DE19800333A1 - Schwingerträgeranordnung - Google Patents
SchwingerträgeranordnungInfo
- Publication number
- DE19800333A1 DE19800333A1 DE19800333A DE19800333A DE19800333A1 DE 19800333 A1 DE19800333 A1 DE 19800333A1 DE 19800333 A DE19800333 A DE 19800333A DE 19800333 A DE19800333 A DE 19800333A DE 19800333 A1 DE19800333 A1 DE 19800333A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- vibrator
- flat
- electrodes
- carrier
- base end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Schwinger für einen Kreisel, insbesondere
eine Schwingerträgeranordnung, die einen Schwinger stabil lagern kann,
die eine Verbindung eines Schwingers mit einer Verdrahtungsplatine
über kurze, freischwebende Drahtleitungen ermöglicht, und die
außerdem einen Schwinger auch dann sicher lagert, wenn der Schwinger
als stimmgabelartiger Schwinger ausgeführt ist.
Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht eines Schwingkreisels mit einem
Dreizack-Stimmgabelschwinger. Man erkennt einen Schwinger 12 und
einen Träger 13. Der Träger 13 ist an einem Basisende 12d des
Schwingers 12 fixiert, um den Schwinger 12 freitragend zu lagern. Der
Schwinger 12 besitzt zueinander parallele Schwingarme 12a, 12b und
12c. Der Schwinger 12 wird hergestellt, indem eine Platte aus einer
durchgehend elastischen Legierung, beispielsweise aus Elinvar, deren
Hauptflächen mit Schichten aus piezoelektrischem Material überzogen
oder mit einem Plättchen aus piezoelektrischem Material versehen sind,
verarbeitet wird. Treiberelektroden zum mechanischen Antreiben der
Schwingarme 12a, 12b und 12c, damit diese parallel zur X-Achse
Schwingungen ausführen, und Fühl- oder Leseelektroden zum Fühlen
von Schwingungen in Richtungen parallel zur Y-Achse, sind an den
Schwingarmen 12a, 12b und 12c angebracht.
An die Treiberelektroden werden Wechsel-Treiberspannungen gleicher
Phase zum Antreiben der seitlichen Schwingungsarme 12b und 12c
gelegt, und ein demgegenüber eine gedrehte Phase aufweisender
Wechsel-Treiberstrom wird an die Treiberelektroden des mittleren
Schwingarms 12a gelegt, so daß dieser Schwingarm bezüglich der
seitlichen Schwingarme 12b und 12c gegenphasig schwingt. Die
Phasendifferenz zwischen den Schwingungen der seitlichen Schwingarme
12b und 12c einerseits und der Schwingung des mittleren Schwingarms
12a andererseits, jeweils parallel zur X-Achse, beträgt also 180°.
Wenn der Schwingkreisel mit einem solchen Schwinger 12 in der oben
angesprochenen Weise schwingt und sich dabei in einem drehenden
System befindet, welches eine Drehung um die Z-Achse vollzieht, wirkt
auf die Schwingarme 12a, 12b und 12c in Richtungen parallel zu der Y-Achse
eine Corioliskraft ein, die proportional ist zu der Geschwindigkeit
in Richtung der X-Achse, d. h. zu der Geschwindigkeit in Richtungen
parallel zu der X-Achse. Die Schwingungen der Schwingarme 12a, 12b
und 12c beinhalten also Schwingungen in Richtung der Y-Achse, d. h.
Schwingungen in Richtungen, die jeweils parallel zur Y-Achse
verlaufen. Die Schwingung in Richtung der Y-Achse des mittleren
Schwingarms 12a und die Schwingungen der seitlichen Schwingarme 12b
und 12c in Richtung der Y-Achse sind zueinander gegenphasig, d. h. die
Phasendifferenz zwischen der Schwingung in Richtung der Y-Achse des
mittleren Schwingarms 12a und die Phasen der Schwingungen der
Schwingarme 12b und 12c beträgt 180°. Die Fühlelektroden messen die
Y-Achsen-Schwingungen der Schwingarme 12a, 12b und 12c, und die
Winkelgeschwindigkeit ω der Drehung um die Z-Achse wird auf der
Grundlage der Ausgangssignale der Fühlelektroden berechnet.
Angenommen, die Masse der Schwingarme 12a, 12b und 12c betrage m,
die Schwingungsgeschwindigkeit der Schwingarme 12a, 12b und 12c in
Richtung der X-Achse betrage v (Vektor), und die
Winkelgeschwindigkeit des drehenden Systems um die Z-Achse betrage
ω0 (Vektor). Dann drückt sich die Corioliskraft F (Vektor)
folgendermaßen aus:
F = 2m(v x ω0) ("x" bedeutet Vektorprodukt).
Folglich ist die Corioliskraft F proportional zur Winkelgeschwindigkeit
ω0. Die Winkelgeschwindigkeit ω0 läßt sich also anhand der
Schwingungen in Richtung der Y-Achse der Schwingarme 12a, 12b und
12c berechnen. Bei dem in Fig. 8 gezeigten Schwinger 12 haben die
Schwingungen der seitlichen Schwingarme 12b und 12c einerseits und
die Schwingungen des mittleren Schwingarms 12a andererseits
gegenphasige Beziehung. Deshalb ist der Schwinger 12 bei der
Schwingung gut ausgewuchtet, und folglich läßt sich das Basisende 12d
des Schwingers 12 starr in dem Träger 13 lagern.
Wird allerdings der Schwinger 12 einfach starr mit seinem Basisende
12d an dem Träger 13 gelagert, so muß das Basisende 12d in engem
Sitz in den Träger 13 eingesetzt werden, oder der Träger 13 muß an
dem Basisende 12d des Schwingers durch Kunststoffverguß angeformt
sein. Es bereitet Schwierigkeiten, das Basisende 12d des Schwingers 12
dadurch an dem Träger 13 zu befestigen, daß man das Basisende 12d in
engem Sitz in den Träger 13 einführt. Wenn man den Träger 13 durch
Kunstharz-Verguß an dem Basisende 12d anbringt, hat die Wärme des
schmelzflüssigen Kunstharzes abträglichen Einfluß auf den Schwinger
12. Deshalb ist das Ausbilden des Trägers 13 durch Gießharz in der
Praxis ungeeignet.
Wenn der den Schwinger 12 lagernde Träger 13 ein steifer Körper ist
und mit einer Verdrahtungsplatine (Schaltungsplatte) fest verbunden
wird, wird ein äußerer Stoß oder werden externe Schwingungen, die auf
die Verdrahtungsplating ausgeübt werden, direkt über den Träger 13 auf
den Schwinger 12 übertragen, ohne daß eine Dämpfung erfolgt.
Hierdurch wird der Schwinger 12 abträglich beeinflußt.
Der Schwinger 12 besitzt zahlreiche Elektroden, darunter die
Treiberelektroden zum Antreiben der Schwingarme 12a, 12b und 12c,
damit diese in Schwingung versetzt werden, sowie Fühlelektroden zum
Erfassen der Schwingungen der drei Schwingarme 12a, 12b und 12c, die
durch die Corioliskraft hervorgerufen werden. Zwischen dem Schwinger
12 und der Verdrahtungsplatine müssen mehrere freitragende Drähte
verlaufen, welche die erwähnten Elektroden mit Schaltungselementen auf
der Verdrahtungsplatine verbinden. Die zahlreichen freischwebenden
Drähte erfordern eine ziemlich schwierige Verdrahtungsarbeit, welche
die Schwingungen der Schwingarme 12a, 12b und 12c möglicherweise
behindert.
Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer Schwingerträgeranordnung für
einen Schwinger, die einen einfachen Aufbau besitzt und in der Lage ist,
den Schwinger an dessen Basisende sicher und gleichzeitig elastisch zu
lagern.
Außerdem soll durch die vorliegende Erfindung eine
Schwingerträgeranordnung geschaffen werden, die in der Lage ist,
kollektiv Verdrahtungsleitungen zu halten, die mit an dem Schwinger
befestigten Elektroden verbunden sind, wobei die Trägeranordnung
außerdem in der Lage sein soll, diese Leitungsdrähte mit
Schaltungsteilen zu verbinden, die auf einer Verdrahtungsplatine
ausgebildet sind, um die Anzahl von freitragenden Leitungen zu
verringern.
Gelöst wird diese Aufgabe durch die im Anspruch 1 angegebene
Erfindung. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der
Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Der Schwinger ist vorzugsweise vom dreizackigen Stimmgabeltyp, wie
aus Fig. 1 hervorgeht, oder vom zweizackigen Stimmgabeltyp. Der
Schwinger kann Teil eines Kreisels oder Gyroskops sein, welches
Schwingungen aufgrund einer Corioliskraft in einem Drehsystem mit
dem Zweck erzeugt, die Winkelgeschwindigkeit zu bestimmen. Der
Schwinger kann auch in Verbindung mit einem piezoelektrischen
Wandler oder einem Rüttler eingesetzt werden.
Bei dem Schwinger kann es sich um ein plattenförmiges Teil handeln,
hergestellt durch Laminieren einer Schicht aus piezoelektrischem
Material, die als Treiberschicht dient, und einer Fühleinrichtung auf eine
aus durchgehend elastischem Material bestehende Platte, beispielsweise
eine Elinvar-Platte. Der Schwinger kann auch ein plattenförmiges Teil
sein, welches vollständig aus einem piezoelektrischen Material besteht,
welches die Treiber- und Fühleinrichtung bildet. Die Treiberelektroden
zum Antreiben der Schwingarme und die Fühlelektroden zum Fühlen
oder Lesen der Schwingungen der Schwingarme sind auf der Oberfläche
des aus einem piezoelektrischen Material bestehenden plattenförmigen
Elements ausgebildet.
Das Basisende des Schwingers wird von dem Träger gehalten. Der
Träger besitzt ein flaches Aufnahmeteil und den Stützfuß. Das flache
Aufnahmeteil und der Stützfuß sind durch entsprechendes Biegen einer
leitenden Metallplatte einstückig ausgebildet. Die flache Aufnahme kann
aus einem leitenden Metall bestehen, während der Stützfuß die Form
eines Stabs aus leitendem Metall hat und an der flachen Aufnahme
fixiert ist.
Das Basisende des Schwingers steht in flächiger Berührung mit und ist
fixiert an der flachen Aufnahme. Die Elektroden gleichen Potentials an
dem Schwinger sind elektrisch mit der flachen Aufnahme dadurch
verbunden, daß diese Elektroden mit der flachen Aufnahme über einen
leitenden Klebstoff oder dergleichen verbunden sind. Die Elektroden
gleichen Potentials an dem Schwinger können mit der flachen Aufnahme
durch Drahtbonden auch mit Hilfe von Drähten verbunden werden.
An der flachen Aufnahme kann mittels Klebstoff eine flexible
Verdrahtungsplatine befestigt werden, wobei die Elektroden des
Schwingers in direkten Kontakt mit einem leitenden Muster auf der
flexiblen Verdrahtungsplatine gebracht werden, um die Elektroden mit
dem leitenden Muster zu verbinden, wobei von der flexiblen
Verdrahtungsplatine ausgehende Leitungen sich an dem Stützfuß
entlangerstrecken oder zu einer anderen Verdrahtungsplatine führen
können, um das leitende Muster der flexiblen Verdrahtungsplatine mit
auf diese ausgebildeten Schaltungen zu verbinden. Die flache Aufnahme
und der Stützfuß können aus leitendem Metall bestehen, wobei die
Elektroden gleichen Potentials des Schwingers elektrisch mit der flachen
Aufnahme verbunden sind, um die Elektroden über den Stützfuß mit den
Schaltungen auf der Verdrahtungsplatine zu verbinden. Dies reduziert
die Anzahl von Verdrahtungselementen, und man kommt mit einer
einfachen Verdrahtungsstruktur aus.
Die elektrische Verbindung der Elektroden des Schwingers über dem
Träger mit den Schaltungen der Verdrahtungsplatine reduziert die
Anzahl von freitragenden Verdrahtungsleitungen, vereinfacht die
Verdrahtungsstruktur und verringert die Möglichkeit des Bruchs von
freitragenden Verdrahtungsleitungen.
Wenn der Stützfuß elastisch verformbar ist, läßt sich der Schwinger
elastisch an der Verdrahtungsplatine lagern, wobei der Stützfuß als
Dämpfungseinrichtung fungiert, welche die Ausbreitung von extern
hervorgerufenen Schwingungen und externen Stößen von der
Verdrahtungsplatine auf den Schwinger abfängt.
Der Stützfuß kann durch Anschweißen an der Verdrahtungsplatine mit
einem Metall, beispielsweise mit Lot, er kann mit Schrauben oder er
kann durch eine Preßpassung fixiert werden.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der
Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine auseinandergezogene, perspektivische Ansicht einer
Schwingerträgeranordnung gemäß einer ersten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2 eine Seitenansicht der Schwingerträgeranordnung nach Fig.
1;
Fig. 3A eine perspektivische Ansicht eines Schwingers, wobei eine
Frontseite des Schwingers dargestellt ist;
Fig. 3B eine perspektivische Ansicht des Schwingers nach Fig. 3A,
wobei die Rückseite des Schwingers gezeigt ist;
Fig. 4 eine stirnseitige Ansicht in Pfeilrichtung IV in Fig. 1 oder
Fig. 3A, wobei die Richtungen der dielektrischen
Polarisation des Schwingers dargestellt sind;
Fig. 5 eine auseinandergezogene, perspektivische Ansicht der
Schwingerträgeranordnung gemäß einer zweiten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht einer
Schwingerträgeranordnung gemäß einem dritten
Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 7 eine perspektivische Ansicht einer
Schwingerträgeranordnung gemäß einer vierten
Ausführungsform der Erfindung; und
Fig. 8 eine perspektivische Ansicht einer konventionellen
Schwingerträgeranordnung.
Zunächst soll anhand der Fig. 1 bis 4 eine erste Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen Schwingerträgeranordnung erläutert werden. In
Fig. 1 ist ein Schwinger 1 vom Dreizack-Stimmgabeltyp dargestellt. Der
Schwinger wird als Schwingkreisel (Schwinggyroskop) verwendet. Der
Schwinger 1 ist ein plattenförmiges Glied aus einem piezoelektrischen
Material, beispielsweise einem piezoelektrischen Keramikmaterial. In
einem Ende des Schwingers 1 sind Schlitze 1A ausgebildet, wodurch
drei Schwingarme 1a, 1b und 1c gebildet werden. Die Schwingarme 1a,
1b und 1c werden in die Richtungen der dielektrischen Polarisation
polarisiert, wie dies in Fig. 4 gezeigt ist. Die seitlichen Schwingarme 1b
und 1c weisen die gleichen Richtungen dielektrischer Polarisation auf,
die Richtungen der dielektrischen Polarisation des mittleren
Schwingarms 1a sind zu jenen der seitlichen Schwingarme 1b und 1c
symmetrisch bezüglich einer vertikalen und einer horizontalen Linie. An
der Unterseite jedes Schwingarms 1a, 1b und 1c ist ein Paar
Treiberelektroden 2 aus leitendem Material ausgebildet, welches sich
zwischen der Spitze des jeweiligen Schwingarms 1a, 1b und 1c und dem
Rand eines Basisendes 1B des Schwingers 1 erstreckt, wie aus Fig. 3B
hervorgeht. Mit den Treiberelektroden 2 wird über eine leitende Bahn
zum Anlegen einer Treiberspannung mit einem für sämtliche
Treiberelektroden 2 gleichen Potential elektrisch eine
Wechselstromquelle verbunden.
Auf der Oberseite jedes der seitlichen Schwingarme 1b und 1c ist
jeweils ein Paar Erdungselektroden 4 ausgebildet, und auf der Oberseite
des mittleren Schwingarms 1a ist eine einzelne Erdungselektrode 4
ausgebildet, wie am besten aus Fig. 3A ersichtlich ist. Wie aus den
Fig. 1 und 3A hervorgeht, verlaufen die Erdungselektroden 4 zu dem
Basisende 1B des Schwingers 1. Sämtliche Erdungselektroden 4 sind mit
einer Erdungselektrode 4a auf der Oberfläche des Basisendes 1B des
Schwingers 1 verbunden. Die Erdungselektrode 4a liegt über einen
leitenden Weg auf Masse, wobei sämtliche Erdungselektroden 4 auf
Massepotential liegen.
Über die Treiberelektroden 2 und die Erdungselektroden 4 wird an den
aus dem piezoelektrischen Material bestehenden Schwinger 1 eine
Treiberspannung angelegt. Die Schwingarme 1a, 1b und 1c werden in
Richtungen der dielektrischen Polarisation gemäß Fig. 4 polarisiert,
wodurch die seitlichen Schwingarme 1b und 1c Schwingungen in
Richtungen parallel zur X-Achse bei gleicher Phase ausführen, während
der mittlere Schwingarm 1a Schwingungen in Richtung parallel zur X-Achse
ausführt, allerdings um 180° gegenüber den Schwingungen der
seitlichen Schwingarme 1b und 1c phasenversetzt. Mit anderen Worten:
Die seitlichen Schwingarme 1b und 1c werden in die eine Richtung
parallel zur X-Achse verzogen, und gleichzeitig wird der mittlere
Schwingarm 1a in die andere Richtung parallel zur X-Achse verzogen.
Auf der Oberseite des mittleren Schwingarms 1a ist ein Paar
Fühlelektroden 5a und 5b ausgebildet. Die hinteren Enden der
Fühlelektroden 5a und 5b erreichen Stellen, die von der Endkante des
Basisendes 1b in Richtung der Spitze des mittleren Schwingarms 1a
versetzt sind. Die Fühlelektroden 5a und 5b sind mit Kontaktflächen 5a1
bzw. 5b1 abgeschlossen.
Wenn der Schwinger 1 in ein mit einer Winkelgeschwindigkeit um die
Z-Achse drehendes Drehsystem eingebracht wird, werden die
Schwingarme 1a, 1b und 1c in Richtungen parallel zur Y-Achse in
Schwingung versetzt, hervorgerufen durch eine Corioliskraft
entsprechend der oben angegebenen Formel. Da die Phasendifferenz der
Schwingungen der seitlichen Schwingarme 1b und 1c einerseits und der
Schwingungen des mittleren Schwingarms 1a andererseits aufgrund der
Treiberspannung 180° beträgt, ist auch die Phasendifferenz zwischen
den Schwingungen der seitlichen Schwingarme 1b und 1c und den
Schwingungen des mittleren Schwingarms 1a aufgrund der Corioliskraft
180°, Das heißt: Zu einem gegebenen Zeitpunkt werden die seitlichen
Schwingarme 1b und 1c in die eine Richtung parallel zu der Y-Achse
aufgrund der Corioliskraft verzogen, während der mittlere Schwingarm
1b aufgrund der Corioliskraft in die andere Richtung parallel zu der Y-Achse
verzogen wird.
Die Fühlelektroden 5a und 5b sind auf der Oberseite des mittleren
Schwingarms 1a ausgebildet, an welchem die Erdungselektrode 4
ausgebildet ist. Der mittlere Schwingarm 1a aus piezoelektrischem
Metall fungiert als Corioliskraft-Meßeinrichtung. Da die jeweiligen
Richtungen der piezoelektrischen Polarisation von Teilen des
Schwingarms 1a, an denen die Fühlelektroden 5a und 5b ausgebildet
sind, einander entgegengesetzt sind, liefern die Fühlelektroden 5a und 5b
Ausgangssignale entgegengesetzter Phasen, welche die Verziehungs-
Hübe des mittleren Schwingarms 1a in einander entgegengesetzte
Richtungen parallel zur X-Achse repräsentiert. Die Absolutwerte der
Ausgangssignale der Fühlelektroden 5a und 5b werden addiert, d. h. das
Ausgangssignal der einen der Fühlelektroden 5a und 5b wird von
demjenigen von der anderen Fühlelektrode subtrahiert, um die
Winkelgeschwindigkeit ω der Drehung um die Z-Achse berechnen zu
können.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist an dem Basisende 1B des Schwingers 1 ein
Träger 6 befestigt, um den Schwinger 1 zu lagern. Der Träger 6 ist
hergestellt durch Verarbeiten einer leitenden Platte, beispielsweise einer
vergoldeten Walzstahlplatte oder einer Platte mit niedrigem elektrischen
spezifischen Widerstand, beispielsweise einer Kupferplatte. Der Träger 6
besitzt ein flaches Aufnahmeteil 6a und einen Stützfuß 6b. Die
Abmessungen des Querschnitts des Stützfußes 6b sind so festgelegt, daß
der Stützfuß 6b elastisch verformbar ist.
Das Basisende 1B des Schwingers 1 wird auf das flache Aufnahmeteil 6a
des Trägers 6 so aufgebracht, daß seine Unterseite in Berührung mit der
Oberseite der flachen Halteplatte 6a steht, wobei das Basisende 1B auf
der flachen Aufnahme 6a mittels einer leitenden Klebstoffschicht 17
fixiert wird, wie aus Fig. 2 hervorgeht. Dabei werden sämtliche
Treiberelektroden 2 elektrisch über das Basisende 1B des Schwingers 1
und die leitende Klebstoffschicht 17 mit der flachen Aufnahme 6a des
Trägers 6 verbunden. Ein leitender Klebstoff für die Klebstoffschicht 17
wird dadurch erhalten, daß man einen leitenden metallischen Füllstoff in
ein thermoplastisches Harz, ein bei Hitze härtbares Harz oder in ein
durch Ultraviolettstrahlung aushärtbares Harz einmischt. Die
Treiberelektroden 2 können durch Schweißen mit einem leitenden
Metall, beispielsweise einem Lot, elektrisch und mechanisch mit der
flachen Aufnahme 6a verbunden werden.
Der Träger 6 wird auf einer Schaltungsplatine 7 dadurch angeordnet,
daß sein Stützfuß 6b in ein in der Verdrahtungsplatine 7 ausgebildetes
Loch 7a eingesetzt wird. Ein nicht dargestelltes leitendes Muster
befindet sich auf der Rückseite der Verdrahtungsplatine 7, und ein
Endabschnitt des Stützfußes 6b ist an dem leitenden Muster mit Hilfe
von Lot 8 fixiert, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist. Damit wird der
Schwinger 1 freitragend gelagert, wobei sein Basisende 1B auf dem
Träger 6 gehalten wird, während seine Schwingarme 1a, 1b und 1c sich
über einem Ausschnitt 7b parallel zu einer Ebene erstrecken, welche die
Oberfläche der Schaltungsplatine 7 enthält, wie aus Fig. 2 hervorgeht.
Die an dem Schwinger 1 ausgebildeten Treiberelektroden 2 sind über die
leitende Klebstoffschicht 17 und den Träger 6 elektrisch mit dem
Leitungsmuster auf der Verdrahtungsplatine 7 verbunden, und das
Leitungsmuster ist mit einer in Fig. 4 gezeigten Wechselspannungsquelle
3 verbunden.
Auf der Oberseite der Verdrahtungsplatine 7 ist eine Kontaktfläche 9a
ausgebildet, die mit einem nicht dargestellten Erdungsmuster elektrisch
verbunden ist, und die auf der Oberfläche des Basisendes 1B des
Schwingers 1 gebildete Erdungsanschlußelektrode 4a ist mit der
Kontaktfläche 1a über einen Verbindungsdraht 10a verbunden. Die
Erdungselektroden 4, die an dem Schwinger 1 ausgebildet sind, stehen
über die Erdanschlußelektrode 4a, den Verbindungsdraht 10a und das
Kontaktstück 9a mit einem auf der Verdrahtungsplatine 7 ausgebildeten
Erdungsmuster elektrisch in Verbindung.
Die einzelnen Kontaktflächen 5a1 und 5b1 der Fühlelektroden 5a und 5b
sind mit den Kontaktflächen 9b1 und 9b2 auf der Verdrahtungsplatine 7
über Anschlußdrähte 10b1 bzw. 10b2 verbunden. Die Fühlelektroden 5a
und 5b des Schwingers 1 sind elektrisch über die Verbindungsdrähte
10b1 und 10b2, die Kontaktflächen 9b1 und 9b2 auf der
Verdrahtungsplatine 7 und ein auf der Verdrahtungsplatine 7
ausgebildetes Leitermuster mit einer nicht dargestellten Leseschaltung
verbunden, die sich auf der Platine 7 befindet.
Bei der in den Fig. 1 und 2 dargestellten Schwingerträgeranordnung
sind sämtliche Treiberelektroden 2 über den Träger 6 mit dem auf der
Verdrahtungsplatine 7 ausgebildeten Leitungsmuster elektrisch
verbunden, die Erdungselektroden 4 sind mit einer einzelnen
Erdanschlußelektrode 4a verbunden. Deshalb besitzt die
Schwingerträgeranordnung bloß die drei freitragenden Verbindungsdrähte
10a, 10b1 und 10b2, die zwischen dem Schwinger 1 und der
Verdrahtungsplatine 7 ohne Abstützung, also frei verlaufend angeordnet
sind.
Der Schwinger 1 wird freitragend an dem einzelnen Träger 6 gelagert,
es sind keinerlei zusätzliche Trägerelemente oder Lagerungselemente
erforderlich. Da das Basisende 1B des Schwingers 1 fest mit der flachen
Aufnahme 6a in flächigem Berührungskontakt vereint ist, wird der
Schwinger 1 auf dem Träger 6 stabil gelagert. Da der Stützfuß 6b des
Trägers 6 elastisch verformbar ist, wird der Schwinger 1 von der
Verdrahtungsplatine 7 elastisch gelagert. Äußere Stöße und von außen
auf die Verdrahtungsplatine 7 einwirkende Vibrationen können von dem
Stützfuß 6b absorbiert werden, so daß eine direkte Ausbreitung der
äußere Stöße und der externen Vibrationen bis hin zu dem Schwinger 1
unterbunden wird.
Bei dem in Fig. 1 bis 4 dargestellten Dreizack-Stimmgabelschwinger 1
beträgt die Phasendifferenz zwischen den Schwingungen der seitlichen
Schwingarme 1b und 1c einerseits und den Schwingungen des mittleren
Schwingarms 1a andererseits 180°. Deshalb ist der Schwinger 1
bezüglich der Schwingung gut ausgewuchtet, und an dem Basisende 1B
des Schwingers 1 ergibt sich keinerlei Biegeknoten, der die
Schwingungen stark beeinflussen könnte. Folglich können die
Schwingarme 1a, 1b und 1c des Schwingers 1, dessen Basisende 1B in
Flächenberührung an der flachen Aufnahme 6a des Trägers 6 fixiert ist,
frei schwingen, ohne daß eine Hemmung seitens der
Schwingerträgeranordnung bestünde. Die Ansprechempfindlichkeit auf
Treiberkräfte sowie die Empfindlichkeit der Schwingarme 1a, 1b und 1c
leiden folglich durch die Schwingerträgeranordnung nicht.
Da die Schwingarme 1a, 1b und 1c sich über dem Ausschnitt 7b der
Verdrahtungsplatine 7 erstrecken, lassen sich die Spitzen der
Schwingarme 1a, 1b und 1c so trimmen, daß die
Schwingungsfrequenzen der einzelnen Schwingarme 1a, 1b und 1c bei
an der Verdrahtungsplatine 1 gelagertem Schwinger 1 justiert werden.
Bezugnehmend auf Fig. 5, die eine Schwingerträgeranordnung einer
zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt, enthält die
Trägeranordnung einen einstuckig und zusammenhängend ausgebildeten
Träger 16 mit einer flachen Aufnahme 16a, einem Stützfuß 16b und
einem Basisteil 16c. Der Basisteil 16c hat eine Form ähnlich dem
Buchstaben H und ist parallel zu der flachen Aufnahme 16a orientiert.
Der Basisteil 16c besitzt zwei Arme und einen die Arme verbindenden
Steg, wobei einstückig mit den beiden Armen an deren einander
abgewandten Enden Finger 16d ausgebildet sind, die in entsprechende
Löcher der Verdrahtungsplatine 7 eingreifen.
Das Basisende 1B des Schwingers 1 wird auf dem Träger 16 so
gelagert, daß seine Oberfläche mit den Treiberelektroden 2b mittels
Klebstoff an der flachen Aufnahme 16a in flächiger Berührung mit Hilfe
eines leitenden Klebstoffs fixiert wird. Der Basisteil 16c wird so auf die
Oberfläche der Verdrahtungsplatine 7 aufgesetzt, daß die Finger 16d in
die entsprechenden Löcher der Verdrahtungsplatine 7 eingreifen. Die
Schwinger 16d werden mit dem leitenden Muster verlötet, über das die
Treiberleistung zugeführt wird. Da der Basisteil 16c des Trägers 16 sich
in flächigem Kontakt mit der Oberfläche der Verdrahtungsplatine 7
befindet, läßt sich der Träger 16 sicher an der Platine 7 halten.
Da die flache Aufnahme 16a und der Basisteil 16c des Trägers 16
parallel zueinander verlaufen, kann der Schwinger 1 parallel zur
Oberfläche der Verdrahtungsplatine 7 gelagert werden.
Fig. 6 zeigt eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Schwingerträgeranordnung. Ein Träger 26 hat die Form eines
Flachstücks mit einer flachen Lagerungsaufnahme 26a und einem
Stutzfuß 26b, der sich in der gleichen Ebene wie die flache Aufnahme
26a erstreckt. Die flache Aufnahme 16a ist mit leitendem Klebstoff und
in flächiger Berührung an dem Basisende 1B des Schwingers 1 fixiert.
Nicht gezeigte Treiberelektroden an dem Schwinger 1 sind elektrisch mit
der flachen Aufnahme 26a über eine Schicht aus leitendem Klebstoff
verbunden. Der Träger 16 steht aufrecht auf einer Seite einer
Verdrahtungsplatine, wobei der Stützfuß 26b in ein auf der Platine
ausgebildetes Loch eingesetzt ist. Der Stutzfuß 26b ist mit dem
Leitungsmuster auf der Platine durch Löten verbunden. Auf diese Weise
wird der Schwinger 1 so gelagert, daß er sich unter einem rechten
Winkel zur Oberfläche der Verdrahtungsplatine erstreckt, wie aus Fig. 6
hervorgeht, um die Winkelgeschwindigkeit bei der Drehung um eine
Achse zu messen, die senkrecht auf der Oberfläche der Platine steht.
Fig. 7 zeigt eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Schwingerträgeranordnung. Die Anordnung umfaßt Träger 36 und 37.
Ein Basisende 1B des Schwingers 1 wird zwischen den Trägern 36 und
37 gehalten. Die Träger 36 und 37 besitzen flache Aufnahmen 26a und
27a und davon unter rechtem Winkel jeweils abstehend einen Stützfuß
36b bzw. 37b. Bei dieser Ausführungsform haben die Stützfüße 36b und
37b die Form eines Rundstabs. Die Abmessungen des Querschnitts der
Stützfüße 36a und 37a sind derart festgelegt, daß die Stützfüße 36b und
37b elastisch verformbar sind.
Die flache Aufnahme 36a des Trägers 36 ist mittels eines leitenden
Klebstoffs an einer Fläche des Basisendes 1B des Schwingers 1, an der
die nicht gezeigten Treiberelektroden ausgebildet sind, derart fixiert, daß
die Treiberelektroden elektrisch über eine Schicht des leitenden
Klebstoffs mit dem Träger 36 verbunden sind. Die flache Aufnahme 37a
des Trägers 37 ist mit einer Seite des Basisendes 1B des Schwingers 1,
an der eine nicht dargestellte Erdanschlußelektrode ausgebildet ist, mit
einem Klebstoff so fixiert, daß die Erdanschlußelektrode über eine
Schicht des leitenden Klebstoffs elektrisch mit dem Träger 37 verbunden
ist. Die Stutzfüße 36b und 37b der Träger 36 bzw. 37 sind an einer
Verdrahtungsplatine angebracht, um die Leitungsmuster der Platine
elektrisch mit den Stützfüßen zu verbinden. Deshalb werden nur zwei
freitragende Verbindungsdrähte benötigt, um die Kontaktflächen der
nicht gezeigten Fühlelektroden mit einer auf der Verdrahtungsplatine
vorhandenen Schaltung zu verbinden. Da das Basisende 1B des
Schwingers 1 zwischen den flachen Aufnahmen 36a und 37a der Träger
36 und 37 gehalten wird, läßt sich der Schwinger 1 fest auf der
Verdrahtungsplatine lagern.
Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, kann ein als Dreizack
oder Zweizack ausgebildeter Schwinger vom Stimmgabeltyp sicher an
seinem Basisende mit Hilfe der einen einfachen Aufbau aufweisenden
Schwingerträgeranordnung gelagert werden. Da die Elektroden gleichen
Potentials an dem Schwinger elektrisch mit dem Leitungsmuster der
Verdrahtungsplatine über den Träger verbunden werden können, werden
nur wenige freitragende Verbindungsdrähte benötigt. Da der Stützfuß des
Trägers elastisch verformbar ist, ist eine gewisse biegefähige Lagerung
des Schwingers möglich.
Claims (5)
1. Schwingerträgeranordnung zum schwingfähigen Lagern eines
Schwingarme (1a, 1b, 1c) mit freien Enden sowie einem Basisende
(1B) aufweisenden Schwingers (1) freitragend an dessen Basisende
(1B), umfassend einen den Schwinger (1) an dessen Basisende (1B)
lagernden Träger (6; 16; 26; 36, 37), der ein flaches Aufnahmeteil
(6a; 16a; 26a; 36a; 37a), an dem zumindest eine der Flachseiten des
Schwinger-Basisendes (1B) in flächiger Berührung fixiert ist, und
einen sich an das flache Aufnahmeteil anschließenden und an einer
Verdrahtungsplatine (7) fixierten Stutzfuß (6b; 16b; 26b; 36b, 37b)
aufweist.
2. Schwingerträgeranordnung nach Anspruch 1, bei der das flache
Aufnahmeteil (6a; 16a; 26a; 36a, 37a) und der Stützfuß (6b; 16b;
26b; 36b, 37b) aus leitendem Material bestehen, eine
Treibereinrichtung zum Treiben der Schwingarme (1a, 1b, 1c) zur
Ausführung von Schwingungen oder in einer Fühleinrichtung
enthaltene Elektroden gleichen Potentials elektrisch mit dem flachen
Aufnahmeteil verbunden sind, um solche Elektroden elektrisch über
das flache Aufnahmeteil und den Stützfuß mit einer auf der
Verdrahtungsplatine (7) befindlichen Schaltung zu verbinden.
3. Schwingerträgeranordnung nach Anspruch 1 oder 2, bei der der
Schwinger (1) ein plattenförmiges oder flachstückartiges Element
aus einem piezoelektrischen Material ist, oder ein flachstückartiges
Verbundmaterialteil ist, hergestellt durch Verbinden eines Elements
aus piezoelektrischem Material und eines Elements aus einem
elastischen Material, wobei der Schwinger (1) mehrere getrennte
Schwingarme (1a, 1b, 1c) aufweist, der Schwinger (1) mit
Treiberelektroden (2) zum Zuführen von Treiberleistung zu dem aus
piezoelektrischem Material bestehenden Element des
flachstückartigen Teils ausgestattet ist, außerdem Fühlelektroden (5)
aufweist, um die Verlagerungen der von der Treiberleistung
angetriebenen Schwingarme (1a, 1b, 1c) zu erfassen, die durch eine
Corioliskraft hervorgerufen werden, wobei die Treiberelektroden
gleichen Potentials des Schwingers elektrisch mit dem flachen
Aufnahmeteil (6a; 16a; 26a; 36a, 37a) verbunden sind.
4. Schwingerträgeranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei
der ein Teil oder Teile des Schwingers (1), auf dem Elektroden
ausgebildet sind, und der flache Aufnahmeteil des Trägers mit Hilfe
eines leitenden Klebstoffs (17) miteinander verbunden sind.
5. Schwingerträgeranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei
der der Schwinger (1) die Form einer flachen Platte oder eines
Flachstücks besitzt, während der Träger den Schwinger (1) derart
lagert, daß der Schwinger etwa parallel zu der Oberfläche der
Verdrahtungsplatine (7) verläuft.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9000560A JPH10197254A (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 振動子の支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19800333A1 true DE19800333A1 (de) | 1998-07-16 |
DE19800333C2 DE19800333C2 (de) | 2000-10-19 |
Family
ID=11477117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19800333A Expired - Fee Related DE19800333C2 (de) | 1997-01-07 | 1998-01-07 | Schwingerträgeranordnung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10197254A (de) |
DE (1) | DE19800333C2 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6053044A (en) * | 1997-01-27 | 2000-04-25 | Alps Electric Co., Ltd. | Vibratory gyroscope |
EP1296114A1 (de) * | 2001-02-19 | 2003-03-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Drehgeschwindigkeitssensor und verfahren zur einstellung von eigenschaften des sensors |
DE19904334B4 (de) * | 1998-02-03 | 2004-04-08 | Alps Electric Co., Ltd. | Schwingkreiselgerät |
EP1489379A2 (de) | 2003-06-19 | 2004-12-22 | Seiko Epson Corporation | Piezoelektrisches Bauteil, Verfahren zu seiner Herstellung und elektronisches Gerät mit solch einem Bauteil |
US6898973B2 (en) | 2001-11-29 | 2005-05-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope and electronic device including same |
US7096733B2 (en) | 2002-05-28 | 2006-08-29 | Fujitsu Media Devices Limited | Angular velocity sensor |
EP2012087A1 (de) * | 2006-04-26 | 2009-01-07 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Vibrationskreisel |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006308543A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-11-09 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
JP4968741B2 (ja) | 2006-01-13 | 2012-07-04 | シチズンホールディングス株式会社 | 角速度センサー用振動体 |
JP4924873B2 (ja) * | 2006-08-02 | 2012-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動ジャイロモジュール及び圧電振動ジャイロセンサ |
CH700716B1 (fr) * | 2006-10-09 | 2010-10-15 | Suisse Electronique Microtech | Résonateur en silicium de type diapason. |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0894362A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Yoshiro Tomikawa | 振動型ジャイロスコープ |
JPH08114458A (ja) * | 1994-10-13 | 1996-05-07 | Nippondenso Co Ltd | 角速度センサー |
-
1997
- 1997-01-07 JP JP9000560A patent/JPH10197254A/ja not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-01-07 DE DE19800333A patent/DE19800333C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19802822C2 (de) * | 1997-01-27 | 2002-04-04 | Alps Electric Co Ltd | Schwingkreisel |
US6053044A (en) * | 1997-01-27 | 2000-04-25 | Alps Electric Co., Ltd. | Vibratory gyroscope |
DE19904334B4 (de) * | 1998-02-03 | 2004-04-08 | Alps Electric Co., Ltd. | Schwingkreiselgerät |
EP1296114A1 (de) * | 2001-02-19 | 2003-03-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Drehgeschwindigkeitssensor und verfahren zur einstellung von eigenschaften des sensors |
EP1296114A4 (de) * | 2001-02-19 | 2010-01-06 | Panasonic Corp | Drehgeschwindigkeitssensor und verfahren zur einstellung von eigenschaften des sensors |
US6898973B2 (en) | 2001-11-29 | 2005-05-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope and electronic device including same |
DE10255609B4 (de) * | 2001-11-29 | 2006-05-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Vibrationsgyroskop |
US7096733B2 (en) | 2002-05-28 | 2006-08-29 | Fujitsu Media Devices Limited | Angular velocity sensor |
EP1489379A3 (de) * | 2003-06-19 | 2005-08-31 | Seiko Epson Corporation | Piezoelektrisches Bauteil, Verfahren zu seiner Herstellung und elektronisches Gerät mit solch einem Bauteil |
EP1489379A2 (de) | 2003-06-19 | 2004-12-22 | Seiko Epson Corporation | Piezoelektrisches Bauteil, Verfahren zu seiner Herstellung und elektronisches Gerät mit solch einem Bauteil |
US7849572B2 (en) | 2003-06-19 | 2010-12-14 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric device |
EP2012087A1 (de) * | 2006-04-26 | 2009-01-07 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Vibrationskreisel |
EP2012087A4 (de) * | 2006-04-26 | 2011-01-12 | Murata Manufacturing Co | Vibrationskreisel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19800333C2 (de) | 2000-10-19 |
JPH10197254A (ja) | 1998-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69413162T2 (de) | Piezoelektrischer Schwingungssensor mit eingebauter Prüfschaltung | |
DE69416750T2 (de) | Drehratensensor mit zentral montierter Stimmgabel | |
DE69008165T2 (de) | Fühlelement für ein gyroskop. | |
DE19647834B4 (de) | Sensor zum Erfassen von Schwingungen | |
DE69119738T2 (de) | Stimmgabelgesteuerter Kreisel | |
DE69309392T2 (de) | Sensor für eine richtungsabhängige physikalische Grösse | |
DE10106840B4 (de) | Erfassungsgerät für eine physikalische Grösse | |
DE69010609T2 (de) | Vibrationskreisel. | |
DE19643182B4 (de) | Schwingungskonstruktion | |
DE19800333C2 (de) | Schwingerträgeranordnung | |
DE102006040564B4 (de) | Befestigungsanordnung eines Winkelgeschwindigkeitssensors | |
DE19640998C2 (de) | Stimmgabel-Vibrationsgyro | |
DE69836180T2 (de) | Vibrationskreisel und Verfahren zu seiner Einstellung | |
DE2738877C2 (de) | Piezoelektrischer Kleinstschwinger | |
DE4343135A1 (de) | Drehratensensor | |
DE1523883B2 (de) | Mechanischer Schwinger für Zeit meßgerate | |
DE112017003796T5 (de) | Winkelgeschwindigkeitssensor, sensorelement und multi-achsen-winkelgeschwindigkeitssensor | |
DE602004009204T2 (de) | Wandler zur Winkelgeschwindigkeitsmessung | |
DE112010003992T5 (de) | Piezoelektrischer beschleunigungssensor | |
DE3926504C2 (de) | Schwingkreisel | |
DE69726655T2 (de) | Vibrationskreisel und Herstellungsverfahren | |
DE112017003795T5 (de) | Winkelgeschwindigkeitssensor, Sensorelement und Multi-Achsen-Winkelgeschwindigkeitssensor | |
DE69305756T2 (de) | Halterungsaufbau für einen Schwinger | |
DE10255609B4 (de) | Vibrationsgyroskop | |
DE10105395A1 (de) | Beschleunigungssensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |