten der inneren Elektroden zu beobachten. Es wird bestimmt, daß die Dicke der inneren Elektroden durch gehend einschließlich an den äußeren Kanten derselben im wesentlichen gleich 10 µm ist.

Vergleichsbeispiel 3

Ein laminierter Kondensator wird auf die gleiche Art und Weise wie bei dem Vergleichsbeispiel 1 erhalten, mit der Ausnahme, daß die inneren Elektroden gemäß dem Verfahren gedruckt werden, das in der nicht-geprüften Japanischen Pa tentveröffentlichung Nr. 8-58259 beschrieben ist. Die la teralen Kanten der inneren Elektrode weisen eine Quer schnittsform auf, die in Fig. 8 gezeigt ist.

Vergleichsbeispiel 4

Ein laminierter Kondensator wird auf die gleiche Art und Weise wie bei dem Vergleichsbeispiel 3 erhalten, mit der Ausnahme, daß die Dicke der inneren Elektroden auf 10 µm geändert ist. Bei diesem laminierten Kondensator ist die Querschnittsform der lateralen Kanten der inneren Elektrode gleich derselben der inneren Elektrode 56, die in Fig. 8 gezeigt ist.

Vergleichsbeispiel 5

Ein laminierter Kondensator wird auf die gleiche Art und Weise wie bei dem Vergleichsbeispiel 1 erzeugt, mit der Aus nahme, daß eine leitfähige Paste mit einer Zusammensetzung von 7,0 Gewichtsprozent eines organischen Binders bezüglich 100 Gewichtsprozent von Cu-Pulvern mit einer Durchschnitts partikelgröße von 1,0 µm als das Material verwendet wird, das die inneren Elektroden aufweisen. Aus der Beobachtung der lateralen Kanten der inneren Elektroden nach dem Schnei den des erhaltenen gesinterten Preßkörpers des laminierten Kondensators wird bestimmt, daß t = 3 µm und L = 3 µm sind. Das heißt L < 2t.

Vergleichsbeispiel 6

Ein laminierter Kondensator wird auf die gleiche Art und Weise wie bei dem experimentellen Beispiel 1 erzeugt, mit der Ausnahme, daß eine leitfähige Paste mit einer Zusammen setzung von 7,0 Gewichtsprozent eines organischen Binders bezüglich 100 Gewichtsprozent von Cu-Pulvern mit einer Durchschnittspartikelgröße von 1,0 µm verwendet wird. Aus der Beobachtung der lateralen Kanten der inneren Elektroden nach dem Schneiden des erhaltenen gesinterten Preßkörpers wird bestimmt, daß derselbe eine Keilform aufweist. Es sind jedoch t = 10 µm und L = 5 µm. Das heißt L < 2t.

Die Delaminierungserzeugungsverhältnisse des gesinterten Preßkörpers bei den 10 Stücken des laminierten Kondensators der experimentellen Beispiele 1, 2 und der Vergleichsbei spiele 1 bis 6, die wie oben erwähnt erhalten werden, sind in Tabelle 1 gezeigt.

Tabelle 1

Probe
Delaminierungs-
erzeugungsverhältnis
(% der Delaminierungsfälle)
Experimentelles Beispiel 1	0%
Experimentelles Beispiel 2	0%
Vergleichsbeispiel 1	20%
Vergleichsbeispiel 2	100%
Vergleichsbeispiel 3	5%
Vergleichsbeispiel 4	60%
Vergleichsbeispiel 5	10%
Vergleichsbeispiel 6	80%

Wie es aus Tabelle 1 offensichtlich ist, ist das Delaminie rungserzeugungsverhältnis bei den Vergleichsbeispielen 1, 2 hoch, wobei die Dicke der inneren Elektrode an den äußeren lateralen Kanten im wesentlichen gleich derselben in der Mitte der inneren Elektrode ist. Insbesondere wird mit einer dicken inneren Elektrodendicke von 10 µm eine Delaminierung in dem größten Prozentsatz des gesinterten Preßkörpers er zeugt.

Ähnlich wird bei den Vergleichsbeispielen 3, 4, obwohl das Delaminierungserzeugungsverhältnis niedriger als bei den Vergleichsbeispielen 1, 2 ist, eine Delaminierungserzeugung nicht verhindert. Bei einer Dicke der inneren Elektrode von 10 µm wird außerdem eine Delaminierung mit einer beträchtli chen Rate erzeugt.

Außerdem ist bei den Vergleichsbeispielen 5, 6, vermutlich weil L < 2t, das Delaminierungserzeugungsverhältnis 10% bzw. 80%.

Auf der anderen Seite werden bei den experimentellen Bei spielen 1 und 2 keine Delaminierungserzeugungsfälle ungeach tet der Dicke der inneren Elektroden beobachtet.

Obwohl eine Erklärung in den oben erwähnten Ausführungsbei spielen angegeben ist, kann die vorliegende Erfindung auf verschiedene Keramikelektronikteile, wie z. B. einen lami nierten Induktor, einen laminierten Varistor, ein laminier tes piezoelektrisches Keramikteil oder ähnlich, mit dem gleichen Effekt des effektiven Verhinderns einer Delaminie rung bei einem gesinterten Keramikpreßkörper ähnlich ange paßt werden.

Claims

1. Keramikelektronikteil (1), mit folgenden Merkmalen:
einem gesinterten Keramikpreßkörper (2); und
einer Mehrzahl von inneren Elektroden (3, 4, 5, 6), die in dem gesinterten Keramikpreßkörper (2) positio niert sind, wobei mindestens eine laterale Kante von mindestens einer der inneren Elektroden (3, 4, 5, 6) eine keilförmige Querschnittsform aufweist, wobei die Länge L des Keils (W) und die Dicke t der inneren Elektrode an der Basis des Keils (W) die Beziehung L < 2t erfüllen.

2. Keramikelektronikteil (1) gemäß Anspruch 1, bei dem mindestens eine laterale Kante von allen inneren Elek troden (3, 4, 5, 6) eine keilförmige Querschnittsform aufweist, wobei die Länge L von jedem der Keile (W) und die Dicke t der entsprechenden inneren Elektrode an der Basis des Keils (W) die Beziehung L < 2t er füllen.

3. Keramikelektronikteil (1) gemäß Anspruch 1, bei dem alle freien lateralen Kanten von allen inneren Elek troden (3, 4, 5, 6) eine keilförmige Querschnittsform aufweisen, wobei die Länge L jeder der Keile (W) und die Dicke t der entsprechenden inneren Elektrode an der Basis des Keils (W) die Beziehung L < 2t erfüllen.

4. Keramikelektronikteil (1) gemäß Anspruch 1, 2 oder 3; bei dem sich jede der inneren Elektroden (3, 4, 5, 6) von einer jeweiligen Seitenkante (2a, 2b) des gesin terten Keramikpreßkörpers (2) in das Innere des gesin terten Keramikpreßkörpers (2) erstreckt.

5. Keramikelektronikteil (1) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem die Materialien der inneren Elektroden (3, 4, 5, 6) und des gesinterten Keramikpreßkörpers (2) derart ausgewählt sind, daß das Zusammenziehver hältnis des gesinterten Keramikpreßkörpers (2) während eines Brennprozesses größer als das Zusammenziehver hältnis der inneren Elektroden (3, 4, 5, 6) während eines derartigen Brennprozesses ist.

6. Keramikelektronikteil (1) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der gesinterte Keramikpreßkörper (2) aus einer Mehrzahl von Keramikschichten besteht, wobei jede derselben aus einem dielektrischen Keramikmate rial gebildet ist, und die Mehrzahl der inneren Elek troden (3, 4, 5, 6) zwischen jeweilige Keramikschich ten in der Dickenrichtung des gesinterten Keramikpreß körpers (2) laminiert ist, um einen laminierten Kon densator vorzusehen.

7. Keramikelektronikteil (1) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die Dicke der inneren Elektroden (3, 4, 5, 6) in einem Bereich von 3 bis 20 µm liegt.

8. Verfahren zum Erzeugen eines Elektronikteils (1) mit einer Mehrzahl von inneren Elektroden (3, 4, 5, 6), wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
Laminieren einer Mehrzahl von Keramikgrünlagen (12, 13, 14) aufeinander, wobei mindestens ein Teil der Keramikgrünlagen (12, 13, 14) eine leitfähige Paste auf einer Oberfläche derselben aufweist, derart, daß die leitfähige Paste zwischen zwei benachbarten Kera mikgrünlagen (12, 13, 14) positioniert ist;
Brennen des laminierten Erzeugnisses, um das Elektro nikteil zu erhalten, wobei das Zusammenziehverhältnis des Keramikmaterials, das die Keramikgrünlagen (12, 13, 14) bildet, größer als das Zusammenziehverhältnis der leitfähigen Paste ist.