DE19730140C2 - Variabler Kondensator und zusammengesetzte LC-Module unter Verwendung desselben - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf die Mi­ kroelektronik und insbesondere auf variable Kondensatoren und zusammengesetzte LC-Bauelemente unter Verwendung dersel­ ben. Die Erfindung bezieht sich ferner auf Verbesserungen der Rotorträgerstruktur für die Verwendung mit variablen Kondensatoren.

Ein bekanntes zusammengesetztes LC-Bauelement oder -Modul ist in den Fig. 15 und 16 gezeigt und mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet. Dieses bekannte Modul weist eine äquivalente elektrische Schaltung auf, die in Fig. 17 gezeigt ist. Das zusammengesetzte LC-Modul ist zur Verwendung als eine einge­ baute elektronische Komponente mit Hochfrequenzmodulatoren (HF) verwendbar, wie dieselben für spezifische Typen elek­ tronischer Produkte, die eine Videokassettendeckvorrichtung, Fernsehempfängersysteme und dergleichen umfassen, verwendet werden.

Wie in Fig. 17 gezeigt ist besteht das zusammengesetzte LC- Modul 1 im wesentlichen aus einer Serienschaltung eines va­ riablen Kondensators 2 und einer Spule 3. Ein Ende des va­ riablen Kondensators 2 ist mit einem ersten Anschluß 4 ver­ bunden, während das andere Ende mit einem Ende der Spule 3 gekoppelt ist, wobei ein zweiter Anschluß 5 mit derselben verbunden ist. Die Spule 3 ist an dem anderen Ende mit einem dritten Anschluß 6 verbunden.

Wie in den Fig. 15 und 16 gezeigt ist, weist das zusammenge­ setzte LC-Modul 1 ein elektrisch dielektrisches Substrat 7 auf. Der variable Kondensator 2 des zusammengesetzten LC-Mo­ duls 1 ist ein Luftkernkondensator, der Luft als sein di­ elektrisches Hauptmaterial aufweist. Der Kondensator 2 weist einen Rotor 8 und einen Stator 9 auf, die beide von dem Sub­ strat 7 getragen werden.

Spezieller besteht der Rotor 8 hauptsächlich aus einem aus­ gewählten Metall und weist eine Einstellwelle 10 und eine Mehrzahl von Rotorseitenelektroden 11 einer vordefinierten halbkreisförmigen Form, die beispielsweise aus der Einstell­ welle 10 nach außen vorstehen, auf. Die Einstellwelle 10 durchdringt das Substrat 7. Die Welle 10 ist mittels einer federnden Unterlegscheibe und eines Anschlagrings 13 an der unteren Oberfläche des Substrats 7 befestigt, um sicherzu­ stellen, daß eine Ineingriffnahme des unteren Randabschnitts der Welle 10 ermöglicht, daß die Welle 10 drehbar auf dem Substrat 7 befestigt ist. Der erste Anschluß 4 weist eine Basisplatte 14 auf, die zwischen dem Substrat 7 und der fe­ dernden Unterlegscheibe 12 gehalten ist, wodurch ein unbe­ wegliches mechanisches Halten des ersten Anschlusses 4 be­ züglich des Substrats möglich ist, während gleichzeitig eine elektrische Verbindung desselben mit dem Rotor geliefert wird. Eine Einstellrille 15 ist auf dem oberen Ende der Ein­ stellwelle 10 gebildet, die mit einer Einstell-Vorrichtung oder einem -Werkzeug, beispielsweise einem bekannten Schrau­ benzieher, in Eingriff bringbar ist. Typischerweise ist der Rotor ein integral geschnittenes, verarbeitetes Komponenten­ bauteil.

Der Stator 9 weist eine Mehrzahl von Statorseitenelektroden 16 und mehrere Abstandhalter 17 auf, von denen jeder zwi­ schen benachbarte der Elektroden 16 eingefügt ist. Der zwei­ te Anschluß 5 besteht aus einem säulenförmigen Balken, der auf dem Substrat 7 befestigt ist, um dasselbe und ferner die Statorseitenelektroden 16 ebenso wie die Abstandhalter 17 zu durchdringen. Die Elektroden 16 und die Abstandhalter 17 sind durch Löten an den zweiten Anschluß 5 gekoppelt, so daß dieselben unbeweglich an dem Anschluß 5 befestigt und elek­ trisch mit demselben verbunden sind. Die Statorseitenelek­ troden 16 werden auf eine solche Art und Weise plaziert, daß dieselben in entsprechende Räume eingebracht werden, die jeweils zwischen benachbarten der Rotorseitenelektroden 11 de­ finiert sind, wenn sich der Rotor 8 dreht.

Bei einer solchen Anordnung ermöglicht der variable Konden­ sator 2, daß sich die Rotorseitenelektroden 11 und die Sta­ torseitenelektroden 16 gegenüberliegen, wobei zwischen be­ nachbarten derselben eine Luftlücke angeordnet ist, die eine elektrostatische Kapazität definiert, die zwischen dem er­ sten und dem zweiten Anschluß 4 und 5 gemessen wird. Wenn der Rotor 8 angetrieben wird, um sich zu drehen, kann sich der Nettoüberlappungsbereich der Rotorseitenelektroden 11 und der Statorseitenelektroden 16 ändern, was wiederum er­ möglicht, daß sich der Wert der resultierenden elektrostati­ schen Kapazität ändert.

Die Spule 3 kann eine Luftkernspule sein, wobei ein Ende derselben an den Stator 9 gelötet ist und das andere Ende, das das Substrat 7 durchdringt, den dritten Anschluß, der oben genannt ist, bildet. Folglich ist das zusammengesetzte LC-Bauelement 1 fertiggestellt, das den variablen Konden­ sator 2, einen zweiten Anschluß 5, der mit dem einen Ende der Spule 3 verbunden ist, und den dritten Anschluß 6, der mit dem anderen Ende derselben gekoppelt ist, wie in Fig. 17 gezeigt ist, aufweist.

Das bekannte zusammengesetzte LC-Modul weist ferner eine Ab­ schirmungsabdeckung 18 auf, die an dem Substrat 7 befestigt ist, in der der variable Kondensator und die Spule 3 gehäust sind. Die Abschirmungsabdeckung 18 weist eine Öffnung 19 auf, um die Einstellrille 15 der Einstellwelle 10 freizule­ gen.

Ungünstigerweise ist die bekannte LC-Modulstruktur mit meh­ reren Problemen, speziell bezüglich des variablen Kondensa­ tors 2, behaftet.

Ein Problem besteht darin, daß die bekannte Vorrichtung durch das Vorliegen von Umgebungsstreukapazitäten beeinflußbar ist. Der Grund dafür ist die Tatsache, daß der variable Kondensator 2 ein solcher ist, der Luft als sein dielektri­ sches Hauptmaterial verwendet. Bei einer solchen Luftkonden­ satorstruktur ist es inhärent erforderlich, daß die Rotor­ seitenelektroden 11 und die Statorseitenelektroden 16 eine erhöhte Überlappungsfläche zwischen denselben aufweisen, um erwünschte elektrostatische Kapazitätswerte zu erhalten, was eine Abnahme der Stabilität und der Zuverlässigkeit zur Fol­ ge hätte, die bewirkt, daß der Kondensator ohne weiteres durch Umgebungsstreu- oder parasitäre Kapazitäten, die inhä­ rent um denselben vorliegen, negativ beeinflußt wird.

Ein weiteres Problem, das beim Stand der Technik angetroffen wird, besteht darin, daß die Abschirmungsabdeckung 18 aus den folgenden Gründen bezüglich einer Verunreinigungsbestän­ digkeit und bezüglich Umgebungsabdichtungscharakteristika unzulänglich ist. Das bekannte zusammengesetzte LC-Modul 1 ist bezüglich seiner äußeren Größenabmessungen und des Lay­ outs der Anschlüsse 4 bis 6 ebenso wie des Orts der Ein­ stellwelle 10 standardisiert. Folglich könnte in Fällen, in denen jede Rotorseitenelektrode 11 flächenmäßig vergrößert ist, wie oben beschrieben wurde, unter der Bedingung, daß die Einstellwelle 10 speziell an einem vorbestimmten Ort plaziert ist, das Bauelement Entwurfsschemata erzwingen, da­ hingehend, daß die Rotorseitenelektroden 11 an einer spezi­ fischen Drehposition derselben überdimensioniert sind, wobei sie aus der Abschirmungsabdeckung 18 nach außen vorstehen. Um dies zu beseitigen, weist die Abschirmungsabdeckung 18 ein Fenster 20 auf, um das Vorstehen von Rotorseitenelektro­ den 11 nach außen zu ermöglichen. Das Hinzufügen eines sol­ chen Fensters 20 in der Abdeckung 18 bewirkt nachteilig eine Reduzierung der Umweltabdichtungs- und Verunreinigungsbe­ ständigkeits-Charakteristika des zusammengesetzten LC-Moduls 1.

Noch ein weiteres Problem der bekannten Vorrichtung ist die Unfähigkeit aufgrund einer Zunahme der Komplexität der Struktur, die Herstellungskosten zu reduzieren. Ein Grund hierfür besteht darin, daß üblicherweise Schnittbehandlungen verwendet werden, um die Einstellwelle 10 zur Verwendung mit den Rotorseitenelektroden 11 herzustellen. Ein weiterer Grund besteht darin, daß die Komponententeile, die erforder­ lich sind, um die Statorseitenelektroden 16 zu erhalten, zahlenmäßig erhöht sind, was die Komplexität als ein Gesam­ tes erhöht.

Ein weiteres Problem der bekannten Vorrichtung besteht dar­ in, daß elektrische Verbindungen aufgrund eines Auftretens von Korrosion und Verunreinigungen an Gleitkontaktabschnit­ ten derselben, die elektrische Gleitkontakte mit der Basis 14 des Anschlusses 4, der Einstellwelle 10 und/oder der fe­ dernden Unterlegscheibe 12 in dem elektrischen Leitungsweg, der sich von den Rotorseitenelektroden 11 zu dem ersten An­ schluß 4 erstreckt, verschlechtert sein können.

Ein weiteres Problem besteht darin, daß, wenn die Einstell­ welle 10 während der Kapazitätseinstellung geneigt ist, die Dicke der Luftzwischenräume, die zwischen den Rotorseiten­ elektroden 11 und den Statorseitenelektroden 16 definiert sind, variieren kann, was bewirkt, daß sich der resultie­ rende Kapazitätswert entsprechend ändert, was wiederum die Kapazitätseinstellung schwieriger macht.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen verbesserten einstellbaren Kondensator und eine verbesserte zusammengesetzte LC-Vorrichtung, die einen solchen Konden­ sator verwendet, zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch einen variablen Kondensator gemäß Anspruch 1 und eine zusammengesetzte LC-Vorrichtung gemäß Anspruch 8 gelöst.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, ein verbes­ sertes zusammengesetztes LC-Modul mit variabler Kapazität zu schaffen, das verbesserte Umgebungsabdichtungs- und Verun­ reinigungsbeständigkeits-Eigenschaften aufweist, während die Komplexität und die Größe reduziert sind.

Um die vorher genannten Aufgaben zu lösen, schafft die vor­ liegende Erfindung einen variablen Kondensator, der ein elektrisch isolierendes Substrat aufweist, wobei auf einer Hauptoberfläche desselben beabstandet eine erste und eine zweite Statorseitenelektrode gebildet sind. Ein Rotor, der aus einem ausgewählten dielektrischen Material besteht, ist in Kontakt mit der ersten und der zweiten Statorseitenelek­ trode angeordnet. Eine oder mehrere Rotorseitenelektroden sind an dem Rotor angebracht, um der ersten und der zweiten Statorseitenelektrode gegenüberzuliegen, wobei zumindest ein Teil des Rotors zwischen denselben angeordnet ist, um je­ weils eine erste und eine zweite elektrostatische Kapazität zwischen denselben zu definieren, während bewirkt wird, daß die erste und die zweite elektrostatische Kapazität seriell miteinander verbunden sind. Ein Einstellbauglied, in dessen innerer Umfangsseite ein Raum zum Enthalten des Rotors in demselben gebildet ist, weist an einem Rand einen Einfas­ sungsabschnitt, der an seiner Randfläche die eine Hauptebene des Substrats kontaktiert, und an dem anderen Rand des Bau­ glieds einen Einstellformabschnitt, der mit einer Einstell- Vorrichtung oder einem -Werkzeug in Eingriff bringbar ist, auf. Das Einstellbauglied ist um die Achsenlinie, die sich senkrecht zu der einen Hauptebene des Substrats erstreckt, drehbar und elektrisch sowohl von den Statorseitenelektroden als auch der Rotorseitenelektrode (den Elektroden) isoliert. Eine Kontakterhaltungseinrichtung ist vorgesehen, um zu be­ wirken, daß der Einfassungsabschnitt des Einstellbauglieds in Kontakt mit der einen Hauptebene des Substrats gehalten wird. Ein Rotationsübertragungsbauglied, das aus einem ela­ stischen Material besteht, ist zwischen dem Einstellbauglied und dem Rotor im Inneren des Einfassungsabschnitts angeord­ net, um zu bewirken, daß der Rotor konstant gegen die eine Hauptebene des Substrats gedrückt wird, während eine Über­ tragung der Drehung des Einstellbauglieds zu dem Rotor hin möglich ist, wobei sich dieser Rotor zusammen mit dem Ein­ stellbauglied drehen kann.

Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung weist das Einstellbauglied einen Wellenabschnitt auf, der die Achsenlinie definiert. Das Substrat und der Rotor weisen Lageröffnungen auf, die der Wellenabschnitt durchdringt. Die Kontakterhaltungseinrichtung weist ein Ineingriffnahmebau­ glied auf, das auf der gegenüberliegenden Hauptoberfläche des Substrats mit dem Wellenabschnitt Eingriff nimmt, um zu verhindern, daß die Welle von den Lageröffnungen gelöst wird. Die Kontakterhaltungseinrichtung ist zwischen der ge­ genüberliegenden Hauptebene des Substrats und dem Inein­ griffnahmebauglied angeordnet. Die Kontakterhaltungseinrich­ tung kann ferner ein elastisches Bauglied aufweisen, das in der Richtung, in der sich das Ineingriffnahmebauglied von dem Substrat weg bewegt, eine federbelastete Wirkung zeigt.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung weist der variable Kondensator ferner einen Oberseiten- oder "Decken"-Plattenabschnitt auf, der der einen Hauptebene des Substrats gegenüberliegt, und der eine Öffnung aufweist, um zu ermöglichen, daß der Einstellformabschnitt des Einstell­ bauglieds nach außen freiliegt. Die Kontakterhaltungsein­ richtung weist ein zusammendrückbares Bauglied auf, das fe­ derbelastet ist, um den Deckenplattenabschnitt und das Ein­ stellbauglied in die Richtung, in die dieselben sich ausein­ anderbewegen, zu treiben.

Gemäß einem Vorteil der Erfindung weist die Rotationsüber­ tragungseinrichtung einen O-Ring auf, während das Einstell­ bauglied eine ringartige Rille aufweist, die für eine Posi­ tionsbestimmung des O-Rings in demselben gebildet ist. Be­ vorzugter weist die Rille einen Boden mit einer Unebenheit auf.

Gemäß einem weiteren Vorteil der Erfindung sind die erste und die zweite Anschlußelektrode auf der einen Hauptebene des Substrats gebildet. Die erste und die zweite Anschluß­ elektrode sind über eine erste und eine zweite Anschlußleitungselektrode mit der ersten und der zweiten Statorseiten­ elektrode verbunden und sind außerhalb einer Region für ei­ nen Kontakt mit dem Einfassungsabschnitt des Einstellbau­ glieds plaziert. Bestimmte Abschnitte der ersten und der zweiten Anschlußleitungselektrode, die einen Kontakt mit dem Einfassungsabschnitt des Einstellbauglieds aufweisen, weisen eine größere Breite auf als die restlichen Abschnitte der­ selben.

Die Grundsätze der vorliegenden Erfindung können auch auf ein zusammengesetztes LC-Bauelement angewendet werden, in dem eine Serienschaltung eines variablen Kondensators und eines induktiven Elements vorgesehen ist. Das LC-Bauelement umfaßt ein dielektrisches Substrat mit einer Hauptoberflä­ che, auf der eine erste und beabstandet davon eine zweite Statorseitenelektrode gebildet sind, einen Rotor, mehr als eine Rotorseitenelektrode, ein Einstellbauglied mit einem Einfassungsabschnitt und einem Einstellformabschnitt, eine Kontakterhaltungseinrichtung und ein Rotationsübertragungs­ bauglied. Zusätzlich zu diesen Komponentenbauteilen weist das zusammengesetzte LC-Modul ferner die folgenden auf.

Auf dem Substrat sind von der ersten und der zweiten Stator­ seitenelektrode unterschiedliche erste bis dritte Abschluß­ elektroden vorgesehen: die erste und die zweite Anschluß­ elektrode sind über eine erste und eine zweite Anschlußlei­ tungselektrode mit der ersten bzw. der zweiten Statorseiten­ elektrode verbunden; die dritte Anschlußelektrode ist unab­ hängig von der ersten und der zweiten Anschlußelektrode. Das induktive Bauelement ist zwischen die zweite und die dritte Anschlußelektrode geschaltet. Eine Abschirmungsabdeckung ist dem Substrat zugeordnet, wobei diese Abdeckung eine Öffnung aufweist, um das äußere Freilegen des Einstellformabschnitts des Einstellbauglieds zu ermöglichen. Diese Abschirmungsab­ deckung ist an dem Substrat befestigt, wobei dieselbe einen inneren Raum zur Unterbringung des Einstellbauglieds und des induktiven Bauglieds definiert.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Diagramm, das eine Vorderansicht eines zusam­ mengesetzten LC-Moduls gemäß einem ersten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt, wo­ bei zu Zwecken der Darstellung eine Vorderplatte entfernt ist, wobei ein Teil eines Einstellbau­ glieds und die Abschirmungsabdeckung im Querschnitt gezeigt sind;

Fig. 2 eine Draufsicht des zusammengesetzten LC-Moduls von Fig. 1, wobei die Abschirmungsabdeckung zu Zwecken der Deutlichkeit entfernt ist;

Fig. 3 eine auseinandergezogene Ansicht von Hauptkomponen­ tenteilen der Struktur, die in den Fig. 1 und 2 ge­ zeigt ist, außer einer Spule;

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht eines Einstellbau­ glieds zur Verwendung in einem zusammengesetzten LC-Modul gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 5 eine schematische Darstellung, die eine teilweise Draufsicht einer Abschirmungsabdeckung und des der­ selben zugeordneten Einstellbauglieds gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;

Fig. 6 eine Draufsicht eines Rotors zur Erklärung eines vierten Ausführungsbeispiels der Erfindung;

Fig. 7 ein Diagramm zur Erklärung eines fünften Ausfüh­ rungsbeispiels der Erfindung, das einen bestimmten Teil, der dem linken Halbabschnitt der Struktur von Fig. 1 entspricht, zeigt;

Fig. 8 ein Diagramm zur Erklärung eines sechsten Ausfüh­ rungsbeispiels der Erfindung, das einen bestimmten Teil zeigt, der der Struktur von Fig. 7 entspricht;

Fig. 9 ein Diagramm zur Erklärung eines siebten Ausfüh­ rungsbeispiels der Erfindung, das einen bestimmten Teil zeigt, der der Struktur von Fig. 7 entspricht;

Fig. 10 ein Diagramm zur Erklärung eines achten Ausfüh­ rungsbeispiels der Erfindung, das einen bestimmten Teil, der der Struktur von Fig. 7 entspricht, zeigt;

Fig. 11 eine schematische Darstellung, die eine teilweise Draufsicht einer Abschirmungsabdeckung und des der­ selben zugeordneten Einstellbauglieds gemäß einem neunten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;

Fig. 12 zeigt einen teilweisen Querschnitt der Abschir­ mungsabdeckung, die in Fig. 11 gezeigt ist;

Fig. 13 eine Draufsicht eines Substrats zur Erklärung eines zehnten Ausführungsbeispiels der Erfindung;

Fig. 14 eine Draufsicht eines Rotors, der auf dem Substrat von Fig. 13 befestigt ist;

Fig. 15 eine innere Konfiguration eines bekannten zusammen­ gesetzten LC-Moduls, wobei ein Substrat und eine Abschirmungsabdeckung teilweise im Querschnitt ge­ zeigt sind;

Fig. 16 eine Unteransicht des bekannten Bauelements, das in Fig. 15 gezeigt; und

Fig. 17 einen äquivalenten elektrischen Schaltungsaufbau des bekannten Bauelements von Fig. 15.

Eine zusammengesetzte LC-Bauelementstruktur gemäß einem be­ vorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist in den Fig. 1 bis 3 gezeigt. Das Bauelement ist allgemein mit dem Bezugszeichen 21 bezeichnet und wird hierin nachfol­ gend als zusammengesetztes LC-Modul bezeichnet. Das zusam­ mengesetzte LC-Modul 21 weist eine elektrische Schaltungs­ konfiguration auf, die gleichartig der ist, die in Fig. 17 gezeigt ist. Das zusammengesetzte LC-Modul 21 umfaßt einen variablen Kondensator 22, der dem mit dem Bezugszeichen 2, der in Fig. 17 gezeigt ist, entspricht, eine Spule 23, die der mit dem Bezugszeichen 3 in Fig. 17 entspricht, und einen Satz von ersten bis dritten Anschlüssen 24 bis 26, die denen mit dem Bezugszeichen 4 bis 6 in Fig. 17 entsprechen. Es sei bemerkt, daß das LC-Modul 21 derart entworfen ist, daß das­ selbe eine vollständige Kompatibilität mit dem bietet, das in den Fig. 15 und 16 gezeigt ist.

Das zusammengesetzte LC-Modul 21 weist ein Substrat 27 auf, das aus einem ausgewählten elektrisch isolierenden oder di­ elektrischen Material besteht, beispielsweise Aluminiumoxid. Das dielektrische Substrat 27 weist eine Hauptebene auf, die obere Oberfläche in dem Zustand, wie er in den Fig. 1 oder 3 dargestellt ist, auf der ein Paar einer ersten und einer zweiten davon beabstandeten Elektrodenanschlußflächen 28, 29 vorgesehen ist, die jeweils allgemein die Form eines halb­ kreisförmigen Abschnitts aufweisen, und die zusammen ein kreisförmiges Anschlußflächenmuster definieren, wie am be­ sten in Fig. 3 gezeigt ist. Auf der oberen Substratoberflä­ che sind ferner eine rechteckige, planare Anschlußfläche 32, die durch ein Anschlußleitungs-Elektrodenmuster 30 mit der ersten halbkreisförmigen Anschlußfläche 28 gekoppelt ist, und eine kreisförmige Anschlußfläche 33, die über eine An­ schlußleitung mit einer zweiten halbkreisförmigen Anschluß­ fläche 29 gekoppelt ist, gebildet. Ferner ist auf derselben eine dritte Anschlußfläche 34, potentiell unabhängig von der ersten und der zweiten Anschlußfläche 32, 33, d. h. elek­ trisch isoliert von denselben, an einem ausgewählten Ort auf einem Rand der oberen Oberfläche des Substrats 27 gebildet.

Eine zusätzliche oder "unbesetzte" Elektrodenanschlußfläche 35 ist an dem gegenüberliegenden Rand der oberen Substrat­ oberfläche gebildet, wie in Fig. 3 gezeigt ist.

Diese Elektrodenanschlußflächen 28 bis 35 auf dem dielektri­ schen Substrat 27 können durch gegenwärtig verfügbare Schal­ tungsmuster-Drucktechniken gebildet werden, einschließlich beispielsweise der Schritte des Abscheidens einer leitfähi­ gen dünnen Paste auf demselben und des Musterns dieser unter Verwendung von Photobelichtungstechniken. Vorzugsweise wer­ den die resultierenden Anschlußflächen 28 bis 35 nach dem Photo-Musterungsverfahren einer Spiegeloberflächen-Glät­ tungsbehandlung unterworfen, um die Setzdrift- und Q-Fak­ tor-Charakteristika zu verbessern. Eine jeweilige dieser An­ schlußflächen 28 bis 35 kann ein Mehrschichtleiter einer er­ höhten Dicke sein, der zwei oder mehr laminierte Schichten einer leitfähigen Paste aufweist, um sicherzustellen, daß die erste und die zweite Statorseitenelektroden-Anschlußflä­ che 28, 29 erfolgreich beabsichtigten Oberflächenglättungs­ behandlungen unterworfen werden, selbst wenn das Substrat 27 entlang der Dicke desselben etwas deformiert oder "gekrümmt" ist.

Das Substrat 27 weist ein Durchgangsloch 36 in der Mitte ei­ nes kreisförmigen schleifenartigen Musters auf, wie es durch das Paar von halbkreisförmigen Statorelektrodenanschlußflä­ chen 28, 29 definiert ist. Das Durchgangsloch 36 wirkt als eine Lageröffnung. Das Substrat 27 weist ferner Durchgangs­ löcher 37 bis 39 auf, die sich mit Ausnahme der unbesetzten Anschlußfläche 35 jeweils in der Mitte einer entsprechenden der ersten bis dritten Anschlußflächen 32 bis 34 befinden.

Wie am besten in Fig. 3 gezeigt ist, ist eine münzenartige Rotorplatte 40 auf dem halbkreisförmigen Anschlußflächenpaar 28, 29 auf dem dielektrischen Substrat 27 befestigt, um in einen Kontakt mit denselben zu gelangen. Die Rotorplatte 40 kann aus dielektrischen Keramikmaterialien hergestellt sein. Der Rotor 40 weist an seinem Mittelpunkt ein Lagerloch 41 auf, das genau mit dem Loch 36 des Substrats 27 ausgerichtet ist.

Der Rotor 40 weist auf seiner oberen Oberfläche, bei dem in Fig. 3 dargestellten Zustand, ein Paar von beabstandeten halbkreissektorartigen Elektroden 42, 43 auf, die als Ganzes ein ringartiges Muster definieren. Diese Rotorseitenelektro­ den 42, 43 liegen isoliert über den Statorseitenelektroden­ flächen 28, 29 auf dem Substrat 27, wobei der Keramikrotor 40 zwischen denselben angeordnet ist. Es ist sehr wichtig, daß eine Halbleiterrotorelektrode 42 den ersten Halbab­ schnitten von beiden Statorelektrodenanschlußflächen 28, 29 gegenüberliegt, wohingegen die andere Rotorelektrode 43 den zweiten Halbabschnitten der beiden Statoranschlußflächen 28, 29 gegenüberliegt. Wenn dies der Fall ist, definiert eine Rotorelektrode 42 eine erste und eine zweite Kapazität mit Abschnitten auf beiden Anschlußflächen 28 bzw. 29, wobei diese Kapazitäten seriell miteinander verbunden sind. In gleicher Weise definiert die andere Rotorelektrode 43 eine dritte und eine vierte Kapazität, die seriell verbunden sind, mit Abschnitten der Anschlußflächen 28 bzw. 29. Ein ähnlicher variabler Kondensator mit Anschlußflächen 28-29 bzw. 42-43 an sich ist beispielsweise in der veröffentlich­ ten, ungeprüften, registrierten, japanischen Gebrauchs­ musteranmeldung Nr. 58-133926 offenbart.

Die Statorelektrodenanschlußflächen 28, 29 bewirken, daß die Reihenschaltung der ersten und der zweiten Kapazität paral­ lel zu der verbleibenden Reihenschaltung der dritten und der vierten Kapazität ist; folglich ist mit zwei derartigen Elektroden 42, 43 für die Verwendung mit dem Rotor 40 eine erhöhte Größe der maximalen elektrostatischen Kapazität als Ganzes erreichbar. Jedoch ist dies nicht speziell erforder­ lich, wenn die Erfindung durchgeführt wird, wobei der Rotor 40 nur eine der Elektroden 42, 43 aufweisen kann.

Die Rotorelektroden 42, 43 können leitfähige Dünnfilmmuster sein, die auf der oberen Oberfläche der Rotorplatte 40 ge­ bildet sind; alternativ können dieselben auch separat vorbereitete Metallplatten oder Folien, die auf derselben pla­ ziert sind, sein. Als weitere Alternative kann der Rotor 40 eine Mehrschichtlaminatstruktur aufweisen, wobei die Rotor­ elektroden in dieselbe eingebettet sind; in diesem Fall wird es möglich, daß die Rotorelektroden den darunterliegenden Statoranschlußflächen 28, 29 auf dem Substrat 28 gegenüber­ liegen, wobei ein Teil eines solchen mehrschichtigen Rotors zwischen denselben angeordnet ist, was die Erhaltung einer erhöhten mechanischen Stärke ermöglicht, während gleichzei­ tig ein maximierter elektrostatischer Kapazitätswert erhal­ ten wird.

Ein Einstellbauglied 44 einer säulenförmigen oder zylindri­ schen Form ist auf dem dielektrischen Substrat 27 ange­ bracht, um um die Achsenlinie, die in einem rechten Winkel zu der oberen Hauptoberfläche des Substrats 27 angeordnet ist, drehbar zu sein. Spezieller weist die Einstellvorrich­ tung 44 eine nach oben stehende Welle 45 auf, die die Ach­ senlinie definiert und die drehbar in das Lagerloch 41 des Rotors 40 und das Durchgangsloch 36 des Substrats 27 einge­ führt ist.

Die Einstellvorrichtung 44 weist an ihrem unteren Randab­ schnitt einen Einfassungsabschnitt 46 auf, der in seinem In­ neren einen Freiraum zum Aufnehmen des Rotors 40 in demsel­ ben definiert. Die Einfassung 46 ist an ihrem umfangsmäßigen Rand mit der oberen Oberfläche des Substrats 27 in Kontakt gebracht, wodurch ein zusätzlicher Vorteil des Beseitigens oder zumindest des starken Unterdrückens des Eintretens oder "Eindringens" ungewollter Verunreinigungen in einen inneren Raum, der zwischen dem Rotor 40 und dem Substrat 27 defi­ niert ist, geliefert wird. Die Einstellvorrichtung 44 weist ferner einen stufenartigen Abschnitt 47 in einer ausgewähl­ ten Höhe auf der äußeren peripheren Wand derselben auf, wo­ bei ein oberer zylindrischer Abschnitt derselben oberhalb der Einfassung 46 einen verringerten Durchmesser aufweist.

Ferner weist die Einstellvorrichtung 44 an ihrem oberen Rand eine bestimmte Oberflächenkonfiguration zur Ineingriffnahme mit einem ausgewählten Einstell-Werkzeug oder einer -Vor­ richtung auf, die eine lateral längliche lineare Rille 48 sein kann, die durch die Spitze eines Schlitzschraubenzie­ hers in Eingriff genommen werden kann. Die Kondensatorein­ stellrille 48 kann nach Bedarf hinsichtlich der Form modi­ fiziert werden.

Vorzugsweise ist die Einstellvorrichtung 44 durch Gießtech­ niken unter Verwendung eines ausgewählten elektrisch dielek­ trischen Materials einstückig gebildet, das ein thermisch deformierbares Harzmaterial sein kann, einschließlich, je­ doch nicht begrenzt auf, Polyamid-Harzmaterialien, Polybu­ tylen-Terephtalaten, Flüssigkristallharzen, Polyphenylen- Sulfiden, oder kann alternativ aus auf einer Keramik basie­ renden Materialien bestehen. Wenn Harzmaterialien verwendet werden, ist es empfehlenswert, ein bestimmtes Harz, das eine hohe thermische Deformationstemperatur aufweist, zu verwen­ den, um die beabsichtigte Stabilität und Dauerhaftigkeit ge­ genüber einer Wärmezuführung während des Lötens des zusam­ mengesetzten LC-Moduls 21 ebenso wie eine Zuverlässigkeit für eine lange Verwendungsdauer zu erhalten.

Es sei bemerkt, daß die Einstellvorrichtung 44 nicht immer bezüglicher aller Regionen derselben elektrisch isolierend sein muß. Die Einstellvorrichtung 44 kann alternativ teil­ weise isolierend sein, sofern an notwendigen Abschnitten derselben eine Dielektrizität erreicht wird, zumindest be­ züglich der Statorelektrodenanschlußflächen 28, 29 und der Rotorelektroden 42, 43.

Die Einfassung 46 der Einstellvorrichtung 44 kann als eine Kontakterhaltungseinrichtung zum Sicherstellen eines durch­ gehenden Kontakts mit der oberen Hauptoberfläche des Sub­ strats 27 dienen. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist die Einfassung 46 ein Ineingriffnahmebauglied auf, das mit der Welle 45 auf der unteren Hauptoberfläche des Substrats 27 Eingriff nimmt, um ein Abtrennen oder ein Lösen der Welle 45 aus den Lagerlöchern 36, 41 zu verhindern. Dieses Inein­ griffnahmebauglied kann hierbei eine Druckmutter 49 sein, wie in den Fig. 1 oder 3 gezeigt ist. Die Druckmutter 49 wird vom unteren Rand derselben her mit der Welle 45 in Ein­ griff gebracht; sofort nach einer derartigen Ineingriffnahme versucht die Mutter 49, die Welle 45 für eine unbewegliche Verknüpfung mit derselben zu "beißen", wodurch jedes zufäl­ lige Lösen oder Abfallen von der Welle 45 beseitigt wird.

Ein federndes oder elastisches Bauglied 50 ist überdies als die Kontakterhaltungseinrichtung verwendet, wobei dieses Bauglied 50 eine federnde Unterlegscheibe sein kann, wie am besten in Fig. 3 gezeigt ist. Die federnde Unterlegscheibe 50 muß vor der Ineingriffnahme der Druckmutter 49 auf die Welle 45 aufgebracht werden, derart, daß die Unterlegscheibe 50 zwischen der unteren Oberfläche des Substrats 27 und der Mutter 50 angeordnet ist. Die Unterlegscheibe 50 zeigt eine bestimmte Federbelastung für eine mechanische Aktivierung der Mutter 49 in der Richtung, in der sich dieselbe von dem Substrat 27 weg bewegt.

Die Verwendung einer federnden Unterlegscheibe 50 ist vor­ teilhaft dabei, die Fähigkeit zu erhalten, die Einfassung 46 mit einer verbesserten Zuverlässigkeit in einen Kontakt mit dem Substrat 27 zu treiben. Wenn bezüglich der Umsetzung in der Praxis ein solcher Vorteil nicht so wichtig ist, kann die Unterlegscheibe 50 weggelassen sein, was bewirkt, daß die Mutter 49 in einem direkten Kontakt mit der unteren Oberfläche des Substrats 27 ist.

Wenn die Einfassung 46 auf die oben beschriebene Art und Weise in Kontakt mit dem Substrat 27 ist, sind die erste und die zweite Anschlußelektrode 24, 25 außerhalb der Kontakt­ region der Einfassung 46 plaziert. Die Einfassung 46 ist ferner in Kontakt mit Anschlußleitungsmustern 30, 31 auf dem Substrat, die in Fig. 2 gezeigt sind. Folglich können, wenn die Einstellvorrichtung 44 wiederholt gedreht wird, wieder­ holte Reibwirkungen zwischen der Einfassung 46 und den Anschlußleitungen 30, 31 das Auftreten einer unerwünschten elektrischen Unterbrechung oder Auftrennung zur Folge haben. Um das Risiko einer solchen Auftrennung zu reduzieren oder zu minimieren, ist dieses Ausführungsbeispiel speziell der­ art angeordnet, daß die Anschlußleitungen 30, 31 auf dem Substrat eine "veränderliche" Leitungsbreite aufweisen: die Abschnitte 30a, 31a der Anschlußleitungen 30, 31 weisen eine größere Breite auf als die restlichen Abschnitte derselben. Bei einem solchen variablen Leitungsbreitenschema für die Anschlußleitungen 30, 31 wird es möglich, die Auftrennbar­ keit zu reduzieren, während gleichzeitig eine glattere Dreh­ bewegung der Einstellvorrichtung 44 auf dem Substrat 27 be­ wirkt wird.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist ein Rotationsübertragungsbau­ glied 51 zwischen der Einstellvorrichtung 44 und dem Rotor 40 in dem Innenraum der Einfassung 46 angeordnet. Dieser Ro­ tationsübertrager 51 kann ein elastisches Bauglied sein, das wirksam ist, um konstant den Rotor 40 gegen die obere Ober­ fläche des Substrats 27 zu drücken oder zu pressen, wobei die Rotationsbewegung der Einstellvorrichtung 44 zu dem Ro­ tor 40 übertragen wird, um dadurch zu ermöglichen, daß sich derselbe entsprechend dreht. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist der Übertrager 51 durch einen O-Ring gebildet. Die Ein­ stellvorrichtung 44 ist mit einer ringartigen Rille 52 für eine Positionseinstellung des O-Rings 51 versehen.

Eine Reibung wirkt zwischen dem O-Ring 51 und der Einstell­ vorrichtung 44 sowie zwischen dem O-Ring 51 und dem Rotor 40, was bewirkt, daß sich der Rotor 40 zusammen mit der Ein­ stellvorrichtung 44 dreht, auf eine solche Weise, daß der Rotor 40 bei der Ausübung einer elastischen Kraft von dem O-Ring 51 gegen das Substrat 27 gedrückt wird. Vorzugsweise ist der O-Ring 51 derart angeordnet, daß jede mögliche De­ formation bei der Befestigung des O-Rings 51 in einen spezi­ fizierten Bereich unterhalb der Grenze des Elastizität des­ selben fällt.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, weist der oben genannte erste An­ schluß 24 einen Basisträger 53 auf, der für eine elektrische Verbindung mit der Anschlußfläche 32 auf dem Substrat 27 ge­ lötet ist, wobei ein Stab 24 in das Durchgangsloch 27 ein­ gebracht ist und das Substrat 27 von der unteren Richtung durchdringt. In der Zeichnung sind ausschließlich zu Zwecken der Klarheit Lotmittelabschnitte nicht dargestellt.

Wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist, bildet die Spule 23 ein leitfähiges Element auf dem Substrat 27, wobei dieses Ele­ ment bei diesem Ausführungsbeispiel ein induktives Luftkern­ bauelement ist. Wie für Fachleute offensichtlich ist, kann die Luftkernspule 23 durch ein induktives Chip-Bauelement, ein induktives Bauelement aus einem gedruckten Leitungsmu­ ster oder dergleichen ersetzt werden, wenn es geeignet ist.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist die Spule 23 auf der oberen Oberfläche des dielektrischen Substrats 27 derart befestigt, daß ein längliches "Bein" derselben in das Durchgangsloch 38 eingebracht ist, was ermöglicht, daß das Anschlußende der­ selben das Substrat 27 durchdringt und aus der unteren Ober­ fläche desselben vorsteht. Dieses Spulenbein ist für eine elektrische Verbindung zwischen denselben an die Anschluß­ fläche 33 von Fig. 2 gelötet. Das nach unten vorstehende En­ de des Spulenbeins bildet den oben genannten zweiten An­ schluß 25. Das andere längliche Bein der Spule 23 ist ferner in das Durchgangsloch 39 in der Mitte der quadratischen An­ schlußfläche 34 auf dem Substrat 27 derart eingebracht, daß das untere Ende desselben unter der unteren Substratoberflä­ che nach unten vorsteht, wie in Fig. 1 gezeigt ist. Dieses Spulenbein ist durch Löten mit der Anschlußfläche 34 elek­ trisch gekoppelt, während dasselbe als der dritte Anschluß 26 wirkt, wie oben erläutert wurde. Derartige gelötete Ab­ schnitte sind in den Zeichnungen nicht gezeigt. Wenn es not­ wendig ist, können der zweite und der dritte Anschluß 25, 26 alternativ aus getrennt vorbereiteten Leitern aufgebaut sein, die jeweils mit den Spulenbeinen elektrisch gekoppelt sind.

Wie in Fig. 1 zu sehen ist, ist die resultierende Substrat­ anordnung in eine Abschirmungsabdeckung 54 gehäust, die an der Peripherie des Substrats 27 angebracht ist, um die Ein­ stellvorrichtung 44 und die Spule 23 in derselben zu häusen. In der Oberseite oder der "Decken"-Platte weist die Abschir­ mungsabdeckung 54 eine Öffnung 55 auf, um ein Freilegen der Einstellrille 48 der Einstellvorrichtung 44 zu ermöglichen. Es ist sehr wichtig, daß die Abdeckung 54 keine Fensteröff­ nung aufweist, die dem Fenster 20 der bekannten Struktur, die in Fig. 15 gezeigt ist, entsprechen kann.

Die Abschirmungsabdeckung 54 dient dazu, das Innere dieses zusammengesetzten LC-Moduls 21 zu schützen, während gleich­ zeitig bewirkt wird, daß dasselbe zur Umgebung hin abgedich­ tet ist, um Verunreinigungen auszuschließen. Die Abdeckung 54 kann aus leitfähigen Materialien bestehen, beispielsweise einem ausgewählten Metall. Die Abdeckung 54 besteht im we­ sentlichen aus einer Deckenplatte und vier Seitenwänden, die eine Reihe von mehreren, gebogenen, geschnittenen Stücken 56 und mehreren Vorsprüngen 57 aufweisen, die als Anschläge für eine Positionsausrichtung des Substrats 27 wirken können, indem bewirkt wird, daß dasselbe durch diese an seinen pe­ ripheren Rändern bezüglich der Seitenwände der Abdeckung 54 starr geklemmt wird.

Die Seitenwände der Abschirmungsabdeckung 54 erstrecken sich von der unteren Oberfläche des Substrats 27 nach unten, wo­ bei sie einen inneren Raum für die Aufnahme der Einstellvor­ richtung 44 und der Welle 45 in demselben definieren. Die Abdeckung 54 weist ferner einen nach unten stehenden Teil 58 auf, der einstückig aus einem unteren Rand verlängert ist und den Masse- oder Erd-Anschluß bildet.

Die Abschirmungsabdeckung 54 kann aus anderen Materialien als reinen Metallen hergestellt sein, beispielsweise einem Leichtplattierungs-Harzmaterial, beispielsweise einem flüs­ sigen Kristallharz oder dergleichen, einem Nickel-plattiertes Metall, einem leitfähigen Harz und allen Äquivalenten derselben.

Das zusammengesetzte LC-Modul 21, das somit aufgebaut ist, liefert die Schaltungskonfiguration, die in Fig. 17 gezeigt ist, bei der eine resultierende elektrostatische Kapazität, die durch den variablen Kondensator 22 gebildet ist, zwi­ schen dem ersten und dem zweiten Anschluß 24, 25 von Fig. 1 erscheint, wohingegen die Induktivität, die durch die Spule 23 definiert ist, zwischen dem zweiten und dem dritten An­ schluß 25, 26 erscheint. Die elektrostatische Kapazität ist abhängig von der Drehung der Einstellvorrichtung 44 varia­ bel. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, weist die elektrostatische Kapazität einen maximalen Wert auf, wenn die Einstellvor­ richtung 44 in einer Position ist, in der der mittlere Schlitzzwischenraum des Rotorelektrodenpaars 42, 43 senk­ recht zu dem der Statoranschlußflächen 28, 29 ist; wenn der Erstgenannte parallel zu dem Letztgenannten ist, ist der Wert der elektrostatischen Kapazität minimiert.

Eine Einstellvorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbei­ spiel der Erfindung ist in Fig. 4 gezeigt, die eine untere perspektivische Ansicht desselben darstellt. Bei diesem Aus­ führungsbeispiel weist die Einstellvorrichtung 44 auf der Unterseite einer ringartigen Rille 52 eine Unebenheit auf, die zur Positionsausrichtung des O-Rings 51 vorgesehen ist. Bei einer derartigen Anordnung kann verhindert werden, daß ein übermäßiges Rutschen zwischen dem O-Ring 51 und der Ein­ stellvorrichtung 44 stattfindet, wodurch eine zuverlässigere Übertragung des Rotationsdrehmoments der Einstellvorrichtung 44 zu dem Rotor 40 erhalten wird.

Ein zusammengesetztes LC-Modul gemäß einem dritten Ausfüh­ rungsbeispiel der Erfindung ist in Fig. 5 gezeigt, die den Hauptteil der Einstellvorrichtung 44 und der Abschirmungsab­ deckung 54 ausschließlich zu Zwecken der Darstellung zeigt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Einstellvorrichtung 44 mit einem lateral vorstehenden Anschlagbauglied 59 versehen. Das Anschlagbauglied 59 ist ungeachtet der Richtung der Drehung der Einstellvorrichtung 44 entworfen, um fortgesetzt einen Kontakt zu der inneren Oberfläche der Abschirmungsab­ deckung 54 herzustellen, wie durch doppeltstrichpunktierte Linien dargestellt ist, was bewirkt, daß die Einstellvor­ richtung 44 in einem begrenzten Winkel innerhalb von 360° in dem drehbaren Winkelbereich eingestellt wird. Dies kann die manuellen Kapazitätswerteinstelloperationen eines Benutzers erleichtern. Wenn es erforderlich ist, kann die Abschir­ mungsabdeckung 54 modifiziert sein, so daß eine spezielle Form zum Aufnehmen des Anschlagbauglieds 59 auf einer ent­ sprechenden Oberfläche der Abdeckung 54 hinzugefügt ist.

Ein viertes Ausführungspiel ist in Fig. 6 gezeigt, die einen Rotor 40 desselben darstellt. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist der Rotor 40 einen ausgenommenen Abschnitt 60 an dem Rand desselben auf. Der ausgenommene Abschnitt 60 ist mit einem speziell geformten Abschnitt, beispielsweise einem Vorsprung (nicht gezeigt) der Einstellvorrichtung 44, in Eingriff bringbar, um die Zuverlässigkeit einer Positions­ ausrichtung zwischen dem Rotor 40 und der Einstellvorrich­ tung 44 zu verbessern.

Ein fünftes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 7 gezeigt, die einen Hauptteil desselben darstellt, der dem linken Ab­ schnitt des zusammengesetzten LC-Moduls, das in Fig. 1 ge­ zeigt ist, entspricht, während der erste Anschluß 24 un­ sichtbar ist. Dieses Ausführungsbeispiel von Fig. 7 ist ähn­ lich denen der Fig. 1 bis 3, wobei ferner eine Spulenfeder 62 als ein federbelastetes Druckgebungsbauglied für eine me­ chanische Aktivierung der Einstellvorrichtung 54 gegen die obere Oberfläche des Substrats 27 vorgesehen ist, um die Un­ beweglichkeit derselben zu verbessern. Spezieller ist, wie in Fig. 7 gezeigt ist, die Spulenfeder 62 um die Einstell­ vorrichtung 44 gewickelt und zwischen der oberen Oberfläche eines Basisflansches 47 der Einstellvorrichtung 44 auf dem Substrat und der darüberliegenden "Decken"-Platte 61 der Ab­ schirmungsabdeckung 54 plaziert, um durchgehend eine Federkraft auszuüben, um die Einstellvorrichtung 44 in einer Richtung gegen das Substrat 27 zu drücken, in der sich die Einstellvorrichtung 44 von der Abdeckungsdecke 61 entfernt, wodurch die Kontakterhaltung zwischen denselben zusätzlich zu der, die durch die Kombination der Druckmutter 49 und der Federunterlegscheibe 50 geliefert wird, verbessert wird.

Ein sechstes Ausführungsbeispiel, das in Fig. 8 gezeigt ist, ist ähnlich dem von Fig. 7, wobei die Druckmutter 49 und die Federunterlegscheibe 50 weggelassen sind, was ermöglicht, daß die Kontakterhaltungseinrichtung ausschließlich aus der Spulenfeder 62 gebildet ist. Das Fehlen einer solchen Mutter 49 und der Unterlegscheibe 50 ermöglicht es, daß die Welle 45 der Einstellvorrichtung 44 verkürzt ist, was bewirkt, daß das untere entfernte Ende derselben im wesentlichen bündig mit der unteren Oberfläche des Substrats 27 ist, wie darge­ stellt ist. Dasselbe gilt für die Abschirmungsabdeckung 54; die Abdeckung 54 erstreckt sich nicht derart nach unten, daß sie von der unteren Oberfläche des Substrats 27 vorsteht. Mit einer derartigen Anordnung kann eine weitere Verkleine­ rung erreicht werden.

Ein siebtes Ausführungsbeispiel, das in Fig. 9 gezeigt ist, ist ähnlich dem von Fig. 7, wobei die Welle 45 der Einstell­ vorrichtung 44 weggelassen ist, und wobei in der oberen Oberfläche des Substrats eine Ausnehmung 63 vorgesehen ist, die mit der unteren Endfläche der Einstellvorrichtung 44 in Eingriff bringbar ist, was ermöglicht, daß die Einstellvor­ richtung 44 drehbar gehalten ist, wobei ihr äußerer Rand durch die innere Wand der Ausnehmung 63 geklemmt ist, wie in Fig. 9 gezeigt ist. Dies kann Lagerlöcher 36, 41 in dem Sub­ strat 27 und dem Rotor 40 überflüssig machen.

Ein achtes Ausführungsbeispiel, das in Fig. 10 gezeigt ist, ist ähnlich dem von Fig. 7, wobei die Welle 45 der Einstell­ vorrichtung 44 weggelassen ist, und wobei ein Wellenab­ schnitt 64 auf der oberen Oberfläche des Substrats 27 hinzu­ gefügt ist, während die Einstellvorrichtung 44 eine Ausnehmung 65 zum Aufnehmen der Welle 64 aufweist. Die Welle 64 ist in das Lagerloch 41 des Rotors 40 eingefügt. Folglich ermöglicht das Einbringen der Welle 64 in die Ausnehmung 65 für eine Ineingriffnahme, daß die Einstellvorrichtung 44 drehbar auf dem Substrat 27 gelagert ist.

Es sollte bemerkt werden, daß bei den Ausführungsbeispielen, die in den Fig. 7 bis 10 gezeigt sind, die Spulenfeder 62 in eine integrierte Einheit mit der Einstellvorrichtung 44 für eine einfache Handhabung auf eine solche Art und Weise aus­ gebildet werden kann, daß die Feder 62 in eine Gußstruktur für die Herstellung der Einstellvorrichtung 44 eingebracht wird.

Ein neuntes Ausführungsbeispiel ist in den Fig. 11 und 12 gezeigt, wobei Fig. 11 einen Teil der Abschirmungsabdeckung 54 zeigt, wohingegen Fig. 12 eine teilweise Vorderquer­ schnittansicht derselben darstellt. Dieses Ausführungsbei­ spiel ist ähnlich denen der Fig. 7 bis 10, wobei die Spulen­ feder 62 durch ein Plattenfederteil 66 ersetzt ist, das un­ ter Verwendung eines Teils der Abdeckung 54 strukturiert ist.

Spezieller ist, wie in Fig. 11 gezeigt ist, die Abschir­ mungsabdeckung 54 lokal geschnitten, um ein bestimmtes Mu­ ster einer Mehrzahl von, hier vier, sektorartigen Abschnit­ ten 66 um den Rand der Einstellvorrichtungs-Rillen-Freile­ gungsöffnung 55 zu liefern, wobei nachfolgend jeder der Sek­ torabschnitte partiell deformiert wird, indem derselbe an seiner Spitze nach unten gedrückt wird, wodurch ein Platten­ federteil, wie es in Fig. 12 gezeigt ist, gebildet wird. Die Einstellvorrichtung 44 weist an ihrem Kapazitätseinstel­ lungs-Rillenabschnitt einen verringerten Durchmesser auf, um einen stufenartigen Abschnitt 67 zu definieren, wie durch strichpunktierte Linien in Fig. 12 angezeigt ist. Der Stu­ fenabschnitt 67 befindet sich auf einer Ebene oberhalb des vorher genannten Basisflansches 47. Nach dem Zusammenbau kommen die "integralen" Plattenfedern 66 in einen elastischen Kontakt mit dem darunterliegenden stufenartigen Ab­ schnitt 67 der Einstellvorrichtung 44 innerhalb der Ab­ deckung 54. Die Federn 66 können zu der Spulenfeder 62 von Fig. 7 funktionsäquivalent sein, dahingehend, daß dieselben als federbelastete Druckgebungsbauglieder wirken, um die Einstellvorrichtung 44 mechanisch derart zu aktivieren, daß dieselbe durchgehend gegen die obere Oberfläche des Sub­ strats 27 gedrückt wird, in einer Richtung, in der sich die Einstellvorrichtung 44 von der Abdeckungsdecke 61 entfernt.

Ein zehntes Ausführungsbeispiel ist in den Fig. 13 und 14 gezeigt, wobei Fig. 13 eine Draufsicht des dielektrischen Substrats 27, das hierin verwendet ist, darstellt, während Fig. 14 eine Draufsicht des Rotors 40 zeigt. Dieses Ausfüh­ rungsbeispiel ist ähnlich dem ersten Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 3, wobei die Statorverbindungs-Anschlußflächen 68-69 ebenso wie die Rotorelektrode 70, wie nachfolgend be­ schrieben wird, in einer planaren Form modifiziert sind.

Wie in Fig. 13 gezeigt ist, ist das Paar von halbkreisförmi­ gen Statorverbindungsanschlußflächen 68-69 auf dem Substrat 27 zweckgebunden, um konzentrische innere und äußere halb­ kreisförmige Sektormuster zu zeigen, die voneinander elek­ trisch isoliert sind. Wie zu sehen ist, indem gerade Fig. 14 betrachtet wird, ähnelt die Rotorelektrode 70 einem halb­ kreisförmigen Sektormuster. Derartig gemusterte Elektroden an sich, die ähnlich den Statoranschlußflächen 68-69 und der Rotorelektrode 70 sind, sind beispielsweise in der veröf­ fentlichten, ungeprüften, japanischen Gebrauchsmusteranmel­ dung Nr. 58-133926 offenbart.

Bei diesem Ausführungsbeispiel der Fig. 13 bis 14 liegt die Rotorelektrode 70 den darunterliegenden Statoranschlußflä­ chen 68-69 auf dem Substrat gegenüber, wobei der Rotor 40 zwischen denselben angeordnet ist, wodurch eine elektro­ statische Kapazität zwischen der Rotorelektrode 70 und einer Anschlußfläche 68 und eine weitere Kapazität zwischen der Elektrode 70 und der verbleibenden Anschlußfläche 49 gebildet sind, wobei die Kapazitäten durch die Elek­ trode 70 seriell miteinander gekoppelt sind. Die Gesamtkapa­ zität ist maximiert, wenn die Statorelektrode 70 die An­ schlußflächen 68-69 vollständig überlappt; wenn dies nicht der Fall ist, ist der Wert der Kapazität minimiert.

Die Statoranschlußflächen 68-69 und die Rotorelektrode 70 können bezüglich des planaren Musters modifiziert sein, um beliebige andere Sektorformen, die sich von dem dargestell­ ten halbkreisförmigen Muster unterscheiden, aufzuweisen, in­ dem der mittlere Winkel derselben in beliebige stumpfe Win­ kel geändert wird, was ermöglicht, daß der Einstellwinkel wenn nötig modifizierbar ist. In gleicher Weise können die Anschlußflächen 68-69 bezüglich des Flächenverhältnisses zwischen denselben modifiziert sein.

Bei den Darstellungen der Fig. 13 bis 14 sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Wie in Fig. 13 ge­ zeigt ist, ist die äußere Anschlußfläche 69 an ihren Enden lokal erweitert, wobei Erweiterungsbereiche 71, 72 geliefert werden. Eine zusätzliche oder "unbesetzte" Anschlußfläche 73 ist auf der den Anschlußflächen 68-69 gegenüberliegenden Seite auf dem Substrat 27 gebildet. Die Verwendung dieser Anschlußflächenabschnitte 71-73 kompensiert jeden Höhenun­ terschied auf der Substratoberfläche zwischen einem ersten Halbbereich, in dem sich die Anschlußflächen 68-69 befinden, und einem zweiten Halbbereich, in dem die Anschlußflächen 68-69 nicht vorliegen, wodurch die Glattheit der Drehbewe­ gungen des Rotors 40 und der Einstellvorrichtung 44 (in den Fig. 13 bis 14 nicht dargestellt) verbessert wird, während gleichzeitig die elektrische Kontaktfläche der Einfassung 46 der Einstellvorrichtung 44 erhöht ist, was wiederum vorteil­ haft dazu dient, das Risiko einer ungewollten elektrischen Unterbrechung an den Anschlußleitungen 30-31 auf dem Sub­ strat 27 zu reduzieren.

Ein wesentlicher Vorteil der zusammengesetzten LC-Module mit einem spezifischen variablen Kondensator, der die Erfindung verkörpert, besteht darin, daß es nicht mehr erforderlich ist, daß die Rotorseitenelektroden- und die Statorseiten­ elektroden-Anschlußflächen eine übermäßig erhöhte Fläche aufweisen, wodurch ermöglicht wird, daß die LC-Module ge­ genüber einer nachteiligen Beeinflussung aufgrund von Um­ gebungsstreu- oder parasitären Kapazitäten robust bleiben, wodurch die Zuverlässigkeit erhöht wird, während die Komple­ xität und die Herstellungskosten reduziert sind. Dies trifft zu, da jeder gewünschte elektrostatische Kapazitätswert durch eine Erhöhung der relativen dielektrischen Konstante eines Kondensatorisolators, der den spezifischen Rotor ver­ wendet, der dielektrische Materialien aufweist, und nicht Luft, wie beim Stand der Technik, erreichbar ist.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die Fähigkeit des Verkleinerns des variablen Kondensators es un­ nötig macht, die Abschirmungsabdeckung mit zusätzlichen Fen­ steröffnungen für eine Beseitigung der Störung mit entweder der Rotorseitenelektrode (den -elektroden) oder dem Rotor an sich zu beseitigen, wenn die zusammengesetzten LC-Module zu­ sammengebaut werden, was wiederum sicherstellt, daß jede be­ absichtigte Verunreinigungausschlußeigenschaft und Abschir­ mungswirkung durch die Verwendung der Abschirmungsabdeckung maximiert gehalten sind.

Noch ein weiterer Vorteil besteht darin, daß alle gewünsch­ ten Kapazitätswerte mit einer verbesserten Effizienz er­ reichbar sind. Dies trifft aufgrund der Tatsache zu, daß, da der Rotor und seine Elektrode(n) starr innerhalb des Ein­ fassungsabschnitts der Einstellvorrichtung gelagert sind, das Risiko eines Kapazitätsverlust keinesfalls aufgrund ei­ nes unbeabsichtigten Kontakts der Rotorseitenelektrode(n) mit den inneren Wänden der Abschirmungsabdeckung im zusam­ mengebauten Zustand stattfinden wird.

Noch ein weiterer Vorteil liegt in der Fähigkeit der weite­ ren Verbesserung der Zuverlässigkeit des variablen Kondensa­ tors und der zusammengesetzten LC-Module unter Verwendung desselben. Dies basiert auf der Tatsache, daß es nicht län­ ger erforderlich ist, an beweglichen Teilen elektrische Ver­ bindungswege zur Verwendung beim Herausführen der elektro­ statischen Kapazität aus dem Vorrichtungsaufbau zu positio­ nieren. Dies ist der Fall, da durch die Rotorseitenelektrode (n) eine Serienkombination einer ersten und einer zweiten elektrostatischen Kapazität erhalten wird, wobei die erste und die zweite Kapazität auf eine solche Art und Weise defi­ niert sind, daß die Rotorelektrode(n) einem Paar von unter­ teilten Statorseiten-Elektrodenanschlußflächen auf dem Sub­ strat gegenüberliegt(en).

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß ein solcher verbes­ serter variabler Kondensator und derartige zusammengesetzte LC-Module, die denselben verwenden, unter Verwendung einer gegenwärtig verfügbaren Herstellungstechnologie hergestellt werden können, während die Komplexität und die Kosten für dieselbe minimiert sind.

Ein noch weiterer Vorteil ist die Fähigkeit, eine verbesser­ te Genauigkeit für die Kapazitätseinstellung zu erhalten, indem Einstellvorrichtungs-Drehtechniken verwendet werden, aufgrund der Tatsache, daß die Einstellvorrichtung elek­ trisch isolierend ist, was wiederum den Bedarf danach ver­ meidet, dielektrische Werkzeuge oder Vorrichtungen für die­ selbe verwenden zu müssen.

Ein noch weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die manuelle Kapazitätseinstellung des Benutzers hinsicht­ lich der Genauigkeit stark verbessert sein kann, da weder Schwankungen noch Abweichungen aufgrund von Schwankungen des engen Kontakts des Rotors, der auf dem Substrat befestigt ist, auftreten. Der Grund dafür lautet wie folgt. Der Rotor wird durchgehend gegen die obere Substratoberfläche gedrückt oder gepreßt, wobei zwischen denselben ein bestimmtes ela­ stisches Rotationsdrehmoment-Übertragungsbauglied angeordnet ist. Selbst wenn der Rotor aus einem harten und leicht brechbaren dielektrischen Material hergestellt ist, beispielsweise Keramik, wird es folglich möglich, daß erfolg­ reich verhindert wird, daß ein derartiger keramischer Rotor unbeabsichtigt bricht, wenn derselbe auf dem Substrat befe­ stigt ist, während gleichzeitig sichergestellt ist, daß der enge Kontakt des Rotors mit dem Substrat kaum schwankt, selbst wenn die Einstellvorrichtung während der manuellen Kapazitätseinstellung durch den Benutzer ein Neigungsverhal­ ten zeigen könnte.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß, wenn die Einstell­ vorrichtung die Welle aufweist, die der Drehmittelpunkt der­ selben ist, wobei die Welle die jeweiligen Lagerlöcher des Substrats und des Rotors durchdringt, die Kontakterhaltungs­ einrichtung für das Beibehalten oder Halten des Einfassungs­ abschnitts in dem Kontaktzustand mit einer Hauptoberfläche des Substrats mit einer vereinfachten Anordnung hergestellt sein kann, einschließlich des Ineingriffnahmebauglieds, das mit einer derartigen Welle auf der gegenüberliegenden Haupt­ substratoberfläche Eingriff nimmt, um zu verhindern, daß sich die Welle von den zugeordneten Lagerlöchern löst oder "entkommt". Wenn in diesem Fall die Kontakterhaltungsein­ richtung ferner ein federbelastetes elastisches Trägerbau­ glied aufweist, das zwischen der gegenüberliegenden Sub­ stratoberfläche und dem Ineingriffnahmebauglied angeordnet ist, um das Ineingriffnahmebauglied zu aktivieren, um dieses Bauglied durchgehend in einer speziellen Richtung gegen das Substrat zu drücken, in der sich das Erstgenannte von dem Letztgenannten entfernt, wird es möglich, zuverlässig einen beabsichtigten Kontaktzustand der Einfassung mit dem Sub­ strat beizubehalten, selbst wenn eine Positionsfehlausrich­ tung an der Welle des Ineingriffnahmebauglieds stattfindet, und/oder wenn eine Abnutzung an dem Ineingriffnahmebauglied oder seinen zugeordneten Abschnitten stattfindet. Bezüglich der Zusammenbaugenauigkeit kann dies gleichzeitig erreicht werden, während das Vorliegen einer relativ erhöhten Tole­ ranz möglich ist.

Es ist ferner ein Vorteil der Erfindung, daß, wenn der variable Kondensator ferner eine Oberseiten- oder "Decken"-Plat­ te aufweist, die einer Hauptsubstratoberfläche gegenüber­ liegt und eine Öffnung zum Freilegen des Einstellformab­ schnitts der Einstellvorrichtung aufweist, die Kontakterhal­ tungseinrichtung aus einem federbelasteten Druckgebungsbau­ glied zur Aktivierung einer derartigen Einstellvorrichtung in einer speziellen Richtung, in der die Deckenplatte und die Einstellvorrichtung sich voneinander entfernen, gebildet sein kann. In diesem Fall ist es ferner möglich, eine beab­ sichtigte Kontaktbedingung der Einfassung mit dem Substrat beizubehalten, während gleichzeitig das Vorliegen einer re­ lativ erhöhten Toleranz bezüglich der Zusammenbaugenauigkeit möglich ist.

Es ist ein weiterer Vorteil, daß, wenn die Rotationsdrehmo­ ment-Übertragungseinrichtung zum Übertragen der Drehung der Einstellvorrichtung zu dem Rotor aus einem O-Ring besteht, die Kosten der resultierenden Struktur reduziert sein kön­ nen, da die Hersteller der Vorrichtung kommerziell verfügba­ re Komponententeile mit geringen Kosten verwenden können. Wenn eine ringartige Rille für eine Positionsausrichtung mit dem O-Ring gebildet ist, ist es ferner möglich, nicht nur die Zuverlässigkeit der Positionsausrichtung des O-Rings zu erhöhen, sondern ferner zu ermöglichen, daß der O-Ring vor­ her in die Einstellvorrichtung eingebaut wird, wodurch die Effizienz des Zusammenbauverfahrens des variablen Kondensa­ tors und/oder der zusammengesetzten LC-Module, die denselben verwenden, erhöht wird.

Gemäß den vorher genannten Ausführungsbeispielen kann über­ dies jedes ungewollte Rutschen zwischen dem O-Ring und der Einstellvorrichtung beseitigt sein, wenn eine spezifische Unebenheit in der unteren Fläche der Einstellvorrichtungs­ rille gebildet ist. Dies kann die Einstellvorrichtung-Ro­ tor-Rotationsübertragungs-Zuverlässigkeit und -Effizienz er­ höhen.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß es, wenn eine erste und eine zweite Anschlußfläche auf der einen Hauptsubstratoberfläche gebildet sind, wobei die Anschluß­ flächen außerhalb eines bestimmten Bereichs für die Verwen­ dung zur Herstellung eines Kontakts mit dem Einfassungsab­ schnitt der Einstellvorrichtung plaziert und über eine erste und eine zweite Anschlußleitung mit der ersten und der zwei­ ten Statorelektrodenanschlußfläche auf der Substratoberflä­ che verbunden sind, möglich ist, wenn ausgewählte Abschnitte der Anschlußleitungen für einen Kontakt mit der Einstellvor­ richtungseinfassung eine größere Breite aufweisen als die übrigen Teile derselben, die Drehbewegungen der Einstellvor­ richtung zu glätten, wobei die Einfassung in einem Kontakt mit der Substratoberfläche gehalten ist, während das Auftre­ ten irgendeiner unerwünschten elektrischen Unterbrechung an den Anschlußleitungen aufgrund wiederholter Gleitbewegungen der Einfassung unterdrückt sind, was wiederum dazu dient, die Lebensdauer des variablen Kondensators und der zusammen­ gesetzten LC-Module, die denselben verwenden, zu erhöhen.

Claims (8)

1. Variabler Kondensator (22) mit folgenden Merkmalen:
einem elektrisch isolierenden Substrat (27), das eine Hauptoberfläche aufweist, auf der eine erste und von der ersten beabstandet eine zweite Statorelektrode (28, 29) gebildet sind;
einem Rotor (40) aus einem dielektrischen Material, der auf der ersten und der zweiten Statorelektrode (28, 29) in Kontakt mit denselben angeordnet ist;
einer Rotorelektrode (42, 43), die durch den Rotor (40) gehalten ist und der ersten und der zweiten Stator­ elektrode (28, 29) gegenüberliegt, wobei zumindest ein Teil des Rotors (40) zwischen den Statorelektroden (28, 29) angeordnet ist, um eine erste und eine zweite elektrostatische Kapazität jeweils zwischen Rotor- und Statorelektrode zu definieren, derart, daß die erste und die zweite elektrostatische Kapazität seriell miteinander verbunden sind;
einem Einstellbauglied (44), in dessen Innerem ein Raum zum Aufnehmen des Rotors (40) gebildet ist, wobei das Einstellbauglied (44) an einem Ende einen Einfassungs­ abschnitt (46), der an einer Randfläche mit der einen Hauptsubstratoberfläche in Kontakt ist, und an dem anderen Ende einen Einstellformabschnitt (48), der mit einem Einstellwerkzeug in Eingriff bringbar ist, auf­ weist, wobei das Einstellbauglied (44) um eine Achse drehbar ist, die senkrecht zu der einen Hauptsubstrat­ oberfläche ist, und elektrisch von der ersten und der zweiten Statorelektrode (28, 29) und der Rotorelektrode (42, 43) isoliert ist;
einer Kontakterhaltungseinrichtung (49, 50; 62; 66) zum Bewirken, daß der Einfassungsabschnitt (46) des Einstellbauglieds (44) in Kontakt mit der einen Hauptsub­ stratoberfläche gehalten ist; und
einem Rotationsübertragungsbauglied (51), das aus einem elastischen Material besteht, das zwischen dem Ein­ stellbauglied (44) und dem Rotor (40) in dem Einfas­ sungsabschnitt (46) angeordnet ist, um zu bewirken, daß der Rotor (40) gegen die eine Hauptsubstratoberfläche gedrückt wird, während eine Übertragung der Drehung des Einstellbauglieds (44) zu dem Rotor (40) möglich ist, wodurch bewirkt wird, daß sich der Rotor (40) zusammen mit dem Einstellbauglied (44) dreht.

2. Variabler Kondensator (22) gemäß Anspruch 1, bei dem das Einstellbauglied (44) einen Wellenabschnitt (45), der die Achse definiert, aufweist, bei dem das Substrat (27) und der Rotor (40) Lageröffnungen (36, 41) zum Durchtritt des Wellenabschnitts (45) durch dieselben aufweisen, und bei dem die Kontakterhaltungseinrichtung (49, 50) ein Ineingriffnahmebauglied (49) aufweist, das mit dem Wellenabschnitt (45) auf einer gegenüberliegen­ den Hauptoberfläche des Substrats (27) Eingriff nimmt, um zu verhindern, daß sich der Wellenabschnitt (45) aus den Lageröffnungen (36, 41) löst.

3. Variabler Kondensator (22) gemäß Anspruch 2, bei dem die Kontakterhaltungseinrichtung (50) zwischen der ge­ genüberliegenden Hauptsubstratoberfläche und dem Inein­ griffnahmebauglied (49) angeordnet ist und ferner ein elastisches Bauglied aufweist, das eine federbelastete Wirkung in einer Richtung, in der sich das Ineingriff­ nahmebauglied (49) von dem Substrat (27) entfernt, zeigt.

4. Variabler Kondensator (22) gemäß Anspruch 1, der ferner folgendes Merkmal aufweist:
einen Plattenabschnitt (61), der der einen Hauptsubstratoberfläche gegenüberliegt und eine Öffnung (55) aufweist, um zu ermöglichen, daß der Einstellformab­ schnitt (48) des Einstellbauglieds (44) nach außen freiliegt, wobei die Kontakterhaltungseinrichtung ein zusammendrückbares Bauglied (62) aufweist, das federbe­ lastet ist, um den Plattenabschnitt (61) und das Ein­ stellbauglied (44) in einer Richtung, in der sich die­ selben voneinander entfernen, zu treiben.

5. Variabler Kondensator (22) gemäß einem der vorhergehen­ den Ansprüche 1 bis 4, bei dem die Rotationsübertra­ gungseinrichtung einen O-Ring (51) aufweist, während das Einstellbauglied (44) eine ringartige Rille (52), die in demselben gebildet ist, zur Aufnahme des O-Rings (51) aufweist.

6. Variabler Kondensator (22) gemäß Anspruch 5, bei dem die Rille (52) eine Unterseite mit einer Unebenheit aufweist.

7. Variabler Kondensator (22) gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 6, bei dem eine erste und eine zweite Anschlußelektrode (32, 33) auf der einen Hauptsubstrat­ oberfläche gebildet sind, wobei die erste und die zwei­ te Anschlußelektrode (32, 33) über eine erste und eine zweite Anschlußleitung (30, 31) mit der ersten und der zweiten Statorelektrode (28, 29) verbunden und außerhalb einer Kontaktregion mit dem Einfassungsab­ schnitt (46) des Einstellbauglieds (44) angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Anschlußleitung (30, 31) an bestimmten Abschnitten (30a, 31a), die in Kontakt mit dem Einfassungsabschnitt (46) des Einstell­ bauglieds (44) sind, eine größere Breite aufweisen als verbleibende Abschnitte derselben.

8. Zusammengesetzte LC-Vorrichtung (21) mit folgenden Merkmalen:
einem elektrisch isolierenden Substrat (27), das eine erste Hauptebene aufweist, auf der eine erste und von der ersten beabstandet eine zweite Statorelektrode (28, 29) gebildet sind, wobei das Substrat (27) eine erste und eine zweite Anschlußelektrode (32, 33), die über eine erste und eine zweite Anschlußleitung (30, 31) mit der ersten und der zweiten Statorelektrode (28, 29) verbunden sind, und eine dritte Anschlußelektrode (34) aufweist, die potentialmäßig unabhängig von der ersten und der zweiten Anschlußelektrode (32, 33) ist;
einem Rotor (40) aus einem dielektrischen Material, der auf der ersten und der zweiten Statorelektrode (28, 29) in Kontakt mit denselben angeordnet ist;
einer Rotorelektrode (42, 43), die durch den Rotor (40) gehalten ist, und der ersten und der zweiten Stator­ elektrode (28, 29) gegenüberliegt, wobei zumindest ein Teil des Rotors (40) zwischen den Statorelektroden (28, 29) angeordnet ist, um eine erste und eine zweite elek­ trostatische Kapazität zwischen Rotor- und Statorelek­ trode zu definieren, derart, daß die erste und die zweite elektrostatische Kapazität seriell miteinander verbunden sind;
einem Einstellbauglied (44), in dem ein Raum zur Auf­ nahme des Rotors (40) gebildet ist, das an einem Ende einen Einfassungsabschnitt (46), der an seiner Randflä­ che mit der einen Hauptsubstratoberfläche in Kontakt ist, und an einem verbleibenden Ende des Einstellbau­ glieds (44) einen Einstellformabschnitt (48) aufweist, der mit einer Einstellvorrichtung in Eingriff bringbar ist, wobei das Einstellbauglied (44) um eine Achse, die senkrecht zu der einen Hauptsubstratebene ist, drehbar ist und bezüglich der ersten und der zweiten Stator­ elektrode (28, 29) und der Rotorelektrode (42, 43) elektrisch isoliert ist;
einer Kontakterhaltungseinrichtung (49, 50; 62; 66) zum Bewirken, daß der Einfassungsabschnitt (46) des Ein­ stellbauglieds (44) in Kontakt mit der einen Hauptsub­ stratebene gehalten ist;
einem aus einem elastischen Material bestehenden Rota­ tionsübertragungsbauglied (51), das zwischen dem Ein­ stellbauglied (54) und dem Rotor (40) in dem Einfas­ sungabschnitt (46) angeordnet ist, um zu bewirken, daß der Rotor (40) gegen die eine Hauptsubstratebene ge­ drückt wird, während eine Übertragung eines Drehmoments des Einstellbauglieds (44) zu dem Rotor (40) möglich ist, um zu ermöglichen, daß sich der Rotor (40) zusam­ men mit dem Einstellbauglied (44) dreht;
einem induktiven Bauelement (23), das zwischen die zweite und die dritte Anschlußelektrode (33, 34) ge­ schaltet ist; und
einer Abschirmungsabdeckung (54) mit einer Öffnung (55) zum Freilegen des Einstellformabschnitts (48) des Ein­ stellbauglieds (44), die an dem Substrat (27) ange­ bracht ist, während dieselbe das Einstellbauglied (44) und das induktive Bauelement (23) aufnimmt.