DE19916479A1 - Sterilizing appliance for interior of bottle has chamber evacuated by pump and small gap between bottle and wall of chamber ensures that vacuum exists inside and outside bottle - Google Patents

Abstract

To sterilize the bottle (1) it is placed in a chamber (7) which is evacuated by a pump (8). A small gap (15) between it and the wall of the chamber ensures that a vacuum exists inside and outside the bottle. The plasma is introduced directly into the chamber forming one electrode (10), the wall (11) of the chamber forming a second, earthed, electrode. The plasma is generated by applying a high frequency alternating voltage between the electrodes.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Sterilisieren wenig­ stens der Innenflächen von eine Füllöffnung aufweisenden druck­ labilen, elektrisch nicht leitenden Behältern mittels eines Niederdruckplasmas, mit einer evakuierbaren, einen Reaktor für das Plasma bildenden Kammer zur Aufnahme jeweils eines Behälters, mit einem die Kammer verschließenden, den Behälter tragenden weg­ bewegbaren Boden, mit einer Vakuumpumpe zum Evakuieren der Kammer und des Behälters, mit einer Zuleitung für zu ionisierendes Prozessgas, mit einer Zuleitung für steriles Flutgas, mit zwei das Plasma erzeugenden, koaxial zueinander angeordneten und gegeneinander isolierten Elektroden, von denen die eine Elektrode als geerdete Außenelektrode ausgebildet ist und die Wandung der Kammer bildet und von denen die andere Elektrode als durch die Füllöffnung ins Innere des Behälters einführbare Innenelektrode ausgebildet ist, sowie mit einem mit der Innenelektrode verbun­ denen Hochfrequenz-Generator zum Anlegen einer Wechsel­ spannung. The invention relates little to a device for sterilizing at least the inner surfaces of pressure with a filling opening unstable, electrically non-conductive containers by means of a Low pressure plasma, with an evacuable, a reactor for the plasma-forming chamber for receiving a container, with one closing the chamber, carrying the container away movable floor, with a vacuum pump to evacuate the chamber and the container, with a supply line for to be ionized Process gas, with one supply line for sterile flood gas, with two the plasma generating, arranged coaxially to each other and electrodes insulated from each other, one of which is an electrode is designed as a grounded outer electrode and the wall of the Chamber forms and of which the other electrode than through the Filling opening insertable inner electrode inside the container is formed, as well as connected to one with the inner electrode which high frequency generator to create a change tension.  

Eine Vorrichtung dieser Art ist durch das US-Patent 3,701,628 Stand der Technik (Fig. 3 in Verbindung mit Spalte 4, Zeilen 35 bis 37). Die Außenelektrode der bekannten Vorrichtung umgibt den Behälter mit relativ großem Abstand, so dass das Plasma sowohl innerhalb als auch außerhalb des Behälters gezündet wird. Dies führt zu einem schlechten Wirkungsgrad, da es in aller Regel nicht erforderlich ist, bei zu befüllenden Behältern auch die Außenflächen zu sterilisieren. Die Zuleitung für das Prozessgas mündet außerhalb des Behälters in der Kammer, was zur Folge hat, dass beim Evakuieren der Kammer der Druck ganz erheblich unter den Prozessdruck gesenkt werden muss, damit das anschließend zugeführte Prozessgas nicht wesentlich durch die Restluft ver­ dünnt wird und den Behälter vollständig fluten kann.A device of this type is known from U.S. Patent 3,701,628 ( Fig. 3 in conjunction with column 4, lines 35 to 37). The outer electrode of the known device surrounds the container at a relatively large distance, so that the plasma is ignited both inside and outside the container. This leads to poor efficiency, since it is generally not necessary to also sterilize the outer surfaces of the containers to be filled. The supply line for the process gas opens outside the container in the chamber, which means that when the chamber is evacuated, the pressure must be reduced significantly below the process pressure so that the process gas subsequently supplied is not significantly diluted by the residual air and the container can completely flood.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, den Wirkungsgrad der Vorrichtung deutlich zu verbessern.The invention is based, the efficiency of the task Improve device significantly.

Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die Innenelektrode die Zuleitung für das Prozessgas enthält und dass die Außenelektrode den Behälter eng umschließt.The object is achieved in that the inner electrode Supply line for the process gas contains and that the outer electrode tightly encloses the container.

Dadurch, dass die Innenelektrode die Zuleitung für das Prozessgas enthält, welches zunächst gegen den Boden des Behälters strömt und von dort durch die Füllöffnung des Behälters abgesaugt wird, lässt sich das Innere des Behälters schnell und einfach mit dem Prozessgas fluten, wobei gleichzeitig die noch vorhandene Rest­ luft verdrängt wird. Dies kann auf dem Niveau des Prozessdrucks geschehen, so dass ein tieferes Herunterpumpen nicht erforderlich ist. Daraus ergibt sich eine bedeutende Einsparung an zu instal­ lierender Pumpenleistung. Dadurch, dass ferner die Außenelektrode den Behälter eng umschließt, kann im Spalt zwischen der Außen­ kontur des Behälters und der Wandung der durch die Außenelektrode gebildeten Kammer kein Plasma gezündet werden, so dass das Plasma im Wesentlichen nur im Innern des Behälters, nämlich dort, wo es erwünscht ist, gezündet wird. Dadurch werden im Wesentlichen nur die Innenflächen des Behälters sterilisiert, was ebenfalls zu einer Erhöhung des Wirkungsgrades beiträgt.The fact that the inner electrode is the supply line for the process gas contains, which initially flows against the bottom of the container and is sucked from there through the filling opening of the container, the inside of the container can be quickly and easily removed with the Process gas floods, while the remaining remaining air is displaced. This can be at the level of the process pressure happen, so deeper pumping down is not required is. This results in a significant saving on too instal pump performance. The fact that the outer electrode tightly encloses the container, can be in the gap between the outside contour of the container and the wall of the through the outer electrode formed chamber no plasma can be ignited, so the plasma essentially only inside the container, namely where it is is desired, is ignited. This essentially only  the inside surfaces of the container are sterilized, which too contributes to an increase in efficiency.

Zwar ist es durch die internationale Patentanmeldung WO 97/22369 per se bekannt, einen zu sterilisierenden Behälter mit einer Außenelektrode zu umgeben und durch eine Füllöffnung eine Innen­ elektrode einzuführen, die gleichzeitig als Zuleitung für das Prozessgas dient. Der zu sterilisierende Behälter befindet sich allerdings nicht in einer evakuierbaren Kammer, da bei der bekannten Vorrichtung der Prozess bei Atmosphärendruck abläuft. Dadurch ist die letztgenannte Druckschrift nicht gattungsgemäß, denn ein wesentlicher Vorteil eines Niederdruckplasmas, nämlich das Sterilisieren bei niedrigen Temperaturen, beispielsweise Raumtemperatur, lässt sich nicht erzielen. Außerdem weist die Außenelektrode einen relativ großen Abstand zur Außenkontur des Behälters auf, so dass auch hier der Wirkungsgrad nicht gut ist.It is through international patent application WO 97/22369 known per se, a container to be sterilized with a To surround the outer electrode and an inner through a filling opening introduce electrode, which also serves as a lead for the Process gas is used. The container to be sterilized is located but not in an evacuable chamber, since the known device the process takes place at atmospheric pressure. As a result, the last-mentioned publication is not generic, because an essential advantage of a low-pressure plasma, namely sterilizing at low temperatures, for example Room temperature cannot be achieved. In addition, the Outer electrode a relatively large distance from the outer contour of the Container on, so that the efficiency is not good here.

In Ausgestaltung der Erfindung ist der Boden der Kammer als Verlängerung der Außenelektrode ausgebildet. Dadurch ist sicher­ gestellt, dass auch die Innenflächen des Behälterbodens in einwandfreier Weise mit sterilisiert werden.In an embodiment of the invention, the bottom of the chamber is as Extension of the outer electrode is formed. This makes it safe placed that the inner surfaces of the container bottom in to be properly sterilized with.

In Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Innenelektrode zusätzlich als Füllrohr für in den Behälter abzufüllendes Füllgut ausgebildet ist. Dadurch lässt sich der Füllprozess vorteilhaft in den Sterilisationsprozess einschlie­ ßen.In a development of the invention it can be provided that the Internal electrode also as a filling tube for in the container filling material to be filled is formed. This allows the Advantageously include the filling process in the sterilization process eat.

Um zu verhindern, dass Reste des Füllgutes beim nächsten Evaku­ ieren vereisen und somit das Evakuieren erschweren würden, ist das Füllrohr zweckmäßig an seiner in den Behälter ragenden Stirnseite während des Sterilisiervorgangs verschließbar.In order to prevent residues of the filling material at the next evacuation ice and would make it difficult to evacuate the filling pipe expediently on its protruding into the container Front side lockable during the sterilization process.

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels.Further advantages and features of the invention result from the Subclaims and the following description of a  Embodiment.

Die in der Zeichnung dargestellte Vorrichtung dient dem Sterili­ sieren von Behältern 1 mittels eines Niederdruckplasmas und dadurch bei niedrigen Temperaturen. Bei diesen Behältern 1, welche drucklabil und elektrisch nicht leitend sind, sollen insbesondere die Innenflächen 2 keimfrei gemacht werden. Von den Außenflächen 3 hingegen brauchen nur die jenigen sterilisiert zu werden, die sich im Bereich einer Füllöffnung 4 befinden, nämlich ein Transportkragen 5 und ein Gewinde 6 für einen später aufzu­ bringenden Verschluss des Behälters 1.The device shown in the drawing is used to sterilize containers 1 by means of a low-pressure plasma and thereby at low temperatures. In these containers 1 , which are pressure-unstable and electrically non-conductive, the inner surfaces 2 in particular are to be made sterile. Of the outer surfaces 3, on the other hand, only those need to be sterilized that are located in the area of a filling opening 4 , namely a transport collar 5 and a thread 6 for a closure of the container 1 to be brought later.

Zum Sterilisieren wird jeweils ein Behälter 1 in einer als Reaktor ausgebildeten, zu evakuierenden Kammer 7 aufgenommen, die an eine Vakuumpumpe 8 angeschlossen ist über ein im Bereich der Füllöffnung 4 mündendes Absaugrohr 9 werden sowohl die Kammer 7 als auch der Behälter 1 evakuiert.For sterilization, a container 1 is accommodated in a chamber 7 designed as a reactor and to be evacuated, which is connected to a vacuum pump 8. A suction pipe 9 opening in the area of the filling opening 4 evacuates both the chamber 7 and the container 1 .

Zum Erzeugen des Plasmas sind zwei koaxial zueinander angeordnete und gegeneinander durch eine Isolation 19 isolierte Elektroden 10 und 11 vorgesehen, von denen die Elektrode 10 als Außenelektrode und die Elektrode 11 als Innenelektrode ausgebildet ist. Die Außenelektrode 10 ist geerdet und so gestaltet, dass sie bei Betrieb die Kammer 7 bildet, welche den Behälter 1 aufnimmt und mit einer Wandung eng umschließt. Dies macht es möglich, dass sich das Vakuum sowohl im Inneren des Behälters 1 als auch außerhalb des Behälters 1 befindet, so dass dieser nicht form­ stabil zu sein braucht. Die Innenelektrode 11 ist durch die Füllöffnung 4 einführbar und endet in der Nähe des Behälterbodens 12.To generate the plasma, two electrodes 10 and 11 , which are arranged coaxially to one another and insulated from one another by insulation 19 , are provided, of which the electrode 10 is designed as an outer electrode and the electrode 11 as an inner electrode. The outer electrode 10 is grounded and designed so that it forms the chamber 7 during operation, which receives the container 1 and closely surrounds it with a wall. This makes it possible for the vacuum to be located both inside the container 1 and outside the container 1 , so that the latter need not be dimensionally stable. The inner electrode 11 can be inserted through the filling opening 4 and ends in the vicinity of the container bottom 12 .

Dem Erzeugen der Wechselspannung dient ein Hochfrequenz-Generator 13, der eine Leistung mit einer zugelassenen Industriefrequenz, beispielsweise 13,56 oder 27,12 MHz liefert. Die Leistung wird von einem Anpassnetzwerk 14, einer sogenannten Matchbox, über die Innenelektrode 11 kapazitiv eingekoppelt.A high-frequency generator 13 is used to generate the alternating voltage and delivers a power with an approved industrial frequency, for example 13.56 or 27.12 MHz. The power is capacitively coupled in by a matching network 14 , a so-called matchbox, via the inner electrode 11 .

Auf Grund des engen Spaltes 15 zwischen der Wandung der Außen­ elektrode 10 und der Außenkontur des Behälters 1 kann außerhalb des Behälters 1 kein Plasma gezündet werden. Dieser wünschenswerte Zustand ist dann gegeben, wenn der Spalt 15 nur wenige Millimeter breit ist. Das Plasma wird also im Wesentlichen nur im Inneren des Behälters 1 gezündet, so dass im Wesentlichen auch nur dessen Innenflächen 2 sterilisiert werden.Due to the narrow gap 15 between the wall of the outer electrode 10 and the outer contour of the container 1 , no plasma can be ignited outside the container 1 . This desirable state is present when the gap 15 is only a few millimeters wide. The plasma is therefore essentially ignited only in the interior of the container 1 , so that essentially only its inner surfaces 2 are sterilized.

Da neben den Innenflächen 2 auch ein Teil der Außenflächen 3 im Bereich der Füllöffnung 4 mitsterilisiert werden soll, weist die Außenelektrode 10 in diesem Bereich eine Aussparung 16 derart auf, dass die Außenelektrode 10 gegenüber den Außenflächen 3 Spiel hat. Dadurch kann das gezündete Plasma auch den Transport­ kragen 5 und das Gewinde 6 erreichen.Since, in addition to the inner surfaces 2 , part of the outer surfaces 3 is also to be sterilized in the area of the filling opening 4 , the outer electrode 10 has a recess 16 in this area such that the outer electrode 10 has play with respect to the outer surfaces 3 . As a result, the ignited plasma can also reach the transport collar 5 and the thread 6 .

Die Innenelektrode 11 enthält eine Zuleitung 17 für zu ionisie­ rendes Prozessgas. Über ein Ventil 18 wird das Prozessgas in den Behälter 1 und somit in die Kammer 7 eingelassen. Der Druck lässt sich durch eine nicht dargestellte Druckmesseinrichtung kontrollieren. Der am besten geeignete Entladungsdruck ist abhängig von der Gasart und kann im Bereich von 0,1 Pa bis zu einigen 100 Pa liegen. Ein besonders geeignetes Prozessgas ist beispielsweise Wasserstoffperoxid, es können aber auch grund­ sätzlich andere Gase verwendet werden.The inner electrode 11 contains a feed line 17 for process gas to be ionized. The process gas is admitted into the container 1 and thus into the chamber 7 via a valve 18 . The pressure can be checked by a pressure measuring device, not shown. The most suitable discharge pressure depends on the type of gas and can range from 0.1 Pa to several 100 Pa. A particularly suitable process gas is, for example, hydrogen peroxide, but other gases can also be used in principle.

Bei geschlossener Kammer 7 steht der Behälter 1 mit seinem Behälterboden 12 auf einem Boden 20 des Reaktors. Der Boden 20 besitzt eine leitende und ebenfalls geerdete Grundplatte und kann somit bei Betrieb die Außenelektrode 10 fortsetzen. Der Boden 20 ist ebenfalls entsprechend dem Behälterboden 12 geformt, so dass auch hier außerhalb des Behälters 1 kein Plasma gezündet wird. When the chamber 7 is closed, the container 1 with its container base 12 stands on a base 20 of the reactor. The bottom 20 has a conductive and also grounded base plate and can thus continue the outer electrode 10 during operation. The base 20 is also shaped in accordance with the container base 12 , so that here, too, no plasma is ignited outside the container 1 .

Der Boden 20 ist auf einer entsprechend den Bewegungsrichtungen A und B bewegbaren Hubstange 22 angebracht, so dass die Kammer 7 zum Ein- und Ausführen des Behälters 1 geöffnet und geschlossen werden kann. Mit 23 ist strichpunktiert eine abgesenkte Zwi­ schenposition des Bodens 20 angedeutet.The bottom 20 is mounted on a lifting rod 22 which can be moved in accordance with the directions of movement A and B, so that the chamber 7 can be opened and closed for the insertion and removal of the container 1 . With 23 dash-dotted lines a lowered inter mediate position of the bottom 20 is indicated.

Im Bereich der Füllöffnung 4 mündet eine Zuleitung 24 für ein steriles Flutgas nach beendeter Sterilisation. Die Zuleitung 24 enthält ein Ventil 25.In the area of the filling opening 4 , a supply line 24 for a sterile flood gas opens after the sterilization has ended. The feed line 24 contains a valve 25 .

Durch die koaxiale Anordnung der Innenelektrode 11 zur Außen­ elektrode 10 ist die Leistungseinkopplung axialsymmetrisch und daher bezüglich der zu sterilisierenden Innenflächen 2 sowie bezüglich der zu sterilisierenden Außenflächen 3 des Behälters 1 sehr homogen. Die geerdete Außenelektrode 10 bildet zusammen mit dem ebenfalls geerdeten Boden 20 eine perfekte Hochfrequenz- Abschirmung des Reaktors. Lediglich die aus der Kammer 7 nach oben herausragende Innenelektrode 11 und das unmittelbar in diesem Bereich anzubringende Anpassnetzwerk 14 benötigen eine zusätzliche, gestrichelt angedeutete Abschirmung 26. Das Prozessgas wird der Zuleitung 17 über ein isolierendes Rohrstück 27 zugeführt. Gegebenenfalls kann die Innenelektrode 11 vertikal verschiebbar ausgebildet sein, so dass sie unter Umständen erst nach dem Einschieben des Behälters 1 in die Kammer 7 nach unten in den Behälter 1 hineingefahren wird.Due to the coaxial arrangement of the inner electrode 11 to the outer electrode 10 , the power coupling is axially symmetrical and therefore very homogeneous with respect to the inner surfaces 2 to be sterilized and with respect to the outer surfaces 3 of the container 1 to be sterilized. The grounded outer electrode 10 , together with the ground 20, which is also grounded, forms a perfect high-frequency shielding of the reactor. Only the inner electrode 11 protruding upward from the chamber 7 and the matching network 14 to be attached directly in this area require an additional shield 26 , indicated by dashed lines. The process gas is supplied to the feed line 17 via an insulating pipe section 27 . Optionally, the inner electrode 11 may be formed vertically displaceable so that they may only after the insertion of the container 1 into the chamber 7 downwards in the container 1 is driven into it.

Dadurch, dass die Zuleitung 17 für das Prozessgas im Innern der Innenelektrode 11 angeordnet ist, lässt sich das Innere des Behälters 1 schnell und einfach mit dem Prozessgas fluten, wobei gleichzeitig die noch vorhandene Restluft verdrängt wird. Dies kann auf dem Niveau des Prozessdrucks geschehen, so dass es nicht erforderlich ist, die Kammer 7 unter den Entladungsdruck zu evakuieren. Durch Aufrechterhalten einer stationären Prozessgas- Strömung während der Plasmaphase lässt sich zudem ein reprodu­ zierbarer Prozessverlauf gewährleisten. Because the supply line 17 for the process gas is arranged in the interior of the inner electrode 11 , the inside of the container 1 can be flooded with the process gas quickly and easily, and at the same time the residual air still present is displaced. This can be done at the level of the process pressure, so that it is not necessary to evacuate the chamber 7 below the discharge pressure. Maintaining a steady flow of process gas during the plasma phase also ensures a reproducible process flow.

Wie in der Zeichnung dargestellt, kann die Innenelektrode 11 zusätzlich auch noch als Füllrohr 28 dienen. Dabei lässt sich vorteilhaft ein hohler Ventilstößel 29 zur Prozessgaszufuhr verwenden, da für die Gaszuführung ein geringer Querschnitt ausreicht. Die große äußere ringförmige Querschnittsfläche steht dann für das Füllgut zur Verfügung. Der Ventilteller muss das Füllrohr 28 auf seiner unteren Stirnseite 30 abschließen, weil Füllgutreste im Füllrohr 28 sonst beim nächsten Evakuieren vereisen und das Evakuieren erschweren würden. Gegebenenfalls kann während des Füllvorgangs die Innenelektrode 11 derart nach oben aus der Kammer 7 herausgezogen bzw. der auf dem Boden 20 ruhende Behälter 1 derart nach unten abgesenkt werden, dass die Stirnseite 30 des Füllrohres 28 gerade keinen Kontakt zur in dem Behälter 1 steigenden Oberfläche des Füllgutes hat.As shown in the drawing, the inner electrode 11 can also serve as a filling tube 28 . A hollow valve tappet 29 can advantageously be used for the supply of process gas, since a small cross section is sufficient for the supply of gas. The large outer annular cross-sectional area is then available for the filling material. The valve plate must close the filling pipe 28 on its lower end face 30 , because residues in the filling pipe 28 would otherwise ice up during the next evacuation and would make the evacuation difficult. If necessary, the inner electrode 11 can be pulled up out of the chamber 7 during the filling process, or the container 1 resting on the bottom 20 can be lowered in such a way that the end face 30 of the filling tube 28 just has no contact with the surface of the container 1 rising in the container 1 Has filling goods.

Der Prozessablauf geschieht folgendermaßen:
Zunächst wird der Behälter 1, auf dem Boden 20 des Reaktors stehend, in die Kammer 7 von unten eingeschoben. Hierbei wird der Boden 20 an die Kammer 7 angedrückt und diese unter Zwischen­ schaltung einer Dichtung 21 dicht verschlossen.The process flow happens as follows:
First, the container 1 , standing on the bottom 20 of the reactor, is pushed into the chamber 7 from below. Here, the bottom 20 is pressed against the chamber 7 and this is sealed with the interposition of a seal 21 .

Über die Vakuumpumpe 8 wird anschließend die Kammer 7 zusammen mit dem Behälter 1 evakuiert, und zwar lediglich bis auf Entla­ dungsdruck. In dieser Phase ist die Kammer 7 nur noch mit atmo­ sphärischem Gasgemisch gefüllt.About the vacuum pump 8 , the chamber 7 is then evacuated together with the container 1 , and only up to discharge pressure. In this phase, the chamber 7 is only filled with an atmospheric gas mixture.

Nun wird über die im Innern der Innenelektrode 11 befindliche Zuleitung 17 Prozessgas zugegeben, wobei die Restluft von unten nach oben aus dem Behälter 1 verdrängt und im Kopfbereich des Reaktors abgesaugt wird. Diese Prozessgas-Strömung kann, gegebe­ nenfalls in verringertem Maß, auch nach der nun folgenden Plas­ mazündung bis zum Ende der Plasmaphase aufrechterhalten werden. Durch dieses Strömen während der Plasmaphase wird in technisch einfacher Weise sichergestellt, dass wirklich der gewünschte Zustand herrscht und dass die maximale Prozessgas- Konzentration im Innern des Behälters 1 gewährleistet ist.Process gas is now added via the feed line 17 located inside the inner electrode 11 , the residual air being displaced from the bottom upwards out of the container 1 and being sucked off in the top region of the reactor. This process gas flow can be maintained, if necessary to a reduced extent, even after the subsequent plasma ignition until the end of the plasma phase. This streaming during the plasma phase ensures in a technically simple manner that the desired state really exists and that the maximum process gas concentration inside the container 1 is guaranteed.

Nach Beendigung der Plasmasterilisation und nach Abschalten der Strömung des Prozessgases wird mit Flutgas geflutet, beispiels­ weise mit Sterilluft oder sterilem Inertgas. Zu bevorzugen wäre beispielsweise Stickstoff. Das Spülgas wird über die Zuleitung 24 in den Kopfraum des Reaktors eingebracht. Beträgt der Prozessdruck beispielsweise 20 bis 50 Pa, so erhält man beim Fluten auf Normaldruck eine Konzentrationsverringerung des noch im Behälter 1 befindlichen Prozessgases um einen Faktor 2000 bis 5000. Besonders vorteilhaft ist es, das Plama erst kurz nach Beendigung der Prozessgaszufuhr abzuschalten. Dadurch wird im Behälter 1 befindliches Prozessgas zunächst noch dissoziiert. Nach Abschalten des Plasmas rekombinieren die Plasmakomponenten dann zu energetisch niedrigwertigen, unbedenklichen Verbindungen. Die im Behälter 1 verbliebene Restmenge eventuell reaktiven Prozessgases wird so eliminiert. Wird Wasserstoffperoxid als Prozessgas verwendet, bleiben nach Plasmaabschaltung praktisch nur Wasser und molekularer Sauerstoff übrig.After the end of the plasma sterilization and after switching off the flow of the process gas, flooding is carried out, for example with sterile air or sterile inert gas. For example, nitrogen would be preferred. The purge gas is introduced into the head space of the reactor via the feed line 24 . If the process pressure is, for example, 20 to 50 Pa, a reduction in the concentration of the process gas still in the container 1 is obtained by a factor of 2000 to 5000 when flooding to normal pressure. It is particularly advantageous to switch off the Plama only shortly after the process gas supply has ended. As a result, process gas located in container 1 is initially dissociated. After switching off the plasma, the plasma components then recombine to form energetically low-value, harmless compounds. The residual amount of possibly reactive process gas remaining in container 1 is thus eliminated. If hydrogen peroxide is used as the process gas, practically only water and molecular oxygen remain after the plasma has been switched off.

Wenn der Behälter 1 zusätzlich im Reaktor nun befüllt wird, lässt sich durch vorheriges Fluten mit Stickstoff auf einen Druck von eventuell deutlich über einem Bar, also durch Vorspannen mit sterilem Stickstoff, ein Schäumen des Füllgutes verringern oder gegebenenfalls vollständig unterdrücken, wodurch ein schnelleres Befüllen möglich wird. Dadurch, dass sich in diesem Fall kein Sauerstoff im Bereich der Füllöffnung 4 befindet, erfährt das Füllgut beim Einfüllen auch keinerlei. Sauerstoff-Kontakt, so dass es keinen Sauerstoff aufnehmen kann.If the container 1 is now also filled in the reactor, previous flooding with nitrogen to a pressure of possibly well above a bar, that is by prestressing with sterile nitrogen, can reduce or, if necessary, completely suppress foaming of the filling material, which enables faster filling becomes. Because there is no oxygen in the area of the filling opening 4 in this case, the filling material does not experience any during filling. Oxygen contact so that it cannot absorb oxygen.

Eine nicht dargestellte Vorrichtung zum Verschließen des Behäl­ ters 1 ist zweckmäßig unterhalb des Reaktors angebracht. Sobald der Behälter 1 nach unten aus der Kammer 7 herausgezogen ist, kann der Behälter 1 durch einen Verschluss verschlossen werden.A device, not shown, for closing the container 1 is expediently attached below the reactor. As soon as the container 1 is pulled down out of the chamber 7 , the container 1 can be closed by a closure.

Claims (7)

1. Vorrichtung zum Sterilisieren wenigstens der Innenflächen von eine Füllöffnung aufweisenden drucklabilen, elektrisch nicht leitenden Behältern mittels eines Niederdruckplasmas, mit einer evakuierbaren, einen Reaktor für das Plasma bildenden Kammer zur Aufnahme jeweils eines Behälters, mit einem die Kammer ver­ schließenden, den Behälter tragenden wegbewegbaren Boden, mit einer Vakuumpumpe zum Evakuieren der Kammer und des Behälters, mit einer Zuleitung für zu ionisierendes Prozessgas, mit einer Zuleitung für steriles Flutgas, mit zwei das Plasma erzeugenden, koaxial zueinander angeordneten und gegeneinander isolierten Elektroden, von denen die eine Elektrode als geerdete Außenelek­ trode ausgebildet ist und die Wandung der Kammer bildet und von denen die andere Elektrode als durch die Füllöffnung ins Innere des Behälters einführbare Innenelektrode ausgebildet ist, sowie mit einem mit der Innenelektrode verbundenen Hochfrequenz-Gene­ rator zum Anlegen einer Wechselspannung, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektrode (11) die Zuleitung (17) für das Prozessgas enthält und dass die Außenelektrode (10) den Behälter (1) eng umschließt.1. Device for sterilizing at least the inner surfaces of a filling opening having pressure-labile, electrically non-conductive containers by means of a low-pressure plasma, with an evacuable, a reactor for the plasma-forming chamber for receiving one container each, with a ver closing the chamber, the container carrying away movable Floor, with a vacuum pump for evacuating the chamber and the container, with a supply line for process gas to be ionized, with a supply line for sterile flood gas, with two plasma-generating electrodes which are arranged coaxially to one another and insulated from one another, one of which is an earthed external electrode trode is formed and the wall of the chamber forms and of which the other electrode is designed as an insertable through the filling opening into the interior of the container inner electrode, and with a high frequency generator connected to the inner electrode generator for applying an alternating voltage ng, characterized in that the inner electrode ( 11 ) contains the feed line ( 17 ) for the process gas and that the outer electrode ( 10 ) tightly surrounds the container ( 1 ). 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Boden (20) der Kammer (7) als Verlängerung der Außenelektrode (10) ausgebildet ist.2. Device according to claim 1, characterized in that the bottom ( 20 ) of the chamber ( 7 ) is designed as an extension of the outer electrode ( 10 ). 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektrode (11) zusätzlich als Füllrohr (28) für in den Behälter (1) abzufüllendes Füllgut ausgebildet ist.3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the inner electrode ( 11 ) is additionally designed as a filling tube ( 28 ) for filling material to be filled into the container ( 1 ). 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllrohr (28) an seiner in den Behälter (1) ragenden Stirnseite (30) verschließbar ist. 4. The device according to claim 3, characterized in that the filling tube ( 28 ) on its in the container ( 1 ) projecting end face ( 30 ) can be closed. 5. Verfahren zum Sterilisieren von Behältern mittels einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Prozessgas im Bereich des Behälterbodens zugeführt und die Restluft im Bereich der Füllöffnung abgesaugt wird.5. Method for sterilizing containers using a Device according to one of the preceding claims, characterized characterized that the process gas in the area of the tank bottom supplied and the residual air is sucked out in the area of the filling opening becomes. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kammer nur bis etwa auf das Niveau des Prozessdrucks evakuiert wird und dass eine stationäre Prozessgas-Strömung während der Plasmaphase aufrechterhalten wird.6. The method according to claim 5, characterized in that the Chamber only evacuated to about the level of the process pressure and that a stationary process gas flow during the Plasma phase is maintained. 7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass als Vorbereitung zum Befüllen des Behälters mit Füllgut ein Fluten mit sterilem sauerstofffreiem Flutgas durchgeführt wird.7. The method according to claim 5 or 6, characterized in that as preparation for filling the container with filling material Flooding with sterile oxygen-free flood gas is carried out.