DE19742447A1 - Wanderwellenmotor mit Temperaturmeßeinrichtung und Verfahren zur Temperaturmessung - Google Patents
Wanderwellenmotor mit Temperaturmeßeinrichtung und Verfahren zur TemperaturmessungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Wanderwellenmotor mit einem eine elektrisch anregbare
Piezokeramik aufweisenden Stator und einem mit dem Stator in Reibkontakt bring
baren Rotor der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art.
Bei den in ihrem Aufbau, ihrer Funktionsweise und den bevorzugten Einsatzmöglich
keiten bekannten Wanderwellenmotoren werden mechanische Schwingungen zur
Erzeugung einer Drehbewegung ausgenutzt. Zu diesem Zweck weist der Stator ein
Piezoelement auf, das die Umwandlung von elektrischen Schwingungen in mechani
sche Wanderwellen ermöglicht.
Wanderwellenmotoren, auch Ultraschallmotoren genannt, sind z. B. beschrieben in
US Patent 4,562,374, in Yukihiko Ise "Travelling Wave Ultrasonic Motors Offer High
Conversion Efficiency" (JEE, Juni 1986, Seiten 66-70) und in Schadebrodt und
Salomon "The Piezo Travelling Wave Motor - A New Element in Aduation" (Control
Engineering, Mai 1990, Seiten 10-18).
Zur Anregung der Wanderwellen wird aus Symmetriegründen eine piezokeramische
Ringstruktur benutzt. Diese ist aufgeteilt in zwei Gruppen von abwechselnd positiv
und negativ vorpolarisierten piezoelektrischen Zonen im Abstand λ/4 und 3λ/4, die
zwei Elektroden bilden. Die beiden Gruppen werden mit um 90° gegeneinander
phasenverschobenen Wechselspannungen angeregt. Zur Ansteuerung für den be
kannten Wanderwellenmotor dient ein Treiberkreis, bei dem ein Oszillator eine auf
die mechanische Resonanzfrequenz fm des Stators abgestimmte elektrische Fre
quenz fe erzeugt, um den Stator wirksam anzusteuern. Die Drehung des Rotors wird
bewirkt durch eine Wanderwelle, die sich entgegengesetzt zur Rotordrehrichtung
ausbreitet.
In einem ersten nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbaren Teilbereich der
Piezokeramik sind zwei Elektroden im Abstand von mindestens λ/4 ausgebildet, die
unter Ausnutzung des umgekehrten Piezoeffekts zum Erfassen des Verhältnisses
zwischen Steh-und Wanderwellenanteil bzw. der Schwingamplitude genutzt werden.
Wanderwellenmotoren sind vielfältig einsetzbar, z. B. als Verstellaktoren oder als
Gelenkmodul für Robotersysteme. Insbesondere bei Anwendungen mit Leistungs
anforderungen ist mit erhöhter Wärmeentwicklung zu rechnen.
Die Wanderwellenmotoren erreichen derzeit mechanische Leistungen von ungefähr
50 Watt bei einem Wirkungsgrad von etwa 25%. Der angestrebte Einsatztempera
turbereich liegt zwischen -40°C und +80°C.
Zusätzliche Randbedingungen wie unterschiedliche Lastanforderungen bezüglich
Drehzahl oder Drehmoment bewirken große und vergleichsweise schnelle Tempe
raturänderungen im Motor. Mit zunehmender Motortemperatur ist eine Verringerung
der Statorresonanzfrequenz fm zu beobachten.
Die Kapazität der Piezokeramik zeigt ebenfalls ein stark ausgeprägtes und reprodu
zierbares Temperaturverhalten. Aus Fig. 4 ist erkennbar, daß im angestrebten Ein
satztemperaturbereich von -40°C bis +80°C die Kapazität der Piezokeramik um un
gefähr 50% zunimmt, bezogen auf den Wert bei -40°C.
Das Erfassen der Temperaturänderungen ist daher von entscheidender Bedeutung
für eine optimale Ansteuerung des Motors, für einen Überlastschutz und für das
Vermeiden von Defekten durch das Abplatzen der Keramik.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Wanderwellenmotor und ein Ver
fahren bereitzustellen, die eine einfache und exakte Messung der Statortemperatur
ermöglichen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Wanderwellenmotor mit den
Merkmalen des Anspruchs 1 und das Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs
8.
Das Anbringen einer Meßelektrode in einem für die Erzeugung von Wanderwellen
ohnehin nicht nutzbaren Teilbereich der Piezokeramik ist einerseits platzsparend
und erlaubt eine äußerst exakte Messung der Temperatur direkt am zu messenden
Objekt. Ein spezieller und zudem zusätzlich anzubringender Temperatursensor ent
fällt und so sind auch die damit zusammenhängenden Kontaktierungsprobleme ei
nes Temperaturmeßfühlers an einem schwingenden Meßobjekt umgangen.
Das bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ermittelte temperaturabhängige Signal
wird als Spannungswert in Abhängigkeit von der Temperatur dargestellt. Diese Dar
stellung erlaubt die Nutzung der Temperaturerfassung zur Steuerung und Regelung
des Wanderwellenmotors, insbesondere läßt sich damit ein Übertemperaturschutz
realisieren.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen des erfindungsgemäßen
Wanderwellenmotors und des erfindungsgemäßen Temperaturmeßverfahrens sind
in den Unteransprüchen dargelegt.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt
und werden nachfolgend beschrieben.
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung der Konfiguration der Piezokeramik
für den Wanderwellenmotor,
Fig. 2 ist ein schematisiertes Diagramm einer Schaltung mit den zur Durch
führung des Temperaturmeßverfahrens wesentlichen Elementen,
Fig. 3 zeigt die Kapazitätskennlinie der Piezokeramik in Abhängigkeit von der
Temperatur,
Fig. 4 ist die Darstellung des temperaturabhängigen Signals als Spannungswert
in Abhängigkeit von der Temperatur.
Fig. 1 zeigt eine mögliche Ausgestaltung der auf dem Stator aufgebrachten elek
trisch anregbaren Piezokeramik 1. Diese ist in zwei Gruppen von sich abwechseln
den Zonen unterteilt, die unterschiedlich polarisiert sind. Eine positiv polarisierte und
eine negativ polarisierte piezoelektrische Zone sind jeweils in einem Winkelbereich
von 2/13 π bzw. 1/13 λ angeordnet. Andere für die Anordnung vorteilhafte Winkel
bereiche wären z. B. 2/9 π oder 2/1 1π bzw. 1/9 λ oder 1/11 λ.
In einem ersten nicht für die Erzeugung von Wanderwellen genutzten Teilbereich 4
der Piezokeramik 1 sind zwei Elektroden 5,6 zur sensorischen Erfassung des Motor
zustands angeordnet. Damit kann z. B. die Schwingungsamplitude bestimmt werden.
Die Elektroden 5, 6 sind im Abstand von mindestens λ/4 oder ungeraden Vielfachen
von λ/4 ausgebildet und werden beispielsweise zum Erfassen der Schwingamplitude
genutzt. Jeweils sechs bzw. fünf oder vier Paare positiv und negativ vorpolarisierter
Zonen bilden eine Arbeitselektrode oder ein Anregesystem beidseits der Sensor
elektroden 5, 6. Die Arbeitselektroden 2, 3 werden mittels um 90° gegeneinander
phasenverschobenen Wechselspannungen angeregt.
In einem zweiten, ebenfalls nicht für die Erzeugung von Wanderwellen genutzten
Teilbereich 7 der Piezokeramik 1 ist eine Meßelektrode 8 angebracht. Die Meßelek
trode 8 kann nur eine Teilfläche des zweiten nicht für die Erzeugung von Wander
wellen nutzbaren Teilbereichs 7 einnehmen oder die gesamte Fläche dieses nicht
nutzbaren Teilbereichs 7. Die Meßelektrode kann symmetrisch in einer Teilfläche
des für die Erzeugung von Wanderwellen nicht nutzbaren Bereichs 7 sitzen oder
asymmetrisch angebracht sein.
Der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich 7
der Piezokeramik 1 kann als Teil einer piezoelektrischen Zone ebenfalls polarisiert
sein. Er kann aber auch unpolarisiert sein.
Zu den angrenzenden unterschiedlich polarisierten piezoelektrischen Zonen muß die
Meßelektrode auf jeden Fall einen Mindestisolationsabstand einhalten.
Aus der Schaltungsskizze der Fig. 2 ist ersichtlich, daß ein Kondensator 9 so zuge
schaltet ist, daß die Meßelektrode 8 und der Kondensator 9 einen kapazitiven Teiler
bilden. Der zugeschaltete Kondensator 9 kann in der Meß- und Auswerteelektronik
untergebracht sein.
Die Arbeitselektroden 2,3 und die Meßelektrode 8 sind über die Piezokeramik ther
misch gekoppelt. Die Kapazität der Piezokeramik zeigt, wie aus Fig. 4 erkennbar, ein
stark ausgeprägtes Temperaturverhalten im üblicherweise angestrebten Einsatztem
peraturbereich von -40°C bis +80°C. Dort nimmt die Kapazität der Piezokeramik um
ungefähr 50% zu, bezogen auf den Wert bei -40°C. Dieses Meßergebnis ermöglicht
es, durch den Aufbau eines kapazitiven Teilers eine Kapazitätsbestimmung vorzu
nehmen und mittels dieser die Statortemperatur zu ermitteln.
Als zugeschalteter Kondensator 9 wird daher ein in seinem Kapazitätswert tempe
raturstabiler Kondensator ausgewählt. Vorteilhaft für die Kapazitätsbestimmung ist
es, wenn der Kapazitätswert des temperaturstabilen Kondensators 9 bei einer defi
nierten Temperatur, z. B. bei Raumtemperatur, gleich groß ist wie der entsprechende
Kapazitätswert der Meßelektrode 8.
Der temperaturstabile Kondensator 9 und die Meßelektrode 8 können in Reihe oder
parallel geschaltet sein. Im Schaltungsdiagramm der Fig. 2 z. B. sind der Kondensator
9 und die Meßelektrode 8 in Reihe geschaltet.
Zur Messung der Temperatur des Stators wird der kapazitive Teiler mit einer Wech
selspannung konstanter Amplitude und Frequenz fmeß, erzeugt von einem digitalen
Oszillator, beaufschlagt.
Ist der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich 7
der Piezokeramik 1 nicht polarisiert, so kann beim Beaufschlagen des kapazitiven
Teilers mit einer Wechselspannung eine Wechselspannung beliebiger Frequenz fmeß
gewählt werden. Vorteilhaft ist es, eine Frequenz zwischen den Nutzfrequenzbän
dern zu wählen.
Ist der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich 7
der Piezokeramik 1 polarisiert, so muß beim Beaufschlagen des kapazitiven Teilers
mit einer Wechselspannung eine Wechselspannung mit einer bestimmten Frequenz
gewählt werden. Die Frequenz fmeß muß in einem Bereich zwischen zwei Frequenz
bändern liegen, die sich als Vielfache der für den Antrieb des Wanderwellenmotors
genutzten Arbeitsfrequenzen ergeben.
An der Meßelektrode 8 wird das temperaturabhängige Signal C(T) und an dem tem
peraturstabilen Kondensator 9 wird das temperaturstabile Referenzsignal Cref
abgegriffen. In einer Subtrahierschaltung 10 werden die beiden Signale miteinander
verglichen und das so ermittelte temperaturabhängige Signal C(T) wird nach Durch
laufen konventioneller elektronischer Bauteile wie Verstärker 12 und ggfs. zusätzlich
noch Analog/Digitalwandler 13 und Mikroprozessor 14 als Spannungswert Umeß in
Abhängigkeit von der Temperatur, wie in Fig. 4 gezeigt, dargestellt.
Ist der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich 7
der Piezokeramik polarisiert, so empfiehlt es sich, ein Bandpaßfilter 11 einzusetzen,
das nur das Meßsignal Umeß durchläßt. Damit können störende Spannungen heraus
gefiltert werden, die in der Meßelektrode bei Motorbetrieb auftreten und die Fre
quenz der Motoransteuerung aufweisen.
Ist der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich 7
der Piezokeramik nicht polarisiert, so kann die Komplexität des Filters reduziert
werden bzw. ein solches ganz weggelassen werden, da in diesem Fall nur kleinere
Störungen auftreten.
Die Darstellung des temperaturabhängigen Signals als Spannungswert Umeß in Ab
hängigkeit von der Temperatur ermöglicht die einfache Nutzung des Meßverfahrens
für Steuerungszwecke. Auch ein effektiver Übertemperaturschutz läßt sich durch
einen einfachen Abschaltmechanismus, z. B. mittels des Mikroprozessors 14, reali
sieren.
Claims (11)
1. Wanderwellenmotor mit einem eine elektrisch anregbare Piezokeramik (1) aufwei
senden Stator und einem mit dem Stator in Reibkontakt bringbaren Rotor, wobei die
Piezokeramik (1) aus zwei Gruppen von sich abwechselnden und unterschiedlich
polarisierten piezoelektrischen Zonen besteht, die beiden Gruppen mit um 90°
gegeneinander phasenverschobenen Wechselspannungen (2, 3) angeregt werden
und in einem ersten nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbaren Teil
bereich (4) der Piezokeramik (1) zwei Elektroden (5, 6) im Abstand von mindestens
λ/4 zur sensorischen Erfassung des Motorzustands ausgebildet sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
in einem zweiten nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbaren Teilbereich
(7) der Piezokeramik (1) eine Meßelektrode (8) angebracht ist und ein in seinem
Kapazitätswert temperaturstabiler Kondensator (9) so zugeschaltet ist, daß die
Meßelektrode (8) und der temperaturstabile Kondensator (9) einen kapazitiven Teiler
bilden.
2. Wanderwellenmotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der temperatur
stabile Kondensator (9) und die Meßelektrode (8) in Reihe geschaltet sind.
3. Wanderwellenmotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der temperatur
stabile Kondensator (9) und die Meßelektrode (8) parallel geschaltet sind.
4. Wanderwellenmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kapazität des temperaturstabilen Kondensators (9) bei einer definierten
Temperatur gleich groß ist wie die Kapazität der Meßelektrode (8).
5. Wanderwellenmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßelektrode (8) eine Teilfläche des zweiten nicht für die Erzeugung von
Wanderwellen nutzbaren Teilbereichs (7) einnimmt.
6. Wanderwellenmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßelektrode (8) die gesamte Fläche des zweiten nicht für die Erzeugung
von Wanderwellen nutzbaren Teilbereichs (7) einnimmt mit einem Mindestisolations
abstand zu den angrenzenden polarisierten piezoelektrischen Zonen.
7. Wanderwellenmotor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich (7)
der Piezokeramik (1) nicht polarisiert ist.
8. Verfahren zur Messung der Temperatur des Stators eines Wanderwellenmotors mit
einem eine elektrisch anregbare Piezokeramik (1) aufweisenden Stator und einem
mit dem Stator in Reibkontakt bringbaren Rotor, wobei die Piezokeramik (1) aus zwei
Gruppen von sich abwechselnden polarisierten piezoelektrischen Zonen besteht, die
beide Gruppen mit um 90° gegeneinander phasenverschobenen Wechselspannun
gen (2, 3) angeregt werden und in einem ersten nicht für die Erzeugung von
Wanderwellen nutzbaren Teilbereich (4) der Piezokeramik (1) zwei Elektroden (5, 6)
im Abstand von mindestens λ/4 ausgebildet sind, die zum Erfassen der
Schwingamplitude genutzt werden, in einem zweiten nicht für die Erzeugung von
Wanderwellen nutzbaren Teilbereich (7) der Piezokeramik (1) eine Meßelektrode (8)
angebracht ist und ein in seinem Kapazitätswert temperaturstabiler Kondensator (9)
so zugeschaltet ist, daß die Meßelektrode (8) und der temperaturstabile Kondensator
(9) einen kapazitiven Teiler bilden, mit den Schritten
- - Beaufschlagen des kapazitiven Teilers mit einer Wechselspannung,
- - Abgreifen des temperaturabhängigen Signals C(T) an der Meßelektrode (8) und des temperaturstabilen Referenzsignals Cref an dem temperaturstabilen Kondensator (9),
- - Vergleichen des temperaturabhängigen Signals C(T) und des temperaturstabilen Referenzsignals Cref mittels einer Subtrahierschaltung (10) und
- - Darstellen des so ermittelten temperaturabhängigen Signals C(T) als Spannungs wert Umeß in Abhängigkeit von der Temperatur.
9. Verfahren zur Messung der Temperatur des Stators eines Wanderwellenmotors
nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich (7)
der Piezokeramik (1) nicht polarisiert ist und beim Beaufschlagen des kapazitiven
Teilers mit einer Wechselspannung eine Wechselspannung beliebiger Frequenz ge
wählt wird.
10. Verfahren zur Messung der Temperatur des Stators eines Wanderwellenmotors
nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
der zweite nicht für die Erzeugung von Wanderwellen nutzbare Teilbereich (7)
der Piezokeramik (1) polarisiert ist und beim Beaufschlagen des kapazitiven Teilers
mit einer Wechselspannung eine Wechselspannung gewählt wird mit einer Fre
quenz, die zwischen den Vielfachen der für den Antrieb des Wanderwellenmotors
genutzten Frequenzen liegt.
11. Verfahren zur Messung der Temperatur des Stators eines Wanderwellenmotors
nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
nach dem Schritt Abgreifen des temperaturabhängigen und des temperaturstabilen
Signals die abgegriffenen Signale C(T) und Cref durch ein Bandpaßfilter (11) ge
schickt werden.
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DE19742447A DE19742447C2 (de) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | Wanderwellenmotor mit Temperaturmeßeinrichtung und Verfahren zur Temperaturmessung |
JP10304678A JP3094333B2 (ja) | 1997-09-26 | 1998-09-22 | 温度測定装置を持つ進行波モータ及びその温度測定方法 |
FR9811928A FR2769149A1 (fr) | 1997-09-26 | 1998-09-24 | Moteur a ondes progressives muni d'un dispositif de mesure de temperature et procede de mesure de temperature |
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JP (1) | JP3094333B2 (de) |
DE (1) | DE19742447C2 (de) |
FR (1) | FR2769149A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19931233A1 (de) * | 1999-07-07 | 2001-01-18 | Siemens Ag | Verfahren zum Ansteuern eines kapazitiven Stellgliedes |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2903826B1 (fr) * | 2006-07-13 | 2008-10-03 | Sagem Defense Securite | Procede et dispositif de commande de la vitesse de rotation d'un rotor de moteur piezoelectrique |
DE102014109516B4 (de) * | 2014-07-08 | 2019-06-13 | Karl Eugen Fischer Gmbh | Slitter zum Schneiden eines Cordbandes |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH027879A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ駆動装置 |
US5477100A (en) * | 1990-03-01 | 1995-12-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type motor system |
US5585686A (en) * | 1989-10-23 | 1996-12-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1208269A (en) * | 1982-02-25 | 1986-07-22 | Toshiiku Sashida | Motor device utilizing ultrasonic oscillation |
JP2992068B2 (ja) * | 1990-09-27 | 1999-12-20 | アイシン精機株式会社 | 超音波モータ用振動体および超音波モータ |
JP2924455B2 (ja) * | 1992-06-11 | 1999-07-26 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータの駆動方法 |
JPH0670559A (ja) * | 1992-08-17 | 1994-03-11 | Nikon Corp | 超音波モータの駆動制御装置 |
-
1997
- 1997-09-26 DE DE19742447A patent/DE19742447C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-09-22 JP JP10304678A patent/JP3094333B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-09-24 FR FR9811928A patent/FR2769149A1/fr active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH027879A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ駆動装置 |
US5585686A (en) * | 1989-10-23 | 1996-12-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator device |
US5477100A (en) * | 1990-03-01 | 1995-12-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type motor system |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
SCHADEBRODT, Salomon: "Piezo-Wanderwellenmotor" in "Mikroelektronik" Fachbeilage Mikroperiphe- rik, 1990, H.6, S.89-91 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19931233A1 (de) * | 1999-07-07 | 2001-01-18 | Siemens Ag | Verfahren zum Ansteuern eines kapazitiven Stellgliedes |
DE19931233B4 (de) * | 1999-07-07 | 2007-02-01 | Siemens Ag | Verfahren zum Ansteuern eines kapazitiven Stellgliedes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3094333B2 (ja) | 2000-10-03 |
DE19742447C2 (de) | 1999-09-23 |
JPH11215860A (ja) | 1999-08-06 |
FR2769149A1 (fr) | 1999-04-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: DAIMLERCHRYSLER AG, 70567 STUTTGART, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |