DE19832021C2 - Tastkopf - Google Patents
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2822—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere of microwave or radiofrequency circuits
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- G—PHYSICS
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- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06772—High frequency probes
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tastkopf, mit dem
innerhalb von in planarer Leitungstechnik realisierten
Mikrowellenschaltungen Messungen durchführbar sind, wobei er
eine auf eine planare Leitung aufsetzbare Kontaktsonde
aufweist, welche den Innenleiter zu einem koaxialen
Außenleiter darstellt.
Beim Aufbau komplexer Mikrowellenschaltungen ist es
erforderlich, an verschiedenen Stellen innerhalb der
Schaltung Messungen z. B. von Frequenzen oder von
Signalpegeln durchzuführen, um eine Schaltung auf ihre
korrekte Funktionsfähigkeit zu überprüfen. Ein solcher
Tastkopf sollte möglichst hochohmig sein, damit ein an den
Tastkopf angeschlossenes Meßgerät, mit seinem üblicherweise
niedrigen Eingangswiderstand (50 Ohm), die Schaltung nicht
zu sehr belastet.
Ein einleitend dargelegter koaxialer Tastkopf ist aus der
DE 196 41 880 A1 bekannt. Dieser Tastkopf ist so ausgebildet,
daß seine Kontaktsonde und sein Außenleiter ausschließlich
am Rand des Substrats mit eigens vorgesehenen
Anschlußfahnen von planaren Leitern kontaktierbar sind. Die
Einsatzmöglichkeiten dieses bekannten Tastkopfs sind daher
sehr beschränkt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tastkopf
anzugeben, mit dem innerhalb von Mikrowellenschaltungen, die
in planarer Leitungstechnik realisiert sind, an beliebigen
Stellen Messungen durchgeführt werden können, ohne daß dazu
ein Leitungsweg unterbrochen werden muß. Außerdem sollte der
Tastkopf so ausgebildet sein, daß er möglichst geringe
Verluste verursacht, so daß die Schaltung in ihrer Funktion
möglichst wenig beeinträchtigt wird.
Die genannte Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1
gelöst.
Die
Kontaktsonde hat eine Länge von ca. λ/4 (λ ist die
Betriebswellenlänge der Schaltung) und weist einen höheren
Wellenwiderstand auf als die planare Leitung. Dieser hohe
Wellenwiderstand bewirkt eine große Impedanztransformation,
wodurch der Eingangswiderstand eines an den Tastkopf
angeschlossenen Meßgerätes auf einen sehr hohen Widerstand
an der Spitze der Kontaktsonde transformiert wird. Dadurch
wird eine hohe Belastung der Schaltung durch den Tastkopf
vermieden. Für den Meßvorgang wird der koaxiale Außenleiter
auf ein die planare Leitung tragendes Substrat aufgesetzt,
so daß er mit einer auf der gegenüberliegenden Substratseite
befindlichen Masseleitung eine kapazitive Kopplung eingeht.
Ein galvanischer Kontakt des Tastkopfes mit der Masseleitung
erübrigt sich dadurch, weshalb man ohne eigens vorbereitete,
einen galvanischen Kontakt zur Masseleitung ermöglichende
Meßpunkte innerhalb der Mikrowellenschaltung auskommt. Mit
dem erfindungsgemäßen Tastkopf ist man nicht mehr auf
vorgegebene Meßpunkte angewiesen, sondern es kann an
beliebigen Stellen innerhalb der Mikrowellenschaltung
gemessen werden.
Gemäß einem Unteranspruch weist der Außenleiter des
Tastkopfes zwei einander gegenüberliegende Durchbrüche auf,
durch die die planare Leitung, wenn der Tastkopf auf das
Substrat aufgesetzt ist, hindurch verläuft, ohne mit dem
Außenleiter einen Kontakt einzugehen.
Anhand eines in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispiels wird nachfolgend die Erfindung näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Tastkopfes
und
Fig. 2 einen Querschnitt A-A durch den Tastkopf und ein
darunter liegendes Substrat.
Die Fig. 1 zeigt in perspektivischer Darstellung einen
Tastkopf 1, der über eine Streifenleitung 2 auf einem
Substrat 3 aufgesetzt ist. Ein Querschnitt A-A durch
denselben Tastkopf 1 und das Substrat 3 ist in der Fig. 2
dargestellt.
Der Tastkopf 1 besteht aus einer Kontaktsonde 4, die den
Innenleiter zu einem koaxialen Außenleiter 5 bildet. Die
Kontaktsonde 4 ist in dem Außenleiter 5 zentrisch mittels
einer isolierenden Buchse 6 fixiert. Wenn der Kontaktkopf 1
auf das Substrat 3 aufgesetzt wird, berührt die Kontaktsonde
4 mit ihrem unteren Ende die Leiterbahn 2. Die Kontaktsonde
hat eine Länge von ca. λ/4, wobei λ in etwa der
Betriebswellenlänge der über die Leiterbahn 2 übertragenen
Signale entspricht. Bei einer Betriebswellenlänge von 25 GHz
hat die Kontaktsonde 4 einen Durchmesser von 0,2 mm. Damit
besitzt die Kontaktsonde einen erheblich höheren
Wellenwiderstand als die Streifenleitung 2. Dieser hohe
Wellenwiderstand der Kontaktsonde 4 führt zu einer großen
Impedanztransformation. Dadurch wird der Eingangswiderstand
eines an den Tastkopf 1 über eine nicht dargestellte
Koaxialleitung angeschlossenen Meßgerätes von z. B. 50 Ω
auf z. B. 1800 Ω am unteren Ende der Kontaktsonde 4
transformiert. Bei Messungen an der Streifenleitung mit
einem Wellenwiderstand von 50 Ω werden deshalb nur äußerst
geringe Verluste verursacht (ca. 0,1 dB), wodurch die
Schaltung in ihrer Funktion nur äußerst geringfügig
beeinflußt wird.
Damit der über die Streifenleitung 2 auf das Substrat 3
aufgesetzte Außenleiter 5 die Streifenleitung 2 nicht
kontaktiert, sind zwei einander gegenüberliegende
Durchbrüche 7 und 8 im Außenleiter 5 vorgesehen, durch die
die Streifenleitung 2 hindurch verläuft.
Dadurch, daß der Außenleiter 5 stirnseitig auf dem Substrat
3 aufsteht, entsteht zwischen ihm und einer auf der der
Streifenleitung 2 gegenüberliegenden Seite des Substrats 3
befindlichen Masseleitung 9 eine kapazitive Kopplung, die in
der Fig. 2 durch strichliert gezeichnete Kapazitäten
angedeutet ist. Dieser Massekontakt des Tastkopfes 1 über
die kapazitive Kopplung mit der Masseleitung 9 ist
ausreichend, da der Blindwiderstand der kapazitiven Kopplung
deutlich kleiner ist als die Impedanz an der Spitze der
Kontaktsonde 4. Bei einer Betriebsfrequenz von 25 GHz, einem
Substrat mit der Dicke 0,381 mm und der relativen
Dielektrizitätszahl von 9,8 ergibt sich dadurch ein
kapazitiver Blindwiderstand von
18 Ω, der durchaus einen ausreichenden Massekontakt bildet.
Claims (2)
1. Tastkopf, mit dem innerhalb von in planarer
Leitungstechnik realisierten Mikrowellenschaltungen
Messungen durchführbar sind, wobei er eine auf eine planare
Leitung (2) aufsetzbare Kontaktsonde (4) aufweist, welche
den Innenleiter zu einem koaxialen Außenleiter (5)
darstellt, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktsonde (4)
eine Länge von ca. λ/4 hat, wobei λ die Betriebswellenlänge
der Schaltung ist, und einen höheren Wellenwiderstand
aufweist als die planare Leitung (2) und daß der koaxiale
Außenleiter (5) auf ein die planare Leitung (2) tragendes
Substrat (3) aufsetzbar ist, so daß er mit einer auf der
gegenüberliegenden Substratseite befindlichen Masseleitung
(9) eine kapazitive Kopplung eingeht.
2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Außenleiter (5) zwei einander gegenüberliegende Durchbrüche
(7, 8) aufweist, durch die die planare Leitung (2), wenn der
Tastkopf (1) auf das Substrat (3) aufgesetzt ist, hindurch
verläuft, ohne mit dem Außenleiter (5) einen Kontakt
einzugehen.
Priority Applications (1)
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DE1998132021 DE19832021C2 (de) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | Tastkopf |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998132021 DE19832021C2 (de) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | Tastkopf |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE19832021A1 DE19832021A1 (de) | 2000-01-27 |
DE19832021C2 true DE19832021C2 (de) | 2000-05-11 |
Family
ID=7874305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998132021 Expired - Fee Related DE19832021C2 (de) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | Tastkopf |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE19832021C2 (de) |
Families Citing this family (3)
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US7015708B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-03-21 | Gore Enterprise Holdings, Inc. | Method and apparatus for a high frequency, impedance controlled probing device with flexible ground contacts |
CN107315098B (zh) * | 2017-05-27 | 2019-09-17 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 微波共面测试探针及其制作方法 |
CN113866589A (zh) * | 2021-09-03 | 2021-12-31 | 长江存储科技有限责任公司 | 芯片测试装置及芯片测试方法 |
Citations (3)
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JPH07128366A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-19 | Nec Corp | プローブコネクタ |
JPH08248063A (ja) * | 1995-03-09 | 1996-09-27 | Taise:Kk | 同軸型コンタクトプローブ |
DE19641880A1 (de) * | 1996-10-10 | 1998-04-16 | Rosenberger Hochfrequenztech | Meßspitzeneinheit zum Kontaktieren von planaren Mikrowellenschaltungen |
-
1998
- 1998-07-16 DE DE1998132021 patent/DE19832021C2/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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DE19832021A1 (de) | 2000-01-27 |
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