DE19820208A1 - Piezoelektrischer Schwinger - Google Patents
Piezoelektrischer SchwingerInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen piezoelektri
schen Schwinger, wie er als Ultraschallwandler zum Ein
satz kommen kann.
Die Effekte der Ultraschallausbreitung, insbesondere die
Schallgeschwindigkeit und die Schalldämpfung sind tempe
raturabhängig. Weiterhin ist bei den sehr häufig in Ul
traschallwandlern als Materialien zur elektromechanischen
Energiekonversion eingesetzten Piezokeramiken eine deut
liche Temperaturabhängigkeit der piezoelektrischen Kon
stanten vorhanden. Dadurch ergibt sich bei piezokerami
schen Ultraschallwandlern oder Schwingern ein temperatur
abhängiges akustisches Übertragungsverhalten.
Bei akustischen Durchflußmeßgeräten und Füllstandsdetek
toren, die unter Verwendung von Ultraschallwandlern ar
beiten, ist daher in der Regel vor oder während des Be
triebes eine Temperaturmessung erforderlich.
Im Stand der Technik wird die Temperatur hierbei in vie
len Fällen durch einen externen Temperatursensor reali
siert. Allerdings muß in einem solchen Fall der externe
Temperatursensor zur Erfassung der Temperatur direkt an
der akustischen Meßstelle neben dem Ultraschallwandler an
die Meßstelle geführt werden. Dies erfordert eine zusätz
liche Verkabelung und verkompliziert die gesamte Anord
nung.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen
piezoelektrischen Schwinger bereitzustellen, der auf ein
fache Weise eine Erfassung der Temperatur direkt an der
akustischen Meßstelle ermöglicht.
Die Aufgabe wird mit den Merkmalen des piezoelektrischen
Schwingers nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausfüh
rungsformen der Erfindung sind Gegenstand der Unteran
sprüche.
Erfindungsgemäß besteht der piezoelektrische Schwinger
aus einem piezoelektrischen Substrat, vorzugsweise einer
Piezokeramik, das auf einer ersten Oberfläche eine erste
Elektrode und auf einer der ersten Oberfläche gegenüber
liegenden zweiten Oberfläche eine zweite Elektrode auf
weist. Die erste Elektrode bedeckt die erste Oberfläche
des Schwingers nicht vollständig, so daß eine elektroden
freie Randfläche vorhanden ist. Dies kann bei einem
scheibenförmigen Substrat dadurch realisiert werden, daß
der Durchmesser der vorzugsweise kreisförmigen Elektrode
kleiner als der Durchmesser der kreisförmigen Substrato
berfläche gewählt wird. Dadurch ist der Durchmesser des
verwendeten piezoelektrischen Substrates größer als die
notwendige abstrahlende Fläche (Apertur) des piezoelek
trischen Schwingers. Diese Apertur wird näherungsweise
durch den Überlapp der beiden gegenüberliegenden Elektro
den bestimmt.
Auf der elektrodenfreien Randfläche ist ein Bauelement
mit temperaturabhängigem Verhalten angebracht bzw. inte
griert. Ein Anschluß dieses Bauelementes ist mit zumin
dest einer der beiden Elektroden leitend verbunden.
Durch diese Bauweise des piezoelektrischen Schwingers
kann über das temperaturabhängige Bauelement die Tempera
tur direkt an der akustischen Meßstelle erfaßt werden.
Aufgrund der Integration des Bauelements auf die Oberflä
che des piezoelektrischen Substrates wird eine unkompli
zierte Temperaturerfassung gewährleistet. Durch Parallel
schaltung oder Serienschaltung des Bauelementes zu dem
durch die beiden Elektroden gebildeten Kondensator kann
die Temperaturmessung direkt über die zweipolige Zulei
tung für die Elektroden erfolgen. Eine zusätzliche Zulei
tung für den Temperatursensor bzw. das temperaturabhängi
ge Bauelement ist daher nicht erforderlich, so daß eine
aufwendige Verkabelung vermieden wird.
Durch das Vorsehen von Verbindungspads, die durch die er
ste und/oder zweite Elektrode auf einer Oberfläche des
piezoelektrischen Substrates gebildet werden, kann die
Integration des temperaturabhängigen Bauelementes über
eine einfache Verbindungstechnik realisiert werden
(Ansprüche 3 und 4). Es ist keine zusätzliche Verdrahtung
zwischen der oder den Elektroden und dem Bauelement er
forderlich. Der erfindungsgemäße piezoelektrische Schwin
ger kann daher mit geringem Aufwand hergestellt werden.
Die vorliegende Erfindung soll im folgenden anhand eines
Ausführungsbeispiels in Verbindung mit den Zeichnungen
näher erläutert werden. Hierbei zeigen
Fig. 1 ein Beispiel für einen erfindungsgemäßen
piezokeramischen Schwinger vor dem An
bringen des Bauelementes in Rückansicht
(a), Vorderansicht (b) und Seitenansicht
(c);
Fig. 2 die Rückansicht des Schwingers aus Fig. 1
mit integriertem Bauelement (hier: tempe
raturabhängiger Widerstand);
Fig. 3 den Schwinger aus Fig. 2 in einem Gehäu
se; und
Fig. 4 ein Prinzipschaltbild der Verschaltung
des Bauelementes mit dem durch die beiden
Elektroden gebildeten Kondensator, als
Parallelschaltung (a) oder Serienschal
tung (b).
Fig. 1 zeigt ein Beispiel eines erfindungsgemäßen piezo
keramischen Schwingers in Seiten-, Rück- und Vorderan
sicht, bevor dieser mit einem temperaturabhängigen Bau
element versehen wird. Bei der gezeigten Ausführungsform
wird eine kreisrunde, scheibenförmige Piezokeramik als
Substrat (1) eingesetzt. Auf der Rückseite der Keramik
(siehe Fig. 1(a)) ist eine ebenfalls (bis auf die Ausläu
fer (4, 5)) kreisrunde Elektrode (2) aufgebracht, deren
Durchmesser kleiner als der Durchmesser der piezoelektri
schen Keramik ist.
Da die abstrahlende Fläche des Schwingers durch die Größe
der Elektrode bestimmt ist, wird im vorliegenden Fall
demnach eine Piezokeramik eingesetzt, deren Durchmesser
größer ist als die für die vorgesehene Anwendung notwen
dige abstrahlende Fläche (Apertur) des Schwingers.
Aufgrund der unterschiedlichen Durchmesser der Piezokera
mik und der rückwärtigen Elektrode steht auf der rücksei
tigen Oberfläche der Keramik eine elektrodenfreie Rand
fläche (3) zur Verfügung. Die rückwärtige Elektrode weist
weiterhin zwei Ausläufer (4, 5) auf, die sich in die
elektrodenfreie Randfläche hinein erstrecken. Diese Aus
läufer bilden Verbindungspads für die spätere Kontaktie
rung der Elektrode mit einer Zuführungsleitung (Ausläufer
4) und mit dem Bauelement mit temperaturabhängigem Ver
halten (Ausläufer 5).
In der Frontansicht (b) der Fig. 1 ist zu erkennen, daß
sich im vorliegenden Beispiel die Frontelektrode (6) über
die gesamte vorderseitige Oberfläche der Piezokeramik er
streckt. Diese Frontelektrode weist in diesem Beispiel
ebenfalls zwei Ausläufer (7, 8) auf, die um den Rand der
scheibenförmigen Piezokeramik herumgeführt werden, um auf
der Rückseite zwei Verbindungspads (7, 8) im elektroden
freien Randbereich (3) zu bilden. Diese beiden Verbin
dungspads sind, wie bei der rückseitigen Elektrode (2),
zur Kontaktierung der Frontelektrode mit einer Zufüh
rungsleitung (Ausläufer 7) und mit dem Bauelement
(Ausläufer 8) vorgesehen.
Eine Schnittansicht durch die Linie A-A in Teilbild (a)
zeigt Teilbild (c) . Dort sind die piezoelektrische Kera
mik (1), die rückwärtige Elektrode (2) und die Frontelek
trode (6) mit dem um den Rand der Piezokeramik herum ge
führten Ausläufer (8) zur Bildung eines Verbindungspads
auf der gegenüberliegenden Oberfläche zu erkennen. In der
Abbildung (c) der Fig. 1 sind der Übersichtlichkeit hal
ber die Elektroden in einem Abstand zur Piezokeramik ein
gezeichnet. Tatsächlich stehen sie jedoch in Kontakt mit
der Piezokeramik.
Als Materialien für das piezokeramische Material kommen
übliche Materialien wie Bleizirkontitanat (PZT) in Frage.
Als Elektrodenmaterialien werden vorzugsweise Silber,
Gold oder Nickel eingesetzt. Typische Abmessungen der
Piezokeramik sind eine Dicke von 1 bis 4 mm bei einem
Durchmesser von ca. 10-30 mm.
Fig. 2 zeigt die Ausführungsform der Fig. 1 mit inte
griertem temperaturabhängigen Widerstand (9) und ange
brachten Zuführungsleitungen (10) zu den Elektroden. Die
Verschaltung des temperaturabhängigen Widerstandes mit
dem durch die beiden Elektroden gebildeten Kondensator
entspricht im vorliegenden Beispiel einer Parallelschal
tung wie in Fig. 4(a) schematisch dargestellt. Die Zufüh
rungsleitungen können beispielsweise an die Verbindungs
pads (4, 7) angelötet werden.
Bei der erfindungsgemäßen Ausführung des piezokeramischen
Schwingers wird die piezoelektrische Keramik in vorteil
hafter Weise gleichzeitig als Platine eingesetzt. Durch
die Verbindungspads, die durch die Elektroden selbst ge
bildet werden, läßt sich eine sehr einfache Verbindungs
technik mit einem geringen Aufwand an Verkabelung reali
sieren.
Ein derartiger Schwinger kann beispielsweise zur externen
Messung des Füllstands von Gasflaschen eingesetzt werden.
Der temperaturabhängige Widerstand kann beispielsweise
ein PTC oder ein NTC sein. Auch eine andere Art von Tem
peratursensor, der vorzugsweise in SMD-Bauweise ausge
führt sein sollte, ist möglich.
In Fig. 3 ist ein in ein Gehäuse (11) mit einer Ankoppel
schicht (12) eingebauter erfindungsgemäßer Schwinger mit
integriertem temperaturabhängigem Widerstand (beispiels
weise SMD-NTC (9)) in Seitenansicht dargestellt. Ebenso
sind die Verbindungskabel (10) zu erkennen.
Fig. 4 zeigt die beiden Schaltungsvarianten bei Integra
tion des Bauelements. Bei Verwirklichung der Parallel
schaltung wie in Fig. 4a gezeigt (und in Fig. 2 reali
siert) ist darauf zu achten, daß der elektrische Wider
stand des Bauelementes (hier temperaturabhängiger Wider
stand) das hochfrequente Ultraschallnutzsignal zur An
steuerung der Elektroden nur geringfügig bedämpft. Hier
bei sollte beispielsweise ein hochohmiger NTC in Verbin
dung mit einer niederohmigen Keramik eingesetzt werden.
Beispielsweise kommt bei Verwirklichung eines 1,5 MHz-
Schwingers, der eine Impedanz von ca. 50 Ω (vorzugsweise
das Minimum der Impedanz bei dieser Frequenz) aufweist,
der Einsatz eines NTC mit einem Widerstand von mindestens
10 bis 20 kΩ in Betracht.
Bei Verwirklichung einer Serienschaltung wie in Fig. 4b
gezeigt, sollte ein niederohmiger PTC in Serienschaltung
mit einer hochohmigen Piezokeramik eingesetzt werden.
Durch die dargestellte Parallelschaltung bzw. Serien
schaltung ist es möglich, die Temperaturinformation mit
ihrem niederfrequenten Signalverhalten über die gleiche
zweipolige Zuleitung (10) zu übertragen, die auch für die
hochfrequente Ultraschallinformation verwendet wird. Das
Vorsehen weiterer Zuleitungen ist daher nicht notwendig.
Gerade durch diese vereinfachte Anordnung kann der Aufbau
beim Einsatz des Schwingers deutlich vereinfacht werden.
Die erfindungsgemäße Anordnung der Elektroden in Verbin
dung mit dem Vorsehen einer Piezokeramik, deren Durchmes
ser größer als die notwendige abstrahlende Fläche ist,
bietet die Möglichkeit einer sehr einfachen Verbindungs
technik des Bauelementes mit den Elektroden über inte
grierte Verbindungspads.
Es versteht sich von selbst, daß die Form und die genauen
Abmessungen der Piezokeramik und der Elektroden von den
jeweiligen Anwendungsfällen abhängen und durch die Lehre
der vorliegenden Erfindung in keinster Weise einge
schränkt sind. Ebenso können statt temperaturabhängiger
Widerstände andere integrierbare Bauelemente zur Erfas
sung der Temperatur eingesetzt werden.
Claims (9)
1. Piezoelektrischer Schwinger mit einem Substrat (1)
aus Piezoelektrischem Material, das auf einer ersten
Oberfläche eine erste Elektrode (2) und auf einer der
ersten Oberfläche gegenüberliegenden zweiten Oberflä
che eine zweite Elektrode (6) aufweist, wobei auf der
ersten Oberfläche eine elektrodenfreie Randfläche (3)
vorhanden ist, auf der ein Bauelement (9) mit tempe
raturabhängigem Verhalten angebracht ist, das über
einen Anschluß mit zumindest einer der Elektroden (2,
6) leitend verbunden ist.
2. Piezoelektrischer Schwinger nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Substrat (1) aus piezoelek
trischem Material eine Piezokeramik ist.
3. Piezoelektrischer Schwinger nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Elektrode (2)
eine Form mit einem Ausläufer (5) hat, der auf der
ersten Oberfläche ein Verbindungspad bildet, über das
der Anschluß des Bauelements (9) mit der ersten Elek
trode (2) leitend verbunden ist.
4. Piezoelektrischer Schwinger nach einem der Ansprüche
1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elek
trode (6) eine Form mit einem Ausläufer (8) hat, der
um den Rand des Substrates (1) herumgeführt ist und
auf der ersten Oberfläche ein Verbindungspad bildet,
über das der oder ein weiterer Anschluß des Bauele
ments (9) mit der zweiten Elektrode (6) leitend ver
bunden ist.
5. Piezoelektrischer Schwinger nach einem der Ansprüche
1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der durch die
beiden Elektroden (2, 6) gebildete Kondensator in
Reihe mit dem Bauelement (9) geschaltet ist, und das
Bauelement im Vergleich zum Substrat einen niedrigen
Widerstand aufweist.
6. Piezoelektrischer Schwinger nach einem der Ansprüche
1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der durch die
beiden Elektroden (2, 6) gebildete Kondensator paral
lel zum Bauelement (9) geschaltet ist, und das Bau
element im Vergleich zum Substrat einen hohen Wider
stand aufweist.
7. Piezoelektrischer Schwinger nach einem der Ansprüche
1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Bauelement
(9) ein PTC-Widerstand ist.
8. Piezoelektrischer Schwinger nach einem der Ansprüche
1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Bauelement
(9) ein NTC-Widerstand ist.
9. Piezoelektrischer Schwinger nach einem der Ansprüche
1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Bauelement
(9) in SMD-Bauweise ausgeführt ist.
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DE (1) | DE19820208C2 (de) |
WO (1) | WO1999032236A1 (de) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002082030A2 (de) * | 2001-04-09 | 2002-10-17 | Spanner-Pollux Gmbh | Wärmemengenmessgerät |
DE102004045354A1 (de) * | 2004-09-17 | 2006-04-06 | Nexans | Anordnung zur lokalen Temperaturüberwachung |
DE10057188B4 (de) * | 2000-11-17 | 2010-07-01 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflußmeßgerät mit Temperaturkompensation |
DE102013100670A1 (de) | 2013-01-23 | 2014-07-24 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflußmeßgerät mit Temperaturkompensation |
DE102015110050A1 (de) | 2015-06-23 | 2016-12-29 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Feldgerät mit Kompensationsschaltung zur Eliminierung von Umgebungseinflüssen |
DE102018201404B3 (de) | 2018-01-30 | 2019-04-11 | Pi Ceramic Gmbh | Ultraschallwandler mit einer Piezokeramik und Verfahren zur Herstellung eines solchen Ultraschallwandlers |
DE102010063050B4 (de) * | 2010-12-14 | 2021-02-11 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen akustischen Wandlern |
DE102021110706A1 (de) | 2021-04-27 | 2022-10-27 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur parallelen Temperaturmessung und Ultraschallaussendung oder -erfassung |
WO2023275843A1 (fr) * | 2021-07-01 | 2023-01-05 | Areco Finances Et Technologies-Arfitec | Element piezoelectrique pour nebulisateur, avec une duree de vie amelioree |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005012041B4 (de) * | 2005-03-16 | 2008-05-08 | Werner Turck Gmbh & Co. Kg | Ultraschallsende- und -empfangsvorrichtung für einen Ölpeilstab |
DE102007020491A1 (de) * | 2007-04-27 | 2008-10-30 | Hydrometer Gmbh | Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft eines strömenden Mediums sowie Ultraschallzähler |
CN104048713A (zh) * | 2014-06-06 | 2014-09-17 | 姜跃炜 | 超声波换能与温度采集器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD300585A7 (de) * | 1988-12-01 | 1992-06-25 | Adw Inst Physikalisch Tech | Verfahren und schaltungsanordnung zur temperaturkompensation eines piezoelektrischen wandlerantriebes |
US5060506A (en) * | 1989-10-23 | 1991-10-29 | Douglas David W | Method and apparatus for monitoring the content of binary gas mixtures |
DE9209977U1 (de) * | 1991-08-09 | 1992-11-19 | VEGA Grieshaber GmbH & Co, 7620 Wolfach | Ultraschall-Wandler |
JPH0835954A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-02-06 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 超音波探触子 |
-
1998
- 1998-05-06 DE DE19820208A patent/DE19820208C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-11-03 EP EP98962248A patent/EP1039975A1/de not_active Withdrawn
- 1998-11-03 WO PCT/DE1998/003300 patent/WO1999032236A1/de not_active Application Discontinuation
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10057188B4 (de) * | 2000-11-17 | 2010-07-01 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflußmeßgerät mit Temperaturkompensation |
DE10057188C5 (de) * | 2000-11-17 | 2016-08-18 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflußmeßgerät mit Temperaturkompensation |
DE10057188C8 (de) * | 2000-11-17 | 2016-10-06 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflußmeßgerät mit Temperaturkompensation |
WO2002082030A3 (de) * | 2001-04-09 | 2002-12-19 | Spanner Pollux Gmbh | Wärmemengenmessgerät |
WO2002082030A2 (de) * | 2001-04-09 | 2002-10-17 | Spanner-Pollux Gmbh | Wärmemengenmessgerät |
DE102004045354A1 (de) * | 2004-09-17 | 2006-04-06 | Nexans | Anordnung zur lokalen Temperaturüberwachung |
DE102010063050B4 (de) * | 2010-12-14 | 2021-02-11 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen akustischen Wandlern |
DE102013100670A1 (de) | 2013-01-23 | 2014-07-24 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflußmeßgerät mit Temperaturkompensation |
DE102013100670B4 (de) | 2013-01-23 | 2022-09-29 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflußmeßgerät mit Temperaturkompensation |
DE102015110050A1 (de) | 2015-06-23 | 2016-12-29 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Feldgerät mit Kompensationsschaltung zur Eliminierung von Umgebungseinflüssen |
DE102018201404B3 (de) | 2018-01-30 | 2019-04-11 | Pi Ceramic Gmbh | Ultraschallwandler mit einer Piezokeramik und Verfahren zur Herstellung eines solchen Ultraschallwandlers |
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US12016246B2 (en) | 2018-01-30 | 2024-06-18 | Pi Ceramic Gmbh | Ultrasonic transducer with a piezoceramic and method for producing an ultrasonic transducer of this kind |
DE102021110706A1 (de) | 2021-04-27 | 2022-10-27 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur parallelen Temperaturmessung und Ultraschallaussendung oder -erfassung |
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FR3124893A1 (fr) * | 2021-07-01 | 2023-01-06 | Areco Finances Et Technologie - Arfitec | Element piezoelectrique pour nebulisateur, avec une duree de vie amelioree |
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