DE19833220A1 - Abstandsmeßvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung eines Abstandes - Google Patents
Abstandsmeßvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung eines AbstandesInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abstandsmeßvorrich
tung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfah
ren zur Bestimmung eines Abstands.
Unter anderem werden herkömmliche Abstandsmeßvorrichtungen
beispielsweise zur Detektion der Kolbenposition von fluidi
schen Linearantrieben bzw. pneumatische und hydraulische
Zylinder eingesetzt. Die Kolbenpositionserfassung an Zylin
dern kann sowohl diskret, d. h. an diskreten Stellen, als
auch kontinuierlich, d. h. ständig während des Betriebs, er
folgen.
Die diskrete Kolbenpositionsbestimmung wird in der Regel
benötigt, um die Ausführung bzw. Beendigung einer Kolbenbe
wegung an eine Ablaufsteuerung (z. B. SPS) zurückzumelden,
um somit beispielsweise den nächsten Ablaufschritt einlei
ten zu können.
Hierzu werden überwiegend magnetfeldempfindliche Sensoren
bzw. Sensoreinrichtungen verwendet, welche das Magnetfeld
eines Permanentmagneten, der sich an dem Zylinderkolben be
findet, detektieren. Die dabei eingesetzten Sensoren werden
extern an das Zylinderrohr des Kolbenzylinders montiert.
Bewegt sich der Kolben in den Erfassungsbereich eines sol
chen Sensors, so erkennt dieser die Anwesenheit des Zylin
derkolbens, durch das Zylinderrohr hindurch. Hierfür ist
überwiegend die Verwendung von nicht-ferromagnetischer
Werkstoffe erforderlich und beschrankt somit die konstruk
tiven Eigenschaften bzw. Anwendungen des Antriebes.
Soll hingegen eine andere Position detektiert werden, so
muß der Sensor entsprechend mechanisch justiert werden. Für
jede zusätzlich zu erfassende Position muß folglich ein
weiterer Sensor montiert werden, und zwar mit den damit
verbundenen zusätzlichen Material-, Montage-, Justage und
Installationskosten.
Ferner wird für diese extern angebauten Sensoren zusätzli
cher Einbauraum benötigt. Damit die Zugänglichkeit und Ro
bustheit des Sensors gewährleistet werden kann, ist häufig
zusätzlicher konstruktiver Aufwand erforderlich.
Diese Art von Sensoren sind überwiegend als magnetfeldemp
findliche Sensoren ausgeführt und sind als Reed-Schalter,
magnetoresistive (MR), giant magnetoresistive (GMR), Hall-
Schalter oder magnetinduktive Näherungsschalter bekannt.
Durch die Detektion des Magnetfeldes ist eine aufwendige
Abstimmung des Magneten auf den Sensor bzw. auf die Sen
soreinrichtung erforderlich. Zudem werden durch dieses Meß
prinzip die möglichen Anwendungen durch störende statische
und dynamische Magnetfelder (EMV, Feld eines nahen Zylin
ders) sowie das Temperaturverhalten des Sensors beschränkt.
Zur kontinuierlichen Kolbenpositionsmessung werden gewöhn
lich Meßsysteme verwendet, die potentiometrisch, nach dem
LVDT-Prinzip (Linear Variable Differential Transformer)
oder nach dem Ultraschall-Prinzip arbeiten. Die Kolbenposi
tion wird bei diesen Systemen kontinuierlich und überwie
gend als analoges Spannungssignal ausgegeben. Als Ergänzung
zu diesen Systemen sind auch inkrementale Wegmessungen be
kannt. Diese Systeme werden beispielsweise durch die Kodie
rung der Kolbenstange realisiert und können somit nur zur
relativen Wegmessung verwendet werden.
Sowohl die kontinuierliche als auch die diskrete Kolbenpo
sitionsbestimmung können nicht bzw. nur mit erheblichem
konstruktiven Aufwand und den dadurch verbundenen hohen Ko
sten in einen Zylinder integriert werden. Der erhebliche
konstruktive Aufwand begründet sich dadurch, daß alle be
schriebenen gängigen Sensorprinzipien auf die entsprechende
Zylinderlänge angepaßt werden müssen, da sie einen zu kur
zen Erfassungsbereich besitzen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, eine Ab
standsmeßvorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung des
Abstands zu schaffen, welche bzw. welches die oben aufge
führten Nachteile überwindet und eine kontinuierliche und
somit diskretisierbare Abstandsbestimmung, eine einfache
Handhabung und vielseitige Einsatzmöglichkeiten erlaubt.
Diese Aufgabe wird mit den vorrichtungstechnischen Merkma
len des Anspruchs 1 und mit den verfahrenstechnischen Merk
malen des Anspruchs 16 gelöst.
Erfindungsgemäß wird eine Abstandsmeßvorrichtung und ein
Verfahren zur Bestimmung eines Abstands zur Verfügung ge
stellt, wobei die Sensoreinrichtung eine Koppelsonde auf
weist, die dazu dient, durch Abstrahlen und Empfangen von
Wellen, einen bestimmten Abstand beispielsweise in einer
Leitungsstruktur auszumessen, indem beispielsweise die Kop
pelsonde in die Leitungsstruktur integriert wird. Aufgrund
dieser Integration der Koppelsonde wird erreicht, daß die
Abstandsmeßvorrichtung klein gebaut und nahezu keine bzw.
geringe Umbaumaßnahmen erforderlich machen. Der gesamte
Aufbau der anmeldungsgemäßen Abstandsvorrichtung kann somit
ein sauberes, glattes Design aufgrund des Wegfalls einer
Montagemöglichkeit für externe Sensoreinrichtungen aufwei
sen, bzw. beeinflußt die äußere Erscheinung nicht. Mit der
anmeldungsgemäßen Abstandsmeßvorrichtung wird eine Instal
lationsersparnis erreicht, da der vorgefertigte Zylinder
lediglich ein Anschlußkabel zur Ansteuerung und Datenerfas
sung aufweist. Dadurch wird ferner eine Trennung der Sen
soreinrichtung von der Auswerteelektronik erreicht, welche
extern und von der Abstandsmeßvorrichtung abgesetzt ange
ordnet sein kann, und welche die Koppelsonde ansteuert. Ein
Hochtemperatureinsatz, insbesondere ein Einsatz bis ca.
300°C bzw. 1000°C ist unproblematisch möglich. Gemäß dem
anmeldungsgemäßen Verfahren wird die Länge der Lei
tungsstruktur bis zu einem Kurzschluß der ggfs. auch ver
schiebbar ist, gemessen. Das entsprechend dem anmeldungsge
mäßen Verfahren bereitgestellte Sendesignal wird in eine
Leitungsstruktur eingeleitet und von einem bestimmten Teil
der Leistungsstruktur, vorzugsweise eines Kurzschlusses re
flektiert. Dadurch wird die Messung des Abstandes zwischen
dem von der Koppelsonde definierten Einspeisepunkt und dem
vorbestimmten Teil der Leitungsstruktur durchgeführt. Der
zu messende Abstand erfolgt hierbei durch eine Laufzeitmes
sung des Sendesignals. Wird beispielsweise ein frequenzmo
duliertes Sendesignal herangezogen, so ergibt sich der zu
messende Abstand gemäß folgender Formel:
Abstand = n × Lichtgeschwindigkeit/2 × Frequenzhub;
mit n = 1, 2, 3 etc.
Aufgrund dieser Bestimmung des zu messenden Abstands wird
eine Genauigkeit der halben Wellenlänge des Sendesignals
erreicht. Das so durchgeführte Verfahren zur Bestimmung des
Abstandes zu einem vorbestimmten Teil der Leitungsstruktur
kann als sogenanntes Suchverfahren bezeichnet werden.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des anmeldungsgemäßen
Gegenstands sind Gegenstand der Unteransprüche.
Wird gemäß Anspruch 2 eine Koppelsonde bereitgestellt, die
eine magnetische oder elektrische Einkopplung bzw. eine
Schlitzkopplung ermöglicht, so agiert die Leitungsstruktur
als Hohlleiter bzw. als eine Koaxialleitung.
Je nach angestrebtem Mode wird gemäß Anspruch 3 die Koppel
sonde eine elektromagnetische Welle im Hochfrequenzbereich
vorzugsweise zwischen 10 MHz bis 25 GHz einspeisen, um eine
bestmögliche Signalauswertung zuzulassen. In Abhängigkeit
von den Dimensionen bzw. Ausmaßen der Leitungsstruktur,
können untere Grenzfrequenzen verwendet werden, ab denen
die nächsthöhere Mode ausbreitungsfähig ist. Die Praxis hat
gezeigt, daß insbesondere bei der Anwendung hinsichtlich
eines Zylinderkolbens gemäß Anspruch 4 eine monomodige Aus
breitung von Vorteil ist, vorzugsweise im TEM-Mode. In die
sem Mode ist insbesondere als nächsthöhere Mode der
TE11-Feldtyp ausbreitungsfähig. Die sich daraus ergebenden
Grenzfrequenzen sind beispielsweise bei einem Kolbenzylin
der mit Zylinderdurchmesser D und dem Kolbenstangendurch
messer d für D = 10 mm und d = 4 mm ungefähr 14 GHz für eine
untere Grenzfrequenz des TE11-Modes bzw. für D = 25 mm und
d = 10 mm ca. 5,5 GHz für eine untere Grenzfrequenz des
TE11-Modes.
In diesem Zusammenhang sei erwähnt, daß der TE11-Mode je
doch bei dem Zylinderkolben durch zweifache, insbesondere
gerade Achsensymmetrie sowohl der Feldanregung als auch des
Feldraumes unterdrückt werden. Aufgrund dieser Achsensymme
trie kann die Breite des Frequenzbereiches, in dem keine
höheren Feldtypen ausbreitungsfähig sind, ungefähr verdop
pelt werden. Der nächsthöhere, ausbreitungsfähige Mode in
dem Beispiel ist dann der TE21-Mode. Hierbei ist allerdings
zu beachten, daß bei Zylindern mit durchgehender Kolben
stange neben den Feldtypen des Koaxialleiters auch Feldty
pen in Rundhohlleiter auftreten. Die Grenzfrequenz dieses
Feldtyps im Rundhohlleiter ist für alle Zylinder größer als
die entsprechenden Grenzwerte des Feldtypen im zylindri
schen Koaxialleiter. Wird beispielsweise eine Betriebsfre
quenz eingesetzt, bei der nur der TEM-Feldtyp im Koaxial
leiter ausbreitungsfähig ist, so sind im gesamten Zylinder
keine Feldtypen des Hohlleiters ausbreitungsfähig.
Handelt es sich gemäß Anspruch 5 bei der Einkopplung um ei
ne singuläre also unsymmetrische Einkopplung, so ist in
diesem Beispiel bei einem koaxialen Zylinder die TE11-Mode
ausbreitungsfähig. Werden dagegen mehrere Einspeisepunkte
mit axialsymmetrischer Einkopplung verwendet, so wird bei
spielsweise beim koaxialen Zylinder die TE11 Mode unter
drückt, wobei bei Verwendung von zwei 180° versetzte Kop
pelsonden beide Koppelsonden von einem Einspeisepunkt durch
Aufspaltung des HF-Signals über einen 3dB-Leistungskoppler
bzw. -Leistungsteiler, z. B. Wilkinson versorgt werden, bei
vier um 90° versetzte Koppelsonden zwei 3dB-Koppler verwen
det und bei acht um 45° versetzte Koppelsonden vier
3dB-Koppler versorgt werden. Der Vorteil der axialsymmetrischen
Einspeisung besteht in der Unterdrückung des nächsthöheren
Modes und somit in der Möglichkeit eine höhere Sendefre
quenz verwenden zu können. Durch die höhere Sendefrequenz
und damit höhere Bandbreite läßt sich ferner eine höhere
Meßgenauigkeit erzielen.
Wird gemäß Anspruch 6 eine Abstandsmeßvorrichtung geschaf
fen, die ein Anpaßnetzwerk aufweist, so wird der Vorteil
erzielt, daß mit diesem Anpaßnetzwerk, vorzugsweise Hoch
frequenz-Anpaßnetzwerk die Frequenzbandbreite der Sonde er
höht wird und so das Abstrahlen bzw. Empfangen eines fre
quenzmodulierten Sendesignals möglich ist. Mit einem derar
tigen Anpaßnetzwerk wird die Voraussetzung geschaffen, über
den Suchvorgang bzw. den dazugehörigen Suchalgorithmus die
Entfernungsbestimmung mit einer hohen Genauigkeit bestimmen
zu können. Vorzugsweise sind sowohl Koppelsonde als auch
Anpaßnetzwerk als passive Leistungsstrukturen vorgesehen,
die in Form einer dünnen Goldschicht, beispielsweise 15 µm,
vorzugsweise galvanisch hergestellt werden. Aus rein prak
tischen Gründen kann es auch von Vorteil sein, die zur
Axialachse unsymmetrische, singuläre Einkopplung vorzusehen
und den Vorteil der symmetrischen Einkopplung der höheren
Sendefrequenz und damit Meßgenauigkeit aufzugeben. Dies hat
den Vorteil, daß für nahezu alle gängigen Leitungsstruktu
ren, insbesondere Kolbenzylindergrößen, eine identische
Koppelsonde einsetzbar ist.
Die symmetrische Einkopplung gemäß Anspruch 8 mit mehreren
Koppelsonden besitzt den weiteren Vorteil, daß Empfänger
und Sender bereits antennenseitig getrennt werden können.
Hierzu werden beispielsweise bei vier Koppelsonden jeweils
zwei gegenüber liegende Koppelsonden zum Senden und Empfan
gen verwendet. Führt man keine Trennung von Sende- und Emp
fangszweig durch, dann wird neben der Koppelsonde auch die
Leitungsstruktur des Senders für den Empfänger bis zur
Trennung durch den Koppler benutzt. Da die Koppelsonde eine
Einfügungsdämpfung besitzt, hat dies zur Folge, daß ein
Teil des Sendesignals an der Koppelsonde reflektiert wird
und damit in den Empfänger gelangt. Dort überlagert sich
der reflektierte Anteil des Sendesignals mit dem eigentli
chen Empfangssignals und verschlechtert die Meßgenauigkeit.
Dies wird bei der Trennung von Sende- und Empfangszweig be
reits auf Antennenseite vermieden.
Die Trennung in eine Sende- und Empfangsantenne hat den
weiteren Vorteil, daß gemäß Anspruch 9 jeweils unterschied
liche Ausführungsformen, d. h. elektrische oder magnetische
Sonden oder eine Schlitzkopplung, als Sende- bzw. Empfangs
antennen verwendet bzw. kombiniert werden können. Damit
läßt sich eine direkte Überkopplung des Sendesignals in den
Empfänger und somit eine Verbesserung der Signalqualität
erreichen.
Ist vorzugsweise gemäß Anspruch 11 die in einen Sende- und
Empfangszweig aufgeteilte Hochfrequenzelektronik der Sen
soreinrichtung, deren Empfangszweig aus einem Mischer
und/oder mindestens vier Hochfrequenz-Dioden besteht, vor
gesehen, so kann aufgrund der Anzahl der Hochfrequenz-Dioden
sowohl die Richtungserkennung einer Bewegung eines
vorbestimmten Teils der Leitungsstruktur als auch eine ein
deutige Entfernungsänderung dieses Teils ermittelt werden.
Wird gemäß Anspruch 12 eine geschlossene Regelschleife vor
gesehen, so kann beispielsweise eine aus dem Sendezweig
heruntergeteilte Frequenz beispielsweise des Voltage-
Controlled-Oszillators (VCO) nicht direkt als Ergebnisgröße
herangezogen werden, sondern in einer Frequenz- und Phasen
regelung eingesetzt werden. Auf diese Weise ist eine direk
te und vereinfachte insbesondere schnelle Verarbeitung der
Signale und Auswertung zur Bestimmung des Abstandes gewähr
leistet.
Gemäß Anspruch 13 kann beispielsweise diese dynamische Fre
quenzregelung über ein Phase-Lock-Loop (PLL) geregelt wer
den, welcher aus mindestens einem Frequenzteiler, einem
Phasendiskriminator und einem Tiefpaßfilter realisiert ist,
wobei die Sollfrequenz über ein Direct-Digital-Synthesizer
vorgegeben wird.
Enthält der Empfangszweig gemäß Anspruch 15 einen
IQ-Detektor (Inphase Quatratur Detektor), so ist ebenfalls ei
ne besondere Anordnung gegeben, mit der eine Richtungser
kennung einer Bewegung eines vorbestimmten Teils der Lei
tungsstruktur ermöglicht wird.
Eine vorteilhafte, vereinfachte Ausführungsform ergibt sich
für den Suchmode dann, wenn sowohl der Frequenzhub des Os
zillators als auch die Länge der Verzögerungsleitung so
ausgelegt werden, daß sie einer bestimmten, fest vorgegebe
nen Entfernung der Koppelsonde zu einem Punkt in der Lei
tungsstruktur, beispielsweise in einem Kolben, entsprechen,
d. h. wenn gemäß Anspruch 19 ein Synchronisationspunkt in
der Leitungsstruktur voreingestellt ist. Wird der Synchro
nisationspunkt beispielsweise von einem Zylinderkolben
überfahren, dann synchronisiert sich der Sensor sofort auf,
schaltet in den Trackmode um und übernimmt die hochdynami
sche Positionsbestimmung des Kolbens.
Wird darüberhinaus der Synchronisationspunkt relativ weit
entfernt von der Koppelsonde gewählt, dann hat dieses Ver
fahren den Vorteil, daß sowohl die Verzögerungsleitung als
kurzes Stück Leitung, z. B. in gedruckter Form auf der
Rückseite der Koppelsonde ausgeführt und der Frequenzhub
klein gehalten werden kann.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der
übrigen Unteransprüche.
Unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ist ein
bevorzugtes Ausführungsbeispiel insbesondere für die Ver
wendung in einem Zylinderkolben dargestellt.
Fig. 1 zeigt eine seitliche Schnittzeichnung einer Inte
gration der Abstandsmeßvorrichtung in einen Zylin
derkolben;
Fig. 2 zeigt eine Frontansicht der erfindungsgemäßen Ab
standsmeßvorrichtung;
Fig. 3 zeigt eine Frequenzverteilungskurve mit und ohne
Anpaßnetzwerk gemäß einer Ausführungsform der vor
liegenden Erfindung;
Fig. 4 zeigt ein Blockdiagramm der Hochfrequenz-Elektronik
mit einem ersten Empfangszweig zur Bestimmung des
Abstandes;
Fig. 5a zeigt eine weitere Ausführungsform einer Hochfre
quenz-Elektronik zur Richtungserkennung eines sich
bewegenden vorbestimmten Teils in der Lei
tungsstruktur;
Fig. 5b zeigt eine weitere Ausführungsform einer Hochfre
quenz-Elektronik zur Richtungserkennung eines sich
bewegenden vorbestimmten Teils in der Lei
tungsstruktur;
Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Hochfre
quenz-Elektronik zur Bestimmung des Abstandes.
Fig. 1 zeigt ein Anwendungsbeispiel der anmeldungsgemäßen
Abstandsmeßvorrichtung wie sie beispielsweise in einem Kol
benstangenzylinder, der beispielsweise bei einem linearen
Antrieb sowohl hydraulisch als auch pneumatisch betrieben
werden kann, einsetzbar ist. Die Sensoreinrichtung ist
axialsymmetrisch um die Kolbenstange 2 in einem Lagerdeckel
4 für die Kolbenstange 2 angeordnet. Wie in Fig. 1 zu er
kennen ist, wird in dieser Ausführungsform eine Lei
tungsstruktur durch die Kolbenstange 2, den Kolben 11 sowie
dem Zylindermantel 3 und dem Lagerdeckel 4 definiert. Die
in der Sensoreinrichtung vorgesehene Koppelsonde 7 ist in
den Lagerdeckel 4 integriert und in Richtung der Lei
tungsstruktur 5 gerichtet. Ferner sind in dem Lagerdeckel 4
Kanäle 13 vorgesehen, die für die elektrischen Zuleitungen
der Sensoreinrichtung integriert sind und an einer in der
Peripherie des Lagerdeckels 4 vorgesehenen Steckverbindung
9 endet.
Das Zylinderrohr und somit der Kolbenstangenzylinder selbst
kann vielfältig ausgestaltet sein. Wesentlich ist jedoch,
daß eine Art Leitungsstruktur 5 bereitgestellt wird, die
eine Reflektion des Sendesignals ermöglicht. Die Reflektion
im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 wird beispielsweise
durch den Kolben 11, der ebenso als Kurzschluß fungiert,
ermöglicht. Zum Schutz der Sensoreinrichtung bzw. Koppel
sonde 7 kann beispielsweise auch ein Einlagenpuffer 14 zur
Dämpfung des Aufpralls des Kolbens auf den Lagerdeckel vor
gesehen sein. In dem Deckel 5 können beispielsweise sowohl
ein Bedienfeld als auch ein Anzeigefeld 8 vorhanden sein,
mit dem einzelne Schaltpunkte angezeigt bzw. eingestellt
werden können.
In Fig. 2 ist eine Frontansicht des Lagerdeckels 4 darge
stellt, die die in der anmeldungsgemäßen Abstandsvorrich
tung enthaltene Sensoreinrichtung zeigt. In dieser in Fig. 2
dargestellten Ausführungsform ist die Verwendung für einen
kreisförmigen Zylinderkolben konzipiert worden. Die Sen
soreinrichtung weist z. B. eine mehrlagige Keramikscheibe 21
auf, auf deren Vorderseite die Koppelsonde 7 ausgebildet
ist und deren Rückseite als Trägersubstrat für die Elektro
nik-Bauteile dient. Die Durchkontaktierung 23 der Sende-
Empfangsleitung zur Koppelsonde 7 erfolgt vorzugsweise gal
vanisch oder über eine Apperturkopplung. Um einen größeren
Frequenzbereich durchstimmen zu können, ist ein Anpaßnetz
werk 25 vorgesehen, welches zwischen dem Einspeisepunkt,
der durch die Durchkontaktierung 23 vorgegeben ist, und der
Koppelsonde 7 angeordnet ist.
Fig. 3 zeigt deutlich, welchen Einfluß das Anpaßnetzwerk
auf eine Frequenzverteilung haben kann. Deutlich ist zu er
kennen, daß sich der Bereich der durchstimmbaren Frequen
zen, d. h. die Halbwertsbreite, mit Anpaßnetzwerk verdop
pelt. An dieser Stelle-sei bereits darauf hingewiesen, daß
die Keramikscheibe nicht generell uni die Kolbenstange ver
laufen muß, sondern auch aus einem kleinen, kreisrunden
Substrat besteht, welches unsymmetrisch an einer Stelle der
Kolbenstange eingebracht ist. Generell können aber auch die
Koppelsonde aus mehreren beispielsweise aus zwei Kontaktie
rungen bestehen und einem Stück gedruckter Leitung auf der
Vorderseite des Substrats, welches die beiden Durchkontak
tierungen miteinander verbindet.
Hierbei besteht die einfachste Ausführungsform einer magne
tischen Koppelsonde aus einem Stück Koaxialleitung, bei hö
heren Frequenzen vorzugsweise einer sogenannten Semirigid-
Leitung. Die Koaxialleitung wird -mechanisch durch den La
gerdeckel geführt. Der offene Innenleiter wird anschließend
über eine kurze Schleife in der Luft geführt und am Lager
deckel aufgelöst und somit kurzgeschlossen.
Ähnlich der elektrischen Sonde kann die magnetische auch
als gedruckte Streifenleitung ausgeführt werden. Hierbei
werden die Leitungsführungen bezogen auf die Kolbenstangen
sternförmig von innen nach außen angeordnet. Die Durchkon
taktierung verbindet wiederum die Elektronik auf der Rück
seite des Substrates mit der gedruckten Streifenleitung auf
der Vorderseite. Am inneren Ende der gedruckten Streifen
leitung befindet sich die Durchkontaktierung, am äußeren
Ende ist die Leitung mit dem Zylindergehäuse kurzgeschlos
sen. Weitere Ausführungsformen, z. B. die über Schlitzkopp
lung sind denkbar. Ansonsten sind alle Variationsmöglich
keiten bezüglich der koaxialen Symmetrie anwendbar wie bei
der elektrischen Koppelsonde.
In Fig. 4 ist die Auswerteelektronik zusammen mit der Hoch
frequenz-Elektronik dargestellt. Hierbei ist zu erkennen,
daß die Koppelsonde 7 von einem Oszillator 31 vorzugsweise
einem spannungsgesteuerten Oszillator (VCO) angesteuert
wird, wobei die Abstimmspannung durch eine Rampensteuerung
aus der Steuerungs- und Auswerteelektronik 33 hervorgerufen
wird. Das Sendesignal wird über eine magnetische oder elek
trische Koppelsonde in die Leitungsstruktur eingespeist
(Sendezweig). In einem ersten Schritt wird der absolute Ab
stand zwischen absolutem Einspeisepunkt und Kolben gemes
sen. Hierbei wird eine Laufzeitmessung des frequenzmodu
lierten Sendesignals ausgewertet. Es ergibt sich gemäß
Gleichung 1 dargestellter Zusammenhang.
Die Auswertung des empfangenen und am Mischer 35 in der
Frequenz herabgesetzten Signals liefert den absoluten Ab
stand zwischen Einspeisepunkt und Position des Kolbens,
bzw. eines vorbestimmten Teils in einer Leitungsstruktur,
mit einer Genauigkeit mindestens der halben Wellenlänge des
Sendesignals. Dieses Verfahren wird als Suchverfahren be
zeichnet. Nachdem die Kolbenposition mit hinreichender Ge
nauigkeit eindeutig ermittelt wurde, wird in den sogenann
ten Track-Mode umgeschaltet. Hierbei wird ein Dauerstrich
signal, z. B. bei 5 GHz, in den Zylinder eingekoppelt. Auf
grund der Einkopplung bildet sich eine stehende Welle aus,
deren Verschiebung durch die Bewegung des Kolbens erfolgt
und über eine Phasenauswertung, des in der Frequenz herab
gesetzten Signals ermittelt wird. Dieses Verfahren ermög
licht die Bestimmung der Entfernung zum Kolben mit der Ge
nauigkeit im Submillimeter-Bereich. Die generell in einen
Sende- und Empfangszweig aufgegliederte Hochfrequenz-
Elektronik besteht entsprechend Bild 4 aus einem spannungs
gesteuerten Oszillator (VCO) und einem oder mehreren Fre
quenzteilern. Der Oszillator wird über die Abstimmspannung
einer Varaktordiode in der Frequenz z. B. zwischen 4 und 6
GHz durchgestimmt. Ein Teil der Energie wird resistiv aus
dem Sendezweig aus gekoppelt und über Frequenzteiler herun
tergeteilt, z. B. auf 30 MHz, so daß die Sendefrequenz zu
jedem Zeitpunkt bekannt ist. Der Empfänger besteht aus ei
nem Mischer 35, der das Empfangssignal durch Mischung mit
einem Sendesignal in einem Frequenzbereich bis zu einigen
wenigen KHz-Signalen transformiert. Da während der Track-
Phase nur ein Dauerstrichsignal gesendet wird, muß es sich
bei dem Mischer um einen gleichstrom-gekoppelte Mischer
handeln.
In Fig. 5a ist anstelle des Mischers gemäß Fig. 4 eine An
ordnung aus Detektordioden 45 vorgesehen. Um sowohl die
Richtungserkennung als auch eine eindeutige Entfernungsän
derung der Kolbenposition durch Verschiebung der stehenden
Welle feststellen zu können, müssen mindestens vier Detek
tordioden verwendet werden, die entsprechend Gleichung 2
beabstandet sein müssen:
Abstand der Dioden = n (Wellenlänge/2) + Wellenlänge/16
mit n = 1, 2, (2)
Zur Erläuterung der Entfernungsbestimmung wird darauf hin
gewiesen, daß es zwei Phasen der Signalauswertung gibt.
Nach dem Einschalten des Sensors oder nach einer einer Be
triebsstörung, beispielsweise durch einen Spannungsausfall,
wird im sogenannten Suchmodus eine absolute Entfernungsbe
stimmung zum Zylinderkolben bzw. zum vorbestimmten Teil in
der Leitungsstruktur durchgeführt.
Hierbei wird der Oszillator (VCO) in seiner Frequenz, z. B.
innerhalb einer Bandbreite von 1.5 GHz, moduliert. Die Ent
fernung Koppelsonde zum Zylinderkolben läßt sich dann durch
Berechnung einer FFT (Fast-Fourier-Transformation) mit an
schließender Berechnung der DFT (Discret-Fourier
transformation) des Videosignals mit einer Genauigkeit der
Entfernungsbestimmung der halben Wellenlänge oder über eine
einfache Nullstellen- oder Minimum- oder Maximumzählung be
stimmen.
Hierbei gilt:
Zylinderlänge = n × Lichtgeschwindigkeit/2 × Frequenzhub
Dieser Gleichung ist leicht zu entnehmen, daß eine interne
Zylinderlänge 0 (Kolben befindet sich im Anschlag am Ein
speisepunkt) einen unendlich großen Frequenzhub erfordern
würde. Deshalb wird zwischen Empfänger und Einspeisepunkt
eine 50 Ω Verzögerungsleitung benötigt. Die Länge der Ver
zögerungsleitung begrenzt auch bei Kolbenanschlag den er
forderlichen Frequenzhub auf eine realisierbare Größe von
z. B. 20% der Sendefrequenz.
Die Frequenz des VCOs wird hierbei in der einfachsten Aus
führungsform entsprechend Fig. 4 statisch über einen Mi
krokontroller oder diskrete Elektronik geregelt. Dazu wird
ein Teil des Sendesignals z. B. resistiv aus dem Sendezweig
ausgekoppelt und wahlweise übers mindestens einen Frequenz
teiler 37 in der Frequenz soweit heruntergesetzt, daß die
sich dann ergebende Frequenz mittels eines einfachen digi
talen Zählers bestimmt werden kann. Die Abweichung zwischen
Soll- und IST-Frequenz des Oszillators wird anschließend
durch Änderung der Abstimmspannung am Oszillator nachgere
gelt, indem z. B. über Digital/Analogwandlung der entspre
chende Spannungswert ausgegeben wird. Dieses Verfahren zur
Bestimmung der Frequenzregelung wird "statische Frequenzre
gelung" genannt.
In Fig. 5b ist eine weitere Möglichkeit gezeigt, während
der Abstandsbestimmung auch eine Richtungserkennung durch
führen zu können. Anstelle eines Mischers 35 gemäß Fig. 4
und einer Anordnung aus Detektordioden 45 gemäß Fig. 5a
wird hier als Empfangszweig ein IQ-Detektor eingesetzt. Der
IQ-Detektor besteht aus 2 Mischern 55 und 65, deren z. B.
Lokaloszillatoren einen Phasenversatz von 90° besitzen. So
mit erhält man zwei Empfangssignale, Inphase (sinus-Anteil)
und Quatratur (cosinus-Anteil). Aufgrund des Verhältnisses
beider zueinander, ist es dann möglich, die Vorwärtsbewe
gung von der Rückwärtsbewegung des Kolbens zu unterscheiden
(Richtungserkennung). Das Verfahren wird vorzugsweise im
Track-Mode ausgenutzt, wenn ein CW-Signal (bei einer Fre
quenz) abgestrahlt wird. Die 90° Leitungslängenunterschiede
zwischen den beiden Lokaloszillatoren gelten nur bei einer
festen Sendefrequenz. Diese muß dann auch im Track-Mode
eingehalten werden.
In Fig. 6 ist die dynamische Frequenzregelung gezeigt, de
ren wesentlicher Unterschied darin besteht, daß die über
den Frequenzteiler 37 heruntergeteilte VCO-Frequenz nicht
direkt als Ergebnisgröße dient, sondern in einer Frequenz-
und Phasenregelung verwendet wird und somit einen geschlos
senen Regelkreis bildet. Durch z. B. einen Mikrocontroller
wird ein direkter digitaler Synthesizer (DDS) 71 auf eine
Frequenz eingestellt, die als Führungsgröße über ein Pha
sendiskriminator 73, welcher das aus dem digitalen Synthe
sizer 71 ausgehende Signal und das heruntergeteilte Fre
quenzsignal diskriminiert, in die geschlossene Regelschlei
fe eingeht. Nach Bestimmung der absoluten Entfernung mit
einer der voran genannten Regelungen schaltet der Sensor in
den Track-Mode, um die Genauigkeit der Entfernungsmessung
zu verbessern und die hochdynamische Verfolgung des Kolbens
im Betrieb zu ermöglichen.
Im Track-Mode wird nun ein CW-Signal gesendet. Es bildet
sich dann im Zylinder eine stehende Welle, deren Änderung
im Empfänger durch den zuvor beschriebenen IQ-Detektor bzw.
eine Anordnung von Detektordioden 45 bzw. des Mischers 35
ins Basisband, beispielsweise von 0 bis 100 kHz, herabge
setzt und anschließend durch die nachgeschaltete Elektronik
ausgewertet wird.
Wählt man die Sendefrequenz im Track-Mode so niedrig, daß
die halbe Wellenlänge gerade der maximalen Zylinderlänge
entspricht, dann kann über die einfache CW Messung eine
eindeutige Entfernungsbestimmung durchgeführt und auf den
Searchmode bzw. Suchmode ganz verzichtet werden.
Dieses Verfahren kann besonders vorteilhaft bei langhubigen
Zylindern eingesetzt werden. Es ist nur dann problematisch,
wenn eine große Anzahl von unterschiedlichen Zylindergrößen
betrachtet wird und die Sendefrequenz für alle Zylinderty
pen beibehalten werden soll (universell einsetzbare Senso
ren), insbesondere da die Sendefrequenz, um eine eindeutige
Entfernungsbestimmung durchführen zu können, entsprechend
dem längsten Zylinder ausgewählt werden muß. Für sehr klei
ne Zylinder wird die Entfernungsbestimmung dann sehr unge
nau.
Durch den verwendeten Mikrokontroller und der Zylinderkon
struktion ergibt sich eine große Vielzahl der möglichen
elektrischen und mechanischen Ausführungen sowie die Imple
mentierung von Zusatzfunktionen.
So kann für die Anordnung der elektrischen Anschlußverbin
dungen jede beliebige Stelle der feststehenden Zylindertei
le verwendet werden. Die interne Zuführung erfolgt dann
über entsprechende Kanäle des Gehäuseprofils. Dies gilt
auch für eine Bedienerschnittstelle, die zur Anzeige und
Einstellung der Schaltpunkte des Zylinders teilweise benö
tigt. Diese Schnittstelle kann aus LED, LCD Anzeigen beste
hen und eine Einstellmöglichkeit der Schaltpunkte über Te
ach-In-Tasten bzw. Potentiometer bieten.
Ferner kann dieses Bedienfeld auch vom Zylinder abgesetzt
sein, wodurch eine Verbesserung der Zugänglichkeit erreicht
wird.
Zusatzfunktionen, welche dieses in der Abstandsvorrichtung
eingesetzte Sensorsystem gegenüber dem Stand der Technik
zusätzlich erlaubt, sind zum Beispiel die Fehler- und
Selbstdiagnose, freie Konfiguration der Ausgänge, zusätzli
che direkte Steuerung weiterer Komponenten wie z. B. zu
schaltbare Drosseln bzw. Regler, sowie eines Busanschluß
knoten. Unter freier Ausgangskonfiguration ist zu verste
hen, daß beispielsweise jeder Schaltausgang als Fehlersi
gnal, zur externen Kabelbruchdetektion, als Serviceinter
vallanzeige oder als Analogausgang mit frei definierbarer
Kennlinie eingerichtet werden kann.
Die elektrische Verbindung ist vorzugsweise steckbar, wobei
den Spannungsversorgungsleitungen ein zusätzliches, aufmo
duliertes, bidirektionales Kommunikationssignal überlagert
werden kann. Hierdurch ist ohne zusätzlichen Aufwand eine
Parametrierung bzw. Einrichtung mit einem externen Gerät
möglich. Neben dieser Anschlußtechnik ist auch eine reine
Busanschlußtechnik denkbar, die idealerweise bereits über
die pneumatischen Anschlüsse geführt bzw. integriert ist.
Zudem ist eine drahtlose Signalübertragung möglich.
Um den Einsatzbereich, insbesondere im Hoch- und Tieftempe
raturbereich des Zylinders deutlich zu erweitern, ist eine
abgesetzte, d. h. nicht integrierte Auswerteelektronik mög
lich. Die Verbindung zwischen Koppelsonde und Auswerteelek
tronik erfolgt über Streifenleiter oder Hochfrequenz-
Koaxialleitungen. Da sich dann am bzw. im Zylinder keine
aktiven elektronischen Komponenten mehr befinden, sind die
Anwendungen im Hochtemperaturbereich auf einfache Weise
möglich.
Das anwendungsgemäße Verfahren besitzt noch einen weiteren
Vorteil im Bereich Füllstandsmessung, insbesondere von
Trennschichten. Befinden sich mehrere Flüssigkeiten mit un
terschiedlichen Dielektrizitätskonstanten in der Lei
tungsstruktur, beispielsweise eines Tauchrohres eines
Tanks, dann ist die Bestimmung der Grenzschicht zwischen
den Flüssigkeiten möglich.
Eine häufige Anwendung hierfür findet sich beispielsweise
in Öltanks. Im Laufe der Zeit bildet sich Kondenswasser am
Boden der Tanks welches abgesaugt werden soll, ohne den
Tank leeren zu müssen. Hierbei schwimmt das Öl mit einer
Dielektrizitätskonstante von ca. 2 bis 10 auf der Wasser
oberfläche mit einer Dielektrizitätskonstante von ca. 88.
Claims (25)
1. Abstandsmeßvorrichtung mit einer Sensoreinrichtung und
einer Auswerteelektronik,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Sensoreinrichtung zumindest eine Koppelsonde zur
Einspeisung eines Sendesignals in eine Leitungsstruktur
aufweist.
2. Abstandsmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Koppelsonde eine magnetische oder
elektrische Einkoppelung oder eine Schlitzkopplung in
einen Hohlleiter oder eine Koaxialleitung als Lei
tungsstruktur ermöglicht.
3. Abstandsmeßvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß über die Koppelsonde eine elek
tromagnetische Welle im Hochfrequenzbereich, vorzugs
weise zwischen 10 MHz bis 25 GHz, eingespeist wird.
4. Abstandsmeßvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die eingekoppelte elektromagnetische Wel
le eine monomodige Ausbreitung aufweist, vorzugsweise
im TEM-Mode bei koaxialen Strukturen.
5. Abstandsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
4, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der Einkopp
lung um eine singuläre Einkopplung und/oder eine axial
symmetrische Einkopplung mit mehreren Koppelsonden han
delt.
6. Abstandsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Anpaßnetzwerk vorge
sehen ist.
7. Abstandsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoreinrichtung
eine Hochfrequenz-Elektronik mit einem Sende- und Emp
fangszweig aufweist.
8. Abstandsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7
dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Koppelsonden vorge
sehen sind, wobei je die Hälfte der Koppelsonden für
Sender bzw. Empfänger vorgesehen sind.
9. Abstandsvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekenn
zeichnet, daß für die für den Sender vorgesehene Sen
derantenne und für die für den Empfänger vorgesehene
Empfängerantenne unterschiedliche Typen der Koppelson
den verwendet werden.
10. Abstandsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
9, dadurch gekennzeichnet, daß der Sendezweig aus einem
Oszillator, vorzugsweise einem Voltage Controlled Os
zillator (VCO) besteht.
11. Abstandsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfangszweig aus
einem Mischer und/oder mindestens vier Hochfrequenz-
Dioden besteht, wobei die Dioden so angeordnet sind,
daß der Abgriff des Signals auf der Sendeleitung je
weils im Abstand 1/(4 mal Anzahl der Dioden)-tel der
Wellenlänge des Sendesignals im CW-Betrieb erfolgt.
12. Abstandsmeßvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch ge
kennzeichnet, daß eine geschlossene Regelschleife vor
gesehen ist.
13. Abstandsmeßvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Regelschleife ein Phase Locked
Loop (PLL) ist und aus mindestens einem Frequenzteiler,
einem Phasendiskriminator und einem Tiefpaßfilter be
steht und die Sollfrequenz über einen DDS (Direct Digi
tal Synthesizer) vorgegeben wird (dynamische Frequenz
regelung/bestimmung).
14. Abstandsmeßvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Regelschleife aus mindestens ei
nem Frequenzteiler besteht und über einen Frequenzzäh
ler, Mikrocontroller und Digital-Analogwandler ge
schlossen wird (statische Frequenzregelung/bestimmung).
15. Abstandsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfangszweig aus
einem Inphase-Quatratur-Detektor besteht.
16. Verfahren zur Bestimmung eines Abstands, insbesondere
unter Verwendung einer Abstandsmeßvorrichtung nach ei
nem der Ansprüche 1 bis 15, mit folgenden Schritten
- a) Bereitstellen eines Sendesignals, welches über eine Koppelsonde in eine Leitungsstruktur eingeleitet wird;
- b) Messung des Abstands zwischen dem von der Koppel sonde definierten Einspeisepunkt und einem vorbe stimmten Teil der Leitungsstruktur.
17. Verfahren nach Anspruch 16, welches ferner den Schritt
c) aufweist, Bereitstellen eines frequenzmodulierten
Hochfrequenz-Dauerstrichsignals, welches von der Kop
pelsonde in die Leitungsstruktur eingespeist wird, mit
dem kontinuierlich der zu messende Abstand bestimmt
wird.
18. Verfahren nach Anspruch 16, welches ferner den Schritt
c) aufweist, Bereitstellen eines frequenzmodulierten
Hochfrequenz-Dauerstrichsignals, welches von der Kop
pelsonde in die Leitungsstruktur eingespeist wird, mit
dem kontinuierlich der zu messende Abstand absolut be
stimmt wird.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18, welches
ferner den Schritt d) aufweist, Voreinstellen eines
Synchronisationspunkts in der Leitungsstruktur.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 19, bei dem
im Schritt a) ein einmodiges Sendesignal, vorzugsweise
im TEM-Mode bei koaxialen Strukturen, verwendet wird.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 20, dadurch
gekennzeichnet, daß als Leitungsstruktur ein Hohlleiter
oder eine Koaxialleitung verwendet wird.
22. Verwendung der Abstandsmeßvorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis 15, insbesondere unter Heranziehung des
Verfahrens nach einem der Ansprüche 16 bis 21, in einem
Zylinderkolben.
23. Verwendung nach Anspruch 22, bei der ein pneumatischer
Linearantrieb in Form eines Kolbens herangezogen wird.
24. Verwendung nach Anspruch 22, bei der ein hydraulischer
Linearantrieb in Form eines Kolbens herangezogen wird.
25. Verwendung nach Anspruch 22, bei der ein Tauchrohr in
einem Tank verwendet wird.
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DE19755648 | 1997-12-15 | ||
DE19814448 | 1998-03-31 | ||
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Family
ID=26042471
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