DE19922784B4

DE19922784B4 - Verfahren zur Herstellung magnetischer Granat-Einkristallfilme mit niedrigem Bleigehalt und magnetostatische Wellenvorrichtung

Info

Publication number: DE19922784B4
Application number: DE19922784A
Authority: DE
Inventors: Masaru Fujino
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-05-22
Filing date: 1999-05-18
Publication date: 2006-06-14
Anticipated expiration: 2019-05-19
Also published as: US6426156B2; FR2783357A1; DE19922784A1; JPH11340038A; FR2783357B1; US20010006038A1

Abstract

Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms, umfassend das Züchten eines magnetischen Granat-Einkristallfilms durch Flüssigphasen-Epitaxie und Verwenden eines Flußmittels auf PbO-Basis mit einem PbO-Verbindungsgehalt von nicht mehr als etwa 70 Gew.-%, gemessen als PbO.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms und eine magnetostatische Wellenvorrichtung mit dem magnetischen Granat-Einkristallfilm, und insbesondere bezieht sie sich auf magnetische Granat-Einkristallfilme und dergleichen, die für eine magnetostatische Wellenvorrichtung, wie einen Limiter, Geräuschfilter oder dergleichen, verwendet werden.
Ein Y₃Fe₅O₁₂-(YIG-)Einkristallfilm ist eine wichtige Substanz, die als ein magnetischer Granat-Einkristallfilm für eine magnetostatische Wellenvorrichtung verwendet wird. Insbesondere besitzt der YIG-Einkristallfilm ausgezeichnete Eigenschaften infolge einer extrem schmalen ferromagnetischen Halbwertsbreite (ΔH). Wenn der YIG-Einkristallfilm auf die magnetostatische Wellenvorrichtung aufgebracht wird, kann diese Charakteristik den Unterschied zwischen einem Eingangssignal und einem Ausgangssignal klein machen. Außerdem ist es eine weitere Charakteristik des YIG-Einkristallfilms, dass ein Sättigungsphänomen bei relativ geringer elektrischer Leistung im Vergleich zu dem Eingangssignal auftritt. Der YIG-Einkristallfilm wird im breiten Umfang für magnetostatische Wellenvorrichtungen, wie einen Limiter und einen Geräuschfilter, verwendet, welche die vorgenannten Charakteristika anwenden.
Ein magnetischer Granat-Einkristallfilm, welcher ein von dem YIG-Einkristallfilm verschiedenen Fe-Element einschließt, wird ebenfalls auf die magnetostatische Wellenvorrichtung in ähnlicher Weise wie bei dem YIG-Einkristallfilm aufgebracht.
Obwohl der magnetische Granat-Einkristallfilm die wie obenstehend erläuterten ausgezeichneten Eigenschaften besitzt, weist der herkömmliche magnetische Granat-Einkristallfilm auch Nachteile auf. Insbesondere beeinträchtigen ein hoher Eingangsverlust bzw. eine hohe Einfügungsdämpfung, eine lange Einschaltantwortzeit bzw. Einschwingverhaltenszeit und eine hohe gesättigte Eingangsleistung die vorgenannten Eigenschaften beim Aufbringen des magnetischen Granat-Einkristallfilms auf magnetostatische Wellenvorrichtungen. Diese Charakteristika sind besonders wichtig für die Verwendung bei Mikrowellengeräten.

Aus der US 4 657 782 ist es bereits bekannt, ein Granat-Einkristallfilmeisen durch Blei zu ersetzen.

Die GB 2 034 297 A lehrt Granat-Kristallfilme, bei denen das Flußmittel Blei enthält. Auch aus der US 38 37 911 ist bereits die Verwendung bleihaltiger Flußmittel bekannt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung des magnetischen Granat-Einkristallfilms, welcher die magnetostatische Wellenvorrichtung mit höherer Leistung bereitstellen kann, zu schaffen und die Bereitstellung einer magnetostatischen Wellenvorrichtung mit höherer Leistung.

Der für eine magnetostatische Wellenvorrichtung verwendete magnetische Granat-Einkristallfilm gemäß der vorliegenden Erfindung enthält Pb im Bereich von mehr als null bis nicht mehr als etwa 4000 ppm auf Gewichtsbasis. Das Verfahren zur Herstellung des magnetischen Granat-Einkristallfilms gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst den Schritt des Züchtens des magnetischen Granat-Einkristallfilms durch Flüssigphasen-Epitaxie unter Verwendung eines Flußmittels auf PbO-Basis mit einem Gehalt einer Pb-Verbindung von nicht mehr als etwa 70 Gew.-% bezüglich des PbO-Gehalts.

Die magnetostatische Wellenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schließt Pb mit einem Gehalt von mehr als null und nicht mehr als etwa 4000 ppm auf Gewichtsbasis ein.

Somit ermöglicht es die vorliegende Erfindung, Eingangsverluste zu verhindern, und erhöht die Einschaltantwortzeit und die gesättigte elektrische Eingangsleistung in bezug auf eine magnetostatische Wellenvorrichtung, welche den magnetischen Granat-Einkristallfilm verwendet.

Für den Zweck der Erläuterung der Erfindung ist in der Zeichnung eine Form gezeigt, welche gegenwärtig bevorzugt wird, wobei es sich jedoch versteht, daß die Erfindung nicht auf die gezeigte genaue Anordnung und die gezeigte Instumentarisierung beschränkt ist.

Die einzige Figur ist eine isomere Ansicht einer magnetostatischen Wellenvorrichtung gemäß einem Beispiel der vorliegenden Erfindung.

Der Erfinder der vorliegenden Erfindung untersuchte die Verbesserung des magnetischen Granat-Einkristallfilms und fanden zunächst heraus, daß in dem magnetischen Granat-Einkristallfilm als Verunreinigung enthaltenes Blei den Eingangsverlust, die Einschaltantwortzeit und die gesättigte Eingangsleistung negativ beeinflußt.

Der herkömmliche magnetische Granat-Einkristallfilm wurde durch ein Flüssigphasen-Epitaxie-Verfahren unter Verwendung eines Flußmittels auf PbO-Basis gezüchtet, da das PbO bei einer relativ niedrigen Temperatur unter Erhalt von geschmolzenem PbO schmilzt, welches stabil ist und eine geringe Viskosität besitzt. Diese Merkmale sind für das Züchten eines ausgezeichneten magnetischen Granat-Einkristallfilms wichtig, doch es wurde durch den Erfinder festgestellt, daß das Pb in dem PbO-Flußmittel in nachteiliger Weise in dem erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilm während des Kristallwachstums eingeschlossen wird. Gemäß einer weiteren Untersuchung seitens des Erfinders wird angenommen, daß Pb in der Form von Pb²⁺ oder Pb⁴⁺ in dem erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilm vorliegt und daß Pb²⁺ und Pb⁴⁺ Fe³⁺ zu Fe²⁺ reduziert, wodurch der Eingangsverlust, die Einschaltantwortzeit und die gesättigte Eingangsleistung verschlechtert werden.

Es ist wahr, daß ein bleifreier magnetischer Granat-Einkristallfilm unter Einsatz eines bleifreien Flußmittels gezüchtet werden kann, doch es ist unmöglich, einen magnetischen Granat-Einkristallfilm mit einer ausgzeichneten Kristallinität ohne die Verwendung von PbO zu züchten.

Hinsichtlich des zuvor Gesagten fand der Erfinder den neuen magnetischen Granat-Einkristallfilm, welcher durch Verwendung eines Flußmittels gezüchtet werden kann, und ein Verfahren zum Züchten des neuen magnetischen Granat-Einkristallfilms. Gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt der für eine magnetostatische Wellenvorrichtung verwendete magnetische Granat-Einkristallfilm Pb im Bereich von mehr als null bis etwa 4000 ppm auf Gewichtsbasis. Wenn die Gehaltmenge des Pb auf etwa 4000 ppm auf Gewichtsbasis oder weniger begrenzt ist, besitzt der magnetische Granat-Einkristallfilm ausgezeichnete Charakteristika, was den Eingangsverlust, die Einschaltantwortzeit und die gesättigte Eingangsleistung angeht.

Es wurde für möglich gehalten, die Menge an Pb in dem Film durch Regulierung der Temperatur oder des PbO-Gehalts des Flußmittels oder von beiden zu begrenzen.

Der Granat-Einkristallfilm mit einem Pb-Gehalt von etwa 4000 ppm auf Gewichtsbasis oder weniger kann durch Flüssigphasen-Epitaxie unter Verwendung eines Flußmittels auf PbO-Basis bei einer Temperatur von nicht weniger als etwa 940°C gezüchtet werden. Herkömmlicherweise nahm man an, daß es vorzuziehen ist, den Granat-Einkristallfilm bei einer niedrigen Temperatur zu züchten, um die Kristallinität des Granat-Einkristallfilms zu verbessern. Dies steht mit dem Grund in Einklang, das PbO-Flußmittel zu verwenden. Allerdings wurde, wie später erläutert wird, durch den Erfinder festgestellt, daß die Menge der Verunreinigung des Pb in dem Maß abnimmt, wie die Züchtungstemperatur zunimmt, und die Menge der Verunreinigung nimmt drastisch ab. Wenn die Temperatur auf über 940°C erhöht wird, kann es zweckmäßig sein, den Pb-Gehalt in dem Flußmittel herabzusetzen.

Alternativ wird die Flüssigphasen-Epitaxie unter Verwendung eines Flußmittels auf PbO-Basis mit einem Gehalt einer Pb-Verbindung von nicht mehr als etwa 70 Gew.-% bezüglich des PbO-Gehalts durchgeführt. Es wurde ebenfalls festgestellt, daß die Menge der Verunreinigung des Pb in dem Maß abnimmt, wie die Züchtungstemperatur zunimmt, und daß, wenn der Gehalt an einer Pb-Verbindung nicht mehr als etwa 70 % beträgt, die Menge der Verunreinigung des Pb drastisch abnimmt. Eine Züchtungstemperatur von unterhalb 940°C kann angewandt werden, wenn der PbO-Gehalt entsprechend niedrig ist.

Im Anschluß werden die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ausführlich unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert.

Die Figur ist eine perspektivische Ansicht einer magnetostatischen Wellenvorrichtung gemäß einem Beispiel der vorliegenden Erfindung. Es wird eine magnetostatische Wellenvorrichtung 10 bereitgestellt, welche einen magnetischen Granat-Einkristallfilm 12 einschließt. Der magnetische Granat-Einkristallfilm 12 ist auf einer der Hauptflächen eines Gd₃Ga₅O₁₂-Substrats 14 gebildet. Zwei Transducer bzw. Umwandler 16a und 16b aus Metalldrähten sind parallel zueinander auf dem magnetischen Granat-Einkristallfilm 12 getrennt voneinander angeordnet. Ein Anschluß bzw. Anschlußteil des Transducers 16a ist mit einem Eingangsanschluß (nicht gezeigt) verbunden, und der andere Anschluß ist geerdet. Außerdem wird ein Gleichstrommagnetfeld an die magnetostatische Wellenvorrichtung 10 in Richtung parallel zu der Hauptfläche des magnetischen Granat-Einkristallfilms 12 und in Richtung parallel zu den Transducern 16a und 16b angelegt, das heißt, in der durch den Pfeil H₀ in der Figur angezeigten Richtung.
Beispiel 1
Ein Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat wurde als Substrat für die Bildung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms durch Flüssigphasen-Epitaxie verwendet. Als nächstes wurden Fe₂O₃, Y₂O₃, PbO und B₂O₃ als Ausgangsmaterialien in Mengen von 7,5 Gew.-%, 0,5 Gew.-%, 90,0 Gew.-% bzw. 2,0 Gew.-% bereitgestellt. Danach wurden die Ausgangsmaterialien vermischt, in einen Platintiegel gefüllt, der in einem vertikalen Elektroofen gehalten wurde, bei einer Temperatur von 1200°C homogenisiert und geschmolzen. Die Schmelze wurde auf einer konstanten Wachstumstemperatur im Bereich von 930°C bis 950°C wie in Tabelle 1 gezeigt gehalten, so daß Granat übersättigt wurde. Danach wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat eingetaucht und eine vorbestimmte Zeit lang rotiert. Im Anschluß wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat aus der Schmelze gehoben und bei hoher Geschwindigkeit rotiert, so daß die anhaftende Schmelze auf dem magnetischen Granat-Einkristallfilm durch die Zentrifugalkraft abgeschüttelt wurde.
Auf diese Weise wurde ein magnetischer Y₃Fe₅O₁₂-Einkristallfilm mit einer Dicke von etwa 10 μm gebildet.
Die in der Figur gezeigten magnetostatischen Wellenvorrichtungen 10 wurden unter Verwendung der erhaltenen hergestellt, und es wurden die Eingangsverluste, die Einschaltantwortzeiten und die gesättigte elektrische Eingangsleistung gemessen. Zusätzlich wurde der Pb-Gehalt in den erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilmen (Pb-Gehalt in den Filmen) gemessen. Die Resultate sind in Tabelle 1 gezeigt. In Tabelle 1 sind Proben, in welchen die Probennummer mit einem Sternchen * versehen ist, nicht innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen, und die anderen sind innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen.
Wie in Tabelle 1 gezeigt, konnten die Proben Nr. 1, Nr. 2 und Nr. 5, die nicht in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, keine magnetostatischen Wellenvorrichtungen mit geringen Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit, und geringer gesättigter Eingangsleistung bereitstellen oder konnten keinen magnetischen Granat-Einkristallfilm (einen YIG-Einkristallfilm) bilden. Demgegenüber konnten die Proben Nr. 3 und Nr. 4, die in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, magnetostatische Wellenvorrichtungen mit leichten Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit und niedriger gesättigter elektrischer Leistung bereitstellen.
Beispiel 2
Ein Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat wurde als Substrat zur Bildung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms durch Flüssigphasen-Epitaxie verwendet. Als nächstes wurden Fe₂O₃, Y₂O₃ und B₂O₃ als Ausgangsmaterialien in Mengen von 7,5 Gew.-%, 0,5 Gew.-% bzw. 2,0 Gew.-% bereitgestellt, und PbO und MoO₃ wurden wie in Tabelle 2 gezeigt bereitgestellt. Danach wurden alle Ausgangsmaterialien vermischt, in einen Platintiegel gefüllt, der in einem vertikalen Elektroofen gehalten wurde, bei einer Temperatur von 1200°C homogenisiert und geschmolzen. Die Schmelze wurde auf einer Temperatur von 920°C gehalten, so daß Granat übersättigt wurde. Im Anschluß wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat eingetaucht und eine vorbestimmte Zeit lang rotiert. Danach wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat aus der Schmelze gehoben und bei hoher Geschwindigkeit rotiert, so daß die anhaftende Schmelze auf dem magnetischen Granat-Einkristallfilm durch die Zentrifugalkraft abgeschüttelt wurde. Auf diese Weise wurde ein magnetischer Y₃Fe₅O₁₂-Granat-Einkristallfilm mit einer Dicke von etwa 10 μm gebildet.
Die in der Figur gezeigten magnetostatischen Wellenvorrichtungen 10 wurden unter Verwendung der erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilme hergestellt, und es wurden die Eingangsverluste, die Einschaltantwortzeit und die gesättigte elektrische Eingangsleistung gemessen. Zudem wurden der Pb-Gehalt in den erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilmen (Pb-Gehalt in den Filmen) gemessen. Die Resultate sind in Tabelle 2 gezeigt. In Tabelle 2 sind Proben, in welchen die Probennummer mit einem Sternchen * versehen ist, nicht innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen, und die anderen sind innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen.
Wie in Tabelle 2 gezeigt, konnten die Proben Nr. 6 und Nr. 7, die nicht in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, keine magnetostatischen Wellenvorrichtungen mit geringen Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit, und geringer gesättigter elektrischer Ein gangsleistung bereitstellen. Demgegenüber konnten die Proben Nr. 8 und Nr. 9, die in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, magnetostatische Wellenvorrichtungen mit leichten Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit und niedriger gesättigter elektrischer Leistung bereitstellen.
Beispiel 3
Ein Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat wurde als Substrat zur Bildung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms durch Flüssigphasen-Epitaxie verwendet. Als nächstes wurden Fe₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃, Ga₂O₃ und B₂O₃ als Ausgangsmaterialien in Mengen von 7,0 Gew.-%, 0,5 Gew.-%, 0,1 Gew.-%, 0,4 Gew.-% bzw. 2,0 Gew.-% bereitgestellt, und PbO und MoO₃ wurden wie in Tabelle 3 gezeigt bereitgestellt. Danach wurden alle Ausgangsmaterialien vermischt, in einen Platintiegel gefüllt, der in einem vertikalen Elektroofen gehalten wurde, bei einer Temperatur von 1200°C homogenisiert und geschmolzen. Die Schmelze wurde auf einer Temperatur von 900°C gehalten, so daß Granat übersättigt wurde. Im Anschluß wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat eingetaucht und eine vorbestimmte Zeit lang rotiert. Danach wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat aus der Schmelze gehoben und bei hoher Geschwindigkeit rotiert, so daß die anhaftende Schmelze auf dem magnetischen Granat-Einkristallfilm durch die Zentrifugalkraft abgeschüttelt wurde. Auf diese Weise wurde ein magnetischer (Y,La-)₃(Fe,Ga)₅O₁₂-Granat-Einkristallfilm mit einer Dicke von etwa 10 μm gebildet.
Die in der Figur gezeigten magnetostatischen Wellenvorrichtungen 10 wurden unter Verwendung der erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilme hergestellt, und es wurden die Eingangsverluste, die Einschaltantwortzeit und die gesättigte elektrische Eingangsleistung gemessen. Zudem wurde der Pb-Gehalt in den erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilmen (Pb-Gehalt in den Filmen) gemessen. Die Resultate sind in Tabelle 3 gezeigt. In Tabelle 3 sind Proben, in welchen die Probennummer mit einem Sternchen * versehen ist, nicht innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen, und die anderen sind innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen.
Wie in Tabelle 3 gezeigt, konnten die Proben Nr. 10 und Nr. 11, die nicht in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, keine magnetostatischen Wellenvorrichtungen mit geringen Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit, und geringer gesättigter elektrischer Eingangsleistung bereitstellen. Demgegenüber konnten die Proben Nr. 12 und Nr. 13, die in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, magnetostatische Wellenvorrichtungen mit leichten Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit und niedriger gesättigter elektrischer Leistung bereitstellen.
Beispiel 4
Ein Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat wurde als Substrat zur Bildung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms durch Flüssigphasen-Epitaxie verwendet. Als nächstes wurden Fe₂O₃, Y₂O₃ und B₂O₃ als Ausgangsmaterialien in Mengen von 7,5 Gew.-%, 0,5 Gew.-% bzw. 2,0 Gew.-% bereitgestellt, und PbO, PbF₂ und MoO₃ wurden wie in Tabelle 4 gezeigt bereitgestellt. Danach wurden alle Ausgangsmaterialien vermischt, in einen Platintiegel gefüllt, der in einem vertikalen Elektroofen gehalten wurde, bei einer Temperatur von 1200°C homogenisiert und geschmolzen. Die Schmelze wurde auf einer Temperatur von 910°C gehalten, so daß der Granat übersättigt wurde. Im Anschluß wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat eingetaucht und eine vorbestimmte Zeit lang rotiert. Danach wurde das Gd₃Ga₅O₁₂-Substrat aus der Schmelze gehoben und bei hoher Geschwindigkeit rotiert, so daß die anhaftende Schmelze auf dem magnetischen Granat-Einkristallfilm durch die Zentrifugalkraft abgeschüttelt wurde. Auf diese Weise wurde ein magnetischer Granat-Y₃Fe₅O₁₂-Einkristallfilm mit einer Dicke von etwa 10 μm gebildet.
Die in der Figur gezeigten magnetostatischen Wellenvorrichtungen 10 wurden unter Verwendung der erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilme hergestellt, und es wurden die Eingangsverluste, die Einschaltantwortzeit und die gesättigte elektrische Eingangsleistung gemessen. Zudem wurden der Pb-Gehalt in den erhaltenen magnetischen Granat-Einkristallfilmen (Pb-Gehalt in den Filmen) gemessen. Die Resultate sind in Tabelle 4 gezeigt. In Tabelle 4 sind Proben, in welchen die Probennummer mit einem Sternchen * versehen ist, nicht innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen, und die anderen sind innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung eingeschlossen.
Wie in Tabelle 4 gezeigt, konnten die Proben Nr. 14 und Nr. 15, die nicht in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, keine magnetostatischen Wellenvorrichtungen mit geringen Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit, und geringer gesättigter elektrischer Eingangsleistung bereitstellen. Demgegenüber konnten die Proben Nr. 16 und Nr. 17, die in dem Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sind, magnetostatische Wellenvorrichtungen mit leichten Eingangsverlusten, kurzer Einschaltantwortzeit und niedriger gesättigter elektrischer Leistung bereitstellen.
Wie obenstehend unter Bezugnahme auf die Beispiele gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben, ist es klar, daß es durch die Verringerung der Pb-Konzentration in dem magnetischen Granat-Einkristallfilm auf etwa 4000 ppm auf Gewichtsbasis oder weniger möglich wird, daß der Eingangsverlust nicht höher als 10 dB ist, die Einschaltantwortzeit nicht mehr als 200 ns beträgt, und die gesättigte elektrische Eingangsleistung nicht mehr als –25 dBm beträgt.
Während bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben wurden, werden verschiedene Modi der Durchführung der hierin beschriebenen Prinzipien innerhalb des Umfangs der nachstehenden Ansprüche in Betracht gezogen. Daher versteht es sich, daß der Umfang der Erfindung nicht eingeschränkt werden soll, es sei denn, in den Ansprüchen ist etwas anderes angegeben.

Claims

Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms, umfassend das Züchten eines magnetischen Granat-Einkristallfilms durch Flüssigphasen-Epitaxie und Verwenden eines Flußmittels auf PbO-Basis mit einem PbO-Verbindungsgehalt von nicht mehr als etwa 70 Gew.-%, gemessen als PbO.
Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms nach Anspruch 1, wobei die Züchtungstemperatur nicht weniger als etwa 940 °C beträgt.
Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Granat-Einkristallfilms nach Anspruch 1 oder 2, wobei der magnetische Granat-Einkristallfilm weiterhin Fe umfasst.
Magnetostatische Wellenvorrichtung, umfassend einen magnetischen Granat-Einkristallfilm hergestellt nach Anspruch 1 und ein Substrat.
Magnetostatische Wellenvorrichtung nach Anspruch 4, wobei der magnetische Granat-Einkristallfilm weiterhin Fe umfasst.
Magnetostatische Wellenvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, wobei der magnetische Granat-Einkristallfilm ein magnetischer Flüssigphasen-Epitaxie-Einkristallfilm ist.